JP5823805B2 - タングステン遮光膜の製造方法、タングステン遮光膜 - Google Patents
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Description
このような遮光膜の材料としては、融点が高く、かつ、抵抗が低いことから、例えば、タングステンが用いられている。タングステンからなる遮光膜の形成方法としては、例えば、石英基板上にタングステンシリサイドからなる遮光膜を形成する工程と、少なくとも遮光膜を覆うように無機絶縁膜を形成する工程と、遮光膜および無機絶縁膜が形成された基板を1000℃より高く1200℃以下の温度範囲で熱処理する工程と、を有する方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。
図1は、本発明のタングステン遮光膜の一実施形態を示す要部拡大断面図である。
タングステン遮光膜10は、基板11の一面11aに形成され、窒素12を含むタングステン膜13から構成されてなるものである。
タングステン膜13は、後述する本発明のタングステン遮光膜の製造方法によって成膜されたものである。
タングステン膜13における窒素12の含有量が5at%を超えると、タングステン膜13(タングステン遮光膜10)のシート抵抗が増加する。
図2、図3は、本発明のタングステン遮光膜の製造方法の一実施形態を示した要部拡大断面図である。
例えば、上記のタングステン遮光膜10を製造する際には、まず、基板11を用意する(図2参照)。
窒化タングステン膜21は、例えば、タングステン(W)を含む材料と、窒素(N2)ガスとを用いて形成する。
窒化タングステン膜21を形成するには、例えば、PVD法を用いることが好ましい。PVD法を用いた窒化タングステン膜21の成膜工程では、スパッタリングターゲットとしてタングステンを用い、不活性ガスと窒素ガスの混合ガスを導入してプラズマ放電させることで、基板11の一面11aに、窒化タングステン膜21を堆積する。
得られた窒化タングステン膜21は、タングステンが窒素原子(N)22と結合して、窒化タングステンを構成してなるものである。
窒素ガスの流量が5%未満では、得られる窒化タングステン膜21に含まれる窒素の量が少な過ぎて、後述する熱処理工程において、窒化タングステン膜21を熱処理して、タングステン膜を形成する際、熱処理による窒化タングステン膜21の熱膨張量を抑えることができず、結果として、タングステン膜に亀裂が生じる。一方、窒素ガスの流量が25%を超えると、後述する熱処理工程において、窒化タングステン膜21を熱処理しても、窒素22を十分に脱離させることができず、得られたタングステン膜のシート抵抗を低くすることができない。
この熱処理工程は、窒化タングステン膜21を構成する窒化タングステンを結晶化して、タングステンとし、基板11の一面11aにタングステン膜を形成する工程である。すなわち、熱処理工程は、窒化タングステン膜21から窒素22を脱離させて、タングステン膜を形成する工程である。
熱処理温度が500℃未満では、窒化タングステン膜21に含まれる窒素22を十分に脱離させることができず、緻密な構造のタングステン膜を形成することができない。一方、熱処理温度が高過ぎると、基板11が劣化するおそれがある。
熱処理の時間が10分未満では、熱処理温度を上記の温度に設定したとしても、窒化タングステン膜21に含まれる窒素22を十分に脱離させることができず、緻密な構造のタングステン膜を形成することができない。一方、熱処理の時間が60分を超えると、基板11が劣化するおそれがある。
基板として厚み1mmの石英基板を用意した。
次に、この基板の一面に、PVD法により、厚みの100nmの窒化タングステン膜を形成した。このとき、窒素ガスの分圧比を5%とした。
得られた窒化タングステン膜について、X線回折法により、結晶構造を分析した。結果を、図4に示す。また、この窒化タングステン膜のシート抵抗(Ω/□)を測定した。結果を、図6に示す。
次に、窒化タングステン膜が形成された基板を、500℃で、30分間、熱処理して、基板の一面にタングステン膜を形成した。
得られたタングステン膜について、X線回折法により、結晶構造を分析した。結果を、図5に示す。また、このタングステン膜のシート抵抗(Ω/□)を測定した。結果を、図6に示す。
窒素ガスの分圧比を10%とした以外は実験例1と同様にして、窒化タングステン膜を形成した。
得られた窒化タングステン膜について、X線回折法により、結晶構造を分析した。結果を、図4に示す。また、この窒化タングステン膜のシート抵抗(Ω/□)を測定した。結果を、図6に示す。
次に、実験例1と同様にして、タングステン膜を形成した。
得られたタングステン膜について、X線回折法により、結晶構造を分析した。結果を、図5に示す。また、このタングステン膜のシート抵抗(Ω/□)を測定した。結果を、図6に示す。
窒素ガスの分圧比を20%とした以外は実験例1と同様にして、窒化タングステン膜を形成した。
得られた窒化タングステン膜について、X線回折法により、結晶構造を分析した。結果を、図4に示す。また、この窒化タングステン膜のシート抵抗(Ω/□)を測定した。結果を、図6に示す。
次に、実験例1と同様にして、タングステン膜を形成した。
得られたタングステン膜について、X線回折法により、結晶構造を分析した。結果は窒素ガスの分圧比10%と同じX線回折スペクトルであるため図示しない。また、このタングステン膜のシート抵抗(Ω/□)を測定した。結果を、図6に示す。
窒素ガスの分圧比を40%とした以外は実験例1と同様にして、窒化タングステン膜を形成した。
得られた窒化タングステン膜について、X線回折法により、結晶構造を分析した。結果を、図4に示す。また、この窒化タングステン膜のシート抵抗(Ω/□)を測定した。結果を、図6に示す。
次に、実験例1と同様にして、タングステン膜を形成した。
得られたタングステン膜について、X線回折法により、結晶構造を分析した。結果を、図5に示す。また、このタングステン膜のシート抵抗(Ω/□)を測定した。結果を、図6に示す。
また、図6の結果から、窒素ガスの分圧比を5%、10%および20%として、窒化タングステン膜を形成した場合、窒化タングステン膜を熱処理して得られたタングステン膜のシート抵抗が低下していることが確認された。これは、熱処理によって、窒化タングステンから窒素が脱離し、タングステンが形成されたことを示している。
11 基板
12 窒素
13 タングステン膜
21 窒化タングステン膜
22 窒素
Claims (3)
- 窒素ガスの分圧比を5〜20%とした不活性ガスと窒素ガスの混合ガスを用いて、基板の一面に5at%以下の窒素を含む窒化タングステン膜をPVD法で成膜する成膜工程と、
該窒化タングステン膜が形成された基板を500℃以上の温度で10〜60分熱処理し、該窒化タングステン膜の窒素を脱離する熱処理工程と、を少なくとも備えたことを特徴とするタングステン遮光膜の製造方法。 - 前記熱処理工程は、前記窒化タングステン膜のシート抵抗を低下させることを特徴とする請求項1に記載のタングステン遮光膜の製造方法。
- 前記成膜工程及び前記熱処理工程により、前記窒化タングステン膜のみからなる遮光膜を形成することを特徴とする請求項1または2に記載のタングステン遮光膜の製造方法。
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