JP5875330B2

JP5875330B2 - Cutting equipment

Info

Publication number: JP5875330B2
Application number: JP2011243509A
Authority: JP
Inventors: 俊一郎廣沢
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2011-11-07
Filing date: 2011-11-07
Publication date: 2016-03-02
Anticipated expiration: 2031-11-07
Also published as: JP2013099799A

Description

本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットとを備えた切削装置に関する。 The present invention relates to a cutting apparatus including a chuck table that holds a workpiece such as a semiconductor wafer, and a cutting unit that cuts the workpiece held on the chuck table.

半導体ウエーハを個々のデバイスに分割する切削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハの分割予定ラインを切削する切削ブレードを回転可能に支持した切削ユニットとを具備しており、ウエーハを高精度に個々のデバイスに分割することができる。 A cutting apparatus that divides a semiconductor wafer into individual devices includes a chuck table that holds the wafer, and a cutting unit that rotatably supports a cutting blade that cuts a division line of the wafer held on the chuck table. Thus, the wafer can be divided into individual devices with high accuracy.

切削ユニットは、スピンドルハウジング中に回転可能に収容されたスピンドルと、スピンドルを駆動するモータと、スピンドルの先端に着脱可能に装着される切削ブレードと、切削ブレードを挟持してスピンドルに固定するマウントとから構成される。 The cutting unit includes a spindle that is rotatably accommodated in a spindle housing, a motor that drives the spindle, a cutting blade that is detachably attached to the tip of the spindle, and a mount that holds the cutting blade and is fixed to the spindle. Consists of

最近の切削装置では、スピンドルが４００００ｒｐｍ〜６００００ｒｐｍ等の非常に高速で回転される。切削加工を継続すると切削ブレードが磨耗するか或いは破損して、新たな切削ブレードに交換する必要が生じる。この交換作業等のメンテナンスの際には、オペレータは切削ブレードが固定されたスピンドルの周辺に手を伸ばして作業を行う必要がある。 In recent cutting apparatuses, the spindle is rotated at a very high speed such as 40000 rpm to 60000 rpm. If the cutting process is continued, the cutting blade is worn or damaged, and a new cutting blade needs to be replaced. When performing maintenance such as replacement work, the operator needs to reach out to the periphery of the spindle to which the cutting blade is fixed.

このようなメンテナンス作業が行われる際には、通常は、切削装置に備えられた安全装置が作動するため、オペレータが切削ブレード等の周辺に手を伸ばす際に、スピンドルが停止状態とされることでオペレータの安全が確保されることになる。 When such maintenance work is performed, the safety device provided in the cutting device normally operates, so that the spindle is stopped when the operator reaches for the periphery of the cutting blade or the like. Thus, the safety of the operator is ensured.

特開２００８−２４８６１８号公報JP 2008-248618 A

しかしながら、装置メーカーのメンテナンス担当者等が安全装置を何らかの理由により意図的に解除して、メンテナンスを行う場面が生じることが想定される。この際、スピンドル及びスピンドルに装着された切削ブレードが回転しているような場合には、メンテナンス担当者やオペレータが切削ブレード等の周辺に手を伸ばすことは避けなければならない。 However, it is assumed that a maintenance person or the like of the device manufacturer intentionally releases the safety device for some reason and performs maintenance. At this time, when the spindle and the cutting blade mounted on the spindle are rotating, it is necessary to avoid that the maintenance staff and the operator reach out to the periphery of the cutting blade or the like.

ところが、スピンドルや切削ブレードが回転しているか否かについては、従来の構成では一見して判断することが困難なものであったため、メンテナンス担当者やオペレータが誤って回転しているスピンドルや切削ブレードに接触して怪我をする恐れがあった。 However, since it was difficult to determine at a glance whether the spindle or cutting blade is rotating in the conventional configuration, the spindle or cutting blade that is incorrectly rotated by a maintenance person or operator There was a risk of injury from touching.

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、スピンドルが回転中であることを目視で容易に認識できる切削装置を提供することである。 The present invention has been made in view of these points, and an object of the present invention is to provide a cutting device that can easily recognize visually that the spindle is rotating.

本発明によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段とを備えた切削装置であって、該切削手段は、モータにより回転駆動されるスピンドルと、該スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードと、該切削ブレードを挟持して該スピンドルに固定するマウントと、を具備し、該マウントは、該スピンドルの先端部に取り付けられると共に該切削ブレードが装着される後ろマウントを含み、該後ろマウントと該切削ブレードとの双方に、該スピンドルの回転中と停止中とで模様が変わることで該スピンドルの回転を認識させる認識マークが形成されていることを特徴とする切削装置が提供される。 According to the present invention, there is provided a cutting apparatus comprising a chuck table for holding a workpiece and a cutting means for cutting the workpiece held on the chuck table, wherein the cutting means is rotationally driven by a motor. a spindle that, a spindle housing for rotatably supporting the spindle, and mount the switching cutting blade you cut the workpiece held on the chuck table, by holding the said cutting blade is fixed to the spindle, comprising a, said mount comprises a back mount the cutting blades with attached to the distal end of the spindle is attached, to both the said rear mount and the cutting blade, and stopped and during rotation of the spindle A cutting device is provided, in which a recognition mark for recognizing the rotation of the spindle is formed by changing the pattern.

本発明の切削装置によると、スピンドルが回転中と停止中とで模様が変わる認識マークがマウントと切削ブレードの少なくとも何れか一方に形成されているため、メンテナンス担当者又はオペレータはスピンドルの回転を目視で容易に認識できるため、メンテナンス担当者やオペレータが誤って回転中のスピンドルや切削ブレードで接触して怪我をする恐れを防止できる。 According to the cutting apparatus of the present invention, since the recognition mark that changes the pattern depending on whether the spindle is rotating or stopped is formed on at least one of the mount and the cutting blade, the maintenance person or the operator visually observes the rotation of the spindle. Therefore, it is possible to prevent a person in charge of maintenance and an operator from accidentally coming into contact with the rotating spindle or cutting blade and causing injury.

切削装置の全体構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the whole structure of a cutting device. ハブブレードを有する切削ユニットの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the cutting unit which has a hub blade. ワッシャーブレードを有する切削ユニットの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the cutting unit which has a washer blade. ワッシャーブレードが装着されたスピンドル先端部分の側面図である。It is a side view of the spindle front-end | tip part with which the washer blade was mounted | worn. 図５（Ａ）は円形基台に認識マークを有するスピンドル停止中のハブブレードカバー（切削ブレード）の正面図、図５（Ｂ）はスピンドル回転中の切削ブレードの正面図である。FIG. 5A is a front view of a hub blade cover (cutting blade) while the spindle is stopped having a recognition mark on a circular base, and FIG. 5B is a front view of the cutting blade during spindle rotation.

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、半導体ウエーハ等のウエーハをダイシングして個々のチップ（デバイス）に分割することのできる本発明実施形態に係る切削装置２の斜視図が示されている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Referring to FIG. 1, there is shown a perspective view of a cutting apparatus 2 according to an embodiment of the present invention, which can divide a wafer such as a semiconductor wafer into individual chips (devices).

切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作パネル４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像ユニットによって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示モニタ６が設けられている。 On the front side of the cutting apparatus 2, an operation panel 4 is provided for an operator to input instructions to the apparatus such as machining conditions. In the upper part of the apparatus, a display monitor 6 such as a CRT on which a guidance screen for an operator and an image captured by an imaging unit described later are displayed is provided.

ウエーハＷは粘着テープであるダイシングテープＴに貼着され、ダイシングテープＴの外周縁部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、ウエーハＷはダイシングテープＴを介してフレームＦに支持された状態となり、図１に示したウエーハカセット８中にウエーハが複数枚（例えば２５枚）収容される。ウエーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。 The wafer W is attached to a dicing tape T that is an adhesive tape, and the outer peripheral edge of the dicing tape T is attached to an annular frame F. As a result, the wafer W is supported by the frame F via the dicing tape T, and a plurality of wafers (for example, 25 sheets) are accommodated in the wafer cassette 8 shown in FIG. The wafer cassette 8 is placed on a cassette elevator 9 that can move up and down.

ウエーハカセット８の後方には、ウエーハカセット８から切削前のウエーハＷを搬出するとともに、切削後のウエーハをウエーハカセット８に搬入する搬出入ユニット１０が配設されている。ウエーハカセット８と搬出入ユニット１０との間には、搬出入対象のウエーハが一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウエーハＷを一定の位置に位置合わせする一対の位置合わせバー１４が配設されている。 Behind the wafer cassette 8 is disposed a loading / unloading unit 10 for unloading the wafer W before cutting from the wafer cassette 8 and loading the wafer after cutting into the wafer cassette 8. Between the wafer cassette 8 and the carry-in / out unit 10, a temporary placement area 12, which is an area in which a wafer to be carried in / out, is temporarily placed, is provided. A pair of alignment bars 14 for aligning at a fixed position are provided.

仮置き領域１２の近傍には、ウエーハＷと一体となったフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送ユニット１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されたウエーハＷは、搬送ユニット１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引されるとともに、複数のクランプ１９によりフレームＦが固定されることでチャックテーブル１８上に保持される。 In the vicinity of the temporary placement area 12, a transport unit 16 having a turning arm that sucks and transports the frame F integrated with the wafer W is disposed, and the wafer W carried to the temporary placement area 12 is It is sucked by the transport unit 16 and transported onto the chuck table 18 and is sucked by the chuck table 18 and is held on the chuck table 18 by fixing the frame F by a plurality of clamps 19.

チャックテーブル１８は、回転可能且つＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウエーハＷの切削すべきストリートを検出するアライメントユニット２０が配設されている。 The chuck table 18 is configured to be rotatable and reciprocally movable in the X-axis direction, and an alignment unit 20 that detects a street of the wafer W to be cut is located above the movement path of the chuck table 18 in the X-axis direction. It is arranged.

アライメントユニット２０は、ウエーハＷの表面を撮像する顕微鏡とＣＣＤカメラを有する撮像ユニット２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の画像処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像ユニット２２によって取得された画像は、表示モニタ６に表示される。 The alignment unit 20 includes an imaging unit 22 having a microscope and a CCD camera for imaging the surface of the wafer W, and can detect a street to be cut by image processing such as pattern matching based on an image acquired by imaging. it can. The image acquired by the imaging unit 22 is displayed on the display monitor 6.

アライメントユニット２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウエーハＷに対して切削加工を施す切削ユニット２４が配設されている。切削ユニット２４はアライメントユニット２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。 On the left side of the alignment unit 20, a cutting unit 24 for cutting the wafer W held on the chuck table 18 is disposed. The cutting unit 24 is configured integrally with the alignment unit 20, and both move together in the Y-axis direction and the Z-axis direction.

切削ユニット２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像ユニット２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。 The cutting unit 24 is configured by attaching a cutting blade 28 to the tip of a rotatable spindle 26 and is movable in the Y-axis direction and the Z-axis direction. The cutting blade 28 is located on the extended line of the imaging unit 22 in the X-axis direction.

切削加工の終了した被加工物を保持したチャックテーブル１８がホームポジションに戻された後、搬送ユニット２５で被加工物がチャックテーブル１８上から吸着されてスピンナ洗浄ユニット２７に搬送され、スピンナ洗浄ユニット２７でスピン洗浄及びスピン乾燥される。 After the chuck table 18 holding the workpiece after cutting is returned to the home position, the workpiece is sucked from the chuck table 18 by the transport unit 25 and transported to the spinner cleaning unit 27, where the spinner cleaning unit is used. 27, spin cleaning and spin drying.

図２を参照すると、ハブブレード（切削ブレード）２８が装着された切削ユニット２４の分解斜視図が示されている。スピンドルハウジング３０の先端部分には小径部３４及び大径部３６を有するブレード取付部３２が配設されている。スピンドル２６の先端部はブレード取付部３２から突出し、先端に向けてテーパ形状に形成されており、雌ねじ２７が形成されている。 Referring to FIG. 2, an exploded perspective view of the cutting unit 24 to which a hub blade (cutting blade) 28 is attached is shown. A blade mounting portion 32 having a small diameter portion 34 and a large diameter portion 36 is disposed at the tip portion of the spindle housing 30. The front end portion of the spindle 26 protrudes from the blade mounting portion 32, is formed in a tapered shape toward the front end, and a female screw 27 is formed.

３８はボス部４０と、ボス部４０とを一体的に形成されたマウントフランジ４２とから構成される後ろマウント（ブレードマウント）であり、後ろマウント３８のボス部４０には雄ねじ４４が形成されている。更に、後ろマウント３８は装着穴４５を有している。 Reference numeral 38 denotes a rear mount (blade mount) composed of a boss portion 40 and a mount flange 42 integrally formed with the boss portion 40, and a male screw 44 is formed on the boss portion 40 of the rear mount 38. Yes. Further, the rear mount 38 has a mounting hole 45.

後ろマウント３８は、装着穴４５をスピンドル２６の先端部に挿入して、締結ボルト４８をスピンドル２６の雌ねじ２７に締結して締め付けることにより、スピンドル２６の先端部に取り付けられる。 The rear mount 38 is attached to the tip of the spindle 26 by inserting the mounting hole 45 into the tip of the spindle 26 and fastening the fastening bolt 48 to the female screw 27 of the spindle 26.

切削ブレード２８はハブブレードと呼ばれ、円形ハブ５２を有する円形基台５０の外周にニッケル母材中にダイヤモンド砥粒が分散された切刃５４が電着されて構成されている。 The cutting blade 28 is called a hub blade, and is configured by electrodepositing a cutting blade 54 in which diamond abrasive grains are dispersed in a nickel base material on the outer periphery of a circular base 50 having a circular hub 52.

切削ブレード２８の円形基台５０の外周縁には複数の認識マーク５６が形成されている。この認識マーク５６は例えば黒、赤、青等円形基台の色と大きく異なる色で色付けされているのが好ましい。色付けに代えてカラーシールやテープを貼着するようにしてもよい。 A plurality of recognition marks 56 are formed on the outer peripheral edge of the circular base 50 of the cutting blade 28. The recognition mark 56 is preferably colored with a color that is largely different from the color of the circular base, such as black, red, and blue. Instead of coloring, a color sticker or tape may be attached.

後ろマウント３８のマウントフランジ４２の前側には、複数の認識マーク４６が形成されている。認識マーク４６は色付けされているのが好ましい。色付けに代えてカラーシールやテープを貼着するようにしてもよい。後ろマウントにも認識マークを形成することで切削ブレード２８を外した状態での作業中にも作業者が後ろマウント３８の回転を認識できる。 A plurality of recognition marks 46 are formed on the front side of the mount flange 42 of the rear mount 38. The recognition mark 46 is preferably colored. Instead of coloring, a color sticker or tape may be attached. By forming the recognition mark on the rear mount, the operator can recognize the rotation of the rear mount 38 even during the work with the cutting blade 28 removed.

切削ブレード２８の装着穴５１を後ろマウント３８のボス部４０に挿入し、ハブブレード押さえナット５８をボス部４０の雄ねじ４４に螺合して締め付けることにより、切削ブレード２８がスピンドル２６の先端部に取り付けられる。 The mounting hole 51 of the cutting blade 28 is inserted into the boss portion 40 of the rear mount 38, and the hub blade holding nut 58 is screwed into the male screw 44 of the boss portion 40 and tightened, whereby the cutting blade 28 is fitted to the tip end portion of the spindle 26. It is attached.

ハブブレード押さえナット５８は複数の認識マーク６０を有している。これらの認識マーク６０は色付けされているのが好ましい。色付けに代えてカラーシールやテープを貼着するようにしてもよい。本実施形態では、後ろマウント３８とハブブレード押さえナット５８とでハブブレード２８を挟持するマウントを構成する。 The hub blade presser nut 58 has a plurality of recognition marks 60. These recognition marks 60 are preferably colored. Instead of coloring, a color sticker or tape may be attached. In the present embodiment, the rear mount 38 and the hub blade holding nut 58 constitute a mount that holds the hub blade 28.

図３を参照すると、ワッシャーブレード２８Ａを有する切削ユニット２４の分解斜視図が示されている。図２を参照して説明したように、後ろマウント３８は装着穴４５をスピンドル２６の先端部に挿入して、締結ボルト４８をスピンドル２６の先端に形成された雌ねじ２７に螺合して締め付けることにより、スピンドル２６の先端部に固定される。 Referring to FIG. 3, an exploded perspective view of the cutting unit 24 having a washer blade 28A is shown. As described with reference to FIG. 2, the rear mount 38 inserts the mounting hole 45 into the tip of the spindle 26, and the fastening bolt 48 is screwed into the female screw 27 formed at the tip of the spindle 26 and tightened. Thus, the tip of the spindle 26 is fixed.

ワッシャーブレード（切削ブレード）２８Ａはその全体が電鋳された切刃（電鋳砥石）から構成されている。ワッシャーブレード２８Ａは複数の認識マーク６２を有している。認識マーク６２は色付けされているのが好ましい。色付けに代えてカラーシールやテープを貼着するようにしてもよい。 The washer blade (cutting blade) 28A is constituted by a cutting blade (electroforming grindstone) electroformed entirely. The washer blade 28 </ b> A has a plurality of recognition marks 62. The recognition mark 62 is preferably colored. Instead of coloring, a color sticker or tape may be attached.

ワッシャーブレード２８Ａの装着穴２９を後ろマウント３８のボス部４０に挿入し、前マウント６４の装着穴６５を後ろマウント３８のボス部４０に挿入して、後ろマウント３８と前マウント６４でワッシャーブレード２８Ａを挟持する。 The mounting hole 29 of the washer blade 28A is inserted into the boss portion 40 of the rear mount 38, the mounting hole 65 of the front mount 64 is inserted into the boss portion 40 of the rear mount 38, and the washer blade 28A is inserted between the rear mount 38 and the front mount 64. Pinch.

そして、前マウント押さえナット５８を後ろマウント３８のボス部４０に形成された雄ねじ４４に螺合して締め付けることにより、ワッシャーブレード２８Ａは後ろマウント３８と前マウント６４に挟持された状態でスピンドル２６の先端部に固定される。本実施形態では、後ろマウント３８と前マウント６４でワッシャーブレード２８Ａを挟持するマウントを構成する。 The washer blade 28A is clamped between the rear mount 38 and the front mount 64 by screwing the front mount presser nut 58 onto the male screw 44 formed on the boss portion 40 of the rear mount 38 and tightening it. Fixed to the tip. In the present embodiment, the rear mount 38 and the front mount 64 constitute a mount that holds the washer blade 28A.

図４に示すように、ワッシャーブレード２８Ａは外周側の使用領域Ｗ１と使用領域Ｗ１の内側の余裕領域Ｗ２を有しており、認識マーク６２は余裕領域Ｗ２にのみ形成されるのが好ましい。ワッシャーブレード２８Ａは切削加工に伴い磨耗していくので、使用領域Ｗ１は被加工物の厚みより長く設定されている。 As shown in FIG. 4, the washer blade 28A has a use area W1 on the outer peripheral side and a margin area W2 inside the use area W1, and the recognition mark 62 is preferably formed only in the margin area W2. Since the washer blade 28A is worn with cutting, the use area W1 is set longer than the thickness of the workpiece.

ワッシャーブレード２８Ａでは、加工に伴いワッシャーブレード２８Ａが磨耗していったときでも、被加工物の厚みばらつきによって後ろマウント３８及び前マウント６４が被加工物に切り込まないように、所定の余裕領域Ｗ２を設定するように後ろマウント３８及び前マウント６４でワッシャーブレード２８Ａを挟持するようにしている。 In the washer blade 28A, even when the washer blade 28A is worn during processing, a predetermined margin area W2 is provided so that the rear mount 38 and the front mount 64 are not cut into the work piece due to the thickness variation of the work piece. The washer blade 28A is sandwiched between the rear mount 38 and the front mount 64 so as to set the above.

図３に示した実施形態ではワッシャーブレード２８Ａのみ認識マーク６２を形成しているが、前マウント６４及び前マウント押さえナット５８にも認識マークを形成するようにしてもよい。更に、図２に示した実施形態と同様に、後ろマウント３８にも認識マークを形成するようにしてもよい。 In the embodiment shown in FIG. 3, the recognition mark 62 is formed only on the washer blade 28 </ b> A, but the recognition mark may also be formed on the front mount 64 and the front mount presser nut 58. Furthermore, a recognition mark may be formed on the rear mount 38 as in the embodiment shown in FIG.

次に、図５を参照して、本発明の切削装置の作用について説明する。図５（Ａ）を参照すると、スピンドル２６が停止中の切削ブレード（ハブブレード）２８の正面図が示されている。 Next, the operation of the cutting apparatus of the present invention will be described with reference to FIG. Referring to FIG. 5A, a front view of a cutting blade (hub blade) 28 with the spindle 26 stopped is shown.

複数の認識マーク５６はスピンドル２６が回転していないため、個別の認識マーク５６として認識される。よって、メンテナンス担当者又はオペレータは認識マーク５６によりスピンドル２６の停止中を確認することができ、ブレード交換等の作業を行うことができる。 The plurality of recognition marks 56 are recognized as individual recognition marks 56 because the spindle 26 is not rotating. Therefore, the maintenance person or operator can confirm that the spindle 26 is stopped by the recognition mark 56 and can perform operations such as blade replacement.

一方、スピンドル２６が回転中には、図５（Ｂ）に示すように、認識マーク５６は円環状に連続したものとして認識される。よって、メンテナンス担当者又はオペレータが円環状の認識マーク５６を視認したときには、スピンドル２６が回転中であると確認でき、時間が経過してスピンドル２６が回転を停止してから、図５（Ａ）の状態を確認し、切削ブレード２８の交換等の作業を進めることができる。 On the other hand, while the spindle 26 is rotating, as shown in FIG. 5B, the recognition mark 56 is recognized as being continuous in an annular shape. Therefore, when the maintenance person or operator visually recognizes the annular recognition mark 56, it can be confirmed that the spindle 26 is rotating, and after the time has elapsed, the spindle 26 stops rotating, and then the rotation of FIG. This state can be confirmed, and the work such as replacement of the cutting blade 28 can proceed.

尚、図２に示した実施形態では、後ろマウント３８に認識マーク４６が形成されているが、これは切削ブレード２８を外したときにスピンドル２６が回転中か停止中かを確認できるようにしたものである。 In the embodiment shown in FIG. 2, a recognition mark 46 is formed on the rear mount 38. This allows the spindle 26 to be checked whether it is rotating or stopped when the cutting blade 28 is removed. Is.

２切削装置
１８チャックテーブル
２４切削ユニット
２６スピンドル
２８切削ブレード（ハブブレード）
２８Ａ切削ブレード（ワッシャーブレード）
３８後ろマウント
４６，５６，６０，６２認識マーク
４８締結ボルト
５８押さえナット 2 Cutting device 18 Chuck table 24 Cutting unit 26 Spindle 28 Cutting blade (hub blade)
28A Cutting blade (washer blade)
38 Rear mount 46, 56, 60, 62 Recognition mark 48 Fastening bolt 58 Holding nut

Claims

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段と、を備えた切削装置であって、
該切削手段は、
モータにより回転駆動されるスピンドルと、
該スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングと、
該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードと、
該切削ブレードを挟持して該スピンドルに固定するマウントと、を具備し、
該マウントは、該スピンドルの先端部に取り付けられると共に該切削ブレードが装着される後ろマウントを含み、
該後ろマウントと該切削ブレードとの双方に、該スピンドルの回転中と停止中とで模様が変わることで該スピンドルの回転を認識させる認識マークが形成されていることを特徴とする切削装置。 A cutting apparatus comprising: a chuck table for holding a workpiece; and a cutting means for cutting the workpiece held on the chuck table,
The cutting means is
A spindle driven to rotate by a motor;
A spindle housing for rotatably supporting the spindle;
A switching cutting blade you cut the workpiece held on the chuck table,
A mount for pinching the cutting blade and fixing it to the spindle,
The mount includes a rear mount attached to the tip of the spindle and mounted with the cutting blade;
To both the said rear mount and said cutting blade, a cutting device characterized by recognition mark to recognize the rotation of the spindle by design changes in the stopped and during rotation of the spindle is formed.