JP5820672B2 - 真空チャック装置 - Google Patents
真空チャック装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5820672B2 JP5820672B2 JP2011199065A JP2011199065A JP5820672B2 JP 5820672 B2 JP5820672 B2 JP 5820672B2 JP 2011199065 A JP2011199065 A JP 2011199065A JP 2011199065 A JP2011199065 A JP 2011199065A JP 5820672 B2 JP5820672 B2 JP 5820672B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- space
- cylinder
- fluid
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Actuator (AREA)
Description
図10は、従来の真空チャック装置の概略構造を示す断面図である。
この真空チャック装置は、例えば直方体の金属ブロック110内に、円筒形状等のシリンダ室111と、これに連通する真空流路112と、ピストンロッド用の挿通孔113が一体的に削成されている。シリンダ室111には、円筒形状等のピストン114が軸方向に往復動自在に収容され、ピストン114の外周面にはリング状のシール材114aが取り付けられている。これによってピストン114の端面とシリンダ室111の内壁面との間で空気圧室111aが形成される。
引きネジ方式の真空チャック装置では、手動で引きネジを回転させる必要があるため、操作毎に多大な労力と時間を要する。さらに、引きネジを回転させるためのハンドルのスペース、及び作業者が手に持ってハンドルを回転するためのスペースが必要となる。そのため、この真空チャック装置を各種の工作機械や機械装置等に取り付ける際には、取り付け方向及び取り付け位置に多くの制約が生じ、自在な取り付けが困難である。
前記第1のシリンダ室の軸方向に延びるシリンダ内壁面(10a)との気密が保持されるように、前記第1のシリンダ室に前記軸方向への往復動が可能に内装された第1のピストン(14)と、前記第2のシリンダ室の軸方向に延びるシリンダ内壁面(10b)との気密が保持されるように、前記第2のシリンダ室に前記軸方向への往復動が可能に内装された第2のピストン(15)と、前記隔壁を気密に貫通して前記第1のピストン(14)と前記第2のピストン(15)とを連結するロッド(16)と、被加工物(50)を載置して真空吸着するための吸着手段(30)と、前記第1のピストンによって前記第1のシリンダ室内に形成される第1の空間(11a)及び第2の空間(11b)と、前記第1の空間のシリンダ壁を貫通する吸引用の第1の貫通孔(21)と、前記第2の空間のシリンダ壁を貫通する流体給排出用の第2の貫通孔(22)と、前記第2のピストンによって前記第2のシリンダ室内に形成される第3の空間(12a)及び第4の空間(12b)と、前記第3の空間のシリンダ壁を貫通する流体給排出用の第3の貫通孔(23)と、前記第4の空間のシリンダ壁を貫通する通気用の第4の貫通孔(24)とを備え、前記吸着手段の減圧エリアと前記第1の貫通孔とを気密に連通し、前記被加工物を前記吸着手段に真空吸着するクランプ時には、前記第2の貫通孔から前記第2の空間内の流体を排出すると共に、前記第3の貫通孔から前記第3の空間内に流体を圧入し、前記被加工物の真空吸着状態を解除するアンクランプ時には、前記第3の貫通孔から前記第3の空間内の流体を排出すると共に、前記第2の貫通孔から前記第2の空間内に流体を圧入し、前記流体を供給する流体供給源が着脱自在に装着され、前記クランプ時に前記第3の貫通孔から前記第3の空間内に流体を供給する流体供給源からの流体の供給が停止したとき、少なくとも前記流体供給源と前記第3の貫通孔を連通する流体経路(23a)を気密に閉塞するバルブ手段(60)を備えることを特徴とする。
この発明の真空チャック装置によれば、真空容量が大幅に増加されるので、強力な真空吸着力を実現することができ、被加工物のサイズが幅広である場合などに対応することができる。
この発明の真空チャック装置によれば、真空チャック装置全体がコンパクト化され、各種の工作機械等への取り付けも容易になる。
<第1の実施形態>
この真空チャック装置は、図1に示すように、第1のシリンダ室11と第2のシリンダ室12が隔壁13を介して形成された例えば円筒形状のシリンダ本体10と、このシリンダ本体10に連通する真空吸着器30とを有している。真空吸着器30は、ワーク(被加工物)50を減圧エリアに載置して真空吸着するための吸着手段である。
そして、隔壁13を貫通する断面円形の貫通孔13aを連結ロッド16が軸方向に往復動自在に嵌通して第1のピストン14と第2のピストン15とを連結している。貫通孔13aの内周面には2つの溝が刻設され、各溝にはOリングが収容されている。このため、第2の空間11bと第3の空間12aの間の気密性が保持される。
ワーク50を真空吸着器30に真空吸着するクランプ時には、ワーク50を真空吸着器30の減圧エリアに載置しておき、第2の貫通孔22から第2の空間11b内の流体を排出し、第3の貫通孔23から第3の空間12a内に流体を圧入する。
具体的には、方向切り替えバルブ60の流体出入ポート64に流体供給源の先端ノズルを装着して圧縮流体をバルブ60内に供給すると、初めに、弁体65が開駆動して、流体経路22aを介して第2の貫通孔22に連通する流体出入ポート61が開口する。その結果、第2の空間11b内に残留していた流体が、流体出入ポート61を介して流体出入ポート63からバルブ60の外へ排出される。
具体的には、方向切り替えバルブ60の流体出入ポート63に流体供給源の先端ノズルを装着して圧縮流体をバルブ60内に供給すると、初めに、弁体66が開駆動して、流体経路23aを介して第3の貫通孔23に連通する流体出入ポート62が開口する。その結果、第3の空間12a内に残留していた流体が、流体出入ポート62を介して流体出入ポート64からバルブ60の外へ排出される。
<第2の実施形態>
本実施の形態の真空チャック装置は、上述した第1の実施の形態における真空チャック装置において、真空吸着器30の減圧エリアと第1の貫通孔21とを気密に連通する吸引経路21a側に、第1の逆止弁71と第2の逆止弁72を設けたものである。
<第3の実施形態>
本実施の形態の真空チャック装置は、図3及び図4に示すように、真空吸着器30の減圧エリアと第1の貫通孔21とを直に連通した構成となっている。すなわち、図3に示すものは、シリンダ本体10の短手方向の側壁に第1の貫通孔21を設けて、これに真空吸着器30の減圧エリアを直に連通している。図4に示すものは、シリンダ本体10の長手方向の側壁に第1の貫通孔21を設けて、これに真空吸着器30の減圧エリアをを直に連通している。
<第4の実施形態>
本実施の形態の真空チャック装置は、図5に示すように、上述したシリンダ本体10と同一構成の2つのシリンダ本体10A、10Bを備えている。各シリンダ本体10A、10Bの個々の第1の貫通孔21にそれぞれ連通する吸引経路21aを結合した結合吸引経路21bが設けられ、その結合吸引経路21bが真空吸着器30の減圧エリアに気密に連通している。さらに、1つの4ポート圧力保持型の方向切り替えバルブ60と各シリンダ本体10A、10Bとを連通するために、流体経路22a、23aが分岐して分岐流体経路22b、23bが形成されている。
本実施の形態の真空チャック装置によれば、真空容量が大幅に増加されるので、強力な真空吸着力を実現することができ、ワーク50のサイズが幅広である場合などに対応することができる。
<第5の実施形態>
この真空チャック装置は、図6及び図7(a),(b)に示すように、水平板状の基台部80と、該基台部80から垂直に立設された中空の2面イケール本体81とを有するイケール治具として構成される。真空吸着器30は、板状を成して、断面長方形のイケール本体81の長手方向の側面に複数のネジ82で平行に取り付けられている。この板状の真空吸着器30には、シール材31がワーク50の載置面の周縁部に沿って環状に周設されている。さらに、環状のシール材31の内側領域には、前記ネジ82が複数存在し、そのネジ82の周囲にOリング32が付設されている。そして、環状のシール材31とOリング32とで囲まれた領域内が減圧エリア33となり、この減圧エリア33には、結合吸引経路21bに連通する吸引孔34が開口している。
このような実装形態の真空チャック装置によれば、真空チャック装置全体がコンパクト化され、各種の工作機械等への取り付けも容易になる。すなわち、例えば工作機械等のテーブル部あるいはパレットに取り付けられて、ワーク50を位置決めするイケール治具とすることができる。かかるイケール治具を横型マシニングセンタ等の自動パレット交換方式工作機械に取り付ければ、例えば航空機産業等に使用されるアルミ等の材質の薄物ワークの加工用治具として好適に機能し、その分野の加工効率化に寄与することが可能になる。
<第6の実施形態>
この真空チャック装置は、図6で示したイケール治具において、2面イケール本体81の長手方向両側面にそれぞれ真空吸着器30A、30Bを取り付けて、2つのワークを真空吸着する構成である。
そして、一方のシステムで真空吸着器30Aを作動し、もう一方のシステムで別の真空吸着器30Bを作動する。
<第7の実施形態>
図9(a)に示すように、本実施の形態におけるイケール治具が、図6に示したイケール治具と異なる点は、イケール本体が断面正方形で中空の4面イケール本体81Aで構成されている点である。すなわち、図9(a),(b)で示したイケール治具において、4面イケール本体81Aの各側面にそれぞれ真空吸着器30A、30B、30C、30Dを取り付けて、4つのワークをそれぞれ独立して真空吸着する構成である。
第7の本実施形態では、4つのワークをそれぞれ独立して真空吸着する構成としたが、ワーク2つを組として真空吸着するなど他の構成も可能である。
また、イケール治具の形状は、ワークに合わせた形状であることが望ましく、上記実施の形態に示した形状に限定されない。
また、流体供給源から供給される流体は、空気のほか、水や油などの液体であってもよい。
11 第1のシリンダ室
11a 第1の空間
11b 第2の空間
12 第2のシリンダ室
12a 第3の空間
12b 第4の空間
13 隔壁
14 第1のピストン
15 第2のピストン
16 ロッド
30、30A、30B 真空吸着器(吸着手段)
50 被加工物
21 吸引用の第1の貫通孔
22 流体給排出用の第2の貫通孔
22a、23a 流体経路
23 流体給排出用の第3の貫通孔
24 通気用の第4の貫通孔
71 第1の逆止弁
72 第2の逆止弁
80 水平板状の基台部
81 イケール本体
Claims (5)
- 隔壁(13)を介して第1のシリンダ室(11)と第2のシリンダ室(12)が形成されたシリンダ本体(10)と、
前記第1のシリンダ室の軸方向に延びるシリンダ内壁面(10a)との気密が保持されるように、前記第1のシリンダ室に前記軸方向への往復動が可能に内装された第1のピストン(14)と、
前記第2のシリンダ室の軸方向に延びるシリンダ内壁面(10b)との気密が保持されるように、前記第2のシリンダ室に前記軸方向への往復動が可能に内装された第2のピストン(15)と、
前記隔壁を気密に貫通して前記第1のピストン(14)と前記第2のピストン(15)とを連結するロッド(16)と、
被加工物(50)を載置して真空吸着するための吸着手段(30)と、
前記第1のピストンによって前記第1のシリンダ室内に形成される第1の空間(11a)及び第2の空間(11b)と、
前記第1の空間のシリンダ壁を貫通する吸引用の第1の貫通孔(21)と、
前記第2の空間のシリンダ壁を貫通する流体給排出用の第2の貫通孔(22)と、
前記第2のピストンによって前記第2のシリンダ室内に形成される第3の空間(12a)及び第4の空間(12b)と、
前記第3の空間のシリンダ壁を貫通する流体給排出用の第3の貫通孔(23)と、
前記第4の空間のシリンダ壁を貫通する通気用の第4の貫通孔(24)とを備え、前記吸着手段の減圧エリアと前記第1の貫通孔とを気密に連通し、
前記被加工物を前記吸着手段に真空吸着するクランプ時には、前記第2の貫通孔から前記第2の空間内の流体を排出すると共に、前記第3の貫通孔から前記第3の空間内に流体を圧入し、前記被加工物の真空吸着状態を解除するアンクランプ時には、前記第3の貫通孔から前記第3の空間内の流体を排出すると共に、前記第2の貫通孔から前記第2の空間内に流体を圧入し、
前記流体を供給する流体供給源が着脱自在に装着され、前記クランプ時に前記第3の貫通孔から前記第3の空間内に流体を供給する流体供給源からの流体の供給が停止したとき、少なくとも前記流体供給源と前記第3の貫通孔を連通する流体経路(23a)を気密に閉塞するバルブ手段(60)を備える真空チャック装置。 - 前記吸着手段の減圧エリアと前記第1の貫通孔とを気密に連通する吸引経路(21a)に介設され、前記クランプ時に開弁し前記アンクランプ時に閉弁する第1の逆止弁(71)と、
前記第1の逆止弁と前記第1の貫通孔との間の前記吸引経路の途中部分から分岐して外部に開口する分岐経路(21b)に介設され、前記クランプ時に閉弁し前記アンクランプ時に開弁する第2の逆止弁(72)とを
設けたことを特徴とする請求項1に記載の真空チャック装置。 - 前記吸着手段が前記シリンダ本体に取り付けられ、前記吸着手段の減圧エリアと前記第1の貫通孔とを直に連通したことを特徴とする請求項1に記載の真空チャック装置。
- 前記シリンダ本体を複数個備え、
前記各シリンダ本体(10A、10B)の個々の前記第1の貫通孔にそれぞれ連通する吸引経路を結合した結合吸引経路(21b)を前記吸着手段の減圧エリアに気密に連通し、
前記各シリンダ本体が協働して前記クランプまたは前記アンクランプを行うように構成したことを特徴とする請求項1に記載の真空チャック装置。 - 水平板状の基台部(80)と、該基台部から垂直に立設された中空のイケール本体(81)とを有し、
前記吸着手段は、板状を成して前記イケール本体の側面に平行に取り付けられ、前記シリンダ本体は、前記イケール本体の中空に収容したことを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の真空チャック装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011199065A JP5820672B2 (ja) | 2011-09-13 | 2011-09-13 | 真空チャック装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011199065A JP5820672B2 (ja) | 2011-09-13 | 2011-09-13 | 真空チャック装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013059823A JP2013059823A (ja) | 2013-04-04 |
JP5820672B2 true JP5820672B2 (ja) | 2015-11-24 |
Family
ID=48184985
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011199065A Active JP5820672B2 (ja) | 2011-09-13 | 2011-09-13 | 真空チャック装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5820672B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101556612B1 (ko) | 2013-09-17 | 2015-10-01 | 이종희 | 편방향 피스톤 로드를 가지는 왕복동 실린더 |
JP6362416B2 (ja) * | 2014-05-23 | 2018-07-25 | キヤノン株式会社 | 保持装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
KR200488447Y1 (ko) * | 2017-01-26 | 2019-02-01 | (주) 티피씨 메카트로닉스 | 진공 및 실린더 통합 제어용 모듈 |
CN108381214B (zh) * | 2018-05-15 | 2023-09-15 | 淮海工业集团有限公司 | 一种柱塞式真空数控加工夹具 |
KR102274244B1 (ko) * | 2021-02-17 | 2021-07-07 | 충남대학교산학협력단 | 공압 복동실린더를 이용한 파우더 인젝터 |
-
2011
- 2011-09-13 JP JP2011199065A patent/JP5820672B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013059823A (ja) | 2013-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5820672B2 (ja) | 真空チャック装置 | |
US7665717B2 (en) | Vacuum hold-down | |
US7192017B2 (en) | Mechanical suction device | |
RU2767926C2 (ru) | Захватное устройство с захватным узлом бернулли и вакуумным захватным узлом | |
EP2022606B1 (de) | Werkstück-Halter für eine Vakuumhaltevorrichtung | |
CN202053091U (zh) | 一种可重构的真空吸附夹具 | |
JP2012062903A5 (ja) | ||
JP2016097468A (ja) | ワーク固定用治具 | |
EP2014587A2 (en) | Vacuum-based item-holding device | |
JPS621440Y2 (ja) | ||
CN102367823B (zh) | 一种可自动换向并内置机械锁的气缸装置 | |
JP2007083354A (ja) | ワーク吸着保持装置 | |
JP2009062870A (ja) | エアーポンプ | |
KR101463698B1 (ko) | 휴대용 진공흡착 작업기구 | |
JP7391628B2 (ja) | ナットランナ装置 | |
JP3302508B2 (ja) | ワーク支持装置 | |
CN203371306U (zh) | 一种基于真空发生器的真空吸附平台 | |
CN201950548U (zh) | 一种玻璃支撑定位装置 | |
CN203484928U (zh) | 一种气压吸盘夹具 | |
CN214292105U (zh) | 一种板状产品加工用的真空夹具 | |
CN212240182U (zh) | 一种双工位五面加工工装夹具 | |
CN205703384U (zh) | 具有多夹持***的工作平台 | |
KR102132408B1 (ko) | 진공척 시스템 | |
CN210818606U (zh) | 一种能准确定位高效加工异形件的工装 | |
CN209598779U (zh) | 大型精密检测仪器底板机加工夹紧装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140916 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150626 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150707 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150814 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150908 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151005 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5820672 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |