JP5885409B2 - 変位検出用スケールの目盛保護構造 - Google Patents
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Description
12…スケール基板
14…目盛部
16…カバーガラス
18…接着層(剤)
20…検出器
30…高さ規定部
32…接着層(剤)
Claims (4)
- スケール基板上に検出器との相対移動方向に沿って形成された目盛部が、その上面側に配されたカバーガラスで保護された変位検出用スケールの目盛保護構造において、
前記カバーガラスが、前記目盛部の周囲に配設された高さ規定部を介して、前記スケール基板上に支持され、
前記高さ規定部が、前記カバーガラスの下面に、前記目盛部の全周囲に対応するパターンで連続した同一厚さに予め成膜形成され、且つ、その下端が前記スケール基板の上面に当接され、
更に、前記スケール基板と前記カバーガラスとが、前記高さ規定部の周囲に配置した接着剤で接合されていることを特徴とする変位検出用スケールの目盛保護構造。 - 前記接着剤が、前記高さ規定部の全周囲に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の変位検出用スケールの目盛保護構造。
- 前記高さ規定部と前記目盛部が同種の金属で形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の変位検出用スケールの目盛保護構造。
- 前記高さ規定部が、クロム、銅又はアルミニウムからなる金属で形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の変位検出用スケールの目盛保護構造。
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