JP5880264B2 - 化合物半導体製造装置から排出される有機金属化合物の捕集装置 - Google Patents
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これに対して、液化して捕集する方法では、単に有機金属化合物がその活性を保ったまま液化したに過ぎないため、その後の操作を全て大気中にさらすことなく行わなければならず、操作そのものが煩雑となるという問題があった。
当該供給装置から供給される有機金属化合物を基板上に化合物半導体を堆積させる化合物半導体製造装置と、
当該製造装置から排出される未反応の有機金属化合物を捕集する捕集装置と、
未反応の金属化合物が捕集されたガスを大気中に放出するガス排出部
が順次接続された半導体製造装置において、
前記捕集装置が、その内部にアミン化合物を含み、かつ化合物半導体製造装置から排出されるガスがアミン化合物中を通過させる構造となっていることを特徴とする、化合物半導体製造装置から排出される有機金属化合物の捕集装置によって解決される。
当該供給装置から供給される有機金属化合物を基板上に化合物半導体を堆積させる化合物半導体製造装置と、
当該製造装置から排出される未反応の有機金属化合物を捕集する捕集装置と、
未反応の有機金属化合物が捕集された排ガスを大気中に放出するガス排出部
が順次接続された半導体製造装置において、
前記捕集装置が、その内部にアミン化合物を含み、かつ化合物半導体製造装置から排出されるガスがアミン化合物中を通過させる構造となっていることを特徴とする、化合物半導体製造装置から排出される有機金属化合物の捕集装置に係るものである。
本発明で使用される有機金属化合物供給装置とは、化合物半導体製造装置へ有機金属化合物を供給できるものならば特に限定されないが、具体的には、有機金属化合物を移送するためのキャリアーガス導入管、キャリアーガスと有機金属化合物とが同伴して化合物半導体製造装置へ供給されるための導出管とが備えられ、内部に有機金属化合物が充填されたものが挙げられる。
本発明で使用される化合物半導体製造装置とは、供給装置から供給される有機金属化合物を基板上に化合物半導体を堆積させることができるものならば特に限定されないが、具体的には、有機金属化合物供給装置からキャリアーガスと同伴される有機金属化合物が供給される供給管、化合物半導体を製造させるための成膜対象物(基板)、及び未反応の有機金属化合物やその分解物を導出する排出する配管を供えたものが挙げられる。
本発明の捕集装置とは、化合物半導体装置から排出される未反応の有機金属化合物を捕集する装置であり、具体的には、化合物半導体製造装置から排出される未反応有機金属化合物を含むガスを捕集装置に導入する導入管と、未反応の有機金属化合物が除去されたガスを導出される導出管とが備えられ、内部にアミン化合物が充填されたものが挙げられる。
本発明のガス排出部とは、未反応の金属化合物が捕集されたガスを大気中に放出する部位のことであり、その形状はガスを大気中に放出できるための十分な大きさと長さがあれば特に限定されず、半導体製造装置の設置場所やその周辺の環境により適宜調整できる。
本発明の半導体製造装置とは、前記の有機金属化合物供給装置、化合物半導体製造装置、捕集装置、及びガス排出部が順次接続されたものである。
有機金属化合物;トリメチルガリウム
アミン化合物;トリ(n−オクチル)アミン
アミノ基/ガリウム(モル比);1.20
圧力;常圧
温度;24→43℃(昇温)
捕集率;96.0%
有機金属化合物;トリメチルガリウム
アミン化合物;N,N,N’,N’−テトラブチル−1,6−ヘキサメチレンジアミン
アミノ基/ガリウム(モル比);1.36
圧力;常圧
温度;25→49℃(昇温)
捕集率;96.4%
有機金属化合物;トリメチルガリウム
アミン化合物;トリ(n−オクチル)アミン
アミノ基/ガリウム(モル比);0.50
圧力;常圧
温度;25→45℃(昇温)
捕集率;96.0%
有機金属化合物;トリメチルガリウム
アミン化合物;トリ(n−オクチル)アミン
アミノ基/ガリウム(モル比);1.0
圧力;67.6kPa
温度;27→55℃(昇温)
捕集率;94.2%
有機金属化合物;トリメチルガリウム
アミン化合物;トリ(n−オクチル)アミン
アミノ基/ガリウム(モル比);1.56
圧力;67.6kPa
温度;28→56℃(昇温)
捕集率;98.6%
有機金属化合物;トリメチルアルミニウム
アミン化合物;トリ(n−オクチル)アミン
アミノ基/ガリウム(モル比);1.05
圧力;133.3kPa
温度;26→35℃(昇温)
捕集率;52.5%
有機金属化合物;トリメチルアルミニウム
アミン化合物;N,N,N’,N’−テトラブチル−1,6−ヘキサメチレンジアミン
アミノ基/ガリウム(モル比);1.5
圧力;133.3kPa
温度;24→34℃(昇温)
捕集率;48.4%
有機金属化合物;トリメチルアルミニウム
アミン化合物;トリ(n−オクチル)アミン
アミノ基/ガリウム(モル比);1.55
圧力;133.3kPa
温度;28→34℃(昇温)
捕集率;66.7%
有機金属化合物;トリメチルアルミニウム
アミン化合物;トリ(n−オクチル)アミン
アミノ基/ガリウム(モル比);4.6
圧力;133.3kPa
温度;24→29℃(昇温)
捕集率;86.2%
有機金属化合物;トリメチルアルミニウム
アミン化合物;トリ(n−オクチル)アミン
アミノ基/ガリウム(モル比);5.3
圧力;常圧
温度;28℃(昇温)
捕集率;99.5%
有機金属化合物;ジエチル亜鉛
アミン化合物;トリ(n−オクチル)アミン
アミノ基/ガリウム(モル比);3.2
圧力;常圧
温度;28℃(昇温)
捕集率;93.5%
2 有機金属化合物
3 アミン化合物
Claims (6)
- 有機金属化合物供給装置と、
前記有機金属化合物供給装置から有機金属化合物が供給され、基板上に化合物半導体を堆積させる化合物半導体製造装置と、
当該製造装置から排出される未反応の有機金属化合物を捕集する捕集装置と、
未反応の金属化合物が捕集されたガスを大気中に放出するガス排出部と、
が順次接続された半導体製造装置の前記捕集装置であって、
内部にアミン化合物を含み、かつ前記化合物半導体製造装置から排出されるガスがアミン化合物中を通過する構造となっており、
前記化合物半導体製造装置から排ガスを導入する導入管が、アミン化合物の液面下に設置され、未反応の有機金属化合物が除去されたガスを導出する導出管がアミン化合物の液面上に設置されている、化合物半導体製造装置から排出される有機金属化合物の捕集装置。 - 有機金属化合物が、有機ガリウム化合物、有機インジウム化合物、有機アルミニウム化合物、有機亜鉛化合物又は有機マグネシウム化合物である請求項1記載の捕集装置。
- アミン化合物が、トリオクチルアミン又はN,N,N’,N’−テトラブチル−1,6−ヘキサメチレンジアミン、もしくはそれらの混合物である請求項1記載の捕集装置。
- アミン化合物の使用量が、前記化合物半導体製造装置から排出されるガス中の有機金属化合物1モルに対して、アミノ基換算で1モル以上である請求項1記載の捕集装置。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の装置を使用して前記化合物半導体製造装置から排出される排ガスから有機金属化合物を捕集する方法。
- 請求項5に記載の有機金属化合物を捕集する方法により捕集された捕集液から有機金属化合物を取得する、有機金属化合物の回収方法。
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