JP5877505B2 - 表面特性検査装置、表面特性検査システム及び表面特性検査方法 - Google Patents
表面特性検査装置、表面特性検査システム及び表面特性検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5877505B2 JP5877505B2 JP2014541473A JP2014541473A JP5877505B2 JP 5877505 B2 JP5877505 B2 JP 5877505B2 JP 2014541473 A JP2014541473 A JP 2014541473A JP 2014541473 A JP2014541473 A JP 2014541473A JP 5877505 B2 JP5877505 B2 JP 5877505B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- subject
- detector
- inspection
- surface treatment
- coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 269
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 59
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims description 118
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 75
- 238000005480 shot peening Methods 0.000 claims description 66
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 62
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 55
- 238000011282 treatment Methods 0.000 claims description 20
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 19
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 17
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 17
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 16
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 claims description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 9
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 claims description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 37
- 239000013074 reference sample Substances 0.000 description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 5
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 4
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 239000002335 surface treatment layer Substances 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000012854 evaluation process Methods 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
- G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
- G01N27/90—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
- G01N27/9046—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents by analysing electrical signals
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D11/00—Process control or regulation for heat treatments
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D7/00—Modifying the physical properties of iron or steel by deformation
- C21D7/02—Modifying the physical properties of iron or steel by deformation by cold working
- C21D7/04—Modifying the physical properties of iron or steel by deformation by cold working of the surface
- C21D7/06—Modifying the physical properties of iron or steel by deformation by cold working of the surface by shot-peening or the like
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
- G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
- G01N27/90—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
- G01N27/9006—Details, e.g. in the structure or functioning of sensors
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Description
従来、これら製品の表面処理後の残留応力、硬度などの表面特性の評価は、抜き取りの破壊検査により行われていた。そのため、製品を全て直接検査できないという問題、破壊検査であるため検査された製品が使えなくなるという問題などがあった。
そこで、製品の表面特性を非破壊で検査できる装置の開発の要請が高まっている。このような装置として、例えば、特許文献1には、ショットピーニング処理面上方に配置されるコイルを備えた検査回路に周波数を変化させながら交流信号を入力して、検査回路におけるインピーダンスの周波数応答特性を用いて検査対象における残留応力の発生状態を検査するショットピーニング処理面の非破壊検査装置が開示されている。
ショットピーニング装置の前に検査装置を配置する必要がなくライン外の場所にて検査を行うこともアウトライン検査である。
図1Aに示すように、本発明の実施形態による表面特性検査装置1は、交流電源10、交流ブリッジ回路20及び評価装置30を備えている。
さらに、ワークであるギヤGを囲み、より多くの渦電流変化を取り込むことが可能になるため、検査環境の温度変化の影響を少なくすることができる。
次に、非平衡状態に調整された交流ブリッジ回路20からの出力について、図2の等価回路を参照して説明する。基準検出器22には基準出力を出力するための、例えば、表面処理状態が良好であると保証されている基準検体Sが近接され、検査検出器23には表面処理状態の良否を判定すべき被検体Mが近接されている。なお、後述するように、基準検出器22に基準検体Sを近接させない、すなわち基準検体Sを用いずに表面特性を検査することもできる。以下に、基準検体Sを用いる場合の出力について説明するが、基準検体Sを用いない場合には、後述のiαが0になることを除いて同様であるので説明は省略する。なお、後述する表面特性検査方法では、基準検体Sを用いない場合について説明している。
次に、表面特性検査装置1による被検体の表面特性検査方法について図3を参照して説明する。
続いて、Ef1とEf2との比較を行い、Ef2>Ef1であれば、周波数f2よりも所定の値高い周波数f3になるように制御信号を出力し、周波数f3における増幅器31からの出力電圧Ef3が周波数調整器35に入力され、記憶される。そして、Ef2とEf3との比較を行う。これを繰り返し、Efn+1<Efnとなったときの周波数fn、つまり出力が最大となる周波数fnを、しきい値設定工程S4及び交流供給工程S5で用いる周波数として設定する。これにより、表面処理状態、形状などが異なりインピーダンスが異なる被検体Mに対応して交流ブリッジ回路20からの出力を大きくする周波数を一度の操作により設定することができる。最適な周波数は、被検体の材料、形状、表面処理状態により、変化することとなるが、これがあらかじめわかっている場合、周波数の設定は不要である。これにより、表面処理状態の変化に出力が敏感に対応し、検査の感度を向上させることができる。
ここで、周波数設定工程S3は、可変抵抗設定工程S2よりも先に実施することもできる。また、基準検体Sを用いると、最適な周波数を選定して、被検体M本来の特性を少しでも大きく抽出することができるが、基準検体Sに代えて参照検体を用いて周波数を設定することもできる。
不良しきい値を設定した場合には、LPF33からの出力値(測定値)と、正常しきい値及び不良しきい値と、を比較することにより行われる。
次に、表面特性検査装置1を含み、表面処理としてショットピーニング処理を行うショットピーニング装置による表面処理工程におけるインラインまたはアウトラインで被検体の表面特性を評価する表面特性評価システムについて説明する。図4A〜4D、図5A〜5Dに示すように、表面特性評価システム100は、被検体Mの表面処理を行う表面処理装置110、シリンダからなる第1搬送機構120、搬送アームからなる第2搬送機構121、コンベアからなる第3搬送機構122、シリンダからなる検査検出器搬送機構123を備えている。なお、図4A〜4D、図5A〜5Dでは、平面図と側面図を上下に並べて示す。図4A、4B及び図5Dの平面図においては、検査検出器23の図示を省略する。また、検査検出器23は表面特性検査装置1に含まれるが、図4A〜4D、図5A〜5Dにおいては説明のため別に表記している。本実施形態では、表面処理としてギヤGの歯車部のショットピーニング処理を行う。ここで、表面特性評価システム100は、請求項4に示す表面特性検査装置を含んだ請求項9、10に示す構成である。なお、本実施形態では、第1搬送機構120は表面特性検査装置1に備えられているが、表面特性評価システム100に設けられている構成も採用することができる。
図8A、8Bに示すように、表面特性評価システム200は、表面処理装置110の処理室114内に検査検出器23を内蔵している。なお、図8A、8Bでは第1実施形態の第2搬送機構121、第3搬送機構122などの表面処理装置110への被検体Mの搬送機構の図示を省略している。
内周面に歯車部を有する部材を検査する場合には、検査検出器23はコイル23bが内周面に対向して配置できるように部材に挿通可能な形状とすればよい。
本発明の表面特性検査装置1及び表面特性検査方法によれば、検査検出器23のコイル23bにより被検体Mに渦電流を励起し、交流ブリッジ回路10から出力された出力信号に基づいて被検体Mの表面特性を評価することができる。これにより、簡単な回路構成で高精度の表面状態の検査が可能である。また、被検体Mに渦電流を励起して表面特性を検査する方式を採用するため、検査環境の温度変化の影響を小さくすることができる。また、磁気を安定して被検体に供給することができるとともに、被検体の表面特性検査領域を一度に検査することができる。また、渦電流を分散して被検体表面の発熱を抑制することができるので、被検体Mの温度変化を小さくすることができ、より精度の高い検査が可能となる。
また、本発明の表面特性検査システムによれば、被検体Mの正確な位置決めを行い、搬送する機構を備えているため、表面処理工程におけるインラインでの検査が可能となる。
表面処理装置110に、表面特性検査装置1をパッケージ化して顧客に提供できるので、表面処理装置110の価値を高め、顧客満足度を高めることができる。
図10Cに示すように、従来の表面特性検査方法では、出力変動が大きく、カバレージが異なることによる表面特性の差異を検出することができない。つまり、温度変化の激しいインライン環境下に適用することは困難である。一方、本発明の表面特性検査方法では、図10Bに示すように、温度変動による出力変動は極めて小さく、表面特性の差異を精度よく検出できていることがわかる。
以上より、本発明の表面特性検査方法は検査環境の温度変化の影響を受けにくく、インライン検査に好適に用いることができることが確認された。
10…交流電源
20…交流ブリッジ回路
21…可変抵抗
22…基準検出器
22a…強磁性体コア
22b…コイル
23…検査検出器
23a…コア
23b…コイル
23c…磁気シールド
24…回路基板
30…評価装置
31…増幅器
32…絶対値回路
33…LPF
34…位相比較器
35…周波数調整器
36…判断手段
37…表示手段
38…温度測定手段
100…表面特性評価システム
110…表面処理装置
111…噴射ノズル
112…供給装置
113…分離装置
114…処理室
115…保持部
115a…ステージ
115b…ワーク押さえ
116…回転装置
117…シリンダ
118…検出器防護パネル
118a…固定パネル
118b…可動パネル
119…シリンダ
120…第1搬送機構
120a…位置決め部
121…第2搬送機構
122…第3搬送機構
122a…ストッパ
123…検査検出器搬送機構
200…表面特性評価システム、
Aa…検査済みエリア
Ab…ショットピーニング処理前エリア
G…ギヤ
M…被検体
T1…第1待機位置
T2…第2待機位置
Ts…評価位置
Claims (16)
- ショットピーニング処理、熱処理、又は窒化処理が施された被検体の表面の処理状態を検査するための表面特性検査装置であって、
交流ブリッジ回路と、
前記交流ブリッジ回路に交流電力を供給する交流電源と、
前記交流ブリッジ回路からの出力信号に基づいて、被検体の表面特性を評価する評価装置と、を備え、
前記交流ブリッジ回路は、第1の抵抗と第2の抵抗とに分配比が可変に構成された可変抵抗と、交流磁界を作用させ、前記被検体に渦電流を励起するコイルを備えた検査検出器と、前記検査検出器からの出力と比較する基準となる基準状態を検出する基準検出器とを有し、前記第1の抵抗、前記第2の抵抗、前記基準検出器及び前記検査検出器はブリッジ回路を構成し、
前記評価装置は、前記交流ブリッジ回路に交流電力が供給され、前記検査検出器が前記被検体の電磁気特性を検出し、前記基準検出器が基準状態を検出している状態における前記交流ブリッジ回路からの出力信号に基づいて、前記被検体の表面特性を評価し、
前記コイルは、1つの被検体の表面の処理状態を検査すべき表面特性検査領域全体を囲むように巻回されており、前記コイルに交流電力を供給することにより前記表面特性検査領域に渦電流が励起されると共に、前記評価装置は、被検体及び前記コイルが静置された状態で、交流電力が供給されている前記コイルから前記出力信号を取得し、取得した出力信号を所定のしきい値と比較することにより、1つの被検体の表面の処理状態を1回の測定で評価することを特徴とする表面特性検査装置。 - 前記表面特性検査装置は、前記表面処理としてショットピーニング処理を行う表面処理装置に組み込まれる表面特性検査装置であり、
前記被検体または前記検査検出器を搬送して移動させることで、前記被検体を前記検査検出器の前記コイルの内側である評価位置に位置させる移動機構を備えることを特徴とする請求項1に記載の表面特性検査装置。 - さらに、前記被検体を上下に駆動可能とされ、前記検査検出器の前記コイルの内側に位置する評価位置と該評価位置の上方側及び下方側の一方又は両方の位置とに前記被検体を搬送する第1の搬送機構と、
前記被検体の水平面内での位置を位置決めする位置決め部と、を備え、
前記表面処理としてショットピーニング処理を行うショットピーニング装置による表面処理工程におけるインラインまたはアウトラインで被検体の表面特性を評価することを特徴とする請求項1に記載の表面特性検査装置。 - 前記検査検出器は、歯車部を備えた被検体に渦電流を励起するように構成されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の表面特性検査装置。
- 前記検査検出器は、さらに、前記コイルの外側に、被検体を囲むように配置され、外部磁気を遮蔽する磁気シールドを備えたことを特徴とする請求項4に記載の表面特性検査装置。
- さらに、前記被検体の表面の温度を検出する温度測定手段が設けられ、
前記評価装置は、前記温度測定手段で検出された温度が所定範囲内である場合に、前記被検体の表面処理状態の良否を判断し、前記温度測定手段で検出された温度が所定範囲外である場合に、前記被検体の表面処理状態の良否の判断を行わないことを特徴とする請求項5に記載の表面特性検査装置。 - 請求項2に記載の表面特性検査装置と、前記被検体を位置決めされた状態で保持する保持部と、を備え、前記表面処理としてショットピーニング処理を行う表面処理装置であって、
前記表面特性検査装置は、前記ショットピーニング処理の前後または前記ショットピーニング処理の後に、前記保持部で保持された前記被検体または前記検査検出器を搬送して移動させることで、前記保持部で保持された前記被検体を前記検査検出器の前記コイルの内側である評価位置に位置させ、前記被検体の表面特性を検査することを特徴とする表面処理装置。 - 請求項3に記載の表面特性検査装置と、
前記表面処理としてショットピーニング処理を行う表面処理装置と、
前記第1の搬送機構により第1待機位置に移動された前記被検体を水平方向または水平方向に対して傾斜した方向に搬送するとともに、前記被検体を前記表面処理装置の所定位置まで搬送する第2の搬送機構と、
前記被検体を水平方向または水平方向に対して傾斜した方向に搬送可能とされ、ショットピーニング処理前エリアから第2待機位置を経由してショットピーニング処理及び検査済みエリアに搬送する第3の搬送機構とを備え、
前記第1待機位置は、前記評価位置に対して上方側または下方側の位置、且つ前記表面処理装置に対向する位置であり、
前記第2待機位置は、前記評価位置または前記評価位置に対して上方側若しくは下方側の位置であり、
前記第3の搬送機構は、前記ショットピーニング処理前エリアから前記被検体を第2待機位置まで搬送し、
前記第2待機位置まで搬送された前記被検体または前記検査検出器は、少なくともいずれか一方が移動されることにより、前記被検体が前記検査検出器の評価位置に位置させられ、
前記第3の搬送機構は、前記第1の搬送機構により前記第2待機位置に移動された前記被検体を前記ショットピーニング処理及び検査済みエリアに搬送することを特徴とする表面処理システム。 - さらに、前記検査検出器を上下方向に移動させる検査検出器搬送機構を備え、
前記第2待機位置は、前記評価位置であり、
前記第2待機位置まで前記被検体が搬送された際に、前記検査検出器が前記検査検出器搬送機構により上下方向に移動されることで、前記被検体が前記検査検出器の評価位置に位置させられることを特徴とする請求項8に記載の表面処理システム。 - 前記第2待機位置は、前記評価位置に対して上方側若しくは下方側の位置であり、
前記第2待機位置まで搬送された前記被検体は、前記第1搬送機構により上下方向に移動されることで、前記検査検出器の評価位置に位置させられることを特徴とする請求項8に記載の表面処理システム。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか1つに記載の表面特性検査装置を用意し、
前記交流電源から前記交流ブリッジ回路に交流電力が供給された状態で、前記検査検出器を被検体に渦電流が励起されるように配置する配置工程と、
前記交流ブリッジ回路から出力された出力信号に基づいて、被検体の表面特性を評価する評価工程と、を備えた表面特性検査方法。 - 前記基準検出器において基準状態を検出するために、基準出力を出力するための基準検体を用意し、測定することを特徴とする請求項11に記載の表面特性検査方法。
- 前記基準検出器において基準状態を検出するために、基準出力を出力するための基準検体を用いないことを特徴とする請求項11に記載の表面特性検査方法。
- 被検体の表面特性を表面処理の前後でそれぞれ測定し、それぞれの測定値を比較することにより被検体の表面処理状態の良否を判断することを特徴とする請求項13に記載の表面特性検査方法。
- 前記基準検出器は、コイルと、このコイルの内側に配置され、前記コイルに交流電力を供給することにより渦電流が励起される強磁性体コアと、を有することを特徴とする請求項1に記載の表面特性検査装置。
- 前記交流ブリッジ回路は回路基板を備え、この回路基板上に、前記可変抵抗、及び前記基準検出器が配置されていることを特徴とする請求項15に記載の表面特性検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014541473A JP5877505B2 (ja) | 2013-05-30 | 2014-02-14 | 表面特性検査装置、表面特性検査システム及び表面特性検査方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013113694 | 2013-05-30 | ||
JP2013113694 | 2013-05-30 | ||
PCT/JP2014/054100 WO2014192335A1 (en) | 2013-05-30 | 2014-02-14 | Surface property inspection apparatus, surface property inspection system, and surface property inspection method |
JP2014541473A JP5877505B2 (ja) | 2013-05-30 | 2014-02-14 | 表面特性検査装置、表面特性検査システム及び表面特性検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015525336A JP2015525336A (ja) | 2015-09-03 |
JP5877505B2 true JP5877505B2 (ja) | 2016-03-08 |
Family
ID=50236239
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014541473A Active JP5877505B2 (ja) | 2013-05-30 | 2014-02-14 | 表面特性検査装置、表面特性検査システム及び表面特性検査方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9638668B2 (ja) |
JP (1) | JP5877505B2 (ja) |
CN (1) | CN105074450A (ja) |
DE (1) | DE112014002603T5 (ja) |
WO (1) | WO2014192335A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019003647A1 (ja) | 2017-06-30 | 2019-01-03 | 新東工業株式会社 | ショット処理装置 |
US20200182814A1 (en) * | 2017-07-10 | 2020-06-11 | Sintokogio, Ltd. | Surface property inspection method, surface property inspection apparatus, and surface property inspection system |
JP2021035712A (ja) * | 2019-08-30 | 2021-03-04 | 新東工業株式会社 | ショット処理装置及びショット処理方法 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6052713B2 (ja) * | 2014-01-20 | 2016-12-27 | 新東工業株式会社 | 表面特性検査方法 |
EP3299805A4 (en) * | 2015-06-25 | 2018-12-26 | Sintokogio, Ltd. | Surface characteristic evaluation apparatus and surface characteristic evaluation method for steel material |
FR3043194B1 (fr) | 2015-11-02 | 2019-04-19 | Mesure-Systems3D | Dispositif de controle tridimensionnel sans contact de pale pour turbomachine, en particulier pour reacteur ou turbine d’aeronef |
FR3043193B1 (fr) * | 2015-11-02 | 2019-04-19 | Mesure-Systems3D | Dispositif de controle tridimensionnel sans contact d’une piece mecanique a denture |
JP6756366B2 (ja) * | 2016-05-16 | 2020-09-16 | 新東工業株式会社 | 表面処理加工方法及び表面処理加工装置 |
JP6880538B2 (ja) * | 2016-10-06 | 2021-06-02 | 新東工業株式会社 | 表面特性検査方法及び表面特性検査装置 |
JP6984655B2 (ja) | 2017-05-16 | 2021-12-22 | 新東工業株式会社 | 表面処理加工方法及び表面処理加工装置 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3020745A (en) * | 1958-11-13 | 1962-02-13 | Smith Corp A O | Method of flaw detection in a metal member |
JPH0641938B2 (ja) * | 1985-12-16 | 1994-06-01 | 株式会社日立製作所 | ジルコニウム合金材の非破壊測定方法 |
JPH0660888B2 (ja) * | 1985-12-20 | 1994-08-10 | 住友金属工業株式会社 | ステンレス鋼材のシグマ相検査方法 |
JPH0466863A (ja) * | 1990-07-09 | 1992-03-03 | Toyota Motor Corp | 鋼材の加工による残留応力の測定方法 |
JPH04296649A (ja) * | 1991-03-26 | 1992-10-21 | Daido Steel Co Ltd | 導電性部品の疵検出装置 |
JP2929402B2 (ja) * | 1992-07-10 | 1999-08-03 | 日石三菱株式会社 | 炭素繊維強化管状複合材の検査方法及び装置 |
US5485084A (en) * | 1993-05-10 | 1996-01-16 | The Boeing Company | Apparatus and method for detecting structural cracks using a movable detector |
JPH0792140A (ja) * | 1993-09-27 | 1995-04-07 | Toyota Motor Corp | 鋼材の疲労強度の評価方法 |
JPH11337656A (ja) * | 1998-05-25 | 1999-12-10 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 金属検知方法及び金属検知装置 |
US20030210041A1 (en) * | 2000-04-07 | 2003-11-13 | Le Cuong Duy | Eddy current measuring system for monitoring and controlling a chemical vapor deposition (CVD) process |
JP2001318080A (ja) * | 2000-05-09 | 2001-11-16 | Kaisei Engineer Kk | 検出コイルとこの検出コイルを用いた検査装置 |
DE112006002338T5 (de) * | 2005-09-02 | 2008-07-17 | Dynamic Controls Ltd., Riccarton | Winkelpositionserkennungsvorrichtung |
JP4161078B2 (ja) * | 2005-11-22 | 2008-10-08 | 三菱電機株式会社 | 熱式流量センサ |
JP5004519B2 (ja) | 2006-06-22 | 2012-08-22 | 株式会社不二製作所 | ショットピーニング処理面の非破壊検査方法及び装置 |
JP2009168556A (ja) * | 2008-01-15 | 2009-07-30 | Meiwa E Tec:Kk | 焼入れ検査装置および焼入れ検査方法 |
JP2009236762A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Honda Motor Co Ltd | 渦電流磁界変化検出装置及び歯車強度評価法 |
WO2010009761A1 (en) * | 2008-07-22 | 2010-01-28 | Abb Research Ltd | Magnetoresistive sensor arrangement for current measurement |
JP2010230350A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Honda Motor Co Ltd | ワーク硬度計測装置 |
JP4775525B2 (ja) * | 2009-09-30 | 2011-09-21 | 新東工業株式会社 | 鋼材製品のショットピーニング処理法 |
TWI530679B (zh) * | 2011-05-10 | 2016-04-21 | 新東工業股份有限公司 | 表面特性檢查裝置及表面特性檢查方法 |
JP5866890B2 (ja) * | 2011-09-06 | 2016-02-24 | 株式会社ジェイテクト | 渦電流検出方法および渦電流検出装置 |
-
2014
- 2014-02-14 JP JP2014541473A patent/JP5877505B2/ja active Active
- 2014-02-14 WO PCT/JP2014/054100 patent/WO2014192335A1/en active Application Filing
- 2014-02-14 DE DE112014002603.4T patent/DE112014002603T5/de active Pending
- 2014-02-14 CN CN201480010057.8A patent/CN105074450A/zh active Pending
-
2015
- 2015-05-08 US US14/707,600 patent/US9638668B2/en active Active
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019003647A1 (ja) | 2017-06-30 | 2019-01-03 | 新東工業株式会社 | ショット処理装置 |
KR20200024131A (ko) | 2017-06-30 | 2020-03-06 | 신토고교 가부시키가이샤 | 쇼트 처리 장치 |
US11161220B2 (en) | 2017-06-30 | 2021-11-02 | Sintokogio, Ltd. | Shot treatment device |
US20200182814A1 (en) * | 2017-07-10 | 2020-06-11 | Sintokogio, Ltd. | Surface property inspection method, surface property inspection apparatus, and surface property inspection system |
US11442033B2 (en) * | 2017-07-10 | 2022-09-13 | Sintokogio, Ltd. | Surface property inspection method, surface property inspection apparatus, and surface property inspection system |
JP2021035712A (ja) * | 2019-08-30 | 2021-03-04 | 新東工業株式会社 | ショット処理装置及びショット処理方法 |
JP7238702B2 (ja) | 2019-08-30 | 2023-03-14 | 新東工業株式会社 | ショット処理装置及びショット処理方法 |
US11780053B2 (en) | 2019-08-30 | 2023-10-10 | Sintokogio, Ltd. | Shot processing apparatus and shot processing method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2014192335A1 (en) | 2014-12-04 |
US20150241391A1 (en) | 2015-08-27 |
DE112014002603T5 (de) | 2016-04-07 |
CN105074450A (zh) | 2015-11-18 |
US9638668B2 (en) | 2017-05-02 |
JP2015525336A (ja) | 2015-09-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5877505B2 (ja) | 表面特性検査装置、表面特性検査システム及び表面特性検査方法 | |
JP6421808B2 (ja) | 表面特性検査装置及び表面特性検査方法 | |
EP2707705B1 (en) | Surface property inspection device and surface property inspection method | |
JP6181851B2 (ja) | 表面特性検査方法及び表面特性検査装置 | |
JP6176596B2 (ja) | 表面特性検査選別装置、表面特性検査選別システム及び表面特性検査選別方法 | |
CN107923878B (zh) | 钢材产品的表面特性检查方法和表面特性检查装置 | |
JP6880538B2 (ja) | 表面特性検査方法及び表面特性検査装置 | |
WO2015098234A1 (ja) | 表面特性検査選別装置、表面特性検査選別システム及び表面特性検査選別方法 | |
US9310337B2 (en) | Non-destructive inspection device for pressure containers using leakage-flux measurement |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150708 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141020 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140925 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20140925 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150824 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151118 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20151126 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160104 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5877505 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160117 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |