JP5874965B2 - マイクロレンズアレイの貼り合わせ装置 - Google Patents
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Description
複数個の前記単位マイクロレンズアレイを個別に保持する複数個の第1保持部材と、
前記単位マイクロレンズアレイの集合体の一方の側に配置され基準マスクパターンが設けられた基準マスクと、
前記単位マイクロレンズアレイの集合体の他方の側に配置され焦点板パターンが形成された焦点板と、
前記基準マスクを保持する第2保持部材と、
前記焦点板を保持する第3保持部材と、
前記第1乃至第3保持部材の位置を調整する駆動装置と、
前記基準マスクの基準マスクパターンが形成された第1面と前記焦点板の前記焦点板パターンが形成された第2面との間隔を測定する測定部材と、
前記基準マスクパターンの第1像と前記焦点板パターンの第2像とを同一視野内で検出する検出部と、
前記測定部材により測定された前記第1面と前記第2面との間隔が所定の設計値になるように前記第2保持部材及び前記第3保持部材の位置を調整し、更に前記検出部により検出された第1像及び第2像が合焦するように前記第1保持部材の位置を調整して前記単位マイクロレンズアレイの位置を調整する制御部と、
を有することを特徴とする。
前記単位マイクロレンズアレイには、アライメントマークが形成されており、前記単位マイクロレンズアレイの集合体に対し、前記アライメントマークを透過する透過照明光を照射する光源と、
前記アライメントマークを透過した透過照明光を検出する第2検出部と、
を有し、
前記制御部は、更に、前記第2検出部が検出した各単位マイクロレンズアレイのアライメントマークの位置が整合するように、前記第1保持部材により前記各単位マイクロレンズアレイの位置を調整するように構成することができる。
前記単位マイクロレンズアレイの周辺部に配置され、前記単位マイクロレンズアレイの周縁部に接着剤を注入するディスペンサと、
前記単位マイクロレンズアレイの周辺部に配置され、前記単位マイクロレンズアレイの周縁部に注入された接着剤に紫外光を照射して前記接着剤を固化させる紫外光光源と、
を有するように構成することができる。
11,12,13,14,15:保持部材
21:(落射型CCD)カメラ
22,23:(アライメント)カメラ
24,25:透過照明光源
31,32:レーザ変位計
33,34:接触式変位計
41,42:ディスペンサ
43,44:紫外光源
51:接着剤
P1:基準マスクパターン
P2:焦点板パターン
P3、P4:アライメントマーク
Claims (3)
- ガラス基板にマイクロレンズが形成された単位マイクロレンズアレイを複数枚所定間隔をおいて重ねて接着剤により相互に接合するマイクロレンズアレイの貼り合わせ装置において、
複数個の前記単位マイクロレンズアレイを個別に保持する複数個の第1保持部材と、
前記単位マイクロレンズアレイの集合体の一方の側に配置され基準マスクパターンが設けられた基準マスクと、
前記単位マイクロレンズアレイの集合体の他方の側に配置され焦点板パターンが形成された焦点板と、
前記基準マスクを保持する第2保持部材と、
前記焦点板を保持する第3保持部材と、
前記第1乃至第3保持部材の位置を調整する駆動装置と、
前記基準マスクの基準マスクパターンが形成された第1面と前記焦点板の前記焦点板パターンが形成された第2面との間隔を測定する測定部材と、
前記基準マスクパターンの第1像と前記焦点板パターンの第2像とを同一視野内で検出する検出部と、
前記測定部材により測定された前記第1面と前記第2面との間隔が所定の設計値になるように前記第2保持部材及び前記第3保持部材の位置を調整し、更に前記検出部により検出された第1像及び第2像が合焦するように前記第1保持部材の位置を調整して前記単位マイクロレンズアレイの位置を調整する制御部と、
を有することを特徴とするマイクロレンズアレイの貼り合わせ装置。 - 前記単位マイクロレンズアレイには、アライメントマークが形成されており、前記単位マイクロレンズアレイの集合体に対し、前記アライメントマークを透過する透過照明光を照射する光源と、
前記アライメントマークを透過した透過照明光を検出する第2検出部と、
を有し、
前記制御部は、更に、前記第2検出部が検出した各単位マイクロレンズアレイのアライメントマークの位置が整合するように、前記第1保持部材により前記各単位マイクロレンズアレイの位置を調整することを特徴とする請求項1に記載のマイクロレンズアレイの貼り合わせ装置。 - 前記単位マイクロレンズアレイの周辺部に配置され、前記単位マイクロレンズアレイの周縁部に接着剤を注入するディスペンサと、
前記単位マイクロレンズアレイの周辺部に配置され、前記単位マイクロレンズアレイの周縁部に注入された接着剤に紫外光を照射して前記接着剤を固化させる紫外光光源と、
を有することを特徴とする請求項1又は2に記載のマイクロレンズアレイの貼り合わせ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011268428A JP5874965B2 (ja) | 2011-12-07 | 2011-12-07 | マイクロレンズアレイの貼り合わせ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011268428A JP5874965B2 (ja) | 2011-12-07 | 2011-12-07 | マイクロレンズアレイの貼り合わせ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013120295A JP2013120295A (ja) | 2013-06-17 |
JP5874965B2 true JP5874965B2 (ja) | 2016-03-02 |
Family
ID=48772948
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011268428A Active JP5874965B2 (ja) | 2011-12-07 | 2011-12-07 | マイクロレンズアレイの貼り合わせ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5874965B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
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Family Cites Families (5)
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JP2003322708A (ja) * | 2002-04-30 | 2003-11-14 | Seiko Epson Corp | 基板装置の製造方法並びにマイクロレンズ及び電気光学装置 |
JP2004138821A (ja) * | 2002-10-17 | 2004-05-13 | Sony Corp | 液晶表示素子及び表示装置並びに液晶表示素子の製造方法 |
-
2011
- 2011-12-07 JP JP2011268428A patent/JP5874965B2/ja active Active
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JP2013120295A (ja) | 2013-06-17 |
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