JP5857537B2 - エアスピンドル - Google Patents
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Description
前記静圧気体軸受は、前記固定体に対して、例えば、弾性支持部材またはラビリンスシールを介して取り付けることで、軸方向で移動可能にできる。
[第1実施形態]
この実施形態のエアスピンドルは、軸が固定体でハウジングが回転体の例であり、図1および2に示すように、固定軸(固定体)1と、細長い円筒状のハウジング(回転体)2と、固定軸1とハウジング2との間に配置された1対の静圧気体軸受3と、1対の円環状の端部材(回転体)4と、Oリング(弾性支持部材)5とで構成されている。
固定軸1は、ハウジング2の軸方向中央部に配置される部分に、ラジアル方向への突出部1aを有する。1対の静圧気体軸受3は円筒体からなり、軸方向で固定軸1の突出部1aを挟んだ両側の部分(軸受部)1bに外嵌されている。
静圧気体軸受3は、ハウジング2の内周面と対向するラジアル軸受面31と、端部材4および突出部1aの端面と対向するアキシアル方向端面32を有する。静圧気体軸受3の軸方向中央部に、径方向に貫通する排気穴35が形成されている。排気穴35は周方向の複数箇所に形成されている。静圧気体軸受3の内周面には、軸方向で排気穴35を挟んだ両側に、気体導入用の周溝36が形成されている。固定軸1の周溝11は、静圧気体軸受3の周溝36を挟んだ両側となる位置に形成されている。
固定軸1の内部には、また、静圧気体軸受3の排気穴35の位置に、排気路13から分岐して径方向に延び、固定軸1の外周面に至る回収穴(気体排出経路)15が形成されている。固定軸1の内部には、さらに、静圧気体軸受3の周溝36の位置に、給気路12から分岐して径方向に延びる給気穴(気体供給経路)12aが形成されている。
ラジアル軸受面31とアキシアル方向端面32を通った気体は、排気穴35から回収穴15を介して排気路13に回収される。排気路13に回収された気体は外部に排出される。また、端部材4側のアキシアル方向端面32(アキシャル軸受面32a)を通った気体は、主に、気体排出隙間6から端部材4の排気穴44を介して外部に排出される。
この実施形態のエアスピンドルは、軸が回転体でハウジングが固定体の例であり、図3に示すように、軸(回転体)7と、軸7に外嵌された円筒体(回転体)71と、1対の端部材(回転体)72と、ハウジング(固定体)8と、円筒体71と端部材72とハウジング8との間に配置された1対の静圧気体軸受9と、Oリング(弾性支持部材)5とで構成されている。
1対の静圧気体軸受9は穴開き円板状で、軸方向でハウジング8の突出部82を挟んだ両側に配置されている。静圧気体軸受9は、円筒体71の外周面と対向するラジアル軸受面91と、端部材72および突出部82の端面と対向するアキシアル方向端面92を有する。静圧気体軸受9の外周面に気体導入用の周溝96が形成されている。
この実施形態のエアスピンドルでは、ハウジング8の雌ねじ穴81cに接続された気体供給管から導入された加圧気体が、第2の給気穴81bから静圧気体軸受9の外周溝96に入り、静圧気体軸受9のラジアル軸受面91とアキシアル方向端面92に供給される。これにより、静圧気体軸受9が機能する。ラジアル軸受面91およびアキシアル方向端面92を通った気体は、円筒体71とハウジング8との間を通って排気路83から外部に排出される。
第1実施形態では、Oリング5により、1対の静圧気体軸受3が固定軸1に対して軸方向で移動可能に取り付けられているが、この実施形態では、Oリング5に代えてラビリンスシール50を使用している。これ以外の点は第1実施形態と同じである。
図4に示すように、この実施形態のエアスピンドルでは、固定軸1の軸受部1bの外周面の各4箇所にラビリンスシール50が形成されている。これらのラビリンスシール50により、1対の静圧気体軸受3が固定軸1に対して、軸方向で移動可能に取り付けられている。ラビリンスシール50は、静圧気体軸受3の周溝36を挟んだ両側となる位置に形成されている。
第2実施形態では、Oリング5により、1対の静圧気体軸受9がハウジング8に対して軸方向で移動可能に取り付けられているが、この実施形態では、Oリング5に代えてラビリンスシール50を使用している。これ以外の点は第2実施形態と同じである。
図5に示すように、この実施形態のエアスピンドルでは、ハウジング8の軸方向両端部の内周面(突出部82が形成されていない円筒部81の内周面)の各2箇所に、ラビリンスシール50が形成されている。これらのラビリンスシール50により、1対の静圧気体軸受9がハウジング8に対して、軸方向で移動可能に取り付けられている。ラビリンスシール50は、静圧気体軸受9の周溝96を挟んだ両側となる位置に形成されている。
1a 固定軸(固定体)の突出部
1b 固定軸の軸受部(固定体の突出部以外の部分)
11 周溝
12 給気路
12a 給気穴
13 排気路
14 連通路
15 回収穴
2 ハウジング(回転体)
3 静圧気体軸受
31 ラジアル軸受面
32 アキシャル方向端面
32a アキシアル軸受面
35 排気穴
36 周溝
4 端部材(回転体)
41 端部材の大径部
42 端部材の中径部
43 端部材の小径部
44 排気穴
5 Oリング(弾性支持部材)
50 ラビリンスシール
6 気体排出隙間
7 軸(回転体)
71 円筒体(回転体)
72 端部材(回転体)
8 ハウジング(固定体)
81 ハウジング(固定体)の円筒部
81a 給気路
81b 給気路
81c 雌ねじ穴
82 ハウジング(固定体)の突出部
83 排気路
84 周溝
9 静圧気体軸受
91 ラジアル軸受面
92 アキシャル方向端面
92a アキシアル軸受面
96 周溝
Claims (3)
- 固定体である軸と、回転体であるハウジングと、前記軸を内挿し前記ハウジングの軸方向端部に固定された端部材と、
前記軸と前記ハウジングとの間に配置されて、前記ハウジングを前記軸に対して回転可能に支持する静圧気体軸受と、
を有し、
前記軸はラジアル方向への突出部を有し、
前記静圧気体軸受は、前記軸の軸方向で前記突出部を挟んだ両側の部分に、軸方向で移動可能に取り付けられ、
前記静圧気体軸受は、前記端部材と対向するアキシアル軸受面、前記ハウジングの内周面と対向するラジアル軸受面、および前記突出部の軸方向端面と対向するアキシアル方向端面を有し、
前記静圧気体軸受は円筒体からなり、
前記軸の内部に、軸方向に延びる給気路および排気路と、前記排気路から分岐して前記軸の径方向に延びて前記軸の外周面に至る回収穴が形成され、
前記回収穴に連通する排気穴が、前記円筒体を径方向に貫通する貫通穴として形成され、
前記円筒体の内周面の軸方向で前記排気穴を挟んだ両側となる位置に、気体導入用の周溝が形成され、
前記軸の外周部の前記周溝の位置に、前記給気路から分岐して径方向に延びる給気穴が形成されているエアスピンドル。 - 前記静圧気体軸受は、前記固定体に対して弾性支持部材を介して取り付けられている請求項1記載のエアスピンドル。
- 前記静圧気体軸受は、前記固定体に対してラビリンスシールを介して取り付けられている請求項1記載のエアスピンドル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011187715A JP5857537B2 (ja) | 2011-08-30 | 2011-08-30 | エアスピンドル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011187715A JP5857537B2 (ja) | 2011-08-30 | 2011-08-30 | エアスピンドル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013050149A JP2013050149A (ja) | 2013-03-14 |
JP5857537B2 true JP5857537B2 (ja) | 2016-02-10 |
Family
ID=48012348
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011187715A Expired - Fee Related JP5857537B2 (ja) | 2011-08-30 | 2011-08-30 | エアスピンドル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5857537B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11365404B2 (en) | 2016-12-27 | 2022-06-21 | Tl Genomics Inc. | Method for obtaining nucleic acid derived from fetal cell |
US11666915B2 (en) | 2017-10-19 | 2023-06-06 | Tl Genomics Inc. | Cell classification chip |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105215384A (zh) * | 2015-07-31 | 2016-01-06 | 四川省兴旺达精密机电有限公司 | 一种用于镜面数控机床的超高速空气轴承电机 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2594110Y2 (ja) * | 1992-06-30 | 1999-04-19 | エヌティエヌ株式会社 | 静圧気体軸受スピンドル装置 |
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JP3572737B2 (ja) * | 1995-06-26 | 2004-10-06 | 日本精工株式会社 | 静圧気体軸受装置 |
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JP5308280B2 (ja) * | 2009-08-30 | 2013-10-09 | 株式会社タンケンシールセーコウ | 静圧気体軸受 |
-
2011
- 2011-08-30 JP JP2011187715A patent/JP5857537B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US11365404B2 (en) | 2016-12-27 | 2022-06-21 | Tl Genomics Inc. | Method for obtaining nucleic acid derived from fetal cell |
US11666915B2 (en) | 2017-10-19 | 2023-06-06 | Tl Genomics Inc. | Cell classification chip |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013050149A (ja) | 2013-03-14 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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