JP5894424B2 - 成分濃度モニタ方法及びこの方法を使用する成分濃度モニタ装置 - Google Patents
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一連の既知濃度のホウ酸と一連の既知濃度のヨウ化カリウムとの組合せからなる複数の水溶液を用いて、当該複数の水溶液に対して、それぞれ、一連の温度条件における導電率を測定して各水溶液の温度と導電率との相関関係1を定めると共に、前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記一連の温度条件における屈折率を測定して各水溶液の温度と屈折率との相関関係2を定める第1ステップと、
モニタ対象となる処理液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を求めるにあたり、当該処理液の実測温度T、実測導電率σ及び実測屈折率nを測定する第2ステップと、
前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記相関関係1を用いて、前記実測温度Tにおける各水溶液の導電率を求めると共に、前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記相関関係2を用いて、前記実測温度Tにおける各水溶液の屈折率を求める第3ステップと、
この第3ステップで求めた各水溶液の導電率及び屈折率、並びに、各水溶液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を用いて、前記実測温度Tにおける各ホウ酸濃度に対する導電率と屈折率との相関関係3を定めると共に、前記実測温度Tにおける各ホウ酸濃度に対する導電率とヨウ化カリウム濃度との相関関係4を定める第4ステップと、
各ホウ酸濃度に対する前記相関関係3の中から前記実測導電率σ及び前記実測屈折率nに共通の近似値を有する2つの相関関係3−1(ホウ酸濃度X1における相関関係)及び相関関係3−2(ホウ酸濃度X2における相関関係)を選択し、これらの相関関係から、それぞれ、前記実測導電率σに対する屈折率n1及び屈折率n2を求める第5ステップと、
各ホウ酸濃度に対する前記相関関係4の中から前記ホウ酸濃度X1と前記ホウ酸濃度X2に対する2つの相関関係4−1(ホウ酸濃度X1における相関関係)及び相関関係4−2(ホウ酸濃度X2における相関関係)を選択し、これらの相関関係から、それぞれ、前記実測導電率σに対するヨウ化カリウム濃度Y1及びヨウ化カリウム濃度Y2を求める第6ステップと、
前記ホウ酸濃度X1、ホウ酸濃度X2、ヨウ化カリウム濃度Y1、ヨウ化カリウム濃度Y2、屈折率n1、屈折率n2及び実測屈折率nを用いて、下記の式(1)及び式(2)から、
X=X1+(X2−X1)×(n−n1)/(n2−n1)‥‥‥(1)
Y=Y1+(Y2−Y1)×(n−n1)/(n2−n1)‥‥‥(2)
前記モニタ対象となる処理液のホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを求める第7ステップとを有することを特徴とする。
一連の既知濃度のホウ酸と一連の既知濃度のヨウ化カリウムとの組合せからなる複数の水溶液を用いて、当該複数の水溶液に対して、それぞれ、一連の温度条件における導電率を測定して各水溶液の温度と導電率との相関関係1を定めると共に、前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記一連の温度条件における屈折率を測定して各水溶液の温度と屈折率との相関関係2を定める第1ステップと、
モニタ対象となる処理液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を求めるにあたり、当該処理液の実測温度T、実測導電率σ及び実測屈折率nを測定する第2ステップと、
前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記相関関係1を用いて、前記実測温度Tにおける各水溶液の導電率を求めると共に、前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記相関関係2を用いて、前記実測温度Tにおける各水溶液の屈折率を求める第3ステップと、
この第3ステップで求めた各水溶液の導電率及び屈折率、並びに、各水溶液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を用いて、前記実測温度Tにおける各ヨウ化カリウム濃度に対する導電率と屈折率との相関関係5を定めると共に、前記実測温度Tにおける各ヨウ化カリウム濃度に対する導電率とホウ酸濃度との相関関係6を定める第4ステップと、
各ヨウ化カリウム濃度に対する前記相関関係5の中から前記実測導電率σ及び前記実測屈折率nに共通の近似値を有する2つの相関関係5−1(ヨウ化カリウム濃度Y3における相関関係)及び相関関係5−2(ヨウ化カリウム濃度Y4における相関関係)を選択し、これらの相関関係から、それぞれ、前記実測導電率σに対する屈折率n3及び屈折率n4を求める第5ステップと、
各ヨウ化カリウム濃度に対する前記相関関係6の中から前記ヨウ化カリウム濃度Y3と前記ヨウ化カリウム濃度Y4に対する2つの相関関係6−1(ヨウ化カリウム濃度Y3における相関関係)及び相関関係6−2(ヨウ化カリウム濃度Y4における相関関係)を選択し、これらの相関関係から、それぞれ、前記実測導電率σに対するホウ酸濃度X3及びホウ酸濃度X4を求める第6ステップと、
前記ホウ酸濃度X3、ホウ酸濃度X4、ヨウ化カリウム濃度Y3、ヨウ化カリウム濃度Y4、屈折率n3、屈折率n4及び実測屈折率nを用いて、下記の式(3)及び式(4)から、
X=X3+(X4−X3)×(n−n3)/(n4−n3)‥‥‥(3)
Y=Y3+(Y4−Y3)×(n−n3)/(n4−n3)‥‥‥(4)
前記モニタ対象となる処理液のホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを求める第7ステップとを有することを特徴とする。
一連の既知濃度のホウ酸と一連の既知濃度のヨウ化カリウムとの組合せからなる複数の水溶液を用いて、当該複数の水溶液に対して、それぞれ、一連の温度条件における導電率を測定して各水溶液の温度と導電率との相関関係1を定めると共に、前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記一連の温度条件における屈折率を測定して各水溶液の温度と屈折率との相関関係2を定める第1ステップと、
モニタ対象となる処理液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を求めるにあたり、当該処理液の実測温度T、実測導電率σ及び実測屈折率nを測定する第2ステップと、
前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記相関関係1を用いて、前記実測温度Tにおける各水溶液の導電率を求めると共に、前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記相関関係2を用いて、前記実測温度Tにおける各水溶液の屈折率を求める第3ステップと、
この第3ステップで求めた各水溶液の導電率及び屈折率、並びに、各水溶液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を用いて、前記実測温度Tにおける各ホウ酸濃度に対する導電率と屈折率との相関関係7を定めると共に、前記実測温度Tにおける各ホウ酸濃度に対するヨウ化カリウム濃度と屈折率との相関関係8を定める第4ステップと、
各ホウ酸濃度に対する前記相関関係7の中から前記実測導電率σ及び前記実測屈折率nに共通の近似値を有する2つの相関関係7−1(ホウ酸濃度X5における相関関係)及び相関関係7−2(ホウ酸濃度X6における相関関係)を選択し、これらの相関関係から、それぞれ、前記実測屈折率nに対する導電率σ5及び導電率σ6を求める第5ステップと、
各ホウ酸濃度に対する前記相関関係8の中から前記ホウ酸濃度X5と前記ホウ酸濃度X6に対する2つの相関関係8−1(ホウ酸濃度X5における相関関係)及び相関関係8−2(ホウ酸濃度X6における相関関係)を選択し、これらの相関関係から、それぞれ、前記実測屈折率nに対するヨウ化カリウム濃度Y5及びヨウ化カリウム濃度Y6を求める第6ステップと、
前記ホウ酸濃度X5、ホウ酸濃度X6、ヨウ化カリウム濃度Y5、ヨウ化カリウム濃度Y6、導電率σ5、導電率σ6及び実測導電率σを用いて、下記の式(5)及び式(6)から、
X=X5+(X6−X5)×(σ−σ5)/(σ6−σ5)‥‥‥(5)
Y=Y5+(Y6−Y5)×(σ−σ5)/(σ6−σ5)‥‥‥(6)
前記モニタ対象となる処理液のホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを求める第7ステップとを有することを特徴とする。
一連の既知濃度のホウ酸と一連の既知濃度のヨウ化カリウムとの組合せからなる複数の水溶液を用いて、当該複数の水溶液に対して、それぞれ、一連の温度条件における導電率を測定して各水溶液の温度と導電率との相関関係1を定めると共に、前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記一連の温度条件における屈折率を測定して各水溶液の温度と屈折率との相関関係2を定める第1ステップと、
モニタ対象となる処理液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を求めるにあたり、当該処理液の実測温度T、実測導電率σ及び実測屈折率nを測定する第2ステップと、
前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記相関関係1を用いて、前記実測温度Tにおける各水溶液の導電率を求めると共に、前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記相関関係2を用いて、前記実測温度Tにおける各水溶液の屈折率を求める第3ステップと、
この第3ステップで求めた各水溶液の導電率及び屈折率、並びに、各水溶液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を用いて、前記実測温度Tにおける各ヨウ化カリウム濃度に対する導電率と屈折率との相関関係9を定めると共に、前記実測温度Tにおける各ヨウ化カリウム濃度に対するホウ酸濃度と屈折率との相関関係10を定める第4ステップと、
各ヨウ化カリウム濃度に対する前記相関関係9の中から前記実測導電率σ及び前記実測屈折率nに共通の近似値を有する2つの相関関係9−1(ヨウ化カリウム濃度Y7における相関関係)及び相関関係9−2(ヨウ化カリウム濃度Y8における相関関係)を選択し、これらの相関関係から、それぞれ、前記実測屈折率nに対する導電率σ7及び導電率σ8を求める第5ステップと、
各ヨウ化カリウム濃度に対する前記相関関係10の中から前記ヨウ化カリウム濃度Y7と前記ヨウ化カリウム濃度Y8に対する2つの相関関係10−1(ヨウ化カリウム濃度Y7における相関関係)及び相関関係10−2(ヨウ化カリウム濃度Y8における相関関係)を選択し、これらの相関関係から、それぞれ、前記実測屈折率nに対するホウ酸濃度X7及びホウ酸濃度X8を求める第6ステップと、
前記ホウ酸濃度X7、ホウ酸濃度X8、ヨウ化カリウム濃度Y7、ヨウ化カリウム濃度Y8、導電率σ7、導電率σ8及び実測導電率σを用いて、下記の式(7)及び式(8)から、
X=X7+(X8−X7)×(σ−σ7)/(σ8−σ7)‥‥‥(7)
Y=Y7+(Y8−Y7)×(σ−σ7)/(σ8−σ7)‥‥‥(8)
前記モニタ対象となる処理液のホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを求める第7ステップとを有することを特徴とする。
前記処理液の実測導電率σを検出する導電率検出手段と、
前記処理液の実測屈折率nを検出する屈折率検出手段と、
前記実測温度T、前記実測導電率σ及び前記実測屈折率nを用いて前記処理液のホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを演算する濃度演算手段と、
前記ホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを表示する表示手段とを備え、
請求項1〜4のいずれか1つに記載の成分濃度モニタ方法を用いて算出した前記処理液のホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを前記表示手段にモニタすることを特徴とする。
前記処理液の実測導電率σを検出する導電率検出手段と、
前記処理液の実測屈折率nを検出する屈折率検出手段と、
前記実測温度T、前記実測導電率σ及び前記実測屈折率nを用いて前記処理液のホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを演算する濃度演算手段と、
前記処理液のホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yについて各対応の所定の管理値からのずれΔX及びΔYを演算するずれ演算手段と、
前記ホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを表示する表示手段とを備え、
請求項5に記載の成分濃度モニタ方法を用いて算出した前記処理液のホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Y、並びに、各対応の所定の管理値からのずれΔX及びΔYを前記表示手段にモニタすることを特徴とする。
まず、処理液Lの温度、導電率及び屈折率に関するデータベースを作成する。具体的には、一連の既知濃度のホウ酸と一連の既知濃度のヨウ化カリウムとの組合せからなる複数の水溶液を準備する。例えば、ホウ酸濃度は、上述のように、通常使用される1〜10重量%の全範囲として、1〜10重量%の間で1重量%間隔の10水準とする。一方、ヨウ化カリウム濃度は、上述のように、通常使用される1〜15重量%の全範囲のうち、特に使用される3〜12重量%の間で1重量%間隔の10水準とする。このようにホウ酸濃度10水準とヨウ化カリウム濃度10水準との組み合わせからなる100種類の水溶液を準備する。
次に、モニタ対象となる処理液Lの実測温度T、実測導電率σ及び実測屈折率nをそれぞれ測定する。処理液Lの実測温度Tの測定には、どのような温度計を使用してもよいが、本実施例1においては、上述のように、屈折率センサ22に内蔵した温度センサ22aを使用した。測定は、実測導電率σ及び実測屈折率nの測定と連動して固定化処理の進行に伴い、一定時間間隔、或いは連続して行う。
次に、上記ステップS2で測定した処理液Lの実測温度Tを用いて、上記100種類の水溶液に対する実測温度Tにおける導電率と屈折率を求める。各水溶液の実測温度Tにおける導電率は、上記ステップS1で求めた温度と導電率との相関関係1から比例計算等により求める。また、各水溶液の実測温度Tにおける屈折率は、上記ステップS1で求めた温度と屈折率との相関関係2から比例計算等により求める。
次に、上記ステップS3で求めた上記100種類の水溶液の実測温度Tにおける導電率及び屈折率、並びに、上記100種類の水溶液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を用いて、実測温度Tにおける10水準のホウ酸濃度それぞれに対する導電率と屈折率との相関関係3を求める。得られた10本の相関曲線の一部を図3に示す。また、同様にして実測温度Tにおける10水準のホウ酸濃度それぞれに対する導電率とヨウ化カリウム濃度(各図においてはKI濃度という。以下同じ)との相関関係4を求める。得られた10本の相関曲線の一部を図4に示す。
次に、上記ステップS4で求めた導電率と屈折率との相関関係3(本実施例1においては、10水準のホウ酸濃度に対応する10本の相関曲線)の中から、処理液Lの実測導電率σ及び実測屈折率nに共通の近似値を有する2本の相関曲線を選択する。
次に、上記ステップS4で求めた導電率とヨウ化カリウム濃度との相関関係4(本実施例1においては、10水準のホウ酸濃度に対応する10本の相関曲線)の中から、上記ステップS5で選定したホウ酸濃度X1及びホウ酸濃度X2に対応する2本の相関曲線4−1及び相関曲線4−2を選択する。ここで、相関曲線4−1は、ホウ酸濃度X1に対する導電率とヨウ化カリウム濃度との相関関係を示しており、相関曲線4−2は、ホウ酸濃度X2に対する導電率とヨウ化カリウム濃度との相関関係を示している。
次に、上記ステップS5で求めたホウ酸濃度X1、ホウ酸濃度X2、屈折率n1、屈折率n2、上記ステップS6で求めたヨウ化カリウム濃度Y1、ヨウ化カリウム濃度Y2、及び、処理液Lの実測屈折率nを用いて、処理液Lのホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを求める。具体的には、これまでに求めたX1、X2、Y1、Y2、n1、n2及び実測屈折率nの関係を図5に示す。この図5の関係から下記の式(1)及び式(2)が導かれる。よって、処理液Lのホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yは、これらの式の比例計算により求めることができる。
Y=Y1+(Y2−Y1)×(n−n1)/(n2−n1)‥‥‥(2)
ステップS8:
次に、上記ステップS7で求めた処理液Lのホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yの値について、ホウ酸濃度の管理値Xt 及びヨウ化カリウム濃度の管理値YtからのずれΔX及びΔYを算出する。
ステップS13で求めた上記100種類の水溶液の実測温度Tにおける導電率及び屈折率、並びに、上記100種類の水溶液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を用いて、実測温度Tにおける10水準のヨウ化カリウム濃度それぞれに対する導電率と屈折率との相関関係5を求める。また、同様にして実測温度Tにおける10水準のヨウ化カリウム濃度それぞれに対する導電率とホウ酸濃度との相関関係6を求める。
次に、上記ステップS14で求めた導電率と屈折率との相関関係5の中から、処理液Lの実測導電率σ及び実測屈折率nに共通の近似値を有する2本の相関曲線を選択する。上記実施例1と同様にして2本の相関曲線5−1及び相関曲線5−2を選択する。ここで、相関曲線5−1は、ヨウ化カリウム濃度Y3に対する導電率と屈折率との相関関係を示しており、相関曲線5−2は、ヨウ化カリウム濃度Y4に対する導電率と屈折率との相関関係を示している。
次に、上記ステップS14で求めた導電率とホウ酸濃度との相関関係6の中から、上記ステップS15で選定したヨウ化カリウム濃度Y3及びヨウ化カリウム濃度Y4に対応する2本の相関曲線6−1及び相関曲線6−2を選択する。ここで、相関曲線6−1は、ヨウ化カリウム濃度Y3に対する導電率とホウ酸濃度との相関関係を示しており、相関曲線6−2は、ヨウ化カリウム濃度Y4に対する導電率とホウ酸濃度との相関関係を示している。
次に、上記ステップS15で求めたヨウ化カリウム濃度Y3、ヨウ化カリウム濃度Y4、屈折率n3、屈折率n4、上記ステップS16で求めたホウ酸濃度X3、ホウ酸濃度X4、及び、処理液Lの実測屈折率nを用いて、処理液Lのホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを求める。具体的には、上記実施例1と同様にしてX3、X4、Y3、Y4、n3、n4及び実測屈折率nの関係から下記の式(3)及び式(4)が導かれる。よって、処理液Lのホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yは、これらの式の比例計算により求めることができる。
Y=Y3+(Y4−Y3)×(n−n3)/(n4−n3)‥‥‥(4)
次に、ステップS18は、上記実施例1のステップS8と同様にして行った。
ステップS23で求めた上記100種類の水溶液の実測温度Tにおける導電率及び屈折率、並びに、上記100種類の水溶液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を用いて、実測温度Tにおける10水準のホウ酸濃度それぞれに対する導電率と屈折率との相関関係7を求める。また、同様にして実測温度Tにおける10水準のホウ酸濃度それぞれに対するヨウ化カリウム濃度と屈折率との相関関係8を求める。
次に、上記ステップS24で求めた導電率と屈折率との相関関係7の中から、処理液Lの実測導電率σ及び実測屈折率nに共通の近似値を有する2本の相関曲線を選択する。上記実施例1と同様にして2本の相関曲線7−1及び相関曲線7−2を選択する。ここで、相関曲線7−1は、ホウ酸濃度X5に対する導電率と屈折率との相関関係を示しており、相関曲線7−2は、ホウ酸濃度X6に対する導電率と屈折率との相関関係を示している。
次に、上記ステップS24で求めたヨウ化カリウム濃度と屈折率との相関関係8の中から、上記ステップS25で選定したホウ酸濃度X5及びホウ酸濃度X6に対応する2本の相関曲線8−1及び相関曲線8−2を選択する。ここで、相関曲線8−1は、ホウ酸濃度X5に対するヨウ化カリウム濃度と屈折率との相関関係を示しており、相関曲線8−2は、ホウ酸濃度X6に対するヨウ化カリウム濃度と屈折率との相関関係を示している。
次に、上記ステップS25で求めたホウ酸濃度X5、ホウ酸濃度X6、導電率σ5、導電率σ6、上記ステップS26で求めたヨウ化カリウム濃度Y5、ヨウ化カリウム濃度Y6、及び、処理液Lの実測導電率σを用いて、処理液Lのホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを求める。具体的には、上記実施例1と同様にしてX5、X6、Y5、Y6、n5、n6及び実測導電率σの関係から下記の式(5)及び式(6)が導かれる。よって、処理液Lのホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yは、これらの式の比例計算により求めることができる。
Y=Y5+(Y6−Y5)×(σ−σ5)/(σ6−σ5)‥‥‥(6)
次に、ステップS28は、上記実施例1のステップS8と同様にして行った。
ステップS33で求めた上記100種類の水溶液の実測温度Tにおける導電率及び屈折率、並びに、上記100種類の水溶液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を用いて、実測温度Tにおける10水準のヨウ化カリウム濃度それぞれに対する導電率と屈折率との相関関係9を求める。また、同様にして実測温度Tにおける10水準のヨウ化カリウム濃度それぞれに対するホウ酸濃度と屈折率との相関関係10を求める。
次に、上記ステップS34で求めた導電率と屈折率との相関関係9の中から、処理液Lの実測導電率σ及び実測屈折率nに共通の近似値を有する2本の相関曲線を選択する。上記実施例1と同様にして2本の相関曲線9−1及び相関曲線9−2を選択する。ここで、相関曲線9−1は、ヨウ化カリウム濃度Y7に対する導電率と屈折率との相関関係を示しており、相関曲線9−2は、ヨウ化カリウム濃度Y8に対する導電率と屈折率との相関関係を示している。
次に、上記ステップS34で求めたホウ酸濃度と屈折率との相関関係10の中から、上記ステップS35で選定したヨウ化カリウム濃度Y7及びヨウ化カリウム濃度Y8に対応する2本の相関曲線10−1及び相関曲線10−2を選択する。ここで、相関曲線10−1は、ヨウ化カリウム濃度Y7に対するホウ酸濃度と屈折率との相関関係を示しており、相関曲線10−2は、ヨウ化カリウム濃度Y8に対するホウ酸濃度と屈折率との相関関係を示している。
次に、上記ステップS35で求めたヨウ化カリウム濃度Y7、ヨウ化カリウム濃度Y8、導電率σ7、導電率σ8、上記ステップS36で求めたホウ酸濃度X7、ホウ酸濃度X8、及び、処理液Lの実測導電率σを用いて、処理液Lのホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを求める。具体的には、上記実施例1と同様にしてX7、X8、Y7、Y8、n7、n8及び実測導電率σの関係から下記の式(7)及び式(8)が導かれる。よって、処理液Lのホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yは、これらの式の比例計算により求めることができる。
Y=Y7+(Y8−Y7)×(σ−σ7)/(σ8−σ7)‥‥‥(8)
次に、ステップS38は、上記実施例1のステップS8と同様にして行った。
15a、15b…循環配管、16…ロール、
20…モニタユニット、21…導電率センサ、22…屈折率センサ、22a…温度センサ、23…マイクロコンピュータ、24…モニタ、25…検出配管、26…校正用ポンプ、
100…処理装置。
Claims (7)
- ホウ酸及びヨウ化カリウムを成分として含有する処理液の成分濃度モニタ方法において、
一連の既知濃度のホウ酸と一連の既知濃度のヨウ化カリウムとの組合せからなる複数の水溶液を用いて、当該複数の水溶液に対して、それぞれ、一連の温度条件における導電率を測定して各水溶液の温度と導電率との相関関係1を定めると共に、前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記一連の温度条件における屈折率を測定して各水溶液の温度と屈折率との相関関係2を定める第1ステップと、
モニタ対象となる処理液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を求めるにあたり、当該処理液の実測温度T、実測導電率σ及び実測屈折率nを測定する第2ステップと、
前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記相関関係1を用いて、前記実測温度Tにおける各水溶液の導電率を求めると共に、前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記相関関係2を用いて、前記実測温度Tにおける各水溶液の屈折率を求める第3ステップと、
この第3ステップで求めた各水溶液の導電率及び屈折率、並びに、各水溶液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を用いて、前記実測温度Tにおける各ホウ酸濃度に対する導電率と屈折率との相関関係3を定めると共に、前記実測温度Tにおける各ホウ酸濃度に対する導電率とヨウ化カリウム濃度との相関関係4を定める第4ステップと、
各ホウ酸濃度に対する前記相関関係3の中から前記実測導電率σ及び前記実測屈折率nに共通の近似値を有する2つの相関関係3−1(ホウ酸濃度X1における相関関係)及び相関関係3−2(ホウ酸濃度X2における相関関係)を選択し、これらの相関関係から、それぞれ、前記実測導電率σに対する屈折率n1及び屈折率n2を求める第5ステップと、
各ホウ酸濃度に対する前記相関関係4の中から前記ホウ酸濃度X1と前記ホウ酸濃度X2に対する2つの相関関係4−1(ホウ酸濃度X1における相関関係)及び相関関係4−2(ホウ酸濃度X2における相関関係)を選択し、これらの相関関係から、それぞれ、前記実測導電率σに対するヨウ化カリウム濃度Y1及びヨウ化カリウム濃度Y2を求める第6ステップと、
前記ホウ酸濃度X1、ホウ酸濃度X2、ヨウ化カリウム濃度Y1、ヨウ化カリウム濃度Y2、屈折率n1、屈折率n2及び実測屈折率nを用いて、下記の式(1)及び式(2)から、
X=X1+(X2−X1)×(n−n1)/(n2−n1)‥‥‥(1)
Y=Y1+(Y2−Y1)×(n−n1)/(n2−n1)‥‥‥(2)
前記モニタ対象となる処理液のホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを求める第7ステップとを有することを特徴とする処理液の成分濃度モニタ方法。 - ホウ酸及びヨウ化カリウムを成分として含有する処理液の成分濃度モニタ方法において、
一連の既知濃度のホウ酸と一連の既知濃度のヨウ化カリウムとの組合せからなる複数の水溶液を用いて、当該複数の水溶液に対して、それぞれ、一連の温度条件における導電率を測定して各水溶液の温度と導電率との相関関係1を定めると共に、前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記一連の温度条件における屈折率を測定して各水溶液の温度と屈折率との相関関係2を定める第1ステップと、
モニタ対象となる処理液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を求めるにあたり、当該処理液の実測温度T、実測導電率σ及び実測屈折率nを測定する第2ステップと、
前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記相関関係1を用いて、前記実測温度Tにおける各水溶液の導電率を求めると共に、前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記相関関係2を用いて、前記実測温度Tにおける各水溶液の屈折率を求める第3ステップと、
この第3ステップで求めた各水溶液の導電率及び屈折率、並びに、各水溶液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を用いて、前記実測温度Tにおける各ヨウ化カリウム濃度に対する導電率と屈折率との相関関係5を定めると共に、前記実測温度Tにおける各ヨウ化カリウム濃度に対する導電率とホウ酸濃度との相関関係6を定める第4ステップと、
各ヨウ化カリウム濃度に対する前記相関関係5の中から前記実測導電率σ及び前記実測屈折率nに共通の近似値を有する2つの相関関係5−1(ヨウ化カリウム濃度Y3における相関関係)及び相関関係5−2(ヨウ化カリウム濃度Y4における相関関係)を選択し、これらの相関関係から、それぞれ、前記実測導電率σに対する屈折率n3及び屈折率n4を求める第5ステップと、
各ヨウ化カリウム濃度に対する前記相関関係6の中から前記ヨウ化カリウム濃度Y3と前記ヨウ化カリウム濃度Y4に対する2つの相関関係6−1(ヨウ化カリウム濃度Y3における相関関係)及び相関関係6−2(ヨウ化カリウム濃度Y4における相関関係)を選択し、これらの相関関係から、それぞれ、前記実測導電率σに対するホウ酸濃度X3及びホウ酸濃度X4を求める第6ステップと、
前記ホウ酸濃度X3、ホウ酸濃度X4、ヨウ化カリウム濃度Y3、ヨウ化カリウム濃度Y4、屈折率n3、屈折率n4及び実測屈折率nを用いて、下記の式(3)及び式(4)から、
X=X3+(X4−X3)×(n−n3)/(n4−n3)‥‥‥(3)
Y=Y3+(Y4−Y3)×(n−n3)/(n4−n3)‥‥‥(4)
前記モニタ対象となる処理液のホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを求める第7ステップとを有することを特徴とする処理液の成分濃度モニタ方法。 - ホウ酸及びヨウ化カリウムを成分として含有する処理液の成分濃度モニタ方法において、
一連の既知濃度のホウ酸と一連の既知濃度のヨウ化カリウムとの組合せからなる複数の水溶液を用いて、当該複数の水溶液に対して、それぞれ、一連の温度条件における導電率を測定して各水溶液の温度と導電率との相関関係1を定めると共に、前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記一連の温度条件における屈折率を測定して各水溶液の温度と屈折率との相関関係2を定める第1ステップと、
モニタ対象となる処理液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を求めるにあたり、当該処理液の実測温度T、実測導電率σ及び実測屈折率nを測定する第2ステップと、
前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記相関関係1を用いて、前記実測温度Tにおける各水溶液の導電率を求めると共に、前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記相関関係2を用いて、前記実測温度Tにおける各水溶液の屈折率を求める第3ステップと、
この第3ステップで求めた各水溶液の導電率及び屈折率、並びに、各水溶液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を用いて、前記実測温度Tにおける各ホウ酸濃度に対する導電率と屈折率との相関関係7を定めると共に、前記実測温度Tにおける各ホウ酸濃度に対するヨウ化カリウム濃度と屈折率との相関関係8を定める第4ステップと、
各ホウ酸濃度に対する前記相関関係7の中から前記実測導電率σ及び前記実測屈折率nに共通の近似値を有する2つの相関関係7−1(ホウ酸濃度X5における相関関係)及び相関関係7−2(ホウ酸濃度X6における相関関係)を選択し、これらの相関関係から、それぞれ、前記実測屈折率nに対する導電率σ5及び導電率σ6を求める第5ステップと、
各ホウ酸濃度に対する前記相関関係8の中から前記ホウ酸濃度X5と前記ホウ酸濃度X6に対する2つの相関関係8−1(ホウ酸濃度X5における相関関係)及び相関関係8−2(ホウ酸濃度X6における相関関係)を選択し、これらの相関関係から、それぞれ、前記実測屈折率nに対するヨウ化カリウム濃度Y5及びヨウ化カリウム濃度Y6を求める第6ステップと、
前記ホウ酸濃度X5、ホウ酸濃度X6、ヨウ化カリウム濃度Y5、ヨウ化カリウム濃度Y6、導電率σ5、導電率σ6及び実測導電率σを用いて、下記の式(5)及び式(6)から、
X=X5+(X6−X5)×(σ−σ5)/(σ6−σ5)‥‥‥(5)
Y=Y5+(Y6−Y5)×(σ−σ5)/(σ6−σ5)‥‥‥(6)
前記モニタ対象となる処理液のホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを求める第7ステップとを有することを特徴とする処理液の成分濃度モニタ方法。 - ホウ酸及びヨウ化カリウムを成分として含有する処理液の成分濃度モニタ方法において、
一連の既知濃度のホウ酸と一連の既知濃度のヨウ化カリウムとの組合せからなる複数の水溶液を用いて、当該複数の水溶液に対して、それぞれ、一連の温度条件における導電率を測定して各水溶液の温度と導電率との相関関係1を定めると共に、前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記一連の温度条件における屈折率を測定して各水溶液の温度と屈折率との相関関係2を定める第1ステップと、
モニタ対象となる処理液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を求めるにあたり、当該処理液の実測温度T、実測導電率σ及び実測屈折率nを測定する第2ステップと、
前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記相関関係1を用いて、前記実測温度Tにおける各水溶液の導電率を求めると共に、前記複数の水溶液に対して、それぞれ、前記相関関係2を用いて、前記実測温度Tにおける各水溶液の屈折率を求める第3ステップと、
この第3ステップで求めた各水溶液の導電率及び屈折率、並びに、各水溶液のホウ酸濃度及びヨウ化カリウム濃度を用いて、前記実測温度Tにおける各ヨウ化カリウム濃度に対する導電率と屈折率との相関関係9を定めると共に、前記実測温度Tにおける各ヨウ化カリウム濃度に対するホウ酸濃度と屈折率との相関関係10を定める第4ステップと、
各ヨウ化カリウム濃度に対する前記相関関係9の中から前記実測導電率σ及び前記実測屈折率nに共通の近似値を有する2つの相関関係9−1(ヨウ化カリウム濃度Y7における相関関係)及び相関関係9−2(ヨウ化カリウム濃度Y8における相関関係)を選択し、これらの相関関係から、それぞれ、前記実測屈折率nに対する導電率σ7及び導電率σ8を求める第5ステップと、
各ヨウ化カリウム濃度に対する前記相関関係10の中から前記ヨウ化カリウム濃度Y7と前記ヨウ化カリウム濃度Y8に対する2つの相関関係10−1(ヨウ化カリウム濃度Y7における相関関係)及び相関関係10−2(ヨウ化カリウム濃度Y8における相関関係)を選択し、これらの相関関係から、それぞれ、前記実測屈折率nに対するホウ酸濃度X7及びホウ酸濃度X8を求める第6ステップと、
前記ホウ酸濃度X7、ホウ酸濃度X8、ヨウ化カリウム濃度Y7、ヨウ化カリウム濃度Y8、導電率σ7、導電率σ8及び実測導電率σを用いて、下記の式(7)及び式(8)から、
X=X7+(X8−X7)×(σ−σ7)/(σ8−σ7)‥‥‥(7)
Y=Y7+(Y8−Y7)×(σ−σ7)/(σ8−σ7)‥‥‥(8)
前記モニタ対象となる処理液のホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを求める第7ステップとを有することを特徴とする処理液の成分濃度モニタ方法。 - 前記第7ステップで算出した前記モニタ対象となる処理液のホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yについて、各対応の所定の管理値からずれΔX及びΔYを算出する第8ステップを有することを特徴とする前記請求項1〜4のいずれか1つに記載の処理液の成分濃度モニタ方法。
- 前記モニタ対象となる処理液の実測温度Tを検出する温度検出手段と、
前記処理液の実測導電率σを検出する導電率検出手段と、
前記処理液の実測屈折率nを検出する屈折率検出手段と、
前記実測温度T、前記実測導電率σ及び前記実測屈折率nを用いて前記処理液のホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを演算する濃度演算手段と、
前記ホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを表示する表示手段とを備え、
請求項1〜4のいずれか1つに記載の成分濃度モニタ方法を用いて算出した前記処理液のホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを前記表示手段にモニタすることを特徴とする処理液の成分濃度モニタ装置。 - 前記モニタ対象となる処理液の実測温度Tを検出する温度検出手段と、
前記処理液の実測導電率σを検出する導電率検出手段と、
前記処理液の実測屈折率nを検出する屈折率検出手段と、
前記実測温度T、前記実測導電率σ及び前記実測屈折率nを用いて前記処理液のホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを演算する濃度演算手段と、
前記処理液のホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yについて各対応の所定の管理値からのずれΔX及びΔYを演算するずれ演算手段と、
前記ホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Yを表示する表示手段とを備え、
請求項5に記載の成分濃度モニタ方法を用いて算出した前記処理液のホウ酸濃度X及びヨウ化カリウム濃度Y、並びに、各対応の所定の管理値からのずれΔX及びΔYを前記表示手段にモニタすることを特徴とする処理液の成分濃度モニタ装置。
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