JP5821797B2 - 電子部品の製造方法及び電子部品の製造装置 - Google Patents
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Description
まず、6インチの大きさを有するウエハWの表面(一方の面)に、銅を材料として複数の下地電極2を形成した。続いて、下地電極2を弱酸で洗浄した直後に窒素ガスでウエハWを乾燥した。続いて、乾燥直後に、上部槽10a内に貯留されているポリアルキレングリコール・オイルの液内にウエハWを入れた。このとき、ウエハWのうち下地電極2が形成されている側の面を下向きとした。続いて、噴流ノズル12から溶融状態の5元系はんだを噴き出して、5元系はんだを下地電極2に接触させ、下地電極2にはんだ層3を形成した。このときの5元系はんだの噴き出し温度は、240℃であった。その結果、下地電極2へのはんだ層3の形成率(下地電極2の総数に対して、はんだ層3が形成された下地電極2の数の割合)は100%であった。
ポリアルキレングリコール・オイルの代わりに石油系炭化水素(バーレルプロセスオイル640)を用いた以外は、実施例1と同様にして下地電極2にはんだ層3を形成した。その結果、下地電極2へのはんだ層3の形成率は50%程度であった。
下地電極2を弱酸で洗浄した直後に、ロジンとイソプロピルアルコールとを2:8の重量比で混合したフラックスを下地電極2に塗布して乾燥した以外は、比較例1−1と同様にして下地電極2にはんだ層3を形成した。その結果、下地電極2へのはんだ層3の形成率は95%程度であった。
ポリアルキレングリコール・オイルの代わりに脂肪酸エステル(バーレルルーフH−220A、H150A)を用いた以外は、実施例1と同様にして下地電極2にはんだ層3を形成した。その結果、下地電極2へのはんだ層3の形成率はほぼ0%であった。
下地電極2を弱酸で洗浄した直後に、ロジンとイソプロピルアルコールとを2:8の重量比で混合したフラックスを下地電極2に塗布して乾燥した以外は、比較例2−1と同様にして下地電極2にはんだ層3を形成した。その結果、下地電極2へのはんだ層3の形成率は20%程度であった。
ポリアルキレングリコール・オイルの代わりに有機リン酸エステル(アデカLX−2663)を用いた以外は、実施例1と同様にして下地電極2にはんだ層3を形成した。その結果、下地電極2へのはんだ層3の形成率は10%程度であった。
下地電極2を弱酸で洗浄した直後に、ロジンとイソプロピルアルコールとを2:8の重量比で混合したフラックスを下地電極2に塗布して乾燥した以外は、比較例3−1と同様にして下地電極2にはんだ層3を形成した。その結果、下地電極2へのはんだ層3の形成率は45%程度であった。
ポリアルキレングリコール・オイルの代わりにピロメット酸エステル(アデカプルーバーP−80)を用いた以外は、実施例1と同様にして下地電極2にはんだ層3を形成した。その結果、下地電極2へのはんだ層3の形成率は20%程度であった。
下地電極2を弱酸で洗浄した直後に、ロジンとイソプロピルアルコールとを2:8の重量比で混合したフラックスを下地電極2に塗布して乾燥した以外は、比較例4−1と同様にして下地電極2にはんだ層3を形成した。その結果、下地電極2へのはんだ層3の形成率は60%程度であった。
ポリアルキレングリコール・オイルの代わりに、石油系炭化水素(バーレルプロセスオイル640)とトールロジンとを一対一の重量比で混合した混合物を用いた以外は、実施例1と同様にして下地電極2にはんだ層3を形成した。その結果、下地電極2へのはんだ層3の形成率は100%程度であった。しかしながら、当該混合物の引火点は、5元系はんだの噴き出し温度(240℃)以下であり、引火のおそれが生じた。当該混合物は常温で固体のため、当該混合物の回収及び廃棄の際に固化して配管が詰まるおそれが生じた。当該混合物は、強い粘着性を有するため、取り扱いが困難であった。
Claims (6)
- 液状のポリアルキレングリコール・オイルが貯留されている槽内に、前記ポリアルキレングリコール・オイルの液面を超えないように溶融状態の5元系はんだを噴き出す第1の工程と、
少なくとも銅が外部に露出している下地電極が表面に配置された電子部品の前駆体を、前記ポリアルキレングリコール・オイルの液内に入れる第2の工程と、
前記前駆体が前記ポリアルキレングリコール・オイルの液内に位置する状態で前記5元系はんだを前記下地電極に接触させて、前記下地電極上にはんだ層を形成する第3の工程とを含み、
前記前駆体はウエハ形状を呈し、
前記下地電極は前記前駆体の一方の面に複数配置されている、電子部品の製造方法。 - 前記5元系はんだを構成する成分の一つとしてNiを含む、請求項1に記載の方法。
- 噴き出される前記5元系はんだの温度は240℃以上である、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記ポリアルキレングリコール・オイルの引火点は噴き出される前記5元系はんだの温度以上である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第2の工程では、予熱されている前記前駆体を前記ポリアルキレングリコール・オイルの液内に入れる、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第2の工程の前に、
前記下地電極を酸洗浄する第4の工程と、
前記下地電極にフラックスを塗布して乾燥する第5の工程とを更に含む、請求項5に記載の方法。
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