JP5893464B2 - マグネトロンおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
[第1の実施の形態]
ベイン2の遊端31側は円柱治具61によって変位が制限されている。このため、高温になると、ベイン2の内筒51側の端辺は、内筒51の内面に押し付けられる。
[第2の実施の形態]
[他の実施の形態]
Claims (3)
- 非磁性体の内筒および前記内筒の外面に接し前記内筒よりも熱膨張率が小さい非磁性体の補助円筒からなり中心軸に沿って円筒状に延びる陽極円筒と、
前記陽極円筒の内面と拡散接合して前記中心軸に向かって延びる複数のベインと、
前記中心軸に沿って螺旋状に延びる陰極と、
前記陰極の両端に固着された一対のエンドハットと、
前記エンドハットのそれぞれに接続されて前記陰極に電流を供給するサポートロッドと、
を具備することを特徴とするマグネトロン。 - 前記ベインの前記陽極円筒に接する端面には窪みが形成されていることを特徴とする請求項1に記載のマグネトロン。
- 円筒状の非磁性体の内筒を、前記内筒よりも熱膨張率が小さい非磁性体の補助円筒の内側で前記補助円筒の中心軸に沿って配置し、前記内筒の内面から前記中心軸に向かうように複数のベインを配置する配置工程と、
前記配置工程の後に、配置された内筒と補助円筒とベインとを前記ベインの前記中心軸方向への変位を制限しながら加熱して、前記内筒の内面とベインとを拡散接合させる接合工程と、
前記接合工程の後に、前記中心軸に螺旋状の陰極を配置し、前記陰極の両端に一対のエンドハットを固着し、前記陰極に電流を供給するサポートロッドを前記エンドハットのそれぞれに接続する工程と、
を具備することを特徴とするマグネトロンの製造方法。
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