JP5899308B2 - 広帯域センサ - Google Patents
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Description
(1)本発明の広帯域センサは、絶縁基板と、前記絶縁基板の表面に搭載された圧電素子と、前記絶縁基板の前記表面に前記圧電素子を囲んで取り付けられ開口を有する囲い部材と、前記圧電素子の出力を取り出す出力手段と、を備える広帯域センサであって、前記開口の内径は、前記囲い部材の内径と同一であり、対象表面に前記囲い部材を当接させて、対象表面に前記囲い部材を当接させて、前記対象表面によって前記開口全体を塞ぐことで、前記絶縁基板と、前記対象表面と、前記囲い部材とのみで前記囲い部材内に密閉キャビティを形成することを特徴とする。
(2)本発明の広帯域センサは、(1)の構成において、前記囲い部材は、弾性リング部材を備えることを特徴とする。
(3)本発明の広帯域センサは、(1)、(2)のいずれかの構成において、前記圧電素子の出力を取り出す前記出力手段は、インピーダンス変換回路あるいは増幅回路であることを特徴とする。
(4)本発明の広帯域センサは、(3)の構成において、前記インピーダンス変換回路は増幅回路を含むことを特徴とする。
(5)本発明の広帯域センサは、(1)ないし(4)のいずれかの構成において、 前記第1圧電素子からの出力を取り出す第1出力手段と、前記絶縁基板の裏面に搭載された第2圧電素子と、前記第2圧電素子からの出力を取り出す第2出力手段と、前記第2手段の出力値と前記第1手段の出力値の差分を取り出す第3出力手段と、を備えることを特徴する。
(6)本発明の広帯域センサは、(5)の構成において、前記絶縁基板の前記裏面には、前記第2圧電素子を閉塞するカバー部材が備えられていることを特徴とする。
(7)本発明の広帯域センサは、(6)の構成において、前記カバー部材はピンホールが形成されていることを特徴とする請求項6に記載の広帯域センサ。
(8)本発明の広帯域センサは、(5)ないし(7)の構成において、前記第1圧電素子の+極、−極からの各出力を第1インピーダンス変換回路に入力させることにより前記第1出力手段を構成し、前記第2圧電素子の+極、−極からの各出力を第2インピーダンス変換回路に入力させることにより前記第2出力手段を構成するとともに、前記第1インピーダンス変換回路の出力および前記第2インピーダンス変換回路の出力を演算回路に入力させることで前記第3出力手段を構成することを特徴とする。
(9)本発明の広帯域センサは、(5)ないし(7)の構成において、前記第1圧電素子の+極、−極から引き出された前記第1出力手段としての各配線を、それぞれ、前記第2圧電素子の−極、+極から引き出された前記第2出力手段としての各配線に接続することにより前記第3出力手段を構成することを特徴とする。
(10)本発明の広帯域センサは、(1)ないし(8)のいずれかの広帯域センサであって、体表に取り付けられることを特徴とする。
(11)本発明の広帯域センサは、(1)ないし(8)のいずれかの広帯域センサであって、建築物に取り付けられることを特徴とする。
(12)本発明の広帯域センサ装置は、広帯域センサと、前記広帯域センサの出力を受信する受信器とを備え、前記広帯域センサは、(1)ないし(8)のいずれかの広帯域センサからなるとともに、建築部材に取り付けられ、前記受信器は、前記建築部材の前記広帯域センサを取り付けた側の面あるいは前記面と反対側の面のいずれかから衝撃が加わったかを判別する判別手段が具備されていることを特徴とする。
(13)本発明の広帯域センサは、(12)の構成において、前記建築部材は窓であることを特徴とする。
(14)本発明の広帯域センサは、(1)ないし(8)のいずれかの広帯域センサであって、土木構造物に取り付けられることを特徴とする。
(15)本発明の広帯域センサは、(14)の構成において、前記土木構造物は橋梁であることを特徴とする。
(16)本発明の広帯域センサ装置は、広帯域センサと、前記広帯域センサの出力を受信する受信器とを備え、前記広帯域センサは、(1)ないし(8)のいずれかの広帯域センサからなるともに、土木構造物に取り付けられ、前記受信器は、前記土木構造物に加えられた振動に基づく前記広帯域センサの出力を解析する解析手段を具備することを特徴とする。
(17)本発明の広帯域センサは、(1)ないし(15)のいずれかの広帯域センサであって、前記出力手段からの出力を前記広帯域センサから離れて配置された受信器に電波で送信するワイヤレス送信器を備えることを特徴とする。
(実施形態1)
図1(a)は、本発明の広帯域センサの実施形態1を示す断面図である。図1において、まず、絶縁基板1がある。絶縁基板1はある程度の剛性を有し、変形し難く形成されている。絶縁基板1の一方の面(表面と称す)には、そのほぼ中央に圧電素子2が搭載されている。この圧電素子2としては、たとえば圧電セラミックスが用いられている。圧電素子2は、+電極および−電極が形成され、圧電素子2に音波あるいは脈波等からなる振動が与えられた際、該+電極および−電極の間に該振動に応じた電圧差が生じるように構成されている。そして、この電圧差は圧電素子2の検知信号として取り出せるようになっている。
(実施形態2)
図2は、本発明の広帯域センサの実施形態2を示す断面図である。図2に示す広帯域センサは、体表に当接させて用いられる広帯域センサを示している。
(実施形態3)
図3は、本発明の広帯域センサの実施形態3を示す断面図である。図3に示す広帯域センサは、図1(a)に示した広帯域センサに外乱ノイズ除去用の構成を付加させたものとなっている。
なお、カバー部材6は、必ずしも密閉構造とする必要はなく、たとえば該カバー部材6にピンホール等が形成されていてもよい。そして、このような構成は、後に説明する実施形態4ないし実施形態6においても採用されてもよいことはもちろんである。
(実施形態4)
図4は、本発明の広帯域センサの実施形態4を示す断面図である。図4に示す広帯域センサは、図3に対応づけて描いた構成となっている。図4において、図3の場合と比較して異なる構成は、第1圧電素子2の+極、−極から引き出された各配線を、それぞれ、第2圧電素子2Aの−極、+極から引き出された各配線に接続することにより、第1圧電素子2の出力と第2圧電素子2Aの出力の差分をとるようにしたことにある。そして、第1圧電素子2の+極と第2圧電素子2Aの−極の接続点Pで得られる信号、および第1圧電素子2の−極と第2圧電素子2Aの+極の接続点Qで得られる信号をインピーダンス変換回路5を介して取り出すようにしたことにある。
(実施形態5)
図5は、本発明の広帯域センサの実施形態5を示す断面図である。図5に示す広帯域センサは、図2に示した広帯域センサに外乱ノイズ除去用の構成を付加させたものとなっている。
(実施形態6)
図6は、本発明の広帯域センサの実施形態6を示す断面図である。図6は、図5と対応づけて描いた図となっている。
(実施形態7)
実施形態3ないし実施形態6のそれぞれにおいて、絶縁基板1に搭載された第2圧電素子2Aは、カバー部材6によって閉塞された状態としたものあるが、必ずしも、該カバー部材6は取り付けなくてもよいことはもちろんである。特に、上述したカバー部材6を取り付けなくても、第2圧電素子2Aは、外乱ノイズを検知でき、音波、脈波を検知できないように構成することができるからである。
(実施形態8)
上述した各実施形態では、圧電素子からの信号をインピーダンス変換回路を経て出力させるようにしている。しかし、これに限定されることはなく、増幅回路を具備するインピーダンス変換回路であっても、また、インピーダンス変換回路の代わりに増幅器を用いるようにしてもよいことはもちろんである。
(実施形態9)
図8は、本発明の広帯域センサの使用態様の他の例を示す説明図である。
図8は、たとえば一般家屋に取り付けられるサッシ窓20を示し、屋内側から該サッシ窓20を観た図となっている。
サッシ窓20はたとえば2つのサッシ窓20A、20Bから構成され、これらサッシ窓20A、20Bは、それぞれ、近接して平行配置された2つの各レール(図示せず)に沿って走行するようにして窓の開閉がなされるようになっている。
図9は、前記広帯域センサ30の構成を示す断面図である。図9では、該広帯域センサ30はサッシ窓20Bの枠体21Bに取り付けられた状態として示している。
この場合、受信器40は、広帯域センサ30からの電波(信号)を受信する受信手段41とともにサッシ窓20の該広帯域センサ30を取り付けた側の面あるいは前記面と反対側の面のいずれかから衝撃が加わったかを判別する判別手段42が備えられたものとなっている。
図12(a)は、サッシ窓20に外側(図中矢印方向)から衝撃を加えた場合の広帯域センサ30を示し、広帯域センサ30は、サッシ窓20の外側が凹にサッシ窓20の内側が凸となるように歪んで変形し、圧電素子35もこれに応じた変形がなされ、この変形に対応する信号を圧電素子35は出力するようになる。この場合において得られる圧電素子35からの信号は、図11に示す信号αとなっている。信号αは、たとえば負側に大きなピークを有する波形として形成されている。そして、サッシ窓20の外側からの衝撃がなくなった場合、図12(a)に示す広帯域センサ30の変形は、減衰するようになる。
なお、この明細書において、広帯域センサ30(あるいは30’)と受信器40を広帯域センサ装置と称する場合がある。
(実施形態10)
実施形態9では、防犯センサとして機能させる広帯域センサ30は、たとえば窓に取り付けたものである。しかし、窓に限定されることなく、ドア、あるいは他の建築部材に取り付けるようにしてもよいことはもちろんである。
図13において、図9の場合と異なる構成は、まず、ドア38はたとえば鉄等からなる磁性体から構成されている。そして、広帯域センサ30’のケーシング31’は磁石によって構成されている。その他、たとえば、筒状体32、O−リング33、回路基板34、圧電素子35、ワイヤレス送信器36等は、図9の場合と同様の構成となっている。
図14は、本発明の広帯域センサの使用態様の他の例を示す説明図である。
図14は、いわゆるトラス構造を有する鉄橋50を示した図である。そして、この鉄橋50の必要とする複数の箇所にそれぞれ広帯域センサ30が取り付けられている。この広帯域センサ30としては、たとえば図9(あるいは図13)に示したものが使用されている。トラス構造の鉄橋50の斜材51は腐食が生じ易く、その劣化や損傷がもたらす該材料51の剛性や質量の変化を、該広帯域センサ30によって検出しようとするものである。
すなわち、鉄橋50に振動を与え、これにともなう広帯域センサ30の圧電素子(図9において符号35で示す)からの出力が、該広帯域センサ30を取り付けた材料の剛性や質量に対応して得られ、該材料の経時的な劣化や損傷が解析できるようになっている。
図15は、橋梁点検車52に搭載される受信器53を示し、該受信器53は、広帯域センサ30のワイヤレス送信機(図9において符号36で示す)から信号を受信する受信手段54、この受信手段54からの信号によって鉄橋50の振動解析を行う解析手段55と、この解析手段55によって得られる解析結果を必要に応じて表示する表示手段56とを備えて構成されている。
橋梁点検車52にはたとえば点検者が搭乗しており、該点検者は前記受信器54を通して圧電素子(図9において符号35で示す)の出力情報を、収集・解析するようになっている。
なお、この明細書において、広帯域センサ30(あるいは30’)と受信器53を広帯域センサ装置と称する場合がある。
(実施形態12)
実施形態11では、それぞれ、図9、図13に示す広帯域センサを用いた例を示したものであるが、これに限定されることはなく、実施形態1ないし実施形態8のうちいずれかに示した広帯域センサを用いるようにしてもよいことはいうまでもない。この場合、広帯域センサは、実施形態1ないし実施形態8に示した構成に、O−リング(図9、図13のO−リング33に相当する)、ワイヤレス送信器(図9、図13のワイヤレス送信器36に相当する)を必要に応じて具備させた構成とするようにしてもよいことはもちろんである。
Claims (17)
- 絶縁基板と、
前記絶縁基板の表面に搭載された圧電素子と、
前記絶縁基板の前記表面に前記圧電素子を囲んで取り付けられ開口を有する囲い部材と、
前記圧電素子の出力を取り出す出力手段と、を備える広帯域センサであって、
前記開口の内径は、前記囲い部材の内径と同一であり、
対象表面に前記囲い部材を当接させて、前記対象表面によって前記開口全体を塞ぐことで、前記絶縁基板と、前記対象表面と、前記囲い部材とのみで前記囲い部材内に密閉キャビティを形成することを特徴とする広帯域センサ。 - 前記囲い部材は、弾性リング部材を備えることを特徴とする請求項1に記載の広帯域センサ。
- 前記圧電素子の出力を取り出す前記出力手段は、インピーダンス変換回路あるいは増幅回路であることを特徴とする請求項1又は2に記載の広帯域センサ。
- 前記インピーダンス変換回路は増幅回路を含むことを特徴とする請求項3に記載の広帯域センサ。
- 前記第1圧電素子からの出力を取り出す第1出力手段と、前記絶縁基板の裏面に搭載された第2圧電素子と、前記第2圧電素子からの出力を取り出す第2出力手段と、前記第2出力手段の出力値と前記第1出力手段の出力値の差分を取り出す第3出力手段と、を備えることを特徴する請求項1ないし4のいずれかに記載の広帯域センサ。
- 前記絶縁基板の前記裏面には、前記第2圧電素子を閉塞するカバー部材が備えられていることを特徴とする請求項5に記載の広帯域センサ。
- 前記カバー部材にはピンホールが形成されていることを特徴とする請求項6に記載の広帯域センサ。
- 前記第1圧電素子の+極、−極からの各出力を第1インピーダンス変換回路に入力させることにより前記第1出力手段を構成し、前記第2圧電素子の+極、−極からの各出力を第2インピーダンス変換回路に入力させることにより前記第2出力手段を構成するとともに、前記第1インピーダンス変換回路の出力および前記第2インピーダンス変換回路の出力を演算回路に入力させることで前記第3出力手段を構成することを特徴とする請求項5ないし請求項7のいずれかに記載の広帯域センサ。
- 前記第1圧電素子の+極、−極から引き出された前記第1出力手段としての各配線を、それぞれ、前記第2圧電素子の−極、+極から引き出された前記第2出力手段としての各配線に接続することにより前記第3出力手段を構成することを特徴とする請求項5ないし請求項7のいずれかに記載の広帯域センサ。
- 請求項1ないし請求項8のいずれかの広帯域センサであって、体表に取り付けられることを特徴とする広帯域センサ。
- 請求項1ないし請求項8のいずれかの広帯域センサであって、建築物に取り付けられることを特徴とする広帯域センサ。
- 広帯域センサと、前記広帯域センサの出力を受信する受信器とを備え、
前記広帯域センサは、請求項1ないし請求項8のいずれかの広帯域センサからなるとともに、建築部材に取り付けられ、
前記受信器は、前記建築部材の前記広帯域センサを取り付けた側の面あるいは前記面と反対側の面のいずれかから衝撃が加わったかを判別する判別手段が具備することを特徴とする広帯域センサ装置。 - 前記建築部材は窓であることを特徴とする請求項12に記載の広帯域センサ装置。
- 請求項1ないし請求項8のいずれかの広帯域センサであって、土木構造物に取り付けられることを特徴とする広帯域センサ。
- 前記土木構造物は橋梁であることを特徴とする請求項14に記載の広帯域センサ。
- 広帯域センサと、前記広帯域センサの出力を受信する受信器とを備え、
前記広帯域センサは、請求項1ないし請求項8のいずれかの広帯域センサからなるともに、土木構造物に取り付けられ、
前記受信器は、前記土木構造物に加えられた振動に基づく前記広帯域センサの出力を解析する解析手段を具備することを特徴とする広帯域センサ装置。 - 請求項1ないし請求項15のいずれかの広帯域センサであって、前記出力手段からの出力を前記広帯域センサから離れて配置された受信器に電波で送信するワイヤレス送信器を備えることを特徴とする広帯域センサ。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11175196B2 (en) | 2017-03-29 | 2021-11-16 | Tdk Corporation | Fluid pressure detection device |
US11786134B2 (en) | 2017-03-29 | 2023-10-17 | Tdk Corporation | Fluid pressure detection device |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6240581B2 (ja) | 2014-09-24 | 2017-11-29 | 株式会社アドバンテスト | 脈波センサユニット |
JP2016063939A (ja) * | 2014-09-24 | 2016-04-28 | 株式会社アドバンテスト | 脈波センサユニット |
CN107530006A (zh) * | 2015-04-17 | 2018-01-02 | 太阳诱电株式会社 | 振动波形传感器和波形分析装置 |
JP6742797B2 (ja) * | 2016-04-28 | 2020-08-19 | 太陽誘電株式会社 | 振動波形センサ |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2644241B2 (ja) * | 1987-10-28 | 1997-08-25 | キヤノン株式会社 | 圧電体多層膜およびその製造方法 |
JPH02227656A (ja) * | 1989-02-28 | 1990-09-10 | Showa Electric Wire & Cable Co Ltd | 部分放電検出装置 |
JPH05290563A (ja) * | 1992-04-10 | 1993-11-05 | Fujitsu Ltd | 密閉構造 |
JPH0835893A (ja) * | 1994-07-21 | 1996-02-06 | Omron Corp | 物理量センサ装置及び当該センサ装置を用いた機器 |
JP3143864B2 (ja) * | 1997-01-07 | 2001-03-07 | 綜合警備保障株式会社 | ガラス破壊検出器 |
JP3134844B2 (ja) * | 1998-06-11 | 2001-02-13 | 株式会社村田製作所 | 圧電音響部品 |
JP2003348695A (ja) * | 2002-05-30 | 2003-12-05 | Cti Science System Co Ltd | 媒質マイクロホン |
JP2004032499A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 超音波センサ |
JP4236203B2 (ja) * | 2005-11-15 | 2009-03-11 | 日本電信電話株式会社 | 音響素子 |
-
2012
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11175196B2 (en) | 2017-03-29 | 2021-11-16 | Tdk Corporation | Fluid pressure detection device |
US11786134B2 (en) | 2017-03-29 | 2023-10-17 | Tdk Corporation | Fluid pressure detection device |
Also Published As
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