JP5849923B2 - インピーダンス測定装置 - Google Patents
インピーダンス測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5849923B2 JP5849923B2 JP2012231219A JP2012231219A JP5849923B2 JP 5849923 B2 JP5849923 B2 JP 5849923B2 JP 2012231219 A JP2012231219 A JP 2012231219A JP 2012231219 A JP2012231219 A JP 2012231219A JP 5849923 B2 JP5849923 B2 JP 5849923B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- impedance
- conductive path
- potential
- impedance element
- power supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000002847 impedance measurement Methods 0.000 claims description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 18
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 33
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 17
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 9
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
Claims (2)
- 第1ないし第3の導電路により電気接続された第1ないし第3のインピーダンス要素によってデルタ回路が構成され、前記第1のインピーダンス要素と前記第2のインピーダンス要素とを電気接続する前記第1の導電路の電位、及び前記第2のインピーダンス要素と前記第3のインピーダンス要素とを電気接続する前記第2の導電路の電位を基準電位に誘導しつつ、前記第1のインピーダンス要素のインピーダンスを測定するインピーダンス測定装置であって、
前記第2の導電路と電気接続された出力端子及び反転入力端子と、所定の基準電位に電気接続された非反転入力端子とを有する第1のオペアンプと、
前記第1のインピーダンス要素と前記第3のインピーダンス要素とを電気接続する前記第3の導電路と電気接続され、前記第3の導電路にインピーダンス測定のための交流電力を付与する電源部と、
交流電流又は交流電圧を前記第1の導電路へ出力する可変電源部と、
前記第1の導電路の電位と前記グラウンド電位とに基づいて前記可変電源部を制御し、前記第1の導電路のグラウンド電位からの変動を打ち消すように前記可変電源部による前記出力を行わせるコンパレータと、
前記電源部により前記第3の導電路に前記交流電力が付与された際に、前記第1のインピーダンス要素のインピーダンスを測定するための前記第1のインピーダンス要素の電気的特性を検出する電気特性検出部と、
を備えることを特徴とするインピーダンス測定装置。 - 請求項1に記載のインピーダンス測定装置において、
前記第1ないし第3のインピーダンス要素及び前記第1ないし第3の導電路は、被検査基板に複数セット設けられており、
前記インピーダンス測定装置は、
前記複数のセットの前記第1ないし第3の導電路にそれぞれ同時に接触される複数の接触ピンを有する多ピン治具と、
複数のスイッチング素子を有し、前記多ピン治具の前記各接触ピンと、前記第1のオペアンプの前記出力端子、前記反転入力端子及び前記非反転入力端子、及び前記電源部との電気接続関係を切り替える接続切替部と、
をさらに備えることを特徴とするインピーダンス測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012231219A JP5849923B2 (ja) | 2012-10-18 | 2012-10-18 | インピーダンス測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012231219A JP5849923B2 (ja) | 2012-10-18 | 2012-10-18 | インピーダンス測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014081340A JP2014081340A (ja) | 2014-05-08 |
JP5849923B2 true JP5849923B2 (ja) | 2016-02-03 |
Family
ID=50785641
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012231219A Active JP5849923B2 (ja) | 2012-10-18 | 2012-10-18 | インピーダンス測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5849923B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6318883B2 (ja) * | 2014-06-09 | 2018-05-09 | 日産自動車株式会社 | インピーダンス測定装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5126953A (en) * | 1986-06-27 | 1992-06-30 | Berger James K | Printed circuit board assembly tester |
US6324486B1 (en) * | 1999-03-01 | 2001-11-27 | Agilent Technologies, Inc. | Method and apparatus for adaptively learning test error sources to reduce the total number of test measurements required in real-time |
JP4296058B2 (ja) * | 2003-08-21 | 2009-07-15 | 日置電機株式会社 | 四端子抵抗測定装置 |
JP5627442B2 (ja) * | 2010-12-21 | 2014-11-19 | 日置電機株式会社 | 回路基板検査装置 |
-
2012
- 2012-10-18 JP JP2012231219A patent/JP5849923B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014081340A (ja) | 2014-05-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105102994B (zh) | 绝缘检测装置及绝缘检测方法 | |
JP2013061177A (ja) | インピーダンス測定装置 | |
JP2007333598A (ja) | 基板検査装置 | |
JP5849923B2 (ja) | インピーダンス測定装置 | |
TW201339601A (zh) | 內設零件基板的檢查方法 | |
KR20140146535A (ko) | 기판검사장치 | |
JP6885612B2 (ja) | 抵抗測定装置及び抵抗測定方法 | |
CN110023768B (zh) | 电阻测量装置和电阻测量方法 | |
WO2015133212A1 (ja) | 電圧測定装置および電圧測定方法 | |
CN110794290B (zh) | 基板检测装置及基板检测方法 | |
JP2013053914A (ja) | 電流測定装置 | |
TW201403080A (zh) | 電特性檢測裝置 | |
JP5019097B2 (ja) | 電子部品の特性測定装置及び電子部品の特性値測定方法 | |
TW201621333A (zh) | 用於裝置的測試器、操作開關電路的方法、以及測試裝置的方法 | |
JP2004184374A (ja) | インピーダンス測定装置 | |
JP7364434B2 (ja) | ゼロアジャスト補正方法及びインピーダンス測定方法 | |
JP6608234B2 (ja) | 接触判定装置および測定装置 | |
JP6542094B2 (ja) | 接触判定装置および測定装置 | |
KR102535695B1 (ko) | 저항 측정 방법, 저항 측정 장치, 및 기판 검사 장치 | |
TW201403088A (zh) | 基板檢查治具及基板檢查裝置 | |
TW201403099A (zh) | 電特性檢測方法以及檢測裝置 | |
JP2022054256A (ja) | 電流センサ | |
JP2014092541A (ja) | 非接触式電気検査装置及び電気検査方法 | |
JP4751687B2 (ja) | 電気測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20140730 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140820 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150414 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150415 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150609 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151117 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5849923 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |