JP5831144B2 - 放射線検査装置 - Google Patents
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Description
5は厚さ測定装置であり、シート状の試料1が右から左方向へ一定速度で流れている。この試料を略直行するように放射線源ヘッド(下側・・・以下線源という)2と電離箱等の検出器ヘッド(上側)3が一対となって試料1を走査する形態で測定を行っている。
その検量線と試料の透過出力値から逆引きして厚さを換算する。
図3(b)は校正に際して放射線源とラインセンサを試料から完全にずらすにはラインセンサの幅wの2.5倍程度が必要であることを示している。
そのため、測定装置側の都合(装置校正やメンテナンス)で容易に試料を取り除くことが出来ない。このため現実的には、図3(a)に示すように装置内に待避位置を設けるなど行われている。
は、
放射線源から放射され、シート状の試料を透過してくる放射線を前記試料の流れ方向に
対して直角に配置されたライン状放射線検出器により検出し、坪量の測定を行う放射線検
査装置において、前記ライン状放射線検出器の片側に回動機構を設けるとともに前記シート状の試料を前記放射線源に対して垂直方向に移動させる移動手段を設け、前記ライン状放射線検出器及び試料のそれぞれを前記坪量の測定位置から一時的に移動させ、前記放射線源とライン状放射線検出器の間から前記試料を除去した後、前記ライン状放射線検出器を元の測定位置に移動させ、前記放射線源と前記ライン状放射線検出器間の空気層を測定するように構成したことを特徴とする。
前記シート状の試料を前記放射線源に対して垂直方向に移動させるに際しては前記シート状の試料の幅に直行し、かつ前記ライン状放射線検出器を挟んで配置された一対の試料
支持手段により移動させることを特徴とする。
前記回動機構は前記試料支持手段により垂直方向に移動した前記シート状の試料が少なくとも前記ライン状放射線検出器に接触しない程度の角度まで回動し、前記シート状の試料が移動した後はもとの位置に戻り、前記放射線源と前記ライン状放射線検出器の間の空気層を測定するように構成したことを特徴とする。
放射線源から放射され、シート状の試料を透過してくる放射線を前記試料の流れ方向に
対して直角に配置されたライン状放射線検出器により検出し、坪量の測定を行う放射線検
査装置において、前記ライン状放射線検出器を前記シート状の試料の幅方向に対して直角方向に水平に移動させる移動機構と、前記試料を前記放射線源に対して垂直方向に移動させる移動手段を設け、前記ライン状放射線検出器及び試料のそれぞれを前記坪量の測定位置から一時的に移動させ、前記放射線源とライン状放射線検出器の間から前記試料を除去した後、前記ライン状放射線検出器を元の測定位置に移動させ、前記放射線源と前記ライン状放射線検出器間の空気層を測定するように構成したことを特徴とする。
前記シート状の試料を前記放射線源に対して垂直方向に移動させるに際しては前記シート状の試料の幅に直行し、かつ前記ライン状放射線検出器を挟んで配置された一対の試料支持手段により移動させることを特徴とする。
前記ライン状放射線検出器を前記試料に対して直角方向に水平に移動させるに際しては
前記試料の全幅に渡って移動させ、前記試料支持手段により垂直方向に移動した試料が少なくとも前記ライン状放射線検出器に接触しない程度まで移動させると共に試料が移動した後はもとの位置に戻り、前記放射線源と前記ライン状放射線検出器の間の空気層を測定するように構成したことを特徴とする。
連続試料を扱う生産ラインの全面測定装置において、フットプリントをなるべく増大させずに、校正動作を行うことができ、大気変動を由来として生じる測定信号の変動を補償する事により、厚さ測定の精度安定性を向上させることができる。
また、試料と検出器の位置関係を変えるのみで、校正が可能になり、操業を停止させる必要が無く、通常測定に用いる検出器と線源をそのまま利用することにより、校正処理の精度を向上させることができる。
図において、放射線源部2aと示した位置から試料1に向かって照射を行い、試料を通過して減衰した放射線量をラインセンサで測定している。
校正用データを取り終えたら、逆の順序で試料の通過位置を測定位置に戻し、試料の測定を継続する。この際、得られた測定値から先に得られた校正用データを減算して、補正を行なう。
ラインセンサの他方を上方に跳ね上げる余裕が無い場合等では、ラインセンサを図1(b−1)から図1(b−2)に示すように図示しない駆動装置により矢印D方向に後方に引き出し、ローラ7によって試料1をH’の距離を上方に移動させて通過位置を変更した後に図1(b−3)に示すようにラインセンサ3aを矢印C方向に元の位置に戻して空気層を測定して校正を行なう。
図1(a,b)に示した何れの方法でも、試料の搬送を止める必要は無く試料の通過位置が変更できれば良い。また、ローラを動かす代わりに放射線源やラインセンサ側が動いても構わない。設置場所の状況に応じてラインセンサの動きは、適宜、図1(a,b)に示す構成を組み合わせた種類のものであっても良い。
Step1:放射線が試料全面を透過する測定状態でラインセンサにより試料を透過した後の放射線信号を測定する。
Step2:検量線を用い、
Step3:厚さ(坪量)を求める。
Step1’:試料がない状態における放射線源とラインセンサの間の空気層を測定する。
Step2’:その信号を用いて検量線を作成する。
Step3’:作成した検量線を用いて校正用の坪量を計算する。
Step4’:Step3’で計算した坪量を記憶する。
Step4:Step4’で記憶した校正用の坪量を減算する。
ステップ5:補正後の坪量を求め、
ステップ6:その他の補正演算を行う。
ステップ7:補正された坪量を測定値として出力する。
以上のステップにより厚さ測定の補正を行なうことができる。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
2、2a 放射線源
3 検出器ヘッド(電離箱)
3a 放射線検出器(ラインセンサ)
4 O型フレーム
5 厚さ測定装置
6 回動機構
7 試料支持手段(ローラ、バー等)
Claims (6)
- 放射線源から放射され、シート状の試料を透過してくる放射線を前記試料の流れ方向に
対して直角に配置されたライン状放射線検出器により検出し、坪量の測定を行う放射線検
査装置において、前記ライン状放射線検出器の片側に回動機構を設けるとともに前記シート状の試料を前記放射線源に対して垂直方向に移動させる移動手段を設け、前記ライン状放射線検出器及び試料のそれぞれを前記坪量の測定位置から一時的に移動させ、前記放射線源とライン状放射線検出器の間から前記試料を除去した後、前記ライン状放射線検出器を元の測定位置に移動させ、前記放射線源と前記ライン状放射線検出器間の空気層を測定するように構成したことを特徴とする放射線検査装置。 - 前記シート状の試料を前記放射線源に対して垂直方向に移動させるに際しては前記シート状の試料の幅に直行し、かつ前記ライン状放射線検出器を挟んで配置された一対の試料
支持手段により移動させることを特徴とする請求項1記載の放射線検査装置。 - 前記回動機構は前記試料支持手段により垂直方向に移動した前記シート状の試料が少なくとも前記ライン状放射線検出器に接触しない程度の角度まで回動し、前記シート状の試料が移動した後はもとの位置に戻り、前記放射線源と前記ライン状放射線検出器の間の空気層を測定するように構成したことを特徴とする請求項2記載の放射線検査装置。
- 放射線源から放射され、シート状の試料を透過してくる放射線を前記試料の流れ方向に
対して直角に配置されたライン状放射線検出器により検出し、坪量の測定を行う放射線検
査装置において、前記ライン状放射線検出器を前記シート状の試料の幅方向に対して直角方向に水平に移動させる移動機構と、前記試料を前記放射線源に対して垂直方向に移動させる移動手段を設け、前記ライン状放射線検出器及び試料のそれぞれを前記坪量の測定位置から一時的に移動させ、前記放射線源とライン状放射線検出器の間から前記試料を除去した後、前記ライン状放射線検出器を元の測定位置に移動させ、前記放射線源と前記ライン状放射線検出器間の空気層を測定するように構成したことを特徴とする放射線検査装置。 - 前記シート状の試料を前記放射線源に対して垂直方向に移動させるに際しては前記シート状の試料の幅に直行し、かつ前記ライン状放射線検出器を挟んで配置された一対の試料支持手段により移動させることを特徴とする請求項4記載の放射線検査装置。
- 前記ライン状放射線検出器を前記試料に対して直角方向に水平に移動させるに際しては
前記試料の全幅に渡って移動させ、前記試料支持手段により垂直方向に移動した試料が少なくとも前記ライン状放射線検出器に接触しない程度まで移動させると共に試料が移動した後はもとの位置に戻り、前記放射線源と前記ライン状放射線検出器の間の空気層を測定するように構成したことを特徴とする請求項4または5記載の放射線検査装置。
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