JP5886663B2 - 電子線応用装置およびレンズアレイ - Google Patents
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Description
例えば電子線検査装置や電子線測長装置などの半導体プロセス用途の顕微鏡では、試料に応じて光学条件の多様な制御が求められる。こうした中、前述した従来方式のレンズアレイは、中心軸に近いレンズの結像位置と、レンズアレイ像面(レンズアレイ結像面又はクロスオーバー像面)の曲率を独立に制御することが出来ないため、所望の光学条件と像面湾曲収差補正を両立することが困難となっている。本実施の形態1では、この点に着目して、中心軸に近いレンズの結像位置と、レンズアレイ像面の曲率の独立制御を行える電子線応用装置を実現する。その具体的手段の一つとして、詳細は後述するが、レンズアレイを形成する電極を少なくとも4枚とし、そのうち少なくとも2枚の電極には個別の電圧を印加出来るよう構成する。電圧が印加可能な2枚の電極に設けられた開口の大きさは互いに異なるものとし、2枚のうち少なくとも1枚の電極は開口径が中心軸からの距離に応じて異なるよう設定する。
図1は、本発明の実施の形態1による電子線応用装置の概略構成例を示す図である。図1において、一点鎖線は、略回転対称に形成された光学系の対称軸が一致するべき軸であり、一次電子ビーム光路の基準となる。以下、中心軸と呼ぶ。電子銃101は、仕事関数の低い物質よりなる陰極102、陰極102に対して高い電圧を持つ陽極105、陰極と陽極の間に形成される加速電界に磁界を重畳する磁界重畳レンズ104からなる。本実施の形態では、大きな電流が得やすく電子放出も安定したショットキー型の陰極を用いる。陰極102から放出された一次ビーム103は、磁界重畳レンズ(電磁レンズ)104による集束作用を受けながら陽極105の方向に加速される。
ここで、図2A〜図2Eを用いて、像面湾曲収差の補正の概要について説明する。図2A〜図2Dは、比較例となるレンズアレイを用いた場合の像面湾曲収差の一例を示す図であり、図2Eは、本実施の形態1によるレンズアレイを用いた場合の像面湾曲収差の一例を示す図である。これらの図では簡単のために、レンズアレイ像面(レンズアレイ結像面又はクロスオーバー像面)と試料の間に2つのレンズが図示されているが、これは必要最小限の構成を示したものであり、図1等のように、レンズアレイ像面と試料の間に3つ以上のレンズが設けられた場合であっても、同様の効果を得ることが出来る。
次に、図3A〜図3Cを用いて、本実施の形態1によるレンズアレイの構成例を説明する。図3Aのレンズアレイは4枚の電極よりなり、上流(電子銃側)より順に第一電極301、第二電極302、第三電極303、第四電極304を備える。それぞれの電極は複数の開口を有する。図3Aではビームの本数25本に対応して、25個の開口が形成されている。開口部の形状は円形であり、図中実線で示した25本のビーム軸が中心を貫くように各電極の開口が配置されている。第一電極301および第四電極304には共通の電圧(ここでは接地電圧(図1の電子線応用装置の筐体電圧))が印加され、第二電極302および第三電極303にはそれぞれ独立に電源が接続される。第二電極302の電圧はV1、第三電極303の電圧はV2である。ここではV1とV2は同一の極性を持つ。
次に、本実施の形態1における光学条件の設定手順について、図1の構成例および図6のフローチャート例を用いて説明する。ステップS601では、入力装置133を通してオペレータが計測条件を入力する。あるいは「高速モード」「高分解能モード」等のメニューの中から選択することにより、予め設定された計測条件の組み合わせを選択する。計測条件とは、例えば、試料に照射するビームの電流、入射エネルギー、試料表面付近の電界強度などである。
《レンズアレイの詳細(変形例[1])》
図8A〜図8Cは、本発明の実施の形態2による電子線応用装置において、そのレンズアレイの構成例を示す概略図である。図8Aに示すレンズアレイは、第一レンズアレイユニット801および第二レンズアレイユニット805の2ユニットより構成されている。第一レンズアレイユニット801は、3枚の電極よりなり、上流(電子銃側)より順に第一電極802、第二電極803、第三電極804を備える。それぞれの電極には25個の開口が形成されている。開口部の形状は円形であり、図中実線で示した25本のビーム軸が中心を貫くように各電極の開口が配置されている。第一電極802および第三電極804には共通の電圧(ここでは接地電圧)が接続され、第二電極803には電源より電圧V1が供給されている。
《レンズアレイの詳細(変形例[2])》
図9Aは、本発明の実施の形態3による電子線応用装置において、そのレンズアレイの構成例を示す概略図である。図9Aのレンズアレイは、5枚の電極よりなり、上流(電子銃側)より順に第一電極901、第二電極902、第三電極903、第四電極904、第五電極905を備える。図9Aのレンズアレイは、第三電極903を中心として上下対称に構成されており、第一電極901と第二電極902の間隔と、第四電極904と第五電極905の間隔は等しい。また、第二電極902と第三電極903の間隔と、第三電極903と第四電極904の間隔は等しい。それぞれの電極には、複数の円形開口(図9Aでは25個)が、図中実線で示した25本のビーム軸によって中心を貫かれるように配置されている。
《像面湾曲収差の補正方式の概要(応用例[1])》
前述した実施の形態1および2では、補正の対象である像面湾曲収差は静的、即ち時間的に一定であり、したがって補正のためにレンズアレイに印加する電圧も時間的に一定なDC電圧であった。本実施の形態4では、試料上でのビーム走査に伴う像面湾曲収差の変化の動的な補正を行う。ここでは実施の形態1と同様に、電子線応用装置として電子線測長装置を例に説明を行うが、試料上でのビーム走査範囲が広い電子線検査装置や電子線露光装置においても特に有効である。
図11A〜図11Cは、本発明の実施の形態4による電子線応用装置において、そのレンズアレイの構成例を示す概略図である。前述したような像面湾曲収差の動的な補正を実現するためには、図11A〜図11Cのごときレンズアレイの構成が望ましい。図11Aのレンズアレイは、実施の形態1のレンズアレイと同様、4枚の電極よりなり、上流(電子銃側)より順に第一電極1101、第二電極1102、第三電極1103、第四電極1104を備える。第一電極1101および第四電極1104には共通の電圧(ここでは接地電圧)が接続され、第二電極1102および第三電極1103にはそれぞれ独立に電源が接続されている。第二電極1102の電圧はV1、第三電極1103の電圧はV2である。
《像面湾曲収差の補正方式の概要(応用例[2])》
本実施の形態5では、前述したようなレンズアレイ像面(レンズアレイ結像面又はクロスオーバー像面)の曲率制御方式を反射型電子線描画装置へ応用した例について説明する。反射型電子線描画装置とは、画素ごとに反射/吸収を制御可能な反射鏡を用いて、描画するべきパターンに応じた形状の電子ビームを反射させ、これを縮小結像することで所望のパターンをウェハ上に描画する描画装置のことである。反射鏡には微小電極が配列され、各微小電極に印加する電圧の制御により画素ごとに反射/吸収を制御する。
Claims (14)
- 電子源と、
前記電子源から放出された電子を加速する電子銃と、
前記電子銃から射出された電子ビームの広がりを整える照射光学系と、
前記照射光学系により整えられた電子ビームを複数の電子ビームに分割するアパーチャーアレイと、
前記アパーチャーアレイにより分割された前記複数の電子ビームを個々に集束し複数のクロスオーバー像を形成するレンズアレイと、
前記レンズアレイが形成した前記複数のクロスオーバー像を試料上に投影する投影光学系と、
前記照射光学系または前記投影光学系のパラメータを変更する光学調整手段とを備え、
前記レンズアレイは、前記光学調整手段によるパラメータの変更に応じて、前記複数のクロスオーバー像によって形成されるクロスオーバー像面の形状を調整する像面調整手段を有し、
前記レンズアレイは、前記電子ビームの光路となる中心軸の延伸方向に向けて順に配置される4枚の電極を含み、
前記4枚の電極の中の2枚となる第1電極および第2電極には、第1電圧および第2電圧がそれぞれ独立に印加され、
前記4枚の電極のそれぞれには、前記複数の電子ビームを通過させるための複数の開口が形成され、
前記第1電極と前記第2電極のうち一方の電極に形成される前記複数の開口は、二種類以上の開口径を有し、他方の電極に形成される前記複数の開口は、一種類の開口径を有し、
前記像面調整手段は、前記第1電圧と前記第2電圧とによって、前記複数のクロスオーバー像のうち基準となる1個のクロスオーバー像の結像位置と、前記クロスオーバー像面の曲率を独立に制御する、
電子線応用装置。 - 請求項1記載の電子線応用装置において、
前記4枚の電極は、前記中心軸の延伸方向に向けて順に配置される上部電極、前記第1電極、前記第2電極、下部電極である電子線応用装置。 - 請求項1記載の電子線応用装置において、
前記像面調整手段は、前記クロスオーバー像面の曲率を、前記投影光学系により前記試料上に投影される結像面の曲率が最小となるように調整する電子線応用装置。 - 請求項3記載の電子線応用装置において、
前記像面調整手段は、さらに、前記レンズアレイの主面を所定の位置に保つ主面制御手段を有する電子線応用装置。 - 請求項4記載の電子線応用装置において、
前記レンズアレイは、前記中心軸の延伸方向に向けて順に配置される上部電極、前記第1電極、前記第2電極、第3電極、下部電極を備え、
前記第1および第3電極には、前記第1電圧が共通に印加され、
前記第2電極には、前記第2電圧が印加され、
前記上部電極、第1電極、第2電極、第3電極、下部電極のそれぞれには、前記複数の電子ビームを通過させるための複数の開口が形成され、
前記複数の電子ビームに対応する前記複数の開口の開口径は、前記第1電極と前記第3電極とで同一であり、
前記第2電極と前記第1および第3電極のうち、一方側の電極に形成される前記複数の開口は、二種類以上の開口径を有し、他方側の電極に形成される前記複数の開口は、一種類の開口径を有する電子線応用装置。 - 請求項2記載の電子線応用装置において、
前記上部電極および前記下部電極には、前記電子線応用装置の筐体電圧が共通に印加される電子線応用装置。 - 請求項2記載の電子線応用装置において、
前記電子線応用装置は、さらに、前記投影光学系が前記複数のクロスオーバー像を前記試料上に投影する際に前記試料上での偏向を行う偏向器を備え、
前記像面調整手段は、前記偏向器を制御する信号と同期して前記クロスオーバー像面の形状を調整する電子線応用装置。 - 請求項7記載の電子線応用装置において、
前記偏向器を制御する信号と同期して前記第1、第2電圧がそれぞれ独立に印加される電子線応用装置。 - 請求項1記載の電子線応用装置において、
前記光学調整手段が変更するパラメータは、前記電子銃の加速電圧、前記照射光学系または前記投影光学系の倍率、前記試料に入射する電子ビームのエネルギー、前記試料の表面付近の電界強度、前記試料上に投影される複数の電子ビームの間隔、前記試料上に入射する電子ビームの電流のうちいずれかである電子線応用装置。 - 電子ビームの光路となる中心軸の周りに配列された複数の電子ビームを個別の軸に集束させ、前記複数の電子ビームの結像面を形成するレンズアレイであって、
前記複数の電子ビームのうち基準となる一本の電子ビームの結像位置と、前記結像面の曲率を独立に制御する手段を有し、
前記レンズアレイは、前記中心軸の延伸方向に向けて順に配置される4枚の電極を含み、
前記4枚の電極のそれぞれには、前記複数の電子ビームを通過させるための複数の開口が形成され、
前記4枚の電極の中の2枚となる第1電極および第2電極には、第1電圧および第2電圧がそれぞれ独立に印加され、
前記第1電極と前記第2電極のうち一方の電極に形成される前記複数の開口は、二種類以上の開口径を有し、他方の電極に形成される前記複数の開口は、一種類の開口径を有する、
レンズアレイ。 - 請求項10記載のレンズアレイにおいて、
前記4枚の電極は、前記中心軸の延伸方向に向けて順に配置される上部電極、前記第1電極、前記第2電極、下部電極であるレンズアレイ。 - 請求項11記載のレンズアレイにおいて、
前記上部電極、第1電極、第2電極、下部電極は、各電極間に絶縁体を挟んで積層された薄板であるレンズアレイ。 - 請求項10記載のレンズアレイにおいて、さらに、
前記レンズアレイの主面を所定の位置に保つ手段を有するレンズアレイ。 - 請求項13記載のレンズアレイにおいて、
前記レンズアレイは、前記中心軸の延伸方向に向けて順に配置される上部電極、前記第1電極、前記第2電極、第3電極、下部電極を備え、
前記第1および第3電極には、前記第1電圧が共通に印加され、
前記第2電極には、前記第2電圧が印加され、
前記上部電極、第1電極、第2電極、第3電極、下部電極のそれぞれには、前記複数の電子ビームを通過させるための複数の開口が形成され、
前記複数の電子ビームに対応する前記複数の開口の開口径は、前記第1電極と前記第3電極とで同一であり、
前記第2電極と前記第1および第3電極のうち一方側の電極に形成される前記複数の開口は、二種類以上の開口径を有し、他方側の電極に形成される前記複数の開口は、一種類の開口径を有するレンズアレイ。
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