JP5871005B2 - 検査用治具 - Google Patents

Description

本発明は、半田噴流装置で使用する検査用治具に関するものである。

従来、半田噴流装置に用いる検査用治具として、垂直方向に独立して微動可能な複数本の指針ボルトを備え、これら指針ボルトによって噴流形状を測定するようにしたものが公知である（例えば、特許文献１参照）。

また、半田噴流装置に用いる他の検査用治具として、噴流状態にある半田の形状を測定するために、目標となる噴流形状に合致した形状を有する測定部を備えたものが公知である（例えば、特許文献２参照）。

しかしながら、前記いずれの検査用治具であっても、噴流状態にある半田の一部の形状を測定できるだけであり、半田付けの対象となる基板等に噴流する半田がどの様に当たっているかを検出できない。

このため、測定結果と、実際に半田付けした場合との間にズレが生じることは避けられない。

特開平５−６９１２１号公報 特開平１１−３４０６２１号公報

本発明は、基材に対して半田付けするのと同じ条件で、基材に対する噴流する半田の当たり具合を検出できる検査用治具を提供することを課題とする。

本発明は、前記課題を解決するための手段として、
半田の噴流状態を検査するために半田付けされる基材と同一搬送経路を一定速度で搬送される支持フレームを有する検査用治具であって、
前記半田による熱影響により変形しない耐熱性と、一方の面への半田の接触状態を、他方の面側から検査可能とする透光性と、を有する検査用プレートを備え、
前記検査用プレートの他方の面に、前記一方の面への半田の接触状態を判断するため、一本の基準線を搬送方向に直交する方向に設ける一方、
上面に前記検査用プレートを固定した前記支持フレームの下面に、
前記検査用プレートの一方の面の直下に位置し、かつ、前記一方の面を露出させる矩形孔と、
前記矩形孔の内縁から外方に広がり、かつ、前記矩形孔に連続する傾斜面と、
前記傾斜面が形成する最大開口面積よりも大きい開口面積を有し、かつ、前記傾斜面に連続する環状段部を備えた逃がし凹部と、
を設けたものである。

この構成により、実際に半田が接触する一方の面での状態を、他方の面から検出することができる。

このため、半田付けのための条件が適切であるか否か、半田付けのための装置に問題がないか否か等を的確に判断することが可能となる。

前記検査用プレートは、一方の面への半田の接触状態を判断するための基準線を有している。

この構成により、半田の接触状態が適切なものであるのか否かを、基準線に基づいて容易に判断することができる。

検査用プレートは、半田付けされる基材と同一搬送経路を一定速度で搬送されるものであり、前記基準線は、搬送方向に直交する方向に延びている。

この構成により、検査用プレートに接触する半田によって形成される模様が適切なものであるのか否かの判断を基準線に基づいて容易に判断することができる。

前記検査用プレートは、搬送方向に直交する方向に延び、前記基準線よりも搬送方向側に形成される少なくとも１本の測定線を有するのが好ましい。

この構成により、一定速度で移動する検査用プレートに形成される半田の模様の後縁（搬送方向とは逆側に位置する縁）が基準線と合致した時点での、半田の模様の前縁（搬送方向側に位置する縁）と測定線との位置関係に基づいて、半田が接触する範囲が適切なものであるのか否かを判断することができる。

第１測定部及び第２測定部を有する支持フレームと、
前記支持プレートの第１測定部及び第２測定部にそれぞれ保持される前記検査用プレートと、からなり、
前記第２測定部は、噴流された半田を前記検査用プレートに導く複数の開口部を備えるのが好ましい。

この構成により、第２測定部では、半田は開口部内に侵入した後、検査用プレートに接触する。このため、検査用プレートへの接触状態から半田の性状（温度や粘度）等を的確に把握することができる。

前記支持フレームは、表裏面を連通する複数の開口部からなる第３測定部を備え、
前記第３測定部の各開口部に侵入した半田の浸漬高さ（深さ）を検出する半田検出装置を備えるのが好ましい。

この構成により、半田検出装置で第３測定部の開口部に侵入した半田の浸漬高さ（深さ）を検出することができるので、所望の浸漬高さ（深さ）であるか否かを容易に把握することができる。

前記半田検出装置は、各開口部にそれぞれ配置される複数の測定ピンと、測定ピンが半田と接触することにより報知する報知部とを備えるのが好ましい。

この構成により、測定ピンが半田に浸漬すると、報知部によって報知されるので、ユーザは容易に半田の浸漬高さを把握することができる。

前記測定ピンは、半田が付着することを防止するためのヒータを備えるのが好ましい。

この構成により、測定ピンに半田が付着することがなく、常に良好な状態での検出を行うことができる。

また、本発明は、前記課題を解決するための手段として、半田の噴流状態を検査するための検査用治具であって、噴流させた半田によって形成される模様により、半田の噴流状態を検出可能な第１測定部を有する構成としてある。

前記構成の検査用治具は、半田の噴流状態を検査するための検査用治具であって、噴流させた半田の噴流圧の状態を検出可能な第２測定部を有するのが好ましい。

また、本発明は、半田の噴流状態を検査するための検査用治具であって、噴流させた半田の浸漬高さを検出可能な第３測定部を有することが好ましい。

本発明によれば、耐熱性及び透光性を有する検査用プレートを使用したので、従来は検出不可能であった検査用プレートの一方の面に接触する半田の接触状態を、他方の面から検出することができる。

第１実施形態に係る半田付け装置の概略を示す平面図である。 第１実施形態に係る半田付け装置の概略を示す正面図である。 図２の予熱装置と半田噴流装置の構成部品の一部を示す部分拡大図である。 （ａ）は図２の搬送装置を示す平面図、（ｂ）はそのガイドブロックによる基材の支持状態を示す（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。 図１の半田噴流装置で使用する検査用治具の平面図である。 図５のＡ−Ａ線断面図である。 （ａ）は図５の支持フレームの平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。 図５の検査用治具で使用する半田検出装置の概略を示す断面図である。 （ａ）は第２実施形態に係る検査用治具の平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ線断面図である。 （ａ）は図９の支持フレームの平面図、（ｂ）は（ａ）の部分破断正面図である。 （ａ）は図７の第１半田検出部の側面断面図、（ｂ）は正面断面図である。 （ａ）は第３実施形態に係る半田付け装置の基材を水平方向に搬送している状態の概略を示す正面図、（ｂ）は（ａ）から基材を降下させた状態を示す正面図である。 （ａ），（ｂ）は図１２の半田噴流装置の概略を示す正面断面図，平面図である。 （ａ）は図１３の半田噴流装置による検査用治具への噴流状態の概略を示す断面図、（ｂ）は検査用治具の検査用プレートの基準線を示す部分平面図である。 （ａ），（ｂ），（ｃ）は図１４の半田噴流装置による基材への噴流状態の概略を示す断面図である。 他の実施形態に係る検査用治具の検査用プレートを示す平面図である。

１…フラックス塗布装置
２…予熱装置
３…半田噴流装置
４…搬送装置
５…検査用治具
６…フラックス噴霧ノズル
７…予熱ヒータユニット
８…半田槽
９…第１噴流部
１０…第２噴流部
１１…第１半田槽
１２…第１ノズル部
１３…第２半田槽
１４…第２ノズル部
１５…搬入コンベア
１６…第１搬送コンベア
１７…乗継コンベア
１８…第２搬送コンベア
１９…ガイドブロック
２０…ガイド溝
２１…支持フレーム
２２…検査用プレート
２２ａ…第１検査用プレート
２２ｂ…第２検査用プレート
２２ｃ…浸漬確認プレート
２３…突条部
２４…第１測定部
２５…第２測定部
２６…第３測定部
２７…第１凹部
２８…第２凹部
２９ａ、２９ｂ…第１開口部
３０ａ、３０ｂ…第２開口部
３１…第１測定線
３２…第２測定線
３３…基準線
３４…半田検出装置
３５…電極部
３６…ＬＥＤ
３７…測定ピン
３８…第１支持アーム
３９…第２支持アーム
４０…支持プレート
１００…検査用治具
１０１…支持フレーム
１０２…検査用プレート
１０３…第１半田検出部
１０４…第２半田検出部
１０５…突条部
１０６…第１測定部
１０７…第２測定部
１０８…第３測定部
１０９…矩形孔
１１０…保持爪
１１１…アーチ部
１１２…凹所
１１２ａ…貫通孔
１１３…浸漬確認部
１１５…第２測定線
１１６…第１測定線
１１７…基準線
１１９…測定ピン
１２０…ベースプレート
１２１…サイドプレート
１２２…昇降プレート
１２３…調整ネジ
１２４…通電リード
１２６…電極部
１２７…取付台
１２８…測定ピン
２０１…フラックス塗布装置
２０２…予熱装置
２０３…半田噴流装置
２０４…搬送装置
２０５…検査用治具
２０６…半田槽
２０７…噴流ノズル
２０８…噴流ポンプ
２０９…中板
２１０…仕切板
２１１…ポンプ領域
２１２…噴流領域
２１３…噴流ノズル台
２１４…蓋体
２１５…屑出しノズル
２１６…矩形枠部
２１７…還流通路
２１８…ポンプハウジング
２１９…支持台
２２０…ポンプスクリュー
２２０ａ…中板フィン開口部
２２１…ベルトコンベア
２２２…支持レール
２２３…アーム部材
２２４…ガイドレール
２２５…移動レール
２２６…支持フレーム
２２７…検査用プレート
２２８…測定部
２２９…凹部
２３０…矩形孔
２３１…傾斜面
２３２…基準枠

以下、本発明に係る実施形態を添付図面に従って説明する。
なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向や位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「側」、「端」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した発明の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本発明の技術的範囲が限定されるものではない。
また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る半田付け装置の概略平面図、図２は、その正面図を示す。この半田付け装置は、フラックス塗布装置１、予熱装置２及び半田噴流装置３を備えている。特に、前記予熱装置２と前記半田噴流装置３とは同一ハウジング内に配置されている。そして、フラックス塗布装置１、予熱装置２及び半田噴流装置３には、搬送装置４（図４）によってプリント基板等の半田付けの対象となる基材Ｂや検査用治具５（図５）（検査用治具１００（図９））が搬送されるようになっている。
なお、同一ハウジング内にフラックス塗布装置１、予熱装置２及び半田噴流装置３を配置してもよい。

フラックス塗布装置１は、図１，２に示すように、基材Ｂ（図４（ａ），（ｂ））の下面にフラックスを塗布するためのものである。このため、フラックス塗布装置１は、フラックス噴霧ノズル６を備え、通過する基材Ｂの下面にフラックスを噴霧して塗布する。なお、フラックス塗布装置は、噴霧式を図示しているが、発泡式でも良い。

予熱装置２は、基材Ｂの実装部品を半田付けに適した温度又は熱衝撃対応値（半田による温度変化の影響に対応可能な温度）まで昇温させるためのものである。このため、予熱装置２は、図３に示すように、後述する搬送経路の下方側に長手方向に沿って配置した複数の予熱ヒータユニット７により、搬送される基材Ｂ（図４（ａ））を加熱する。

なお、図３は、予熱装置２と半田噴流装置３の構成部品の一部を示す部分拡大概略正面図である。特に、この半田噴流装置３は、半田槽８内に第１噴流部９と第２噴流部１０とを備えている。

第１噴流部９は、第１半田槽１１の上部に第１ノズル部１２を設けたものである。第１半田槽１１内には、図示しないスクリューが配置されている。前記スクリューの回転軸には、ベルトを介してモータの回転軸からの動力が伝達されるようになっている（モータはスクリューの回転軸に直結してもよい。また、モータに代えて電磁誘導ポンプを使用することもできる。）。
そして、前記第１ノズル部１２は、矩形筒状で、上端開口は複数の貫通孔が形成された蓋体１２ａ（ノズルキャップ）で閉鎖されている。蓋体１２ａは、搬送装置４による基材Ｂや検査用治具５の搬送経路に沿って傾斜している。そして、モータを駆動すると、ベルトを介してスクリューが回転し、溶融した半田が第１ノズル部１２を上昇し、蓋体１２ａに形成した各貫通孔から上方へと乱流状態で噴流するようになっている。これにより、基材Ｂでの半田の濡れ性が確保される。

第２噴流部１０は、第２半田槽１３の上部に第２ノズル部１４を設けたものである。第２半田槽１３内には、前記第１噴流部９と同様に、モータによりベルトを介して回転するスクリュー（図示せず）が配置されている（前記第１噴流部９と同様に、モータはスクリューの回転軸に直結してもよい。また、モータに代えて電磁誘導ポンプを使用することもできる。）。
そして、前記第２ノズル部１４は、上端が開口したままであり、搬送装置４による基材Ｂや検査用治具５（図５）の搬送経路に沿って上端の開口縁部が傾斜している。そして、モータを駆動してスクリューを回転させると、第２ノズル部１４の上方開口部を介して溶融した半田が整流状態で噴流するようになっている。これにより、良好な半田切れ整形がなされる。

なお、第１噴流部９及び第２噴流部１０から噴流し、半田付けに利用されなかった残りの半田は、半田槽８に回収された後、第１，第２噴流部９，１０へと還流する。

フラックス塗布装置１、予熱装置２及び半田噴流装置３には、前述したように搬送装置４によって基材B（図４）や検査用治具５（図５）（検査用治具１００（図９））を搬送できるようになっている。

図１に示すように、搬送装置４は、基材Ｂや検査用治具５（図５）を、フラックス塗布装置１に搬入するための搬入コンベア１５と、フラックス塗布装置１内を搬送するための第１搬送コンベア１６と、フラックス塗布装置１から予熱装置２に受け渡すための乗継コンベア１７と、予熱装置２及び半田噴流装置３内を搬送するための第２搬送コンベア１８と、を備えている。

搬入コンベア１５、第１搬送コンベア１６は水平方向に配置され、乗継コンベア１７は、前記第２搬送コンベア１８の１／２勾配で搬送方向に向かって徐々に高くなるように配置されている。そして、前記第１搬送コンベア１６，乗継コンベア１７は所定間隔で平行に配置したレールの対向面に、長手方向に沿って所定間隔で複数の円形ローラを設けてある。そして、作業者が搬入コンベア１５上に基材Ｂ等を供給し、第１搬送コンベア１６へと移動させる。

搬送装置４の平面図である図４（ａ）に示すように、第１搬送コンベア１６は、チェーンローラ１６ａが図示しないモータ等によって回転駆動し、フラックス塗布装置１に搬入された基材Ｂ等を一定速度で搬送する。また、乗継コンベア１７も第１搬送コンベア１６と同様なローラ１７ａを有する構成となっており、フラックス塗布装置１から搬出された基材Ｂ等を第２搬送コンベア１８を介して予熱装置２へと搬送する。

第２搬送コンベア１８は、搬送経路の両側でそれぞれ循環移動し、かつ、断面略Ｌ字形状のガイドブロック１９を備えた一対のコンベアからなり、水平面に対して搬送方向に向かって徐々に高くなるように配置されている。

複数のガイドブロック１９は各コンベアに一体化され、図４（ｂ）に示すように、基材Ｂを支持する。
すなわち、断面略Ｌ字形状の各ガイドブロック１９は、内向する先端面の中央部分に溝部を有し、これが搬送経路を通過するとき一直線に整列することにより、搬送経路の両側面に、搬送方向に延びるガイド溝２０を形成する。前記ガイド溝２０は、基材Ｂや、後述する検査用治具５（図５）の突条部２３を保持可能となっている。そして、コンベアを図示しないモータ等の駆動手段で駆動させると、ガイド溝２０に保持された基材Ｂ等が一定速度で搬送される。

図５は半田噴流装置で使用する検査用治具５の平面図であり、図６は図５のＡ−Ａ線断面図である。この検査用治具５は、半田槽８（図１）に於ける半田の噴流状態を検査するためのもので、支持フレーム２１と、この支持フレーム２１によって支持される２枚の検査用プレート２２（第１検査用プレート２２ａ、第２検査用プレート２２ｂ）と、浸漬確認プレート２２ｃとで構成されている。また、検査用治具５は、搬送方向の先頭側から順に、第１測定部２４、第２測定部２５、及び、第３測定部２６の３つの領域で構成されている。

図７（ａ）は、支持フレーム２１の平面図、図７（ｂ）はそのＢ−Ｂ線断面図である。この支持フレーム２１は、繊維強化プラスチック等の耐熱性に優れた材料を平面視矩形状としたものである。支持フレーム２１の両側部には、長手方向に延びる突条部２３がそれぞれ形成されている。支持フレーム２１は、突条部２３を搬入コンベア１５及び第１搬送コンベア１６のチェーンローラ１６ａと、第２搬送コンベア１８のガイドブロック１９のガイド溝２０とに支持され、コンベアの駆動により一定速度で搬送されるようになっている。

支持フレーム２１は、図６に示すように、第１測定部２４において、上面側から第１凹部２７が形成され、その底面には矩形孔２７ａを形成されることにより上下が連通している。第１凹部２７には、第１検査用プレート２２ａが配置され、図示しない複数の押え片によって側縁部を挟持されるようになっている。支持フレーム２１の下面側では、矩形孔２７ａの内縁から徐々に外方に広がる傾斜面２７ｂが形成され、さらに、広げられた逃がし凹部２７ｃが形成されている。

また、支持フレーム２１は、図６に示すように、第２測定部２５において、前記第１凹部２７に隣接して支持フレーム２１の上面側から第２凹部２８ａが形成されている。第２凹部２８ａには、第２検査用プレート２２ｂが配置され、前記第１検査用プレート２２ａと同様に、図示しない複数の押え片によって側縁部を挟持されるようになっている。第２凹部２８ａの底面には、３箇所の第１開口部２９ａと、５箇所の第２開口部３０ａとがそれぞれ形成されている。支持フレーム２１の底面側には、５箇所の第２開口部３０ａの周囲に、さらに広げられた逃がし凹部３０ｃが形成されている。

第１開口部２９ａは、第２凹部２８ａの底面の幅方向の３箇所に等間隔で設けた円形の貫通孔である。第１開口部２９ａの下方側は、支持フレーム２１の下面に向かって内径寸法が徐々に拡大する円錐面で構成されている。これにより、噴流された半田は、円錐面によって中央部分に導かれ、第１開口部２９ａ内で第２検査用プレート２２ｂに接触する。そして、第２検査用プレート２２ｂの上方から観察することで、第２検査用プレート２２ｂに接触する半田の面圧を判断できるようになっている。
すなわち、面圧が大きい場合は色が濃くなり、小さい場合は白っぽくなるので、一目で面圧が適正なものであるか否かを判断することができる。また、水平面に対する円錐面の傾斜角度は、第１開口部２９ａ内に流入する半田に淀みやフラックスガスが発生しにくいような第１設定値（例えば、３５度）に設定されている。
なお、第１開口部２９ａを円形の貫通孔としてあるのは、はんだ付けしたくない部分（はんだ付けマスキング部）の関係上、（第２開口部３０ａの長手方向のように）噴流面圧調整部を設けることが困難な部分に対し、噴流面圧状態・噴流状態・浸漬状態が確認できるようにするためである。但し、貫通孔の内径寸法は、面圧上昇最大サイズで構成している。

第２開口部３０ａは、支持フレーム２１の長手方向に延び、幅方向の５箇所に設けた平面視略矩形状の長穴である。第２開口部３０ａの４隅は円弧状に形成されている。第２開口部３０ａの下方側は、支持フレーム２１の下面に向かって徐々に外側に広がるテーパ面が形成されている。第２開口部３０ａでは、４隅が円弧状に形成されているため、そこでの流動状態を見れば、半田の粘度や硬度の違いを判断することが可能となる。
すなわち、半田が円弧縁に近付いていれば粘度が低いと判断でき、離れていれば粘度が高いと判断できる。
なお、第２開口部３０ａのテーパ面の角度は、半田の粘性や表面張力の影響が少ない第２設定値（例えば、４５度）とするのが好ましい。

支持フレーム２１は、図６に示すように、第３測定部２６において、前記第２測定部２５と同様な形状の第３凹部２８ｂ、第１開口部２９ｂ、第２開口部３０ｂ及び逃がし凹部３０ｄがそれぞれ形成されている。第３凹部２８ｂには、浸漬確認プレート２２ｃが配置され、前記第１検査用プレート２２ａと同様、図示しない複数の押え片によって側縁部を挟持されるようになっている。

なお、図６に示すように、第１開口部２９ｂ及び第２開口部３０ｂの上方開口での内径寸法（測定穴内径寸法）は、半田付けの対象となる基材Ｂに形成されるスルーホール内での半田の面圧状態をほぼ再現可能な値としている。但し、基材の表面には銅箔が形成される等の表面性状の違いがあるので、第１開口部２９ｂの内径寸法は、次のように決定するのが好ましい。
すなわち、第１開口部２９ｂの内径寸法は、ある値よりも小さくなると、半田が侵入する際、半田自身の表面張力の影響が出てしまう。このため、そのような表面張力の影響を受けにくい値に設定するのが好ましい。
また、第１開口部２９ｂの内径寸法は、ある値よりも大きくなると、噴流面圧の乱れがそのまま検査用プレート２２への接触状態に影響してしまい適切な検査が行えない。このため、半田の乱れが発生しにくい値に設定するのが好ましい。

検査用プレート２２（第１検査用プレート２２ａ、第２検査用プレート２２ｂ）は、前記第１，第２測定部２４，２５に配置可能な平面視略矩形状としたものである。そして、検査用プレート２２には、その下面に噴流する半田が接触することによって形成される模様を上方側から視認可能とする透光性と、その溶融した半田の温度によっては変形しない耐熱性と、を有する材料（例えば、テンパックス）が使用されている。さらに、浸漬確認プレート２２ｃの厚み寸法は、実際に半田付けする基板等の基材Ｂの厚さ寸法と同じにしている。
また、検査用プレート２２の下面が移動する位置（高さ）は、半田付けの対象となる基材Ｂの下面が移動する位置（高さ）と一致している。したがって、検査用治具５によれば、基材Ｂに実際に半田付けする場合と同じ条件で、半田の噴流状態を検出できる。

図５に示すように、第１検査用プレート２２ａには、検査用治具５の搬送方向に対して直交する方向すなわち幅方向に、第１測定線３１、第２測定線３２及び基準線３３がそれぞれ形成されている。

ここでは、第１測定線３１及び第２測定線３２が点線で形成され、基準線３３が実線で形成されている。
基準線３３は、第１測定線３１及び第２測定線３２で、第１検査用プレート２２ａに形成される半田の模様の前端側の縁（前縁）が正しい位置にあるか否かを検査するために、半田の模様の後端側の縁（後縁）の位置を合わせるために使用する測定基準となるラインである。
第１測定線３１は、第１ノズル部１２から噴流される半田付け条件が適正であれば、第１検査用プレート２２ａの下面に接触する半田によって形成される模様の後縁が基準線３３に合致したときに、前縁が到達すると予想されるラインである。半田によって形成される模様の後縁が基準線３３に合致したときに、前縁と第１測定線３１との位置関係（誤差）で確認する。
また、第２測定線３２は、第２ノズル部１４から噴流される半田付け条件が適正であれば、第１検査用プレート２２ａの下面に接触する半田によって形成される模様の後縁が基準線３３に合致したときに、前縁が到達すると予想されるラインである。半田によって形成される模様の後縁が基準線３３に合致したときに、前縁と第２測定線３２との位置関係（誤差）で確認する。そして、検査用プレート２２に形成される模様の全体形状や、基準線３３での半田によって形成される模様の縁の状態（位置や傾き）を見ることで、半田の噴流状態を判断できるようになっている。

前記第２測定部２５に保持される第２検査用プレート２２ｂは、支持フレーム２１に形成された第１開口部２９ａと第２開口部３０ａとを介して接触する半田によって形成される模様を見るために使用される。

浸漬確認プレート２２ｃは、前記第３測定部２６に配置可能な平面視略矩形状で、前記検査用プレート２２と同様に、透光性及び耐熱性を有する材料で構成されている。但し、以下に述べる第３測定部２６の第１，第２開口部２９ｂ，３０ｂに対応する位置には、測定ピン３７が挿通可能な貫通孔がそれぞれ形成されている。

図６に示すように、前記第３測定部２６では、浸漬確認プレート２２ｃの上方に、半田検出装置３４が配置されている。

図８は、検査用治具５に使用する半田検出装置３４の概略を示す断面図である。この半田検出装置３４は、電極部３５と、複数のＬＥＤ３６（Light Emitting Diode）と、複数の測定ピン３７とを備える。各測定ピン３７には、図示しないヒータが設けられ、加熱することにより半田が付着することを防止可能となっている。電極部３５は、第３測定部２６領域の少なくとも下面に設けられている。ＬＥＤ３６は、第１支持アーム３８を介して電極部３５に電気接続され、第２支持アーム３９を介して各測定ピン３７にそれぞれ電気接続されている。各測定ピン３７は、前記検査用治具５に形成した各開口部２９ｂ（３０ｂ）に対応して配置され、平面視矩形板状の支持プレート４０に固定されている。各測定ピン３７の下端は、検査用治具５の上面と面一となる位置に配置されている。このため、各測定ピン３７の下端が、各開口部２９ｂ（３０ｂ）内を上昇してきた溶融半田に接触すれば、電極部３５と導通することにより、報知部であるＬＥＤ３６が点灯して報知する。

次に、前記構成からなる半田噴流装置３に於ける半田の噴流状態の検査方法について説明する。

先ず、検査用治具５を図１に示す搬入コンベア１５から第１搬送コンベア１６に搬入すると、第１搬送コンベア１６によって搬送された後、乗継コンベア１７を介して第２搬送コンベア１８へと移送される。検査用治具５は、第２搬送コンベア１８によって半田噴流装置３内を一定速度で搬送され、第１検査用プレート２２ａには第１ノズル部１２から噴流された半田によって模様が形成される。

そこで、この半田によって形成された模様の形状を観察する。そして、観察した形状が適切なものであるか否かを判断し、不適切であると判断すれば、その後の検査を中止してメンテナンスを行う。なお、適切な形状であるか否かは、基準となる形状（矩形状）に対してどれだけ変形しているのかによって判断すればよい。この場合、第１検査用プレート２２ａには、予め基準となる形状を枠線により表示しておけば、より一層判断が容易となる。

また、第１検査用プレート２２ａに形成される半田の模様の後縁が基準線３３と合致したとき、前縁と第１測定線３１との位置関係を検査する。前縁の位置が第１測定線３１に合致あるいはほぼ合致していれば、ＤＩＰ距離（dipping distance）が適切であると判断し、合致していなければ（位置がずれたり、波打ったり、傾いたりしていれば）、不適切であると判断し、その後の検査を中止して半田噴流装置３のメンテナンスを行う。

また同様にして、第２ノズル部１４から噴流された半田により、検査用治具５の第２測定部２５における第２検査用プレート２２ｂの第１開口部２９ａ及び第２開口部３０ａで形成される模様に基づき、次のようにして半田の噴流状態を検出する。

第１開口部２９ａでは、円形の開口部分に接触する半田の状態から噴流状態が適切であるか否かを判断する。
すなわち、第１開口部２９ａで半田が全面に接触していないか、接触していてもその濃淡から噴流圧が小さいと判断される場合、噴流状態が不適切であると判断し、その後の検査を中止してメンテナンスを行う。また、第１開口部２９ａの周縁部分での半田の接触状態から半田付けの環境が適切であるか否かを判断する。例えば、第１開口部２９ａの周縁部分に気泡等が発生していれば、フラックスガスが発生し、基板等に半田付けする際、不濡の原因になると判断できる。

第２開口部３０ａでは、第１開口部２９ａよりも開口面積が広くなっており、半田による面圧が集中してしまうことを防止し、実際に基材の下面を半田付けする際の溶融半田の広がり範囲を確認できるようになっている。
すなわち、第２開口部３０ａでの半田の接触状態（第２開口部３０ａの全範囲で接触しているか否か）、特に、４隅の円弧部分での接触状態を判断する。また、半田が接触している部分の色彩の濃淡を判断する。さらに、４隅の円弧部分での気泡の発生状態を判断する。半田の接触状態で、実際に基材に半田付けする際の半田付け不良が発生するか否かが分かる。そして、半田が接触している部分の色彩の濃淡で、半田が基材に作用する噴流圧を判断できる。これによれば、より一層半田付け状態を良好なものとできるか否かを判断することが可能となる。また、円弧部分で気泡が発生していれば、フラックスガスが発生し、基板等に半田付けする際、不濡の原因になると判断できる。

続いて、浸漬確認プレート２２ｃの第１開口部２９ｂ及び第２開口部３０ｂにそれぞれ侵入する半田の位置から半田付けする際の浸漬状態を判断する。
すなわち、第１，第２開口部２９ｂ，３０ｂに半田が適正な位置まで侵入していれば、測定ピン３７が半田に接触し、報知部であるＬＥＤ３６が点灯して報知する。

特に、第１開口部２９ｂでは、形状が円形であるため、噴流圧が均等に作用した状態で半田が侵入し、しかも半田の表面張力が均等となる。また、第１開口部２９ｂは幅方向の３箇所に等間隔で配置されている。このため、実際に基材Ｂを半田付けする際の全体の半田付け状態を的確に把握できる。

なお、測定ピン３７の下端位置を上下方向に調整することにより、任意の位置に配置するようにしてもよい。この場合、測定箇所毎に位置を相違させるようにすれば（例えば、下限位置、中間位置、上限位置）、いずれのＬＥＤ３６が点灯しているかで、半田の浸漬高さ（深さ）を判別することが可能となる点で好ましい。

（第２実施形態）
第２実施形態では、半田付け装置の構成は前記第１実施形態に係る構成と同様であり、検査用治具１００の構成のみが相違する。

図９（ａ）は第２実施形態に係る検査用治具１００の平面図、図９（ｂ）は図９（ａ）のＢ−Ｂ線断面図、図９（ｃ）は図９（ａ）のＣ−Ｃ線断面図である。そして、この検査用治具１００は、支持フレーム１０１に、検査用プレート１０２と、第１半田検出部１０３と、第２半田検出部１０４と備えた構成である。また、検査用治具１００（図９）は、図１０に示すように、図中右向きの搬送方向の先頭側から、第１測定部１０６、第２測定部１０７及び第３測定部１０８の３つの領域で構成されている。

図１０（ａ）は支持フレーム１０１の平面図であり、図１０（ｂ）は図１０（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。この支持フレーム１０１は、平面視矩形状の板材からなり、側縁部中央には長手方向に延びる突条部１０５が形成されている。支持フレーム１０１は、突条部１０５を、前述の搬送装置４のガイド溝２０にガイドされて搬送される。第１測定部１０６には、矩形孔１０９が形成され、そこには検査用プレート１０２が配置されている。

支持フレーム１０１は、第１測定部１０６において幅方向に浅溝部１０１ａ（図１０（ａ），図１０（ｂ））が形成され、その底面には矩形孔１０９が形成され、上下面が連通している。そして、矩形孔１０９には、後述する検査用プレート１０２が配置される。また、浅溝部１０１ａを構成する両側壁上面には、浅溝部１０１ａに沿って３箇所ずつネジ孔（両端部ネジ孔１０１ｂ、中央部ネジ孔１０１ｃ）が形成されている。支持フレーム１０１の底面には、矩形孔１０９の両側部に沿って矩形孔１０９内に突出する保持プレート１０９ａが一体化されている。

支持フレーム１０１は、第２測定部１０７において、幅方向の両側に位置する凹所１１２がそれぞれ形成されている。各凹所１１２のほぼ中央部分には貫通孔１１２ａがそれぞれ形成され、後述する第１半田検出部１０３の測定ピン１１９が挿通可能となっている。

支持フレームは、第３測定部１０８において、幅方向に延びる浸漬確認部１１３が形成され、そこには３箇所に等間隔で貫通孔１１３ａが形成され、後述する第２半田検出部１０４の測定ピン１２８が挿通可能となっている。

図９（ｂ）に示すように、矩形孔１０９の両側両端部の２箇所にそれぞれ形成した両端部ネジ孔１０１ｃ（図１０（ａ））に保持爪１１０をネジ止めすることにより、矩形孔１０９内に配置する検査用プレート１０２は、前記保持爪１１０と支持フレーム１０１の保持プレート１０９ａとの間に保持されている。

図９（ｃ）に示すように、矩形孔１０９を形成することにより低下した強度は、矩形孔１０９の両側中央部にそれぞれ形成した中央部ネジ孔１０１ｂ（図１０（ａ））にネジ止めされ、かつ、中央部を掛け渡したアーチ部１１１によって補強されている。

検査用プレート１０２は、前記第１実施形態と同様、その搬送方向に対して直交する方向すなわち幅方向に、第１測定線１１６、第２測定線１１５及び基準線１１７がそれぞれ形成されている。勿論、各線の役割自体も、前記第１実施形態のものと同様である。

図１１（ａ）は、第１半田検出部１０３の側面断面図であり、図１１（ｂ）は正面断面図である。この第１半田検出部１０３は、昇降プレート１２２から突出する測定ピン１１９とで構成され、前記支持フレーム１０１の第２測定部１０７の凹所１１２に形成した各貫通孔１１２aに対して１つずつ設けられている。
前記第１半田検出部１０３は、ベースプレート１２０の両側にサイドプレート１２１を配置し、ベースプレート１２０と、サイドプレート１２１の上端屈曲部との間に昇降プレート１２２を配置したものである。昇降プレート１２２には調整ネジ１２３が螺合されており、この調整ネジ１２３を回転させることにより昇降プレート１２２の昇降位置を調整できるようになっている。
測定ピン１１９は、昇降プレート１２２に固定され、水平方向から鉛直下方へと延びて浸漬確認穴である貫通孔１１２ａ内に位置している。また、測定ピン１１９は、通電リード１２４を介して図示しないＬＥＤに電気接続されている。ＬＥＤは図示しない他の通電リードを介して半田槽内の半田に接触する図示していない電極部と電気接続されている。そして、測定ピン１１９に半田が接触することにより、報知部であるＬＥＤが点灯して報知するようになっている。

第２半田検出部１０４は、図９（ｃ）に示すように、取付台１２７と、この取付台１２７に装着された３つの測定ピン１２８とで構成され、前記支持フレーム１０１の第３測定部１０８に取り付けられて浸漬確認部１１３の上方に位置している。測定ピン１２８は、取付台１２７の下面から突出している。このため、測定ピン１２８は、第２半田検出部１０４を支持フレーム１０１に取り付けた場合には、前記浸漬確認部１１３を貫通して貫通孔１１２ｂ内に位置している。測定ピン１２８は、図示していない通電リード・LED・半田接触用電極部と電気接合され、測定ピン１２８が半田に接触することにより、報知部であるLEDが点灯して報知する。

前記構成の検査用治具１００は、半田噴流装置３に於ける半田の噴流状態を検査するために次のようにして利用される。

第１測定部１０６では、前記第１実施形態と同様に、検査用プレート１０２に接触する半田の模様から半田噴流装置３の状態等を判断する。
すなわち、前記第１実施形態と同様に、半田による模様の形状を観察する。そして、観察した形状が適切なものであるか否かを判断し、不適切であると判断すれば、その後の検査を中止してメンテナンスを行う。

そして、前記第１実施形態と同様に、第１ノズル部１２から噴流された半田によって検査用プレート１０２に形成される模様の後縁が基準線１１７と合致したとき、前縁と第１測定線１１6との位置関係を検査する。前縁の位置が第１測定線１１6に合致あるいはほぼ合致していれば、ＤＩＰ距離が適切であると判断し、合致していなければ（位置がずれたり、波打ったり、傾いたりしていれば）、不適切であると判断し、その後の検査を中止して半田噴流装置３のメンテナンスを行う。
また、第２ノズル部１４から噴流された半田についても同様の処理を行う。
すなわち、検査用プレート１０２に形成される模様の後縁が基準線１１７と合致したとき、前縁と第２測定線１１５との位置関係を検査し、前縁の位置が第２測定線１１５に合致あるいはほぼ合致していれば、ＤＩＰ距離が適切であると判断し、合致していなければ不適切であると判断し、その後の検査を中止して半田噴流装置３のメンテナンスを行う。

第１半田検出部１０３では、支持フレーム１０１の凹所１１２の底面に形成した貫通孔１１２ａ内にそれぞれ侵入する半田の位置から半田付けする際の浸漬状態を判断する。
すなわち、各貫通孔１１２ａに半田が適正な位置まで侵入していれば、測定ピン１１９が半田に接触し、報知部であるＬＥＤが点灯して報知する。
第２半田検出部１０４においても同様に、半田が支持フレーム１０１に形成した貫通孔１１２ｂ内の適正な位置に侵入していれば、測定ピン１２８が半田に接触し、報知部であるＬＥＤが点灯して報知する。

（第３実施形態）
図１２は、第３実施形態に係る半田付け装置を示す。この半田付け装置は、前記第１実施形態と同様に、フラックス塗布装置２０１、予熱装置２０２及び半田噴流装置２０３を備える。そして、フラックス塗布装置２０１、予熱装置２０２及び半田噴流装置２０３には、搬送装置２０４によってプリント基板等の半田付けの対象となる基材Ｂや検査用治具２０５が搬送されるようになっている。

フラックス塗布装置２０１は、基板等の半田付けの対象となる部材にフラックスを塗布するためのものである。フラックス塗布装置２０１は、独立して昇降可能に設けられており、基材Ｂにフラックスを塗布する際、後述する半田付け位置まで上昇する。(昇降しないタイプも有る。)

予熱装置２０２は、基板等を半田付けに適した温度まで昇温させるためのものである。予熱装置２０２も、前記フラックス塗布装置２０１と同様に、独立して昇降可能に設けられており、基材Ｂを予熱する際、前記半田付け位置まで上昇する。(昇降しないタイプも有る。)

図１３に示すように、半田噴流装置２０３は、半田槽２０６内に、噴流ノズル２０７と、その噴流ノズル２０７から半田を噴流させるための噴流ポンプ２０８とを備える。

半田槽２０６は、上面が開口する略直方体形状をしており、内部が中板２０９によって上下に２分割されている。また、中板２０９によって２分割された上方空間は、パンチングメタルからなる仕切板２１０によって、噴流ポンプ２０８が配置されるポンプ領域２１１と、半田が噴流される噴流領域２１２とに分割されている。中板２０９には、噴流領域側に矩形状の開口が形成され、その開口縁部から上方に向かって矩形筒状の噴流ノズル台２１３（図１４（ａ））が突出している。噴流ノズル台２１３の上方開口部は蓋体２１４で閉鎖されている。蓋体２１４には、噴流ノズル２０７と屑出しノズル２１５とが一体化されている。

噴流ノズル２０７は、３×３のマトリックス状に配置される矩形筒状体で構成されている。特に、図１５に示すように、噴流ノズル２０７の矩形筒状体の上端部には、さらに上方に突出して両端側に広げられた矩形枠部２１６が設けられ、噴流ノズル２０７の外周面と矩形枠部２１６との間には、両端部に位置する通路（還流通路２１７）が形成されている。このような噴流ノズル２０７では、矩形枠部２１６の上端開口部が基材等で覆われた状態で、半田槽２０６からの溶融した半田が矩形筒状体を上昇し、基材等の下面に接触した後、還流通路２１７を介して半田槽２０６へと還流されるようになっている。

屑出しノズル２１５は、図１３に示すように、前記噴流ノズル２０７と同様な矩形筒状体で構成され、その長手方向が半田槽２０６の幅方向に沿うように２列で配置されている。そして、屑出しノズル２１５は、半田付け作業を開始する前に、噴流ノズル台２１３内の半田屑を事前に排出する役目がある。
すなわち、屑出し噴流は屑出しノズル２１５と噴流ノズル２０７とから半田屑を同時に噴流して押し出すことにより、噴流ノズル台２１３内における半田のクリーニングを行なう。

噴流ポンプ２０８は、図１３に示すように、半田槽２０６の中板２０９のポンプ領域２１１に形成した中板フィン開口部２２０aを囲むようにして形成された矩形筒状のポンプハウジング２１８から上方に向かって延在させた支持台２１９に取り付けられている。噴流ポンプ２０８はモータで構成されており、その回転軸は、ポンプハウジング２１８内に位置させたポンプスクリュー２２０に連結されている。これにより、噴流ポンプ２０８を回転駆動すれば、回転軸の回転によりポンプスクリュー２２０が回転する。そして、ポンプスクリュー２２０の回転により、半田が流動し、噴流ノズル２０７を介して上方へと噴出される。

図１２に示すように、半田付け装置の入口及び出口にはベルトコンベア２２１がそれぞれ配置されている。また、半田付け装置の上方部分には搬送装置２０４が配置されている。

前記搬送装置２０４は、幅方向に所定間隔で配置した一対の支持レール２２２と、支持レール２２２に回動可能に設けた複数（ここでは、３つ）のアーム部材２２３と、支持レール２２２から下方に延びるガイド軸に沿って昇降可能に設けた一対のガイドレール２２４とを備える。

アーム部材２２３は、略Ｌ字形で、上端側を支持レール２２２に回転可能に連結されている。アーム部材２２３の中間部は、支持レール２２２の下方側に配置した移動レール２２５に回転可能に連結されている。

ガイドレール２２４は、対向面下縁側に長手方向に延びる溝を備え、基板及び検査用治具２０５をスライド可能に支持する。また、ガイドレール２２４は、モータ等の図示しない駆動装置によって、上方側の搬送位置と、下方側の半田付け位置とにそれぞれ昇降する。

そして、移動レール２２５を図示しないソレノイド等で移動させると、アーム部材２２３を同期して回動させることができる。このため、前記アーム部材２２３の下端側水平部の先端部分で基板や検査用治具２０５を押圧し、順次、ガイドレール２２４に沿って所定ピッチずつ搬送可能である。

図１４に示すように、検査用治具２０５は、半田槽２０６に於ける半田の噴流状態を検査するためのもので、支持フレーム２２６と、この支持フレーム２２６によって支持される検査用プレート２２７とで構成されている。

支持フレーム２２６は、繊維強化プラスチック等の耐熱性に優れた材料を平面視矩形状としたもので、両側部には、長手方向に延びる突条部がそれぞれ形成されている。また、支持フレーム２２６は、突条部を前記ガイドレール２２４の溝に支持されることにより、ガイドレール２２４に沿って摺動可能となる。支持フレーム２２６の上面には、測定部２２８が形成されている。測定部２２８は平面視矩形枠体形状に形成され、検査用プレート２２７を保持可能となっている。

測定部２２８は、凹部２２９の底面に形成された複数の矩形孔２３０により上下面が連通している。各矩形孔２３０（上端開口）は、噴流ノズル２０７（矩形枠部２１６）を囲むように形成されている。凹部２２９の底部で支持フレーム２２６の下面側において、矩形孔２３０の内縁から徐々に外方に広がる傾斜面２３１が形成されている。

検査用プレート２２７は、前記各測定部２２８に配置可能な平面視略矩形状としたもので、噴流させる半田の温度によっては変形しない耐熱性を有する材料（例えば、テンパックス）が使用されている。検査用プレート２２７には、格子状に基準線が形成され、噴流ノズル２０７（矩形枠部２１６）に対応する部分では、矩形枠部２１６に沿ってこれを囲むようなサイズに形成されている（以下、この部分の基準線を基準枠２３２と記載する。）。

次に、前記構成からなる半田付け装置での噴流状態の検査方法について説明する。

ベルトコンベア２２１によって検査用治具２０５を半田付け装置へと搬入する。半田付け装置に搬入された検査用治具２０５は、ガイドレール２２４によって両側部をガイドされ、搬送装置２０４によって一定速度で搬送される。そして、検査用治具２０５が半田噴流装置２０３まで搬送された後、ガイドレール２２４を半田付け位置まで降下させる。

半田噴流装置２０３では、噴流ポンプ２０８の駆動により溶融半田が噴流ノズル２０７から上方へと噴出している。このため、検査用治具２０５を半田付け位置まで降下させると、噴流中の半田が検査用プレート２２７の下面に接触する。このとき、半田によって検査用プレート２２７の下面に形成される模様は、検査用プレート２２７が透光性を有するので、上面側から視認可能である。そこで、半田により検査用プレート２２７に形成された模様が基準枠２３２に対してどのような形状となっているのかに基づいて、半田噴流装置２０３をメンテナンスするのか否か等を決定する。
すなわち、基準枠２３２から半田による模様がはみ出していれば、そのはみ出し具合によって次の点を判断することができる。模様のはみ出しが一様であれば、噴流ノズル２０７の先端開口部と検査用プレート２２７の下面との間隙寸法が設定範囲内にないか、あるいは、噴流ノズル２０７に反り等が発生していると判断することができる。
また、模様の輪郭に乱れがあれば、噴流ノズル２０７の先端部分に傷が付いていたり、歪みが発生していたり、あるいは、汚れが付着していたりする可能性があると判断することができる。
さらに、第２実施形態に係る第１，第２半田検出部１０３，１０４を追加すると、浸漬確認も可能となる。

なお、本発明は、前記実施形態に記載された構成に限定されるものではなく、種々の変更が可能である。

前記第１及び第２実施形態では、検査用プレート２２、１０２として、第１測定線３１，１１６、第２測定線３２，１１５及び基準線３３，１１７を形成したものを使用したが、次のように構成することもできる。

すなわち、図１６に示すように、測定補助線を追加することもできる。この場合、測定補助線は、等間隔で形成し、等本数ごとに線形状を変更することで、検査用治具の搬送速度を測定したり、自由に変更したＤＩＰ距離に対して対応したりすることができる。
また、ＤＩＰ距離が理想とする値から不適合である場合、そのときのＤＩＰ距離も的確に計測できるので、その計測値に基づいて調整作業を容易に行うことができる。
さらに、基準線は、搬送方向に直交する方向だけでなく、搬送方向に沿った方向にも形成することもできる。これによれば、検査用プレート１０２に形成される半田の模様の変化量をも簡単に判断できる。その上、第２搬送コンベア１８のガイドブロック１９のはんだ噴流への影響も計測しやすくなるという利点がある。

また、前記第１及び第２実施形態では、検査用プレート２２、１０２に形成される半田の模様の後縁が基準線３３、１１７と合致したとき、前縁と第１測定線３１、１１６又は第２測定線３２、１１５との位置関係を検査するようにしたが、基準線と測定線とを逆としてもよい。
すなわち、半田の模様の前縁が基準線に合致したとき、後縁の各測定線との位置関係を検査するようにしてもよい。
要するに、半田の噴流状態を検査できるように、半田の模様の前縁及び後縁の形状、傾きのほか、前縁と後縁の距離等を判別可能な線が形成されていればよい。また、正確な検査が必要でなければ、測定線等は形成されていなくても構わない。

前述の実施形態では、開口の広い半田層に適用する場合について説明したが、必ずしもこれに限らず、例えば、基材の特定の１箇所にスポット的に半田付けする必要がある場合に、１本のノズルから噴流する溶融半田の噴流状態を検査する場合に適用してもよいこと勿論である。

本発明に係る検査用治具５は、鉛入り・鉛フリー半田等、半田噴流装置での半田の噴流状態の検査に使用することができる。

Claims (9)

1. 半田の噴流状態を検査するために半田付けされる基材と同一搬送経路を一定速度で搬送される支持フレームを有する検査用治具であって、
   前記半田による熱影響により変形しない耐熱性と、一方の面への半田の接触状態を、他方の面側から検査可能とする透光性と、を有する検査用プレートを備え、
   前記検査用プレートの他方の面に、前記一方の面への半田の接触状態を判断するため、一本の基準線を搬送方向に直交する方向に設ける一方、
   上面に前記検査用プレートを固定した前記支持フレームの下面に、
   前記検査用プレートの一方の面の直下に位置し、かつ、前記一方の面を露出させる矩形孔と、
   前記矩形孔の内縁から外方に広がり、かつ、前記矩形孔に連続する傾斜面と、
   前記傾斜面が形成する最大開口面積よりも大きい開口面積を有し、かつ、前記傾斜面に連続する環状段部を備えた逃がし凹部と、
   を設けたことを特徴とする検査用治具。
2. 前記検査用プレートは、前記基準線よりも搬送方向側に形成される少なくとも１本の測定線を有することを特徴とする請求項１に記載の検査用治具。
3. 第１測定部及び第２測定部を有する支持フレームと、
   前記支持フレームの第１測定部及び第２測定部にそれぞれ保持される前記検査用プレートと、からなり、
   前記第２測定部は、噴流された半田を前記検査用プレートに導く複数の開口部を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の検査用治具。
4. 前記支持フレームは、表裏面を連通する複数の開口部からなる第３測定部を備え、
   前記第３測定部の各開口部に侵入した半田の浸漬高さを検出する半田検出装置を備えたことを特徴とする請求項３に記載の検査用治具。
5. 前記半田検出装置は、各開口部にそれぞれ配置される複数の測定ピンと、測定ピンが半田と接触することにより報知する報知部とを備えたことを特徴とする請求項４に記載の検査用治具。
6. 前記測定ピンは、半田が付着することを防止するためのヒータを備えたことを特徴とする請求項５に記載の検査用治具。
7. 半田の噴流状態を検査するための検査用治具であって、
   噴流させた半田によって形成される模様により、半田の噴流状態を検出可能な第１測定部を有することを特徴とする請求項１に記載の検査用治具。
8. 半田の噴流状態を検査するための検査用治具であって、
   噴流させた半田の噴流圧の状態を検出可能な第２測定部を有することを特徴とする請求項７に記載の検査用治具。
9. 半田の噴流状態を検査するための検査用治具であって、
   噴流させた半田の浸漬高さを検出可能な第３測定部を有することを特徴とする請求項７または８に記載の治具。

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