JP5864347B2 - オートフォーカス機構 - Google Patents
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Description
A+B信号電圧V(A+B)=A信号電圧+B信号電圧 (1)
S信号電圧VS=(A信号電圧−B信号電圧)/(A信号電圧+B信号電圧)(2)
逆に、S信号有効判定電圧VSVの設定値の違いにより、上記同様に合焦位置判断可能領域EAVが無くなったり、広くなりすぎたりする。
A+B信号電圧=A信号電圧+B信号電圧 (1)
S信号電圧=(A信号電圧−B信号電圧)/(A信号電圧+B信号電圧) (2)
2、102…測定ワーク
12…結像レンズ
14、114…対物レンズ
16、116…レーザ光
20…ビームスプリッタ
22、122…第1ピンホール
24、124…第1フォトダイオード
26、126…第2ピンホール
28、128…第2フォトダイオード
104…光学ヘッド
106…スタンド
108…処理部
110…レーザダイオード
112…チューブレンズ
118…第1ビームスプリッタ
120…第2ビームスプリッタ
130…位置検出部
132…光学ヘッド移動機構
134…A信号電圧変換部
136…B信号電圧変換部
138…A+B信号電圧変換部
140…S信号電圧変換部
142…S信号・A+B信号電圧検出部
144…S信号・A+B信号・位置データ記憶部
146…演算・制御部
148…S信号有効判定電圧記憶部
150…外部通信部
152…ホストコントローラ
154…入出力部
Claims (3)
- レーザ光を集光して測定ワークに照射する対物レンズと、該対物レンズを介して該測定ワークからの反射光を分岐するビームスプリッタと、分岐された一方の該反射光の焦点位置の手前側に配置された第1光量制限素子と、該第1光量制限素子を通過した該反射光を受光する第1受光素子と、分岐されたもう一方の該反射光の焦点位置の奥側に配置された第2光量制限素子と、該第2光量制限素子を通過した該反射光を受光する第2受光素子と、第1、第2受光素子から出力される信号をそれぞれA信号電圧、B信号電圧に変換し、式(1)、(2)に示すA+B信号電圧とS信号電圧とを求める処理部と、を備えるオートフォーカス機構において、
前記処理部に、
前記S信号電圧における最大電圧を示す最大位置から前記対物レンズと前記測定ワークとの間の距離が小さくなる方向にあり且つ該距離が該対物レンズの焦点距離とされた際に得られる該S信号電圧である合焦判断電圧と該最大電圧から該合焦判断電圧を減算して得た電圧よりも小さく設定される許容電圧との和の電圧が前記S信号電圧となる前記距離における前記A+B信号電圧を第1下限電圧と定める第1演算手段と、
前記S信号電圧における最小電圧を示す最小位置から前記距離が拡大する方向にあり且つ前記合焦判断電圧と前記許容電圧との差の電圧が前記S信号電圧となる前記距離における前記A+B信号電圧を第2下限電圧と定める第2演算手段と、
該第1、第2下限電圧のうちの高い方の電圧を下限電圧と定める第3演算手段と、
前記S信号電圧において前記最大位置と前記最小位置の間にある前記合焦判断電圧と同じ電圧となる前記距離における前記A+B信号電圧を上限電圧と定める第4演算手段と、
前記上限電圧と前記下限電圧とを、前記A+B信号電圧から自身を減算して得た電圧がゼロ以上の前記距離における前記合焦判断電圧を有効とする閾値電圧であるS信号有効判定電圧の設定可能な範囲の上限値と下限値として出力する出力手段と、
を備えることを特徴とするオートフォーカス機構。
A+B信号電圧=A信号電圧+B信号電圧 (1)
S信号電圧=(A信号電圧−B信号電圧)/(A信号電圧+B信号電圧) (2) - 前記出力手段は、前記S信号有効判定電圧が入力可能とされた入出力部とされ、前記処理部は該S信号有効判定電圧を記憶する記憶部を備えることを特徴とする請求項1に記載のオートフォーカス機構。
- 前記処理部は、前記第3、第4演算手段と接続された通信手段と、該通信手段と通信可能とされたホストコントローラとを備え、該ホストコントローラに前記出力手段が接続されることを特徴とする請求項2に記載のオートフォーカス機構。
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