JP5896678B2 - 除振台 - Google Patents
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Description
2 支持体
3 計量・計測機器
10 定盤
10a 定盤底面
16 定盤底面凹部
20 除振機構であるダンパーユニット
33a 積層用ボルトネジ部
40 ダイヤフラム
40a ダイヤフラム挿通孔
40c ダイヤフラム中心軸
40d ダイヤフラム外周部
41 中心軸リング
42 外周部リング
43 ゴム部
60 緩衝材
S 密閉空間
Claims (5)
- 被支持体である計量・計測機器と該計量・計測機器の支持体との間に介在された該計量・計測機器が載置される定盤と、前記定盤を下方支持する粘弾性を有する除振機構と、を備えた除振台において、
前記除振機構は、粘弾性部材であり全体形状が皿型のダイヤフラムを備え、前記ダイヤフラムは、前記定盤から下方に延びる被固定部に対し、上方に開口する向きで前記定盤を垂直に支持する方向に装着脱可能に複数個積層可能であるとともに、装着した状態では、前記ダイヤフラム外周部が固定部、該ダイヤフラム外周部以外の部分が可動部となり、前記定盤の底面と前記ダイヤフラム可動部で画成される空間が密閉状態となることを特徴とする除振台。 - 前記ダイヤフラムは、その中心軸と外周部に金属性リングを備え、前記中心軸リングと前記外周部リングとの間を粘弾性を有する材料で繋ぎ、ダイヤフラム全体形状が皿型形状に構成されており、該ダイヤフラムの組み合わせで得られる剛性は、前記定盤支持方向に並列に機能することを特徴とする請求項1に記載の除振台。
- 前記定盤底面の前記除振機構の上方位置には、定盤内に窪む凹部が設けられ、前記ダイヤフラム外周部には、前記被固定部である前記定盤底面凹部の外周縁部から下方に伸びる複数本の積層用ボルトネジ部が挿通可能な挿通孔が設けられ、該ダイヤフラムを上方に開口する向きで前記積層用ボルトネジ部に固定し、該ダイヤフラム中心軸を中央固定用ボルトで固定して該ダイヤフラムを装着すると、前記ダイヤフラム外周部が固定部、該ダイヤフラム外周部以外の部分が可動部となり、前記定盤底面凹部と前記ダイヤフラム可動部で画成される空間が密閉状態となることを特徴とする請求項2に記載の除振台。
- 前記ダイヤフラムのそれぞれの粘弾性値は、各ダイヤフラムごとに異なることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の除振台。
- 前記定盤底面凹部には、緩衝材が配置されていることを特徴とする請求項3に記載の除振台。
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