JP5857470B2 - Rolling bearing device with sensor - Google Patents

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Description

本発明は、軌道輪の回転状態を測定するセンサを備える転がり軸受装置に関する。   The present invention relates to a rolling bearing device including a sensor that measures a rotation state of a race.

従来、回転輪の回転状態（例えば回転速度、回転方向、回転角度）を測定する磁気センサを備えた転がり軸受が知られている。このようなセンサ付き転がり軸受においては、検出すべき磁場以外の磁場（以下「ノイズ磁場」と記すこともある）を磁気センサが検出してしまい、回転輪の回転状態の測定結果に誤差が生じるおそれがあった。そのため、ノイズ磁場を磁気センサから遮断して、磁気センサへの悪影響を低減するセンサ付き転がり軸受が提案されている。
例えば特許文献１には、磁気経路を形成する磁性リングを備えたセンサ付き転がり軸受が開示されている。モータ等から発生する漏洩磁場は、最も磁気抵抗の小さい磁性リングを流れることになるため、この漏洩磁場が磁気センサに与える悪影響が抑制される。 2. Description of the Related Art Conventionally, a rolling bearing provided with a magnetic sensor that measures a rotation state (for example, rotation speed, rotation direction, rotation angle) of a rotating wheel is known. In such a rolling bearing with a sensor, the magnetic sensor detects a magnetic field other than the magnetic field to be detected (hereinafter sometimes referred to as “noise magnetic field”), and an error occurs in the measurement result of the rotating state of the rotating wheel. There was a fear. For this reason, a rolling bearing with a sensor has been proposed in which a noise magnetic field is cut off from the magnetic sensor to reduce adverse effects on the magnetic sensor.
For example, Patent Document 1 discloses a sensor-equipped rolling bearing including a magnetic ring that forms a magnetic path. Since the leakage magnetic field generated from the motor or the like flows through the magnetic ring having the smallest magnetic resistance, the adverse effect of the leakage magnetic field on the magnetic sensor is suppressed.

特開２００２−１７４２５８号公報JP 2002-174258 A

しかしながら、特許文献１に開示のセンサ付き転がり軸受は、外部磁場を遮断するものであるため、センサ付き転がり軸受の内部でノイズ磁場が発生する場合には、十分な効果が得られないおそれがあった。
例えば、回転輪に取り付けられた環状磁石と、固定輪（非回転輪）に取り付けられた磁気検出素子とをセンサギャップを空けて対向させて磁気センサを構成したセンサ付き転がり軸受においては、環状磁石のＳ極とＮ極との境界部分又はその近傍に磁気検出素子が位置している際には、磁気検出素子がノイズ磁場を検出してしまうおそれがあった。 However, since the rolling bearing with sensor disclosed in Patent Document 1 blocks an external magnetic field, if a noise magnetic field is generated inside the rolling bearing with sensor, a sufficient effect may not be obtained. It was.
For example, in a rolling bearing with a sensor in which a magnetic sensor is configured by making an annular magnet attached to a rotating wheel and a magnetic detection element attached to a stationary wheel (non-rotating wheel) face each other with a sensor gap therebetween, When the magnetic detection element is located at or near the boundary portion between the S pole and the N pole, the magnetic detection element may detect a noise magnetic field.

すなわち、環状磁石のＳ極とＮ極との境界部分には、図６に示すように、環状磁石の周方向に沿う検出方向磁場と、環状磁石の径方向外方側に弓状に延びるラジアル方向磁場とが発生している。よって、磁気検出素子の位置が前記境界部分に近いほど、ノイズ磁場であるラジアル方向磁場を検出しやすいので、回転輪の回転状態の測定結果に誤差が生じるおそれがあった。例えば、磁気検出素子がパルス信号を出力する場合はピッチ、デューティ比等、アナログ信号を出力する場合はピッチ、振幅、オフセット等に誤差が生じるおそれがあった。
そこで、本発明は上記のような従来技術が有する問題点を解決し、内部でノイズ磁場が発生する場合でも、ノイズ磁場の悪影響を受けにくく、回転輪の回転状態を高精度で測定することが可能なセンサ付き転がり軸受装置を提供することを課題とする。 That is, at the boundary portion between the S pole and the N pole of the annular magnet, as shown in FIG. 6, a detection direction magnetic field along the circumferential direction of the annular magnet and a radial extending in an arc shape radially outward of the annular magnet Directional magnetic field is generated. Therefore, the closer the position of the magnetic detection element is to the boundary portion, the easier it is to detect the radial magnetic field, which is a noise magnetic field, and there is a risk that an error will occur in the measurement result of the rotation state of the rotating wheel. For example, when the magnetic detection element outputs a pulse signal, an error may occur in the pitch, duty ratio, and the like, and when an analog signal is output, an error may occur in the pitch, amplitude, offset, and the like.
Therefore, the present invention solves the problems of the prior art as described above, and even when a noise magnetic field is generated inside, it is difficult to be adversely affected by the noise magnetic field, and the rotational state of the rotating wheel can be measured with high accuracy. An object of the present invention is to provide a rolling bearing device with a sensor that can be used.

前記課題を解決するため、本発明の態様は次のような構成からなる。すなわち、本発明の一態様に係るセンサ付き転がり軸受装置は、回転可能な回転輪と、前記回転輪を回転可能に支持する固定輪と、前記回転輪が有する軌道面と前記固定輪が有する軌道面との間に転動自在に配された複数の転動体と、前記回転輪の回転状態を測定するセンサと、を備え、以下の５つの条件を満足する。 In order to solve the above problems, an aspect of the present invention has the following configuration. That is, the sensor-equipped rolling bearing device according to one aspect of the present invention includes a rotatable rotating wheel, a fixed wheel that rotatably supports the rotating wheel, a raceway surface that the rotating wheel has, and a track that the fixed wheel has. It comprises a plurality of rolling elements that are arranged so as to be able to roll between the surface and a sensor that measures the rotational state of the rotating wheel, and satisfies the following five conditions.

条件Ａ：前記センサは、前記回転輪と一体に回転可能に前記回転輪に取り付けられた被検出部と、前記被検出部とセンサギャップを空けて対向するように前記固定輪に取り付けられた検出部と、を有し、前記回転輪の回転に伴う前記被検出部の回転状態を前記検出部によって測定するようになっている。
条件Ｂ：前記被検出部は環状磁石であり、この環状磁石には該環状磁石の周方向に沿う検出方向磁場が発生している。
条件Ｃ：前記検出部は、磁気検出素子であるホール素子及び該ホール素子からの出力信号を増幅する増幅器を備える磁気検出器である。
条件Ｄ：前記環状磁石から生じる磁場のうち、前記環状磁石の周方向に沿う方向の磁場以外の磁場を前記検出部から遮断する磁気シールドを、前記検出部の周方向両側の少なくとも一方に対向するように設けた。
条件Ｅ：２個の前記検出部を、周方向間隔を空け且つ電気角１８０°の位相差を設けて前記固定輪に配した。 Condition A: The sensor is a detection part attached to the rotating wheel so as to be rotatable integrally with the rotating wheel, and a detection attached to the fixed wheel so as to face the detection part with a sensor gap. And a rotation state of the detected portion accompanying rotation of the rotating wheel is measured by the detection portion.
Condition B: The detected portion is an annular magnet, and a magnetic field in the detection direction along the circumferential direction of the annular magnet is generated in the annular magnet.
Condition C: The detection unit is a magnetic detector including a Hall element that is a magnetic detection element and an amplifier that amplifies an output signal from the Hall element.
Condition D: A magnetic shield that blocks a magnetic field generated from the annular magnet other than a magnetic field in a direction along the circumferential direction of the annular magnet from at least one of both sides in the circumferential direction of the detection unit. Provided.
Condition E: The two detection units were arranged on the fixed wheel with a circumferential interval and a phase difference of an electrical angle of 180 °.

このようなセンサ付き転がり軸受装置においては、複数個の前記検出部を周方向間隔を空けて前記固定輪に配することができる。そして、２個の前記検出部を周方向に並べて隣接させ、これら２個の前記検出部の間に前記磁気シールドを設けてもよいし、２個の前記検出部を電気角９０°又は１８０°の位相差を設けて前記固定輪に配してもよい。
また、磁気シールドは軟磁性体で構成することが好ましい。軟磁性体としてはパーマロイ、電磁軟鉄、又はケイ素鋼が好ましい。 In such a sensor-equipped rolling bearing device, a plurality of the detection units can be arranged on the fixed ring with a circumferential interval therebetween. Then, the two detection units may be arranged adjacent to each other in the circumferential direction, and the magnetic shield may be provided between the two detection units, or the two detection units may have an electrical angle of 90 ° or 180 °. The phase difference may be provided and arranged on the fixed ring.
The magnetic shield is preferably made of a soft magnetic material. As the soft magnetic material, permalloy, electromagnetic soft iron, or silicon steel is preferable.

さらに、前記磁気検出素子は、前記回転状態を示すパルス信号を出力するものでもよいし、前記回転状態を示すアナログ信号を出力するものでもよい。
さらに、前記検出部と前記被検出部とをセンサギャップを空けてアキシアル対向させてもよいし、ラジアル対向させてもよい。
さらに、前記環状磁石は、周方向にＳ極とＮ極の２極に着磁した２極着磁としてもよいし、周方向にＳ極とＮ極を交互に４極以上着磁した多極着磁としてもよい。 Et al is, the magnetic detection element may be designed to output a pulse signal indicating the rotating state, may output an analog signal indicating the rotating state.
Further, the detection unit and the detected unit may be axially opposed with a sensor gap therebetween or may be radially opposed.
Further, the annular magnet may be two-pole magnetized with two poles of S-pole and N-pole in the circumferential direction, or multi-pole magnetized with four or more poles alternately in the circumferential direction. Magnetization is also possible.

本発明のセンサ付き転がり軸受装置は、環状磁石から生じる磁場のうち、環状磁石の周方向に沿う方向の磁場以外の磁場を検出部から遮断する磁気シールドを、検出部の周方向両側の少なくとも一方に対向するように設けたので、内部でノイズ磁場が発生する場合でも、ノイズ磁場の悪影響を受けにくく、回転輪の回転状態を高精度で測定することが可能である。   The rolling bearing device with a sensor according to the present invention includes a magnetic shield that blocks a magnetic field generated from an annular magnet other than a magnetic field in a direction along the circumferential direction of the annular magnet from at least one of the circumferential sides of the detection unit. Therefore, even when a noise magnetic field is generated inside, it is difficult to be adversely affected by the noise magnetic field, and the rotation state of the rotating wheel can be measured with high accuracy.

本発明に係るセンサ付き転がり軸受装置の一実施形態の構造を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of one Embodiment of the rolling bearing apparatus with a sensor which concerns on this invention. 図１のセンサ付き転がり軸受装置の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the rolling bearing apparatus with a sensor of FIG. 磁気検出素子と磁気シールドの配置を説明する図である。It is a figure explaining arrangement | positioning of a magnetic detection element and a magnetic shield. 本実施形態の変形例を示す、磁気検出素子と磁気シールドの配置を説明する図である。It is a figure explaining arrangement | positioning of the magnetic detection element and magnetic shield which show the modification of this embodiment. 本実施形態の別の変形例を示す、磁気検出素子と磁気シールドの配置を説明する図である。It is a figure explaining arrangement | positioning of the magnetic detection element and magnetic shield which show another modification of this embodiment. 環状磁石から生じるノイズ磁場を説明する図である。It is a figure explaining the noise magnetic field which arises from an annular magnet.

本発明に係るセンサ付き転がり軸受装置の実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明に係るセンサ付き転がり軸受装置の一実施形態の構造を示す斜視図であり、図２は、図１のセンサ付き転がり軸受装置の分解斜視図である。また、図３は、図１のセンサ付き転がり軸受装置に備えられた磁気検出素子と磁気シールドの配置を説明する図である。   Embodiments of a rolling bearing device with a sensor according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a structure of a rolling bearing device with a sensor according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view of the rolling bearing device with a sensor of FIG. FIG. 3 is a view for explaining the arrangement of magnetic detection elements and magnetic shields provided in the sensor-equipped rolling bearing device of FIG.

本実施形態の深溝玉軸受１０は、外周面に軌道面を有する内輪１と、内輪１の軌道面に対向する軌道面を内周面に有する外輪２と、内輪１の軌道面と外輪２の軌道面との間に転動自在に配された複数の転動体（玉）３と、内輪１及び外輪２の間に転動体３を保持する保持器（図示せず）と、を備えている。なお、保持器は備えていなくてもよい。また、内輪１の外周面及び外輪２の内周面の間に形成された軸受内部空間に、潤滑剤（例えば潤滑油，グリース）を封入してもよい。   The deep groove ball bearing 10 of the present embodiment includes an inner ring 1 having a raceway surface on an outer peripheral surface, an outer ring 2 having an inner race surface facing a raceway surface of the inner ring 1, a raceway surface of the inner ring 1, and an outer ring 2. There are provided a plurality of rolling elements (balls) 3 that are arranged so as to roll freely between the raceway surfaces, and a cage (not shown) that holds the rolling elements 3 between the inner ring 1 and the outer ring 2. . Note that the cage may not be provided. Further, a lubricant (for example, lubricating oil or grease) may be enclosed in a bearing internal space formed between the outer peripheral surface of the inner ring 1 and the inner peripheral surface of the outer ring 2.

この深溝玉軸受１０は、内輪１の内周面を例えば回転シャフト（図示せず）に嵌合して回転可能な回転輪とし、外輪２の外周面を例えば軸受ハウジング（図示せず）に固定して、回転輪である内輪１を回転可能に支持する固定輪（すなわち非回転輪）とすることができる。すなわち、深溝玉軸受１０を、図示しない回転シャフトと軸受ハウジングとの間に介装すれば、軸受ハウジングに対して回転シャフトを回転可能に支持することができる。ただし、これとは逆に、内輪１を固定輪とし、外輪２を回転輪としてもよいことは勿論である。   In this deep groove ball bearing 10, the inner peripheral surface of the inner ring 1 is fitted to, for example, a rotating shaft (not shown) to be a rotatable rotating ring, and the outer peripheral surface of the outer ring 2 is fixed to, for example, a bearing housing (not shown). And it can be set as the fixed ring (namely, non-rotating wheel) which supports the inner ring | wheel 1 which is a rotating wheel rotatably. That is, if the deep groove ball bearing 10 is interposed between a rotating shaft (not shown) and the bearing housing, the rotating shaft can be rotatably supported with respect to the bearing housing. However, on the contrary, the inner ring 1 may be a fixed ring and the outer ring 2 may be a rotating ring.

そして、内輪１及び外輪２の間の隙間の開口を覆う図示しない密封装置（接触式、非接触式いずれでもよく、例えば鋼製のシールドやゴムシールがあげられる）が、深溝玉軸受１０の軸方向（軸受中心軸方向）の一方の端部のみに備えられており、他方の端部には、回転輪である内輪１の回転の状態（例えば回転速度、回転方向、回転角度）を測定するセンサ２０が取り付けられている。   A sealing device (not shown) that covers the opening of the gap between the inner ring 1 and the outer ring 2 (either a contact type or a non-contact type, such as a steel shield or rubber seal) is provided in the axial direction of the deep groove ball bearing 10. A sensor that is provided only at one end (in the bearing center axis direction) and measures the rotation state (for example, rotational speed, rotational direction, rotational angle) of the inner ring 1 that is a rotating wheel at the other end. 20 is attached.

次に、センサ２０の構成について説明する。センサ２０は、回転輪である内輪１と一体に回転可能に内輪１に取り付けられた被検出部２２と、被検出部２２とセンサギャップを空けて対向するように固定輪である外輪２に取り付けられた検出部２４と、を有している。そして、内輪１の回転に伴って内輪１と同一の回転状態で回転する被検出部２２の回転の状態を、検出部２４によって測定できるようになっている。   Next, the configuration of the sensor 20 will be described. The sensor 20 is attached to the detected part 22 that is attached to the inner ring 1 so as to be rotatable integrally with the inner ring 1 that is a rotating wheel, and is attached to the outer ring 2 that is a fixed ring so as to face the detected part 22 with a sensor gap. The detection unit 24 is provided. And the detection part 24 can measure the rotation state of the detected part 22 that rotates in the same rotation state as the inner ring 1 as the inner ring 1 rotates.

センサ２０としては、磁気状態の変化（磁場の強弱や向き（具体的には、磁束密度の変動）など）を検知する磁気センサが使用されている。そして、この磁気センサの被検出部２２として、２極以上に着磁された環状の磁石（以下、「エンコーダ２２」と記す）を適用するとともに、検出部２４として、磁気状態の変化（例えば磁束密度の変動）を検出する磁気検出素子（以下、「磁気検出素子２４」と記す）を適用している。
ここで、磁気検出素子２４とエンコーダ２２について、さらに説明する。本実施形態においては、センサ２０は２個の磁気検出素子２４を備えている。そして、図３に示すように、２個の磁気検出素子２４は、エンコーダ２２の周方向に間隔を空けて並べて隣接されている。 As the sensor 20, a magnetic sensor that detects a change in magnetic state (such as a magnetic field strength or direction (specifically, a change in magnetic flux density)) is used. An annular magnet magnetized with two or more poles (hereinafter referred to as “encoder 22”) is applied as the detected portion 22 of the magnetic sensor, and a change in magnetic state (for example, magnetic flux) is used as the detecting portion 24. A magnetic detection element (hereinafter, referred to as “magnetic detection element 24”) for detecting density fluctuation is applied.
Here, the magnetic detection element 24 and the encoder 22 will be further described. In the present embodiment, the sensor 20 includes two magnetic detection elements 24. As shown in FIG. 3, the two magnetic detection elements 24 are arranged adjacent to each other with a gap in the circumferential direction of the encoder 22.

磁気検出素子としては、例えば、ホール素子、磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）、巨大磁気抵抗効果素子（ＧＭＲ素子）等が使用可能である。これらの中でもホール素子は安価であるため、センサ付き転がり軸受装置を低コストで製造することができる。また、磁気抵抗効果素子は高感度であるので、高感度のセンサ付き転がり軸受装置を得ることができる。   As the magnetic detection element, for example, a Hall element, a magnetoresistive effect element (MR element), a giant magnetoresistive effect element (GMR element), or the like can be used. Among these, since the Hall element is inexpensive, the sensor-equipped rolling bearing device can be manufactured at low cost. Moreover, since the magnetoresistive effect element is highly sensitive, a highly sensitive rolling bearing device with a sensor can be obtained.

ただし、磁気検出素子２４の代わりに磁気検出器を用いてもよい。磁気検出器は、磁気検出素子と、該磁気検出素子からの出力信号を増幅する増幅器と、を備えている。磁気検出素子からの出力信号の磁束に対する変化量は小さいので、磁気検出器は磁気検出素子からの出力信号を増幅器で増幅し、増幅された信号を出力するようになっている。増幅器としては、例えばオペアンプ（operational amplifier ）が使用される。   However, a magnetic detector may be used instead of the magnetic detection element 24. The magnetic detector includes a magnetic detection element and an amplifier that amplifies an output signal from the magnetic detection element. Since the change amount of the output signal from the magnetic detection element with respect to the magnetic flux is small, the magnetic detector amplifies the output signal from the magnetic detection element with an amplifier and outputs the amplified signal. As the amplifier, for example, an operational amplifier is used.

一方、エンコーダ２２に着磁させる磁極数は、内輪１の回転速度や磁気検出素子２４の検出精度などに応じて任意に設定すればよく、例えば、エンコーダ２２の周方向半分の円周面がＳ極に着磁され、残り半分の円周面がＮ極に着磁された２極着磁としてもよい。２極着磁とすることにより、回転輪の絶対回転角度をセンサ２０で測定することが可能である。   On the other hand, the number of magnetic poles magnetized in the encoder 22 may be arbitrarily set according to the rotational speed of the inner ring 1 and the detection accuracy of the magnetic detection element 24. For example, the circumferential surface of the encoder 22 in the circumferential direction is S. Two-pole magnetization in which the other half of the circumferential surface is magnetized to the N pole may be used. By using dipole magnetization, the absolute rotation angle of the rotating wheel can be measured by the sensor 20.

ただし、着磁させた磁極数が多いほど磁気検出素子２４において磁気状態の変化を検出し易くなり、深溝玉軸受１０の回転状態（例えば回転速度、回転方向、回転角度）の測定精度を高めることができるため、周方向にＳ極とＮ極を交互に４極以上着磁した多極着磁とすることが好ましい。例えば、エンコーダ２２は、その円周面（磁極面）に、Ｎ極とＳ極とを交互に５０個ずつ一定のピッチで周方向に着磁させた合計１００極の磁極を有する環状磁石とすることができる。多極着磁とした場合は、多周期のパルス信号やアナログ信号を得ることができる。また、多極着磁とした場合は、絶対回転角度位置を算出することはできないが、相対回転角度位置を正確に算出することができる。   However, the larger the number of magnetized magnetic poles, the easier it is to detect a change in the magnetic state in the magnetic detection element 24, and the measurement accuracy of the rotational state (for example, rotational speed, rotational direction, rotational angle) of the deep groove ball bearing 10 is increased. Therefore, it is preferable to use multipolar magnetization in which four or more S poles and N poles are alternately magnetized in the circumferential direction. For example, the encoder 22 is an annular magnet having a total of 100 magnetic poles in which 50 circumferentially alternating N poles and S poles are magnetized in the circumferential direction at a constant pitch on the circumferential surface (magnetic pole face). be able to. In the case of multipolar magnetization, a multi-period pulse signal or an analog signal can be obtained. In the case of multipolar magnetization, the absolute rotation angle position cannot be calculated, but the relative rotation angle position can be calculated accurately.

さらに、センサ２０には、所定の回路が配線された基板３０（以下、「回路基板３０」と記す) が設けられており、回路基板３０によって磁気検出素子２４に所定の電源装置（図示せず) から電力が供給されるとともに、磁気検出素子２４から出力された信号（エンコーダ２２の回転状態を示す電気信号) が所定の信号処理部（図示せず) に送信されるセンサ構造となっている。   Further, the sensor 20 is provided with a substrate 30 (hereinafter referred to as “circuit substrate 30”) on which a predetermined circuit is wired, and a predetermined power supply device (not shown) is connected to the magnetic detection element 24 by the circuit substrate 30. ), And a signal (electric signal indicating the rotation state of the encoder 22) output from the magnetic detection element 24 is transmitted to a predetermined signal processing unit (not shown). .

この場合、磁気検出素子２４や信号処理部は、回路基板３０に直接接続させてもよいし、信号ケーブル（図示せず) などを介して接続させてもよい。本実施形態においては、円環状の回路基板３０に磁気検出素子２４が直接接続されている。図２においては磁気検出素子２４は図示されていないが、回路基板３０の軸方向両端面のうちエンコーダ２２に対向する側の端面（図２においては、下方を向く面）に、磁気検出素子２４が接続されている。   In this case, the magnetic detection element 24 and the signal processing unit may be directly connected to the circuit board 30 or may be connected via a signal cable (not shown). In the present embodiment, the magnetic detection element 24 is directly connected to the annular circuit board 30. Although the magnetic detection element 24 is not shown in FIG. 2, the magnetic detection element 24 is disposed on the end face (the face facing downward in FIG. 2) of the circuit board 30 on the side facing the encoder 22. Is connected.

さらに、センサ２０は磁気シールド２８を備えている。前述したように、環状磁石のＳ極とＮ極との境界部分には、環状磁石の周方向に沿う検出方向磁場と、環状磁石の径方向外方側に弓状に延びるラジアル方向磁場とが発生している。この磁気シールド２８は、環状磁石であるエンコーダ２２から生じる磁場のうち、エンコーダ２２の周方向に沿う方向の磁場以外の磁場、すなわちノイズ磁場であるラジアル方向磁場を磁気検出素子２４から遮断するためのものである。   In addition, the sensor 20 includes a magnetic shield 28. As described above, the detection direction magnetic field along the circumferential direction of the annular magnet and the radial magnetic field extending in an arc shape radially outward of the annular magnet are formed at the boundary between the S pole and the N pole of the annular magnet. It has occurred. The magnetic shield 28 is used to block the magnetic detection element 24 from a magnetic field generated by the encoder 22 that is an annular magnet other than a magnetic field in a direction along the circumferential direction of the encoder 22, that is, a radial magnetic field that is a noise magnetic field. Is.

この磁気シールド２８は略板状をなしており、回路基板３０から軸方向に突出している。そして、磁気シールド２８は、図３に示すように、磁気検出素子２４の周方向両側に隙間を空けて対向するように設けられていて（すなわち、磁気検出素子２４は周方向両側を磁気シールド２８で挟まれている）、磁気検出素子２４の周方向側面は磁気シールド２８の板面で囲まれている。本実施形態においては、図３に示すように、２個の磁気検出素子２４が周方向に間隔を空けて並べて隣接されているので、これら２個の磁気検出素子２４の間には、１個の磁気シールド２８を配すれば十分であり、この１個の磁気シールド２８により、２個の磁気検出素子２４の周方向片側面が囲まれている。   The magnetic shield 28 has a substantially plate shape and protrudes from the circuit board 30 in the axial direction. As shown in FIG. 3, the magnetic shield 28 is provided so as to face the both sides in the circumferential direction of the magnetic detection element 24 with a gap (that is, the magnetic detection element 24 has both sides in the circumferential direction on the magnetic shield 28. The side surface in the circumferential direction of the magnetic detection element 24 is surrounded by the plate surface of the magnetic shield 28. In the present embodiment, as shown in FIG. 3, the two magnetic detection elements 24 are adjacent to each other with a gap in the circumferential direction. It is sufficient to arrange the magnetic shield 28, and one magnetic shield 28 surrounds one circumferential side surface of the two magnetic detection elements 24.

本実施形態の深溝玉軸受１０において、エンコーダ２２は、内輪１に固定されて、内輪１とともに回転している。図２に示す構成においては、一例として、エンコーダ２２が、磁性材料製の磁石ホルダ３２に、例えば接着、溶接等の慣用の固着手段により固定されており、この磁石ホルダ３２を内輪１に取り付けることにより、エンコーダ２２が内輪１に対して固定されている。   In the deep groove ball bearing 10 of the present embodiment, the encoder 22 is fixed to the inner ring 1 and rotates together with the inner ring 1. In the configuration shown in FIG. 2, as an example, the encoder 22 is fixed to a magnet holder 32 made of a magnetic material by conventional fixing means such as adhesion or welding, and the magnet holder 32 is attached to the inner ring 1. Thus, the encoder 22 is fixed to the inner ring 1.

なお、磁石ホルダ３２は円環状をなし、外輪２、転動体３、保持器、及び後述するセンサカバー２６と接触しないように、その内径部が内輪１に固定されている。これにより、エンコーダ２２は、磁気検出素子２４と対向した状態で、外輪２、転動体３、及び保持器のいずれとも接触することなく、内輪１と同一の回転状態で内輪１とともに回転することができる。   The magnet holder 32 has an annular shape, and an inner diameter portion thereof is fixed to the inner ring 1 so as not to come into contact with the outer ring 2, the rolling elements 3, the cage, and the sensor cover 26 described later. Thereby, the encoder 22 can rotate together with the inner ring 1 in the same rotational state as the inner ring 1 without contacting any of the outer ring 2, the rolling element 3, and the cage while facing the magnetic detection element 24. it can.

一方、磁気検出素子２４は、軸方向のセンサギャップを空けてエンコーダ２２と対向するように、回路基板３０と接続された状態で略環状のセンサカバー２６に保持されており、センサカバー２６を外輪２の軸方向端部に取り付けることで、外輪２に対して固定されている。センサカバー２６は、その外径部が外輪２に固定され、深溝玉軸受１０が回転シャフトに取り付けられた際にはセンサカバー２６の内径部の先端と回転シャフトの外周面との間に所定の隙間が生じるように構成されている。   On the other hand, the magnetic detection element 24 is held by a substantially annular sensor cover 26 in a state of being connected to the circuit board 30 so as to face the encoder 22 with an axial sensor gap therebetween, and the sensor cover 26 is attached to the outer ring. It is fixed with respect to the outer ring 2 by being attached to the end portion in the axial direction. The outer diameter portion of the sensor cover 26 is fixed to the outer ring 2, and when the deep groove ball bearing 10 is attached to the rotating shaft, a predetermined gap is formed between the tip of the inner diameter portion of the sensor cover 26 and the outer peripheral surface of the rotating shaft. A gap is formed.

なお、図１，２に示す例では、磁気検出素子２４の軸方向端面とエンコーダ２２の軸方向端面（磁極面) とが軸方向のセンサギャップを空けてアキシアル対向するように、磁気検出素子２４がエンコーダ２２に対して位置付けられている。アキシアル対向とすることにより、センサ付き転がり軸受装置の径方向の寸法を小さくすることができる。ただし、磁気検出素子２４とエンコーダ２２の相対的な位置関係は、磁気検出素子２４の素子配設面とエンコーダ２２の磁極面とが対向していれば、図１に示す相対位置に限定されるものではない。   In the example shown in FIGS. 1 and 2, the magnetic detection element 24 is arranged such that the axial end face of the magnetic detection element 24 and the axial end face (magnetic pole face) of the encoder 22 are axially opposed with a sensor gap in the axial direction. Is positioned relative to the encoder 22. By making it axially opposed, the radial dimension of the rolling bearing device with sensor can be reduced. However, the relative positional relationship between the magnetic detection element 24 and the encoder 22 is limited to the relative position shown in FIG. 1 as long as the element disposition surface of the magnetic detection element 24 and the magnetic pole surface of the encoder 22 face each other. It is not a thing.

例えば、磁気検出素子２４の径方向内方の面とエンコーダ２２の外周面とを径方向のセンサギャップを空けてラジアル対向させてもよいし、磁気検出素子２４の径方向外方の面とエンコーダ２２の内周面とを径方向のセンサギャップを空けてラジアル対向させてもよい。これらの場合には、相互の対向面である磁気検出素子２４の径方向内方の面又は径方向外方の面を素子配設面として構成するとともに、エンコーダ２２の外周面又は内周面を磁極面として構成すればよい。ラジアル対向とすることにより、センサ付き転がり軸受装置の軸方向の寸法を小さくすることができる。   For example, the radially inner surface of the magnetic detection element 24 and the outer peripheral surface of the encoder 22 may be radially opposed to each other with a radial sensor gap therebetween, or the radially outer surface of the magnetic detection element 24 and the encoder. The inner peripheral surface of 22 may be opposed radially by leaving a radial sensor gap. In these cases, the radially inner surface or the radially outer surface of the magnetic detection element 24, which is a mutually opposing surface, is configured as the element disposition surface, and the outer peripheral surface or inner peripheral surface of the encoder 22 is also used. What is necessary is just to comprise as a magnetic pole surface. By adopting radial facing, the axial dimension of the sensor-equipped rolling bearing device can be reduced.

エンコーダ２２と磁気検出素子２４を、前述したように内輪１及び外輪２に対して位置付けることで、エンコーダ２２が磁気検出素子２４と対向した状態、具体的には、エンコーダ２２の軸方向端面（磁極面) が磁気検出素子２４の軸方向端面（素子配設面) と対向した状態で、内輪１とともに回転する構造とすることができる。
すなわち、深溝玉軸受１０において、内輪１が回転すると、これとともに磁石ホルダ３０及びエンコーダ２２も回転し、磁気検出素子２４に対する磁極（Ｎ極及びＳ極) の位置が交互に連続して変化する。このとき、磁気検出素子２４を通過する磁束（より具体的には、磁束の磁束密度や磁束の向き) が連続的に変化し、かかる変化を磁気検出素子２４により検出することで、エンコーダ２２の位置や角度などの情報を得ることができる。 By positioning the encoder 22 and the magnetic detection element 24 with respect to the inner ring 1 and the outer ring 2 as described above, the encoder 22 faces the magnetic detection element 24, specifically, the axial end face (magnetic pole) of the encoder 22 It is possible to make a structure that rotates together with the inner ring 1 in a state where the surface) is opposed to the axial end surface (element arrangement surface) of the magnetic detection element 24.
That is, in the deep groove ball bearing 10, when the inner ring 1 rotates, the magnet holder 30 and the encoder 22 also rotate with it, and the positions of the magnetic poles (N pole and S pole) with respect to the magnetic detection element 24 change alternately and continuously. At this time, the magnetic flux passing through the magnetic detection element 24 (more specifically, the magnetic flux density and the direction of the magnetic flux) changes continuously, and the change of the encoder 22 is detected by detecting the change by the magnetic detection element 24. Information such as position and angle can be obtained.

そして、磁気検出素子２４によって検出された磁束の変化を回路基板３０で電気信 号に変換するとともに、当該電気信号（データ) を信号処理部（図示せず) に送信し、当該信号処理部において、単位時間当たりのエンコーダ２２の位置や角度などの変動量を演算処理することで、深溝玉軸受１０（具体的には、エンコーダ２２が固定された内輪１) の回転状態を測定することが可能となる。   Then, the change in the magnetic flux detected by the magnetic detection element 24 is converted into an electric signal by the circuit board 30 and the electric signal (data) is transmitted to a signal processing unit (not shown). It is possible to measure the rotational state of the deep groove ball bearing 10 (specifically, the inner ring 1 to which the encoder 22 is fixed) by calculating the amount of variation such as the position and angle of the encoder 22 per unit time. It becomes.

このような本実施形態の深溝玉軸受１０は、磁気シールド２８を備えているので、エンコーダ２２から生じる磁場のうち、エンコーダ２２の周方向に沿う方向の磁場以外の磁場、すなわちノイズ磁場であるラジアル方向磁場が磁気検出素子２４から遮断される。その結果、エンコーダ２２の周方向に沿う検出方向磁場が磁気検出素子２４によって検出され、ラジアル方向磁場が磁気検出素子２４に検出されることはほとんどない。よって、センサ２０の内部でノイズ磁場が発生しても、ノイズ磁場の悪影響を受けにくく、磁気検出素子２４の検出感度が高まるとともに、出力信号の誤差が小さくなる。したがって、回転輪の回転状態を高精度で測定することが可能である。   Since the deep groove ball bearing 10 of this embodiment includes the magnetic shield 28, the magnetic field generated from the encoder 22 is a magnetic field other than the magnetic field in the direction along the circumferential direction of the encoder 22, that is, a radial magnetic field that is a noise magnetic field. The directional magnetic field is cut off from the magnetic detection element 24. As a result, the detection direction magnetic field along the circumferential direction of the encoder 22 is detected by the magnetic detection element 24, and the radial direction magnetic field is hardly detected by the magnetic detection element 24. Therefore, even if a noise magnetic field is generated inside the sensor 20, it is difficult to be adversely affected by the noise magnetic field, the detection sensitivity of the magnetic detection element 24 is increased, and the error of the output signal is reduced. Therefore, it is possible to measure the rotation state of the rotating wheel with high accuracy.

磁気シールド２８の形状、大きさ、厚さ等は、ノイズ磁場であるラジアル方向磁場を磁気検出素子２４から遮断することが可能であれば特に限定されるものではないが、形状は板状が好ましく、大きさは磁気検出素子２４の周方向側面と同一又は周方向側面よりも大きいことが好ましい。
また、磁気検出素子２４の周方向片側に磁気シールド２８を設ければ、ノイズ磁場を磁気検出素子２４から遮断することが可能であるが、磁気検出素子２４の周方向両側に磁気シールド２８を設ける方が、すなわち、磁気検出素子２４を周方向両側から磁気シールド２８で挟んだ方が、ノイズ磁場であるラジアル方向磁場を磁気検出素子２４から遮断する効果が高い。 The shape, size, thickness, and the like of the magnetic shield 28 are not particularly limited as long as the radial magnetic field that is a noise magnetic field can be blocked from the magnetic detection element 24, but the shape is preferably a plate shape. The size is preferably the same as the circumferential side surface of the magnetic detection element 24 or larger than the circumferential side surface.
Further, if the magnetic shield 28 is provided on one side in the circumferential direction of the magnetic detection element 24, it is possible to block the noise magnetic field from the magnetic detection element 24. However, the magnetic shield 28 is provided on both sides in the circumferential direction of the magnetic detection element 24. In other words, the effect of blocking the radial magnetic field, which is a noise magnetic field, from the magnetic detection element 24 is higher when the magnetic detection element 24 is sandwiched between the magnetic shields 28 from both sides in the circumferential direction.

さらに、磁気シールド２８の材質は、ノイズ磁場を磁気検出素子２４から遮断することが可能であれば特に限定されるものではないが、ヒステリシスが小さくノイズ磁場を遮断する効果が高いことから、パーマロイ、電磁軟鉄、ケイ素鋼等の軟磁性体が好ましい。そして、上記の軟磁性体の中では、ヒステリシスが特に小さいことから、パーマロイがより好ましい。   Further, the material of the magnetic shield 28 is not particularly limited as long as the noise magnetic field can be blocked from the magnetic detection element 24. However, since the hysteresis is small and the effect of blocking the noise magnetic field is high, permalloy, Soft magnetic materials such as electromagnetic soft iron and silicon steel are preferred. In the soft magnetic material, permalloy is more preferable because hysteresis is particularly small.

なお、本実施形態は本発明の一例を示したものであって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態においては、磁気検出素子２４の数が２個である場合を例示して説明したが、センサ２０に設ける磁気検出素子２４の数は、深溝玉軸受１０の回転状態の測定に対して要求される精度などに応じて任意に設定すればよい。すなわち、センサ２０は、１個の磁気検出素子２４で深溝玉軸受１０の回転状態を測定する構成であってもよいし、２個以上の磁気検出素子２４で深溝玉軸受１０の回転状態を測定する構成であってもよい。   In addition, this embodiment shows an example of this invention and this invention is not limited to this embodiment. For example, in the present embodiment, the case where the number of the magnetic detection elements 24 is two is described as an example. However, the number of the magnetic detection elements 24 provided in the sensor 20 is used for measuring the rotational state of the deep groove ball bearing 10. However, it may be set arbitrarily according to the accuracy required for it. That is, the sensor 20 may be configured to measure the rotation state of the deep groove ball bearing 10 with one magnetic detection element 24, or measure the rotation state of the deep groove ball bearing 10 with two or more magnetic detection elements 24. It may be configured to.

センサ２０に設ける磁気検出素子２４の数が２個以上である場合は、その周方向位置を考慮することが望ましい。例えば、２個の磁気検出素子２４をセンサ２０に設けた場合は、前述したように、２個の磁気検出素子２４を周方向に並べて隣接させてもよいが（すなわち、小さな周方向間隔を空けて配してもよいが）、大きな周方向間隔を空けて配してもよい。例えば、２個の磁気検出素子２４は、磁気状態の変化を検出するタイミングにおいて、その電気角（信号正弦波の１周期を３６０°とした場合の位相) を例えば９０°又は１８０°ずらして（９０°又は１８０°の位相差を設けて) 位置付けられるように、回路基板３０に対して接続してもよい。   When the number of the magnetic detection elements 24 provided in the sensor 20 is two or more, it is desirable to consider the circumferential position. For example, when the two magnetic detection elements 24 are provided in the sensor 20, as described above, the two magnetic detection elements 24 may be arranged adjacent to each other in the circumferential direction (that is, with a small circumferential interval). However, it may be arranged with a large circumferential interval. For example, the two magnetic detection elements 24 shift the electrical angle (the phase when one period of the signal sine wave is 360 °), for example, by 90 ° or 180 ° at the timing of detecting the change in the magnetic state ( It may be connected to the circuit board 30 so as to be positioned (with a phase difference of 90 ° or 180 °).

図４に示すように、電気角９０°の位相差を設けると、磁気検出素子２４がアナログ信号を出力する場合には、２個の磁気検出素子２４からの出力信号が９０°の位相差で得られるので、回転輪の回転角度を算出することができる。また、図５に示すように、電気角１８０°の位相差を設けると、差動出力が得られるので、ノイズに強い出力信号を得ることができる。   As shown in FIG. 4, when a phase difference of 90 electrical degrees is provided, when the magnetic detection element 24 outputs an analog signal, the output signals from the two magnetic detection elements 24 have a phase difference of 90 degrees. As a result, the rotation angle of the rotating wheel can be calculated. Further, as shown in FIG. 5, when a phase difference with an electrical angle of 180 ° is provided, a differential output can be obtained, so that an output signal resistant to noise can be obtained.

また、例えば、３個の磁気検出素子２４をセンサ２０に設けた場合は、当該３個の磁気検出素子２４は、その電気角を例えば１２０°ずらして（１２０°の位相差を設けて) 位置付けられるように、回路基板３０に対して接続してもよい。さらに、例えば、４個の磁気検出素子２４をセンサ２０に設けた場合は、当該４個の磁気検出素子２４は、その電気角を例えば９０°ずらして（９０°の位相差を設けて) 位置付けられるように、回路基板３０に対して接続してもよい。   For example, when three magnetic detection elements 24 are provided in the sensor 20, the three magnetic detection elements 24 are positioned by shifting their electrical angles by, for example, 120 ° (with a phase difference of 120 °). As shown, the circuit board 30 may be connected. Further, for example, when four magnetic detection elements 24 are provided in the sensor 20, the four magnetic detection elements 24 are positioned by shifting their electrical angles by 90 ° (with a 90 ° phase difference), for example. As shown, the circuit board 30 may be connected.

これにより、かかる位相差を考慮して各磁気検出素子２４における磁気変化の検出結果を比較することで、より正確に深溝玉軸受１０（具体的には、内輪１及びエンコーダ２２) の回転状態を測定することができる。
さらに、磁気検出素子２４は、パルス信号を出力するタイプのものでもよいし、アナログ信号を出力するタイプのものでもよい。パルス信号を出力するタイプの場合は、エンコーダとして適用することができる。また、アナログ信号を出力するタイプの場合は、回転輪の回転角度を測定することができる。 Thus, by comparing the detection results of the magnetic change in each magnetic detection element 24 in consideration of the phase difference, the rotational state of the deep groove ball bearing 10 (specifically, the inner ring 1 and the encoder 22) can be more accurately determined. Can be measured.
Further, the magnetic detection element 24 may be a type that outputs a pulse signal, or may be a type that outputs an analog signal. In the case of a type that outputs a pulse signal, it can be applied as an encoder. In the case of a type that outputs an analog signal, the rotation angle of the rotating wheel can be measured.

さらに、本実施形態においては、センサカバー２６の材質について特段の説明はしなかったが、エンコーダ２２が回転する際に生じる磁気状態の変化に影響を及ぼすことのない材料（例えば、樹脂等の非金属材料や、非磁性の金属材料や、磁性材を非磁性材でコーティングしたもの等) で構成することが好ましい。また、センサカバー２６の材質を磁性の金属材料とすれば、センサカバー２６が磁気シールドとしての機能を有することとなる。その結果、センサ２０の外部の磁場を遮断し、センサ２０が外部磁場の影響を受けることを抑制することができる。すなわち、エンコーダ２２の回転以外の要因により磁気状態が変化することを抑制し、エンコーダ２２の回転による磁気状態の変化のみを磁気検出素子２４で検出することができる。その結果、磁気検出素子２４において磁気状態の変化を正確且つ確実に検出し易くなり、内輪２の回転状態の計測精度を高めることができる。   Furthermore, in the present embodiment, the material of the sensor cover 26 is not particularly described, but a material that does not affect the change in the magnetic state that occurs when the encoder 22 rotates (for example, a non-resin material such as a resin). A metal material, a non-magnetic metal material, or a magnetic material coated with a non-magnetic material is preferable. If the sensor cover 26 is made of a magnetic metal material, the sensor cover 26 has a function as a magnetic shield. As a result, the magnetic field outside the sensor 20 can be blocked and the sensor 20 can be prevented from being affected by the external magnetic field. That is, it is possible to suppress a change in the magnetic state due to a factor other than the rotation of the encoder 22, and to detect only a change in the magnetic state due to the rotation of the encoder 22 by the magnetic detection element 24. As a result, it becomes easy to accurately and reliably detect a change in the magnetic state in the magnetic detection element 24, and the measurement accuracy of the rotation state of the inner ring 2 can be increased.

さらに、本実施形態においては、転がり軸受の例として深溝玉軸受をあげて説明したが、本発明は、他の種類の様々な転がり軸受に対して適用することができる。例えば、アンギュラ玉軸受，自動調心玉軸受，自動調心ころ軸受，円筒ころ軸受，円すいころ軸受，針状ころ軸受等のラジアル形の転がり軸受や、スラスト玉軸受，スラストころ軸受等のスラスト形の転がり軸受である。   Furthermore, in the present embodiment, a deep groove ball bearing has been described as an example of a rolling bearing, but the present invention can be applied to various types of rolling bearings. For example, radial rolling bearings such as angular contact ball bearings, self-aligning ball bearings, self-aligning roller bearings, cylindrical roller bearings, tapered roller bearings, needle roller bearings, and thrust types such as thrust ball bearings and thrust roller bearings This is a rolling bearing.

１ 内輪
２ 外輪
３ 転動体
１０ 深溝玉軸受
２０ センサ
２２ エンコーダ
２４ 磁気検出素子
２６ センサカバー
２８ 磁気シールド
３２ 磁石ホルダ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inner ring 2 Outer ring 3 Rolling element 10 Deep groove ball bearing 20 Sensor 22 Encoder 24 Magnetic detection element 26 Sensor cover 28 Magnetic shield 32 Magnet holder

Claims (10)

回転可能な回転輪と、前記回転輪を回転可能に支持する固定輪と、前記回転輪が有する軌道面と前記固定輪が有する軌道面との間に転動自在に配された複数の転動体と、前記回転輪の回転状態を測定するセンサと、を備え、以下の５つの条件を満足するセンサ付き転がり軸受装置。
条件Ａ：前記センサは、前記回転輪と一体に回転可能に前記回転輪に取り付けられた被検出部と、前記被検出部とセンサギャップを空けて対向するように前記固定輪に取り付けられた検出部と、を有し、前記回転輪の回転に伴う前記被検出部の回転状態を前記検出部によって測定するようになっている。
条件Ｂ：前記被検出部は環状磁石であり、この環状磁石には該環状磁石の周方向に沿う検出方向磁場が発生している。
条件Ｃ：前記検出部は、磁気検出素子であるホール素子及び該ホール素子からの出力信号を増幅する増幅器を備える磁気検出器である。
条件Ｄ：前記環状磁石から生じる磁場のうち、前記環状磁石の周方向に沿う方向の磁場以外の磁場を前記検出部から遮断する磁気シールドを、前記検出部の周方向両側の少なくとも一方に対向するように設けた。
条件Ｅ：２個の前記検出部を、周方向間隔を空け且つ電気角１８０°の位相差を設けて前記固定輪に配した。 A plurality of rolling elements that are rotatably arranged between a rotatable wheel, a fixed wheel that rotatably supports the rotating wheel, and a raceway surface that the rotary wheel has and a raceway surface that the fixed wheel has. And a sensor for measuring the rotational state of the rotating wheel, and a rolling bearing device with a sensor that satisfies the following five conditions.
Condition A: The sensor is a detection part attached to the rotating wheel so as to be rotatable integrally with the rotating wheel, and a detection attached to the fixed wheel so as to face the detection part with a sensor gap. And a rotation state of the detected portion accompanying rotation of the rotating wheel is measured by the detection portion.
Condition B: The detected portion is an annular magnet, and a magnetic field in the detection direction along the circumferential direction of the annular magnet is generated in the annular magnet.
Condition C: The detection unit is a magnetic detector including a Hall element that is a magnetic detection element and an amplifier that amplifies an output signal from the Hall element.
Condition D: A magnetic shield that blocks a magnetic field generated from the annular magnet other than a magnetic field in a direction along the circumferential direction of the annular magnet from at least one of both sides in the circumferential direction of the detection unit. Provided.
Condition E: The two detection units were arranged on the fixed wheel with a circumferential interval and a phase difference of an electrical angle of 180 °. ２個の前記検出部を周方向に並べて隣接させ、これら２個の前記検出部の間に前記磁気シールドを設けた請求項１に記載のセンサ付き転がり軸受装置。 The rolling bearing device with a sensor according to claim 1 , wherein the two detection units are arranged adjacent to each other in the circumferential direction, and the magnetic shield is provided between the two detection units. 前記磁気シールドを軟磁性体で構成した請求項１又は請求項２に記載のセンサ付き転がり軸受装置。 The rolling bearing device with a sensor according to claim 1 or 2 , wherein the magnetic shield is made of a soft magnetic material. 前記軟磁性体がパーマロイ、電磁軟鉄、又はケイ素鋼である請求項３に記載のセンサ付き転がり軸受装置。 The rolling bearing device with a sensor according to claim 3 , wherein the soft magnetic material is permalloy, electromagnetic soft iron, or silicon steel. 前記磁気検出素子は、前記回転状態を示すパルス信号を出力する請求項１〜４のいずれか一項に記載のセンサ付き転がり軸受装置。 The said magnetic detection element is a rolling bearing apparatus with a sensor as described in any one of Claims 1-4 which outputs the pulse signal which shows the said rotation state. 前記磁気検出素子は、前記回転状態を示すアナログ信号を出力する請求項１〜４のいずれか一項に記載のセンサ付き転がり軸受装置。 The sensor-equipped rolling bearing device according to claim 1 , wherein the magnetic detection element outputs an analog signal indicating the rotation state. 前記検出部と前記被検出部とをセンサギャップを空けてアキシアル対向させた請求項１〜６のいずれか一項に記載のセンサ付き転がり軸受装置。 The rolling bearing device with a sensor according to any one of claims 1 to 6 , wherein the detection portion and the detection target portion are axially opposed to each other with a sensor gap. 前記検出部と前記被検出部とをセンサギャップを空けてラジアル対向させた請求項１〜６のいずれか一項に記載のセンサ付き転がり軸受装置。 The rolling bearing device with a sensor according to any one of claims 1 to 6 , wherein the detection portion and the detection target portion are radially opposed to each other with a sensor gap therebetween. 前記環状磁石は、周方向にＳ極とＮ極の２極に着磁した２極着磁である請求項１〜８のいずれか一項に記載のセンサ付き転がり軸受装置。 The rolling bearing device with a sensor according to any one of claims 1 to 8 , wherein the annular magnet is two-pole magnetized with two poles of an S pole and an N pole in a circumferential direction. 前記環状磁石は、周方向にＳ極とＮ極を交互に４極以上着磁した多極着磁である請求項１〜８のいずれか一項に記載のセンサ付き転がり軸受装置。 The rolling bearing device with a sensor according to any one of claims 1 to 8 , wherein the annular magnet is multipolar magnetized in which four or more S poles and N poles are alternately magnetized in a circumferential direction.
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