JP5853781B2 - X線検査装置、x線検査のための撮像方法 - Google Patents
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Description
した状態で、検査のための撮像を行う前に、収容されている複数の検査対象物に対して外部から固定力を作用させ、それらを固定する構成を採用することとした。当該構成により、X線撮像装置によって複数回の撮像を行う場合でも、撮像時において各検査対象物の位置や姿勢がずれることを回避することができる。特に、複数回の撮像が、搬送トレイごと検査対象物を移動させることで行われる場合や、X線撮像装置を移動させることで行われる場合、その移動に起因する振動によって検査対象物がずれてしまうのを抑制できる。
3D画像の形成については、従来技術であるので本明細書ではその説明は割愛する。このように複数回のX線撮像を行うために、X線検査装置では、搬送トレイ8に複数の検査対象物20を、対応する凹部8aにそれぞれ収容した状態でX2軸方向とY2軸方向に移動させ、その都度、X線源1とディテクタ2によるX線撮像を行う。しかし、このように搬送トレイ8の移動を行うと、その移動に起因した振動が搬送トレイ8内の検査対象物20に伝わり、凹部8a内で微小ながらも検査対象物20の位置や姿勢がずれるおそれがあり、X線検査に必要な3D画像を精度よく作ることが難しくなる。
検査を行うための制御である。当該検査制御は、制御装置9によって実行される。
上記の実施例においては、搬送トレイ8上には、検査対象物を収容するための凹部8aが設けられていたが、本変形例においては、図6に示すように、各凹部8aにつながるように窪んで形成され、且つその深さが凹部8aの深さよりは浅く設定されている切欠き部8bおよび8cが更に設けられている。図6は、搬送トレイ8の上方から見た図であるが、本変形例では、図6の縦方向には切欠き部8bが設けられ、横方向に切欠き部8cが設けられている。これらの切欠き部には、検査対象物20は収容されない。
図7に示す実施例では、挟持部材13によってフレーム11と搬送トレイ8を挟持したが、固定装置10が十分に重さがあり、また突起形状の弾性部材12が凹部8a内で動かない程度に、両者の間に隙間がない場合には、図8に示すように挟持部材13および押さ
えアーム14を省略することも可能である。このような状態でも、固定装置10の自重により、突起形状の弾性部材12が凹部8a内で弾性変形し、該凹部8a内で検査対象物20が動く余地を排除することができる。
2・・・・ディテクタ
8・・・・搬送トレイ
8a・・・・凹部
8b、8c・・・・切欠き部
10・・・・固定装置
11・・・・フレーム
12・・・・弾性部材
Claims (9)
- X線撮像装置を有し、該X線撮像装置による検査対象物の撮像に基づいて該検査対象物の検査を行うX線検査装置であって、
複数の検査対象物を搬送可能な搬送トレイであって、該複数の検査対象物をそれぞれ収容する凹部が複数形成されている搬送トレイと、
前記X線撮像装置による撮像が行われる前に、前記搬送トレイの前記複数の凹部のそれぞれに前記検査対象物が収容された状態で、該複数の検査対象物のそれぞれに対して外部から固定力を付与し該検査対象物を該凹部内に固定する対象物固定手段と、
前記対象物固定手段によって前記複数の検査対象物がそれぞれ固定された状態で、前記X線撮像装置と前記搬送トレイのうち少なくとも一方を移動させて、該X線撮像装置による複数回の、該複数の検査対象物の撮像を行う撮像実行手段と、
を備え、
前記対象物固定手段は、
前記複数の凹部を覆う面積を有する板状のベース部材と、
前記ベース部材の前記複数の凹部の側の面に取り付けられた弾性部材と、を有し、
前記対象物固定手段は、前記弾性部材が前記複数の凹部のそれぞれに収容されている前記検査対象物に接触するように、前記ベース部材を介して押圧力を付与する、
ことを特徴とするX線検査装置。 - 前記撮像実行手段は、前記対象物固定手段によって前記複数の検査対象物がそれぞれ固定された状態で、前記X線撮像装置と前記搬送トレイのうち少なくとも一方を移動し、該複数の検査対象物に対する該X線撮像装置の相対位置もしくは相対姿勢を異ならせた複数回の前記撮像を行い、又は、該複数の検査対象物に対して該X線撮像装置を相対的に走査させながら複数回の前記撮像を行う、
請求項1に記載のX線検査装置。 - 前記弾性部材は、前記複数の凹部を覆う面積を有するシート部材で形成され、
前記複数の凹部のそれぞれに、該凹部につながる一又は複数の切欠き部であって、前記対象物固定手段によって押圧力の付与が行われる際に、前記シート部材の一部が入り込むことが可能なように形成された切欠き部が設けられている、
請求項1または請求項2に記載のX線検査装置。 - 前記弾性部材は、前記複数の凹部のそれぞれに対応する大きさで画定される複数の突起部を有し、
前記対象物固定手段によって押圧力の付与が行われる際に、前記弾性部材の前記複数の突起部のそれぞれが、前記搬送トレイの前記複数の凹部のそれぞれに入り込むように構成される、
請求項1または請求項2に記載のX線検査装置。 - 前記搬送トレイ、および前記X線撮像装置のX線照射領域に含まれ得る、前記対象物固定手段の少なくとも一部の構成は、X線を透過可能な部材で形成される、
請求項1から請求項4の何れか1項に記載のX線検査装置。 - X線撮像装置による検査対象物の撮像に基づいた該検査対象物のX線検査のための撮像方法であって、
複数の検査対象物が、該複数の検査対象物をそれぞれ収容する複数の凹部が形成されている搬送トレイによって、前記X線撮像装置による撮像のための搬送が行われ、
前記X線検査のための撮像方法は、
前記X線撮像装置による撮像が行われる前に、前記搬送トレイの前記複数の凹部のそれぞれに前記検査対象物が収容された状態で、対象物固定手段によって該複数の検査対象物のそれぞれに対して外部から固定力を付与し該検査対象物を該凹部内に固定する対象物固定ステップと、
前記対象物固定手段によって前記複数の検査対象物がそれぞれ固定された状態で、前記X線撮像装置と前記搬送トレイのうち少なくとも一方を移動させて、該X線撮像装置による複数回の、該複数の検査対象物の撮像を行う撮像実行ステップと、
を含み、
前記対象物固定手段は、
前記複数の凹部を覆う面積を有する板状のベース部材と、
前記ベース部材の前記複数の凹部の側の面に取り付けられた弾性部材と、を有し、
前記対象物固定ステップでは、前記弾性部材が前記複数の凹部のそれぞれに収容されている前記検査対象物に接触するように、前記ベース部材を介して押圧力を付与する、
ことを特徴とするX線検査のための撮像方法。 - 前記撮像実行ステップでは、前記対象物固定手段により前記複数の検査対象物がそれぞれ固定された状態で、前記X線撮像装置と前記搬送トレイのうち少なくとも一方を移動させ、該複数の検査対象物に対する該X線撮像装置の相対位置もしくは相対姿勢を異ならせた複数回の前記撮像が行われ、又は、該複数の検査対象物に対して該X線撮像装置を相対的に走査させながら複数回の前記撮像が行われる、
請求項6に記載のX線検査のための撮像方法。 - 前記弾性部材は、前記複数の凹部を覆う面積を有するシート部材で形成され、
前記複数の凹部のそれぞれは、該凹部につながる一又は複数の切欠き部を有し、
前記対象物固定手段によって押圧力の付与が行われる際に、前記シート部材の一部が前記切欠き部に入り込む、
請求項6または請求項7に記載のX線検査のための撮像方法。 - 前記弾性部材は、前記複数の凹部のそれぞれに対応する大きさで画定される複数の突起部を有し、
前記対象物固定手段によって押圧力の付与が行われる際に、前記弾性部材の前記複数の突起部のそれぞれが、前記搬送トレイの前記複数の凹部のそれぞれに入り込む、
請求項6または請求項7に記載のX線検査のための撮像方法。
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