JP5819571B1 - 表面処理銅箔、銅張積層板、プリント配線板、電子機器及びプリント配線板の製造方法 - Google Patents

表面処理銅箔、銅張積層板、プリント配線板、電子機器及びプリント配線板の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5819571B1
JP5819571B1 JP2015520739A JP2015520739A JP5819571B1 JP 5819571 B1 JP5819571 B1 JP 5819571B1 JP 2015520739 A JP2015520739 A JP 2015520739A JP 2015520739 A JP2015520739 A JP 2015520739A JP 5819571 B1 JP5819571 B1 JP 5819571B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
copper foil
copper
resin substrate
insulating resin
observation point
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2015520739A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2015087942A1 (ja
Inventor
新井 英太
英太 新井
敦史 三木
敦史 三木
康修 新井
康修 新井
嘉一郎 中室
嘉一郎 中室
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JX Nippon Mining and Metals Corp
Original Assignee
JX Nippon Mining and Metals Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JX Nippon Mining and Metals Corp filed Critical JX Nippon Mining and Metals Corp
Priority to JP2015520739A priority Critical patent/JP5819571B1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5819571B1 publication Critical patent/JP5819571B1/ja
Publication of JPWO2015087942A1 publication Critical patent/JPWO2015087942A1/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B15/00Layered products comprising a layer of metal
    • B32B15/04Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B15/08Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B15/00Layered products comprising a layer of metal
    • B32B15/04Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B15/08Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
    • B32B15/088Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin comprising polyamides
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B15/00Layered products comprising a layer of metal
    • B32B15/20Layered products comprising a layer of metal comprising aluminium or copper
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/28Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42
    • B32B27/281Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42 comprising polyimides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D5/00Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
    • C25D5/60Electroplating characterised by the structure or texture of the layers
    • C25D5/605Surface topography of the layers, e.g. rough, dendritic or nodular layers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D5/00Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
    • C25D5/627Electroplating characterised by the visual appearance of the layers, e.g. colour, brightness or mat appearance
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/38Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
    • H05K3/382Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by special treatment of the metal
    • H05K3/384Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by special treatment of the metal by plating
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/40Properties of the layers or laminate having particular optical properties
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2311/00Metals, their alloys or their compounds
    • B32B2311/12Copper
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2457/00Electrical equipment
    • B32B2457/08PCBs, i.e. printed circuit boards
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/01Dielectrics
    • H05K2201/0104Properties and characteristics in general
    • H05K2201/0108Transparent
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/01Dielectrics
    • H05K2201/0137Materials
    • H05K2201/0154Polyimide

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)
  • Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

樹脂と良好に接着し、且つ、樹脂越しに観察した際に、優れた視認性を実現する表面処理銅箔を提供する。一方の表面および他方の表面にそれぞれ表面処理が行われた表面処理銅箔であって、表面処理銅箔と、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドとを積層して構成した銅張積層板における、ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となる。銅箔を、表面処理が行われている表面側から積層させた前記ポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、観察地点−明度グラフにおいて、ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となる。表面処理銅箔の他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上である。

Description

本発明は、表面処理銅箔、銅張積層板、プリント配線板、電子機器及びプリント配線板の製造方法に関する。
スマートフォンやタブレットPCといった小型電子機器には、配線の容易性や軽量性からフレキシブルプリント配線板(以下、FPC)が採用されている。近年、これら電子機器の高機能化により信号伝送速度の高速化が進み、FPCにおいてもインピーダンス整合が重要な要素となっている。信号容量の増加に対するインピーダンス整合の方策として、FPCのベースとなる樹脂絶縁層(例えば、ポリイミド)の厚層化が進んでいる。また配線の高密度化要求によりFPCの多層化がより一層進んでいる。一方、FPCは液晶基材への接合やICチップの搭載などの加工が施されるが、この際の位置合わせは銅箔と樹脂絶縁層との積層板における銅箔をエッチングした後に残る樹脂絶縁層を透過して視認される位置決めパターンを介して行われるため、樹脂絶縁層の視認性が重要となる。
また、銅箔と樹脂絶縁層との積層板である銅張積層板は、表面に粗化めっきが施された圧延銅箔を使用しても製造できる。この圧延銅箔は、通常タフピッチ銅(酸素含有量100〜500重量ppm)又は無酸素銅(酸素含有量10重量ppm以下)を素材として使用し、これらのインゴットを熱間圧延した後、所定の厚さまで冷間圧延と焼鈍とを繰り返して製造される。
このような技術として、例えば、特許文献1には、ポリイミドフィルムと低粗度銅箔とが積層されてなり、銅箔エッチング後のフィルムの波長600nmでの光透過率が40%以上、曇価(HAZE)が30%以下であって、接着強度が500N/m以上である銅張積層板に係る発明が開示されている。
また、特許文献2には、電解銅箔による導体層を積層された絶縁層を有し、当該導体層をエッチングして回路形成した際のエッチング領域における絶縁層の光透過性が50%以上であるチップオンフレキ(COF)用フレキシブルプリント配線板において、前記電解銅箔は、絶縁層に接着される接着面にニッケル−亜鉛合金による防錆処理層を備え、該接着面の表面粗度(Rz)は0.05〜1.5μmであるとともに入射角60°における鏡面光沢度が250以上であることを特徴とするCOF用フレキシブルプリント配線板に係る発明が開示されている。
また、特許文献3には、印刷回路用銅箔の処理方法において、銅箔の表面に銅−コバルト−ニッケル合金めっきによる粗化処理後、コバルト−ニッケル合金めっき層を形成し、更に亜鉛−ニッケル合金めっき層を形成することを特徴とする印刷回路用銅箔の処理方法に係る発明が開示されている。
特開2004−98659号公報 WO2003/096776 特許第2849059号公報
特許文献1において、黒化処理又はめっき処理後の有機処理剤により接着性が改良処理されて得られる低粗度銅箔は、銅張積層板に屈曲性が要求される用途では、疲労によって断線することがあり、樹脂透視性に劣る場合がある。
また、特許文献2では、粗化処理がなされておらず、COF用フレキシブルプリント配線板以外の用途においては銅箔と樹脂との密着強度が低く不十分である。
さらに、特許文献3に記載の処理方法では、銅箔へのCu−Co−Niによる微細処理は可能であったが、当該銅箔を樹脂越しに観察した際に、優れた視認性を実現できていない。
本発明は、樹脂と良好に接着し、且つ、樹脂越しに観察した際に、優れた視認性を実現する表面処理銅箔を提供する。
本発明者らは鋭意研究を重ねた結果、表面処理によって表面の色差が所定範囲に制御された銅箔を、当該処理面側から積層させたポリイミド基板越しにCCDカメラで撮影した当該銅箔の画像から得られる観察地点−明度グラフにおいて描かれる銅箔端部付近の明度曲線の傾きに着目し、当該明度曲線の傾きを制御することが、基板樹脂フィルムの種類や基板樹脂フィルムの厚さの影響を受けずに、樹脂透明性が良好となることを見出した。
以上の知見を基礎として完成された本発明は一側面において、一方の表面および他方の表面にそれぞれ表面処理が行われた表面処理銅箔であって、表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となり、前記銅箔を一方の表面側から積層させた前記ポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記銅箔の端部から前記銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上である表面処理銅箔である。
本発明は別の一側面において、一方の表面および他方の表面にそれぞれ表面処理が行われた表面処理銅箔であって、表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となり、前記銅箔を、一方の表面側から積層させた前記ポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記銅箔の端部から前記銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上である表面処理銅箔である。
本発明の表面処理銅箔は別の一実施形態において、前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの平均粗さRzが、0.35μm以上である。
本発明の表面処理銅箔は更に別の一実施形態において、前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である。
本発明は更に別の一側面において、一方の表面および他方の表面にそれぞれ表面処理が行われた表面処理銅箔であって、表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となり、前記銅箔を一方の表面側から積層させた前記ポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記銅箔の端部から前記銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である表面処理銅箔である。
本発明は更に別の一側面において、一方の表面および他方の表面にそれぞれ表面処理が行われた表面処理銅箔であって、表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となり、前記銅箔を、一方の表面側から積層させた前記ポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記銅箔の端部から前記銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である表面処理銅箔である。
本発明の表面処理銅箔は更に別の一実施形態において、前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である。
本発明は更に別の一側面において、一方の表面および他方の表面にそれぞれ表面処理が行われた表面処理銅箔であって、表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となり、前記銅箔を一方の表面側から積層させた前記ポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記銅箔の端部から前記銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である表面処理銅箔である。
本発明は更に別の一側面において、一方の表面および他方の表面にそれぞれ表面処理が行われた表面処理銅箔であって、表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となり、前記銅箔を、一方の表面側から積層させた前記ポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記銅箔の端部から前記銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である表面処理銅箔である。
本発明の表面処理銅箔は更に別の一実施形態において、前記他方の表面の表面処理が粗化処理である。
本発明に係る表面処理銅箔の別の実施形態においては、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となる。
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
本発明に係る表面処理銅箔の更に別の実施形態においては、前記表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが53以上となる。
本発明に係る表面処理銅箔の更に別の実施形態においては、前記明度曲線における(1)式で定義されるSvが3.5以上となる。
本発明に係る表面処理銅箔の更に別の実施形態においては、前記明度曲線における(1)式で定義されるSvが3.9以上となる。
本発明に係る表面処理銅箔の更に別の実施形態においては、前記明度曲線における(1)式で定義されるSvが5.0以上となる。
本発明に係る表面処理銅箔の更に別の実施形態においては、前記一方の表面の接触式粗さ計で測定したTDの十点平均粗さRzが0.20〜0.64μmであり、前記銅箔表面の三次元表面積Aと二次元表面積Bとの比A/Bが1.0〜1.7である。
本発明に係る表面処理銅箔の更に別の実施形態においては、前記一方の表面の接触式粗さ計で測定したTDの十点平均粗さRzが0.26〜0.62μmである。
本発明に係る表面処理銅箔の更に別の実施形態においては、前記A/Bが1.0〜1.6である。
本発明は更に別の側面において、本発明の表面処理銅箔と樹脂基板とを積層して構成した銅張積層板である。
本発明は更に別の側面において、本発明の表面処理銅箔を用いたプリント配線板である。
本発明は更に別の側面において、本発明のプリント配線板を少なくとも1つ用いた電子機器である。
本発明は更に別の側面において、絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、前記絶縁樹脂基板越しの前記銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、前記銅回路を、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記銅回路の端部から前記銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上であるプリント配線板である。
本発明は更に別の側面において、絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、前記絶縁樹脂基板越しの前記銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、前記銅回路を、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記銅回路の端部から前記銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上であるプリント配線板である。
本発明のプリント配線板は別の一実施形態において、前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である。
本発明は更に別の一側面において、絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、前記絶縁樹脂基板越しの前記銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、前記銅回路を、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記銅回路の端部から前記銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上であるプリント配線板である。
本発明は更に別の一側面において、絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、前記絶縁樹脂基板越しの前記銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、前記銅回路を、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記銅回路の端部から前記銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上であるプリント配線板である。
本発明のプリント配線板は更に別の一実施形態において、前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である。
本発明は更に別の一側面において、絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、前記絶縁樹脂基板越しの前記銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、前記銅回路を、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記銅回路の端部から前記銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上であるプリント配線板である。
本発明は更に別の一側面において、絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、前記絶縁樹脂基板越しの前記銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、前記銅回路を、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記銅回路の端部から前記銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上であるプリント配線板である。
本発明のプリント配線板は更に別の一実施形態において、前記他方の表面の表面処理が粗化処理である。
本発明は更に別の側面において、本発明のプリント配線板を2つ以上接続して、プリント配線板が2つ以上接続したプリント配線板を製造する方法である。
本発明は更に別の側面において、本発明のプリント配線板を少なくとも1つと、もう一つの本発明のプリント配線板又は本発明のプリント配線板に該当しないプリント配線板とを接続する工程を少なくとも含む、プリント配線板が2つ以上接続したプリント配線板を製造する方法である。
本発明は更に別の側面において、本発明のプリント配線板が少なくとも1つ接続したプリント配線板を1つ以上用いた電子機器である。
本発明は更に別の側面において、本発明のプリント配線板に用いられている表面処理銅箔である。
本発明は更に別の側面において、絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、前記絶縁樹脂基板越しの前記銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、前記銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記ライン状の銅箔の端部から前記ライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上である銅張積層板である。
本発明は更に別の側面において、絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、前記絶縁樹脂基板越しの前記銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、前記銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記ライン状の銅箔の端部から前記ライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上である銅張積層板である。
本発明の銅張積層板は一実施形態において、他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの平均粗さRzが、0.35μm以上である。
本発明の銅張積層板は別の一実施形態において、前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である。
本発明は更に別の一側面において、絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、前記絶縁樹脂基板越しの前記銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、前記銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記ライン状の銅箔の端部から前記ライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である銅張積層板である。
本発明は更に別の一側面において、絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、前記絶縁樹脂基板越しの前記銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、前記銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記ライン状の銅箔の端部から前記ライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である銅張積層板である。
本発明の銅張積層板は更に別の一実施形態において、前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である。
本発明は更に別の一側面において、絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、前記絶縁樹脂基板越しの前記銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、前記銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記ライン状の銅箔の端部から前記ライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である銅張積層板である。
本発明は更に別の一側面において、絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、前記絶縁樹脂基板越しの前記銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、前記銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記ライン状の銅箔の端部から前記ライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である銅張積層板である。
本発明の銅張積層板は更に別の一実施形態において、前記他方の表面の表面処理が粗化処理である。
本発明は更に別の側面において、本発明の銅張積層板に用いられている表面処理銅箔である。
本発明は更に別の側面において、本発明の銅張積層板を用いて製造したプリント配線板である。
本発明によれば、樹脂と良好に接着し、且つ、樹脂越しに観察した際に、優れた視認性を実現する表面処理銅箔を提供することができる。
Bt及びBbを定義する模式図である。 t1及びt2及びSvを定義する模式図である。 明度曲線の傾き評価の際の、撮影装置の構成及び明度曲線の傾きの測定方法を表す模式図である。 Rz評価の際の比較例1の銅箔表面のSEM観察写真である。 Rz評価の際の実施例1の銅箔表面のSEM観察写真である。 実施例で用いた夾雑物の外観写真である。 実施例で用いた夾雑物の外観写真である。
〔表面処理銅箔の形態及び製造方法〕
本発明において使用する銅箔は、樹脂基板に積層させて積層体を作製し、エッチングにより回路を形成することで使用される銅箔等に有用である。
本発明において使用する銅箔は、電解銅箔或いは圧延銅箔いずれでも良い。通常、銅箔の、樹脂基板と接着する面(本発明では、当該面を「一方の表面」とも呼ぶ)には積層後の銅箔の引き剥し強さを向上させることを目的として、脱脂後の銅箔の表面にふしこぶ状の電着を行う粗化処理が施されてもよい。電解銅箔は製造時点で凹凸を有しているが、粗化処理により電解銅箔の凸部を増強して凹凸を一層大きくすることができる。本発明においては、この粗化処理は銅−コバルト−ニッケル合金めっきや銅−ニッケル−りん合金めっき等の合金めっき好ましくは銅合金めっきにより行うことができる。粗化前の前処理として通常の銅めっき等が行われることがあり、粗化後の仕上げ処理として電着物の脱落を防止するために通常の銅めっき等が行なわれることもある。
本発明において使用する銅箔は、一方の表面において、粗化処理を行った後、又は、粗化処理を省略して、耐熱めっき層や防錆めっき層を表面に施されていてもよい。粗化処理を省略して、耐熱めっき層や防錆めっき層を表面に施す処理として、下記条件のNi−Wめっき浴によるめっき処理を用いることができる。なお、本発明に用いられる、電解、表面処理又はめっき等に用いられる処理液の残部は特に明記しない限り水である。
めっき浴組成:Ni:20〜30g/L、W:15〜40mg/L
pH:3.0〜4.0
温度:35〜45℃
電流密度Dk:1.7〜2.3A/dm2
めっき時間:18〜25秒
なお、本発明において使用する銅箔の厚みは特に限定する必要は無いが、例えば1μm以上、2μm以上、3μm以上、5μm以上であり、例えば3000μm以下、1500μm以下、800μm以下、300μm以下、150μm以下、100μm以下、70μm以下、50μm以下、40μm以下である。
なお、本願発明に係る銅箔にはAg、Sn、In、Ti、Zn、Zr、Fe、P、Ni、Si、Te、Cr、Nb、V、B、Co等の元素を一種以上含む銅合金箔も含まれる。上記元素の濃度が高くなる(例えば合計で10質量%以上)と、導電率が低下する場合がある。圧延銅箔の導電率は、好ましくは50%IACS以上、より好ましくは60%IACS以上、更に好ましくは80%IACS以上である。また、圧延銅箔にはタフピッチ銅(JIS H3100 C1100)や無酸素銅(JIS H3100 C1020)を用いて製造した銅箔も含まれる。
また、本願発明に用いる電解銅箔の製造条件を以下に示す。
<電解液組成>
銅:90〜110g/L
硫酸:90〜110g/L
塩素:50〜100ppm
レベリング剤1(ビス(3スルホプロピル)ジスルフィド):10〜30ppm
レベリング剤2(アミン化合物):10〜30ppm
上記のアミン化合物には以下の化学式のアミン化合物を用いることができる。
Figure 0005819571
(上記化学式中、R1及びR2はヒドロキシアルキル基、エーテル基、アリール基、芳香族置換アルキル基、不飽和炭化水素基、アルキル基からなる一群から選ばれるものである。)
<製造条件>
電流密度:70〜100A/dm2
電解液温度:50〜60℃
電解液線速:3〜5m/sec
電解時間:0.5〜10分間
粗化処理としての銅−コバルト−ニッケル合金めっきは、電解めっきにより、付着量が15〜40mg/dm2の銅−100〜3000μg/dm2のコバルト−100〜1500μg/dm2のニッケルであるような3元系合金層を形成するように実施することができる。Co付着量が100μg/dm2未満では、耐熱性が悪化し、エッチング性が悪くなることがある。Co付着量が3000μg/dm2 を超えると、磁性の影響を考慮せねばならない場合には好ましくなく、エッチングシミが生じ、また、耐酸性及び耐薬品性の悪化がすることがある。Ni付着量が100μg/dm2未満であると、耐熱性が悪くなることがある。他方、Ni付着量が1500μg/dm2を超えると、エッチング残が多くなることがある。好ましいCo付着量は1000〜2500μg/dm2であり、好ましいニッケル付着量は500〜1200μg/dm2である。ここで、エッチングシミとは、塩化銅でエッチングした場合、Coが溶解せずに残ってしまうことを意味しそしてエッチング残とは塩化アンモニウムでアルカリエッチングした場合、Niが溶解せずに残ってしまうことを意味するものである。
このような3元系銅−コバルト−ニッケル合金めっきを形成するためのめっき浴及びめっき条件は次の通りである:
めっき浴組成:Cu10〜20g/L、Co1〜10g/L、Ni1〜10g/L
pH:1〜4
温度:30〜50℃
電流密度Dk:20〜30A/dm2
めっき時間:1〜5秒
また、本発明の粗化処理としての銅−ニッケル−りん合金めっき条件を以下に示す。
めっき浴組成:Cu10〜50g/L、Ni3〜20g/L、P1〜10g/L
pH:1〜4
温度:30〜40℃
電流密度Dk:20〜50A/dm2
めっき時間:0.5〜3秒
また、本発明の粗化処理としての銅−ニッケル−コバルト−タングステン合金めっき条件を以下に示す。
めっき浴組成:Cu5〜20g/L、Ni5〜20g/L、Co5〜20g/L、W1〜10g/L
pH:1〜5
温度:30〜50℃
電流密度Dk:20〜50A/dm2
めっき時間:0.5〜5秒
また、本発明の粗化処理としての銅−ニッケル−モリブデン−リン合金めっき条件を以下に示す。
めっき浴組成:Cu5〜20g/L、Ni5〜20g/L、Mo1〜10g/L、P1〜10g/L
pH:1〜5
温度:20〜50℃
電流密度Dk:20〜50A/dm2
めっき時間:0.5〜5秒
粗化処理後、粗化処理面上に耐熱層、防錆層および耐候性層の群から選択される層の内1種以上を設けてもよい。また、各層は2層、3層等、複数の層であってもよく、各層を積層する順はいかなる順であってもよく、各層を交互に積層してもよい。
ここで、耐熱層としては公知の耐熱層を用いることが出来る。また、例えば以下の表面処理を用いることが出来る。
耐熱層、防錆層としては公知の耐熱層、防錆層を用いることができる。例えば、耐熱層および/または防錆層はニッケル、亜鉛、錫、コバルト、モリブデン、銅、タングステン、リン、ヒ素、クロム、バナジウム、チタン、アルミニウム、金、銀、白金族元素、鉄、タンタルの群から選ばれる1種以上の元素を含む層であってもよく、ニッケル、亜鉛、錫、コバルト、モリブデン、銅、タングステン、リン、ヒ素、クロム、バナジウム、チタン、アルミニウム、金、銀、白金族元素、鉄、タンタルの群から選ばれる1種以上の元素からなる金属層または合金層であってもよい。また、耐熱層および/または防錆層はニッケル、亜鉛、錫、コバルト、モリブデン、銅、タングステン、リン、ヒ素、クロム、バナジウム、チタン、アルミニウム、金、銀、白金族元素、鉄、タンタルの群から選ばれる1種以上の元素を含む酸化物、窒化物、珪化物を含んでもよい。また、耐熱層および/または防錆層はニッケル−亜鉛合金を含む層であってもよい。また、耐熱層および/または防錆層はニッケル−亜鉛合金層であってもよい。前記ニッケル−亜鉛合金層は、不可避不純物を除き、ニッケルを50wt%〜99wt%、亜鉛を50wt%〜1wt%含有するものであってもよい。前記ニッケル−亜鉛合金層の亜鉛及びニッケルの合計付着量が5〜1000mg/m2、好ましくは10〜500mg/m2、好ましくは20〜100mg/m2であってもよい。また、前記ニッケル−亜鉛合金を含む層または前記ニッケル−亜鉛合金層のニッケルの付着量と亜鉛の付着量との比(=ニッケルの付着量/亜鉛の付着量)が1.5〜10であることが好ましい。また、前記ニッケル−亜鉛合金を含む層または前記ニッケル−亜鉛合金層のニッケルの付着量は0.5mg/m2〜500mg/m2であることが好ましく、1mg/m2〜50mg/m2であることがより好ましい。耐熱層および/または防錆層がニッケル−亜鉛合金を含む層である場合、スルーホールやビアホール等の内壁部がデスミア液と接触したときに銅箔と樹脂基板との界面がデスミア液に浸食されにくく、銅箔と樹脂基板との密着性が向上する。防錆層はクロメート処理層であってもよい。クロメート処理層には公知のクロメート処理層を用いることが出来る。例えばクロメート処理層とは無水クロム酸、クロム酸、二クロム酸、クロム酸塩または二クロム酸塩を含む液で処理された層のことをいう。クロメート処理層はコバルト、鉄、ニッケル、モリブデン、亜鉛、タンタル、銅、アルミニウム、リン、タングステン、錫、砒素およびチタン等の元素(金属、合金、酸化物、窒化物、硫化物等どのような形態でもよい)を含んでもよい。クロメート処理層の具体例としては、純クロメート処理層や亜鉛クロメート処理層等が挙げられる。本発明においては、無水クロム酸または二クロム酸カリウム水溶液で処理したクロメート処理層を純クロメート処理層という。また、本発明においては無水クロム酸または二クロム酸カリウムおよび亜鉛を含む処理液で処理したクロメート処理層を亜鉛クロメート処理層という。
例えば耐熱層および/または防錆層は、付着量が1mg/m2〜100mg/m2、好ましくは5mg/m2〜50mg/m2のニッケルまたはニッケル合金層と、付着量が1mg/m2〜80mg/m2、好ましくは5mg/m2〜40mg/m2のスズ層とを順次積層したものであってもよく、前記ニッケル合金層はニッケル−モリブデン、ニッケル−亜鉛、ニッケル−モリブデン−コバルトのいずれか一種により構成されてもよい。また、耐熱層および/または防錆層は、ニッケルまたはニッケル合金とスズとの合計付着量が2mg/m2〜150mg/m2であることが好ましく、10mg/m2〜70mg/m2であることがより好ましい。また、耐熱層および/または防錆層は、[ニッケルまたはニッケル合金中のニッケル付着量]/[スズ付着量]=0.25〜10であることが好ましく、0.33〜3であることがより好ましい。
また、耐熱層および/または防錆層として、付着量が200〜2000μg/dm2のコバルト−50〜700μg/dm2のニッケルのコバルト−ニッケル合金めっき層を形成することができる。この処理は広い意味で一種の防錆処理とみることができる。このコバルト−ニッケル合金めっき層は、銅箔と基板の接着強度を実質的に低下させない程度に行う必要がある。コバルト付着量が200μg/dm2未満では、耐熱剥離強度が低下し、耐酸化性及び耐薬品性が悪化することがある。また、もう一つの理由として、コバルト量が少ないと処理表面が赤っぽくなってしまうので好ましくない。
粗化処理後、粗化面上に付着量が200〜3000μg/dm2のコバルト−100〜700μg/dm2のニッケルのコバルト−ニッケル合金めっき層を形成することができる。この処理は広い意味で一種の防錆処理とみることができる。このコバルト−ニッケル合金めっき層は、銅箔と基板の接着強度を実質的に低下させない程度に行う必要がある。コバルト付着量が200μg/dm2未満では、耐熱剥離強度が低下し、耐酸化性及び耐薬品性が悪化することがある。また、もう一つの理由として、コバルト量が少ないと処理表面が赤っぽくなってしまうので好ましくない。コバルト付着量が3000μg/dm2を超えると、磁性の影響を考慮せねばならない場合には好ましくなく、エッチングシミが生じる場合があり、また、耐酸性及び耐薬品性の悪化することがある。好ましいコバルト付着量は500〜2500μg/dm2である。一方、ニッケル付着量が100μg/dm2未満では耐熱剥離強度が低下し耐酸化性及び耐薬品性が悪化することがある。ニッケルが1300μg/dm2を超えると、アルカリエッチング性が悪くなる。好ましいニッケル付着量は200〜1200μg/dm2である。
また、コバルト−ニッケル合金めっきの条件は次の通りである:
めっき浴組成:Co1〜20g/L、Ni1〜20g/L
pH:1.5〜3.5
温度:30〜80℃
電流密度Dk:1.0〜20.0A/dm2
めっき時間:0.5〜4秒
本発明に従えば、コバルト−ニッケル合金めっき上に更に付着量の30〜250μg/dm2の亜鉛めっき層が形成される。亜鉛付着量が30μg/dm2未満では耐熱劣化率改善効果が無くなることがある。他方、亜鉛付着量が250μg/dm2を超えると耐塩酸劣化率が極端に悪くなることがある。好ましくは、亜鉛付着量は30〜240μg/dm2であり、より好ましくは80〜220μg/dm2である。
上記亜鉛めっきの条件は次の通りである:
めっき浴組成:Zn100〜300g/L
pH:3〜4
温度:50〜60℃
電流密度Dk:0.1〜0.5A/dm2
めっき時間:1〜3秒
なお、亜鉛めっき層の代わりに亜鉛−ニッケル合金めっき等の亜鉛合金めっき層を形成してもよく、さらに最表面にはクロメート処理やシランカップリング剤の塗布等によって防錆層を形成してもよい。
耐候性層としては公知の耐候性層を用いることが出来る。また、耐候性層としては例えば公知のシランカップリング処理層を用いることができ、また以下のシランを用いて形成するシランカップリング処理層を用いることが出来る。
シランカップリング処理に用いられるシランカップリング剤には公知のシランカップリング剤を用いてよく、例えばアミノ系シランカップリング剤又はエポキシ系シランカップリング剤、メルカプト系シランカップリング剤を用いてよい。また、シランカップリング剤にはビニルトリメトキシシラン、ビニルフェニルトリメトキシラン、γ‐メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ‐グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、4‐グリシジルブチルトリメトキシシラン、γ‐アミノプロピルトリエトキシシラン、N‐β(アミノエチル)γ‐アミノプロピルトリメトキシシラン、N‐3‐(4‐(3‐アミノプロポキシ)プトキシ)プロピル‐3‐アミノプロピルトリメトキシシラン、イミダゾールシラン、トリアジンシラン、γ‐メルカプトプロピルトリメトキシシラン等を用いてもよい。
前記シランカップリング処理層は、エポキシ系シラン、アミノ系シラン、メタクリロキシ系シラン、メルカプト系シランなどのシランカップリング剤などを使用して形成してもよい。なお、このようなシランカップリング剤は、2種以上混合して使用してもよい。中でも、アミノ系シランカップリング剤又はエポキシ系シランカップリング剤を用いて形成したものであることが好ましい。
ここで言うアミノ系シランカップリング剤とは、N‐(2‐アミノエチル)‐3‐アミノプロピルトリメトキシシラン、3‐(N‐スチリルメチル‐2‐アミノエチルアミノ)プロピルトリメトキシシラン、3‐アミノプロピルトリエトキシシラン、ビス(2‐ヒドロキシエチル)‐3‐アミノプロピルトリエトキシシラン、アミノプロピルトリメトキシシラン、N‐メチルアミノプロピルトリメトキシシラン、N‐フェニルアミノプロピルトリメトキシシラン、N‐(3‐アクリルオキシ‐2‐ヒドロキシプロピル)‐3‐アミノプロピルトリエトキシシラン、4‐アミノブチルトリエトキシシラン、(アミノエチルアミノメチル)フェネチルトリメトキシシラン、N‐(2‐アミノエチル‐3‐アミノプロピル)トリメトキシシラン、N‐(2‐アミノエチル‐3‐アミノプロピル)トリス(2‐エチルヘキソキシ)シラン、6‐(アミノヘキシルアミノプロピル)トリメトキシシラン、アミノフェニルトリメトキシシラン、3‐(1‐アミノプロポキシ)‐3,3‐ジメチル‐1‐プロペニルトリメトキシシラン、3‐アミノプロピルトリス(メトキシエトキシエトキシ)シラン、3‐アミノプロピルトリエトキシシラン、3‐アミノプロピルトリメトキシシラン、ω‐アミノウンデシルトリメトキシシラン、3‐(2‐N‐ベンジルアミノエチルアミノプロピル)トリメトキシシラン、ビス(2‐ヒドロキシエチル)‐3‐アミノプロピルトリエトキシシラン、(N,N‐ジエチル‐3‐アミノプロピル)トリメトキシシラン、(N,N‐ジメチル‐3‐アミノプロピル)トリメトキシシラン、N‐メチルアミノプロピルトリメトキシシラン、N‐フェニルアミノプロピルトリメトキシシラン、3‐(N‐スチリルメチル‐2‐アミノエチルアミノ)プロピルトリメトキシシラン、γ‐アミノプロピルトリエトキシシラン、N‐β(アミノエチル)γ‐アミノプロピルトリメトキシシラン、N−3−(4−(3−アミノプロポキシ)プトキシ)プロピル−3−アミノプロピルトリメトキシシランからなる群から選択されるものであってもよい。
シランカップリング処理層は、ケイ素原子換算で、0.05mg/m2〜200mg/m2、好ましくは0.15mg/m2〜20mg/m2、好ましくは0.3mg/m2〜2.0mg/m2の範囲で設けられていることが望ましい。前述の範囲の場合、基材樹脂と表面処理銅箔との密着性をより向上させることができる。
通常、銅箔表面に粗化処理が施される場合には硫酸銅水溶液におけるやけめっきが従来技術であるが、めっき浴中に銅以外の金属を含んだ銅−コバルト−ニッケル合金めっきや銅−ニッケル−りん合金めっきなどの合金めっきにより、当該銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前のΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となる表面処理を行うことができる。
〔表面色差ΔE*ab〕
本発明の表面処理銅箔は、一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上に制御されている。このような構成により、背面とのコントラストが鮮明となり、当該銅箔をポリイミド基板越しに観察した際の視認性が高くなる。この結果、当該銅箔を回路形成に使用した場合等において、当該ポリイミド基板を透過して視認される位置決めパターンを介して行うICチップ搭載時の位置合わせ等が容易となる。当該色差ΔE*abが50未満であると、背面とのコントラストが不鮮明になる可能性が生じる。当該色差ΔE*abは、より好ましくは53以上、55以上、より好ましくは60以上である。色差ΔE*abの上限は特に限定する必要はないが、例えば90以下、88以下、あるいは87以下、あるいは85以下、あるいは75以下、あるいは70以下である。
ここで、色差ΔE*abは、色差計で測定され、黒/白/赤/緑/黄/青を加味し、JIS Z8730に基づくL*a*b表色系を用いて示される総合指標であり、ΔL:白黒、Δa:赤緑、Δb:黄青として、下記式で表される;
Figure 0005819571
〔銅箔表面の十点平均粗さRz〕
本発明の表面処理銅箔は、銅箔の一方の表面において、無粗化処理銅箔でも、粗化粒子が形成された粗化処理銅箔でもよく、粗化処理表面の接触式粗さ計で測定したTDの十点平均粗さRzが0.20〜0.64μmであるのが好ましい。このような構成により、ピール強度が高くなって樹脂と良好に接着し、且つ、銅箔をエッチングで除去した後の樹脂の透明性が高くなる。この結果、当該樹脂を透過して視認される位置決めパターンを介して行うICチップ搭載時の位置合わせ等が容易となる。銅箔の一方の表面において、接触式粗さ計で測定したTDの十点平均粗さRzが0.20μm未満であると、銅箔表面の粗化処理が不十分であるおそれがあり、樹脂と十分に接着できないという問題が生じるおそれがある。一方、銅箔の一方の表面において、接触式粗さ計で測定したTDの十点平均粗さRzが0.64μm超であると、銅箔をエッチングで除去した後の樹脂表面の凹凸が大きくなるおそれがあり、その結果樹脂の透明性が不良となる問題が生じるおそれがある。銅箔の一方の表面の接触式粗さ計で測定したTDの十点平均粗さRzは、0.26〜0.62μmがより好ましく、0.40〜0.55μmが更により好ましい。
視認性の効果を達成するために、表面処理前の銅箔の一方の表面における接触式粗さ計で測定したTDの粗さ(Rz)及び光沢度を制御する。具体的には、表面処理前の銅箔の一方の表面における接触式粗さ計で測定したTDの表面粗さ(Rz)を0.20〜0.55μmとし、好ましくは0.20〜0.42μmとする。このような銅箔としては、圧延油の油膜当量を調整して圧延を行う(高光沢圧延)、或いは、ケミカルエッチングのような化学研磨やリン酸溶液中の電解研磨により作製する。このように、処理前の銅箔の一方の表面におけるTDの表面粗さ(Rz)と光沢度とを上記範囲にすることで、処理後の銅箔の一方の表面における表面粗さ(Rz)及び表面積を制御しやすくすることができる。
また、表面処理前の銅箔は、一方の表面におけるTDの60度光沢度が300〜910%とし、500〜810%であるのがより好ましく、500〜710%であることがより好ましい。表面処理前の銅箔の一方の表面におけるMDの60度光沢度が300%未満であると300%以上の場合よりも上述の樹脂の透明性が不良となるおそれがあり、910%を超えると、製造することが難しくなるという問題が生じるおそれがある。
なお、高光沢圧延は以下の式で規定される油膜当量を13000〜24000以下とすることで行うことが出来る。
油膜当量={(圧延油粘度[cSt])×(通板速度[mpm]+ロール周速度[mpm])}/{(ロールの噛み込み角[rad])×(材料の降伏応力[kg/mm2])}
圧延油粘度[cSt]は40℃での動粘度である。
油膜当量を13000〜24000とするためには、低粘度の圧延油を用いたり、通板速度を遅くしたりする等、公知の方法を用いればよい。
化学研磨は硫酸−過酸化水素−水系またはアンモニア−過酸化水素−水系等のエッチング液で、通常よりも濃度を低くして、長時間かけて行う。
〔明度曲線〕
本発明の表面処理銅箔は、一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドを積層させた後、銅箔をポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、撮影によって得られた画像について、観察された銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、銅箔の端部から銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となる。
また、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となるのが好ましい。
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
ここで、「明度曲線のトップ平均値Bt」、「明度曲線のボトム平均値Bb」、及び、後述の「t1」、「t2」、「Sv」について、図を用いて説明する。
図1(a)及び図1(b)に、銅箔の幅を約0.3mmとした場合のBt及びBbを定義する模式図を示す。銅箔の幅を約0.3mmとした場合、図1(a)に示すようにV型の明度曲線となる場合と、図1(b)に示すように底部を有する明度曲線となる場合がある。いずれの場合も「明度曲線のトップ平均値Bt」は、銅箔の両側の端部位置から50μm離れた位置から30μm間隔で5箇所(両側で合計10箇所)測定したときの明度の平均値を示す。一方、「明度曲線のボトム平均値Bb」は、明度曲線が図1(a)に示すようにV型となる場合は、このV字の谷の先端部における明度の最低値を示し、図1(b)の底部を有する場合は、約0.3mmの中心部の値を示す。なお、マークの幅は、0.2mm、0.16mm、0.1mm程度としてもよい。さらに、「明度曲線のトップ平均値Bt」は、マークの両側の端部位置から100μm離れた位置、300μm離れた位置、或いは、500μm離れた位置から、それぞれ30μm間隔で5箇所(両側で合計10箇所)測定したときの明度の平均値としてもよい。
図2に、t1及びt2及びSvを定義する模式図を示す。「t1(ピクセル×0.1)」は、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点を示す。「t2(ピクセル×0.1)」は、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点を示す。このとき、t1およびt2を結ぶ線で示される明度曲線の傾きについては、y軸方向に0.1ΔB、x軸方向に(t1−t2)で計算されるSv(階調/ピクセル×0.1)で定義される。なお、横軸の1ピクセルは10μm長さに相当する。また、Svは、銅箔の両側を測定し、小さい値を採用する。さらに、明度曲線の形状が不安定で上記「明度曲線とBtとの交点」が複数存在する場合は、最も銅箔に近い交点を採用する。
CCDカメラで撮影した上記画像において、銅箔がない部分では高い明度となるが、銅箔端部に到達したとたんに明度が低下する。ポリイミド基板越しに見たときの視認性が良好であれば、このような明度の低下状態が明確に観察される。一方、ポリイミド基板越しに見たときの視認性が不良であれば、明度が銅箔端部付近で一気に「高」から「低」へ急に下がるのではなく、低下の状態が緩やかとなり、明度の低下状態が不明確となってしまう。
本発明はこのような知見に基づき、本発明の表面処理銅箔は、表面処理が行われている表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドを積層させた後、銅箔をポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、撮影によって得られた画像について、観察された銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、銅箔の端部から銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上に制御されている。または、本発明の表面処理銅箔は、上記Sv値が3.0以上に制御されている。
このような構成によれば、基板樹脂の種類や厚みの影響を受けずに、CCDカメラによるポリイミド越しの銅箔の識別力が向上する。このため、ポリイミド基板越しから観察する際の良好な視認性が得られ、電子基板製造工程等でポリイミド基板に所定の処理を行う場合の銅箔によるマーキング等の位置決め精度が向上し、これによって歩留まりが向上する等の効果が得られる。
本発明において、Svは好ましくは3.5以上、より好ましくは3.9以上、より好ましくは4.5以上、より好ましくは5.0以上、より好ましくは5.5以上である。Svの上限は特に限定する必要はないが、例えば15以下、10以下である。このような構成によれば、銅箔と銅箔で無い部分との境界がより明確になり、位置決め精度が向上して、銅箔画像認識による誤差が少なくなり、より正確に位置合わせができるようになる。
なお、表面処理銅箔をポリイミドの両表面に積層させた後、両表面の銅箔をエッチングで除去して一方の表面の銅箔のみ回路状に成形し、当該回路状の銅箔をポリイミド越しに観察して得られる視認性が良好であれば、そのような表面処理銅箔は、ポリイミドに積層させた後、ポイリミド越しに観察して得られる視認性が良好となる。
〔表面積比〕
銅箔の一方の表面の三次元表面積Aと二次元表面積Bとの比A/Bは、上述の樹脂の透明性に大いに影響を及ぼす。すなわち、表面粗さRzが同じであれば、比A/Bが小さい銅箔ほど、上述の樹脂の透明性が良好となる。このため、本発明の表面処理銅箔は、当該比A/Bが1.0〜1.7であるのが好ましく、1.0〜1.6であるのがより好ましい。ここで、表面処理側の表面の粗化粒子の三次元表面積Aと二次元表面積Bとの比A/Bは、例えば当該表面が粗化処理されている場合、粗化粒子の表面積Aと、銅箔を銅箔表面側から平面視したときに得られる面積Bとの比A/Bとも云うことができる。
粒子形成時などの表面処理時の電流密度とメッキ時間とを制御することで、粒子の形態や形成密度、表面の凹凸状態などの表面状態が決まり、上記表面粗さRz、光沢度及び銅箔表面の表面積比A/Bを制御することができる。
本発明の表面処理銅箔は、銅箔の、樹脂基板と接着する面の反対側の表面(本発明では、当該面を「他方の表面」とも呼ぶ)にも表面処理が行われている。表面処理銅箔を一方の表面側から樹脂基板に貼り合わせる際、一般に、樹脂基板/表面処理銅箔/保護フィルムをこの順で積層し、当該保護フィルム側からラミネートロールにより熱と圧力をかけながら貼り合わせる。このとき、表面処理銅箔の樹脂基板側とは反対側の表面(他方の表面)に保護フィルムが貼り付いてしまう(表面処理銅箔と保護フィルムとの間で滑らなくなる)という問題が生じることがある。このような問題が生じると、銅箔の他方の表面にシワやスジが発生してしまう。これに対し、本発明の表面処理銅箔は他方の表面が表面処理されており、銅箔と保護フィルムとの間の接触面積を増やすことで、樹脂基板との積層工程の際の銅箔に保護フィルムが貼り付いてしまうという問題を良好に抑制することができる。
本発明の表面処理銅箔は、一側面において、他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上である。このような構成により、銅箔と保護フィルムとの間の接触面積をより増やすことで、樹脂基板との積層工程の際の銅箔に保護フィルムが貼り付いてしまうという問題をより良好に抑制することができる。本発明の表面処理銅箔は、他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.40μm以上であるのがより好ましく、0.50μm以上であるのが更により好ましく、0.60μm以上であるのが更により好ましく、0.8μm以上であるのが更により好ましく、典型的には0.40〜4.0μmであり、より典型的には0.50〜3.0μmである。なお、本発明の表面処理銅箔の、他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzの上限は特に限定する必要は無いが、典型的には4.0μm以下であり、より典型的には3.0μm以下であり、より典型的には2.5μm以下であり、より典型的には2.0μm以下である。
本発明の表面処理銅箔は、別の側面において、他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である。このような構成により、銅箔と保護フィルムとの間の接触面積をより増やすことで、樹脂基板との積層工程の際の銅箔に保護フィルムが貼り付いてしまうという問題をより良好に抑制することができる。本発明の表面処理銅箔は、他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.08μm以上であるのがより好ましく、0.10μm以上であるのが更により好ましく、0.20μm以上であるのが更により好ましく、0.30μm以上であるのが更により好ましい。なお、本発明の表面処理銅箔の、他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaの上限は特に限定する必要は無いが、典型的には0.80μm以下であり、より典型的0.65μm以下であり、より典型的には0.50μm以下であり、より典型的には0.40μm以下である。
本発明の表面処理銅箔は、別の側面において、他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である。このような構成により、銅箔と保護フィルムとの間の接触面積をより増やすことで、樹脂基板との積層工程の際の銅箔に保護フィルムが貼り付いてしまうという問題をより良好に抑制することができる。本発明の表面処理銅箔は、他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.10μm以上であるのがより好ましく、0.15μm以上であるのが更により好ましく、0.20μm以上であるのが更により好ましく、0.30μm以上であるのが更により好ましく、典型的には0.08〜0.60μmであり、より典型的には0.10〜0.50μmである。なお、本発明の表面処理銅箔の、他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqの上限は特に限定をする必要は無いが、典型的には0.80μm以下であり、より典型的には0.60μm以下であり、より典型的には0.50μm以下であり、より典型的には0.40μm以下である。
本発明の表面処理銅箔における他方の表面処理としては、特に限定されず、粗化処理であってもよく、粗化処理を省略して、めっき(正常めっき、粗化めっきでないめっき)により耐熱層または防錆層を設ける処理であってもよい。
例えば、硫酸銅と硫酸水溶液を含むめっき液を用いて粗化処理を行ってもよく、また硫酸銅と硫酸水溶液から成るめっき液を用いて粗化処理を行ってもよい。銅−コバルト−ニッケル合金めっきや銅−ニッケル−りん合金めっき、ニッケル−亜鉛合金めっき等の合金めっきでもよい。また、好ましくは銅合金めっきにより行うことができる。銅合金めっき浴としては例えば銅と銅以外の元素を一種以上含むめっき浴、より好ましくは銅とコバルト、ニッケル、砒素、タングステン、クロム、亜鉛、リン、マンガンおよびモリブデンからなる群から選択されたいずれか1種以上とを含むめっき浴を用いることが好ましい。
また本発明の表面処理銅箔における他方の表面処理としては、上記の粗化処理やめっき処理以外の表面処理であってもよい。
他方の表面に凹凸を形成するための表面処理としては、電解研磨による表面処理を行ってもよい。例えば、硫酸銅と硫酸水溶液から成る溶液中で、銅箔の他方の表面を電解研磨することにより、銅箔の他方の表面に凹凸を形成させることができる。一般に電解研磨は平滑化を目的とするが、本発明の他方の表面処理では電解研磨により凹凸を形成するので、通常とは逆の考え方である。電解研磨により凹凸を形成する方法は公知の技術で行っても良い。前記凹凸を形成するための電解研磨の公知の技術の例としては特開2005-240132、特開2010-059547、特開2010-047842に記載の方法が挙げられる。電解研磨で凹凸を形成させる処理の具体的な条件としては、例えば、
・処理溶液:Cu:20g/L、H2SO4:100g/L、温度:50℃
・電解研磨電流:15A/dm2
・電解研磨時間:15秒
などが挙げられる。
他方の表面に凹凸を形成するための表面処理としては、例えば、他方の表面を機械研磨することで凹凸を形成しても良い。機械研磨は公知の技術で行ってもよい。
なお、本発明の表面処理銅箔における他方の表面処理後に、耐熱層や防錆層や耐候性層を設けても良い。耐熱層や防錆層および耐候性層は、上記記載や実験例記載の方法でもよいし、公知の技術の方法でもよい。
本発明の表面処理銅箔を、一方の表面側から絶縁樹脂基板に貼り合わせて積層体を製造することができる。絶縁樹脂基板はプリント配線板等に適用可能な特性を有するものであれば特に制限を受けないが、例えば、リジッドPWB用に紙基材フェノール樹脂、紙基材エポキシ樹脂、合成繊維布基材エポキシ樹脂、ガラス布・紙複合基材エポキシ樹脂、ガラス布・ガラス不織布複合基材エポキシ樹脂及びガラス布基材エポキシ樹脂等を使用し、FPC用にポリエステルフィルムやポリイミドフィルム、液晶ポリマー(LCP)フィルム、テフロン(登録商標)フィルム等を使用する事ができる。
貼り合わせの方法は、リジッドPWB用の場合、ガラス布などの基材に樹脂を含浸させ、樹脂を半硬化状態まで硬化させたプリプレグを用意する。銅箔を被覆層の反対側の面からプリプレグに重ねて加熱加圧させることにより行うことができる。FPCの場合、ポリイミドフィルム等の基材に接着剤を介して、又は、接着剤を使用せずに高温高圧下で銅箔に積層接着して、又は、ポリイミド前駆体を塗布・乾燥・硬化等を行うことで積層板を製造することができる。
ポリイミド基材樹脂の厚みは特に制限を受けるものではないが、一般的に25μmや50μmが挙げられる。
本発明の積層体は各種のプリント配線板(PWB)に使用可能であり、特に制限されるものではないが、例えば、導体パターンの層数の観点からは片面PWB、両面PWB、多層PWB(3層以上)に適用可能であり、絶縁基板材料の種類の観点からはリジッドPWB、フレキシブルPWB(FPC)、リジッド・フレックスPWBに適用可能である。本発明の電子機器は、このようなプリント配線板を用いて作製することができる。
また、本発明のプリント配線板は、絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、絶縁樹脂基板越しの銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、銅回路を、絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、撮影によって得られた画像について、観察された銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、銅回路の端部から銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となる。このようなプリント配線板を用いると、プリント配線板の位置決めをより正確に行うことが出来る。
また、本発明のプリント配線板は、絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、前記絶縁樹脂基板越しの前記銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、前記銅回路を、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記銅回路の端部から前記銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となる。このようなプリント配線板を用いると、プリント配線板の位置決めをより正確に行うことが出来る。
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
また、本発明の銅張積層板は、絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、絶縁樹脂基板越しの銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、ライン状の銅箔の端部からライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となる。
上記本発明の銅張積層板の銅箔は、本発明の表面処理銅箔を用いることができる。
このような銅張積層板を用いてプリント配線板を製造すると、プリント配線板の位置決めをより正確に行うことが出来る。
また、本発明の銅張積層板は、絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、前記絶縁樹脂基板越しの前記銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、前記銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、前記ライン状の銅箔の端部から前記ライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となる。
上記本発明の銅張積層板の銅箔は、本発明の表面処理銅箔を用いることができる。
このような銅張積層板を用いてプリント配線板を製造すると、プリント配線板の位置決めをより正確に行うことが出来る。
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
また、上述の本発明のプリント配線板又は銅張積層板は、銅回路又は銅箔の、樹脂基板と接着する面の反対側の表面(他方の表面)にも表面処理が行われている。プリント配線板又は銅張積層板をロールtoロールの製造ラインに通過させるときに、製造ライン中の搬送ロールと、プリント配線板又は銅張積層板の樹脂基板側とは反対側の表面との間で貼りついてしまう(滑らなくなる)という問題が生じることがある。このような問題が生じると、銅回路又は銅箔の他方の表面にシワやスジが発生してしまう。これに対し、本発明のプリント配線板又は銅張積層板は他方の表面が表面処理されており、銅回路又は銅箔と保護フィルムとの間の接触面積を増やすことで、製造ライン中の搬送ロールに貼りついて(滑らなくなって)しまうという問題を良好に抑制することができる。さらに、他方の表面と、ドライフィルム、カバーレイとの密着性が良好となるため、プリント配線板又は銅張積層板の耐候性が向上する。
(積層体及びそれを用いたプリント配線板の位置決め方法)
本発明の金属と樹脂との積層体の位置決めをする方法について説明する。まず、金属と樹脂との積層体を準備する。金属と樹脂との積層体としては、樹脂に金属を貼り合わせて構成されているものであれば、特に形態は限定されない。本発明の金属と樹脂との積層体の具体例としては、本体基板と付属の回路基板と、それらを電気的に接続するために用いられる、ポリイミド等の樹脂の少なくとも一方の表面に銅等の金属配線が形成されたフレキシブルプリント基板とで構成される電子機器において、フレキシブルプリント基板を正確に位置決めして当該本体基板及び付属の回路基板の配線端部に圧着させて作製される積層体が挙げられる。すなわち、この場合であれば、積層体は、フレキシブルプリント基板及び本体基板の配線端部が圧着により貼り合わせられた積層体、或いは、フレキシブルプリント基板及び回路基板の配線端部が圧着により貼り合わせられた積層体となる。積層体は、当該金属配線の一部や別途材料で形成したマークを有している。マークの位置については、当該積層体を構成する樹脂越しにCCDカメラ等の撮影手段で撮影可能な位置であれば特に限定されない。
このように準備された積層体において、上述のマークを樹脂越しに撮影手段で撮影し、前記撮影によって得られた画像について、観察された前記マークが伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して観察地点−明度グラフを作製し、前記マークの端部から前記マークがない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)を用いて前記マークの位置を検出して、前記検出されたマークの位置に基づき金属と樹脂との積層体の位置決めをする。
また、このとき、上記Sv値のみを用いて前記マークの位置を検出して、前記検出されたマークの位置に基づき金属と樹脂との積層体の位置決めを行ってもよく、上記ΔB値とSv値との両方を用いて前記マークの位置を検出して、前記検出されたマークの位置に基づき金属と樹脂との積層体の位置決めをしてもよい。
このような位置決め方法によれば、マークとマークでない部分との境界がより明確になり、位置決め精度が向上して、マーク画像認識による誤差が少なくなり、より正確に位置合わせができるようになる。例えば、ΔB値、Sv値、或いは、ΔB値及びSv値の値が所定の値以上の場合は、マークが当該位置に存在するという判定を、位置を検出する装置が行うことが出来る。具体的には、例えば、ΔB値のみで判定を行う場合はΔBが40以上のとき、Sv値のみで判定を行う場合はSvが3.0以上のとき、或いは、ΔB値とSv値とで判定を行う場合はΔBが40以上且つSvが3.0以上のときにマークが当該位置に存在するという判定を、位置を検出する装置が行うことが出来る。このような位置決め方法を用いると、プリント配線板の位置決めをより正確に行うことが出来る。
そのため、一つのプリント配線板ともう一つのプリント配線板を接続する際に、接続不良が低減し、歩留まりが向上すると考えられる。このとき、銅箔は、表面処理を行ったものであってもよい。なお、一つのプリント配線板ともう一つのプリント配線板を接続する方法としては半田付けや異方性導電フィルム(Anisotropic Conductive Film、ACF)を介した接続、異方性導電ペースト(Anisotropic Conductive Paste、ACP)を介した接続または導電性を有する接着剤を介しての接続など公知の接続方法を用いることができる。なお、本発明において、「プリント配線板」には部品が装着されたプリント配線板およびプリント回路板およびプリント基板も含まれることとする。また、本発明のプリント配線板を2つ以上接続して、プリント配線板が2つ以上接続したプリント配線板を製造することができ、また、本発明のプリント配線板を少なくとも1つと、もう一つの本発明のプリント配線板又は本発明のプリント配線板に該当しないプリント配線板とを接続することができ、このようなプリント配線板を用いて電子機器を製造することもできる。なお、本発明において、「銅回路」には銅配線も含まれることとする。
なお、本発明の実施の形態に係る位置決め方法は積層体(銅と樹脂の積層体やプリント配線板を含む)を移動させる工程を含んでいてもよい。移動工程においては例えばベルトコンベヤーやチェーンコンベヤーなどのコンベヤーにより移動させてもよく、アーム機構を備えた移動装置により移動させてもよく、気体を用いて積層体を浮遊させることで移動させる移動装置や移動手段により移動させてもよく、略円筒形などの物を回転させて積層体を移動させる移動装置や移動手段(コロやベアリングなどを含む)、油圧を動力源とした移動装置や移動手段、空気圧を動力源とした移動装置や移動手段、モーターを動力源とした移動装置や移動手段、ガントリ移動型リニアガイドステージ、ガントリ移動型エアガイドステージ、スタック型リニアガイドステージ、リニアモーター駆動ステージなどのステージを有する移動装置や移動手段などにより移動させてもよい。また、公知の移動手段による移動工程を行ってもよい。
なお、本発明の実施の形態に係る位置決め方法は表面実装機やチップマウンターに用いてもよい。
また、本発明において位置決めされる前記金属と樹脂との積層体が、樹脂板及び前記樹脂板の上に設けられた回路を有するプリント配線板であってもよい。また、その場合、前記マークが前記回路であってもよい。
本発明において「位置決め」とは「マークや物の位置を検出すること」を含む。また、本発明において、「位置合わせ」とは、「マークや物の位置を検出した後に、前記検出した位置に基づいて、当該マークや物を所定の位置に移動すること」を含む。
実施例1〜9及び比較例1〜6として、各銅箔を準備し、一方の表面に、粗化処理として表2及び表3に記載の条件にてめっき処理を行った。
圧延銅箔は以下のように製造した。所定の銅インゴットを製造し、熱間圧延を行った後、300〜800℃の連続焼鈍ラインの焼鈍と冷間圧延を繰り返して1〜2mm厚の圧延板を得た。この圧延板を300〜800℃の連続焼鈍ラインで焼鈍して再結晶させ、表1の厚みまで最終冷間圧延し、銅箔を得た。表1の「タフピッチ銅」はJIS H3100 C1100に規格されているタフピッチ銅を示す。表1の「無酸素銅」はJIS H3100 C1020に規格されている無酸素銅を示す。表1に記載の添加元素の「ppm」は、質量ppmを示す。また、例えば表1の金属箔(表面処理前)の種類欄の「タフピッチ銅+Ag180ppm」はタフピッチ銅にAgを180質量ppmを添加したことを意味する。
電解銅箔は、以下の条件にて作製した。
・電解液組成(銅:100g/L、硫酸:100g/L、塩素:50ppm、レベリング剤1(ビス(3スルホプロピル)ジスルフィド):10〜30ppm、レベリング剤2(アミン化合物):10〜30ppm)
・電解液温度:50〜60℃
・電流密度:70〜100A/dm2
・電解時間:1分
・電解液線速:4m/秒
なお、アミン化合物には以下のアミン化合物を用いた。
Figure 0005819571

(上記化学式中、R1及びR2はヒドロキシアルキル基、エーテル基、アリール基、芳香族置換アルキル基、不飽和炭化水素基、アルキル基からなる一群から選ばれるものである。)
表1に、一方の表面における、表面処理前の銅箔作製工程のポイントを記載した。「高光沢圧延」は、最終の冷間圧延(最終の再結晶焼鈍後の冷間圧延)を記載の油膜当量の値で行ったことを意味する。
また、比較例5については上記実施例2と同様の表面処理を行い、比較例6については上記実施例6と同様の表面処理を行った。
また、実施例については、銅箔の他方の表面に、以下の表面処理を行った。
・表面処理条件
めっき液浴例
Cu:15g/L、Co:9g/L、Ni:9g/L
pH:3
温度:38℃
電流密度:25A/dm2
めっき時間:1秒
上述のようにして作製した実施例及び比較例の各サンプルについて、各種評価を下記の通り行った。
・表面粗さ(Rz)の測定;
各実施例、比較例の表面処理後の銅箔について、株式会社小阪研究所製接触式粗さ計Surfcorder SE−3Cを使用してJIS B0601−1994に準拠して十点平均粗さを一方の表面について測定した。測定基準長さ0.8mm、評価長さ4mm、カットオフ値0.25mm、送り速さ0.1mm/秒の条件で、圧延銅箔については圧延方向と垂直な方向(TD)に測定位置を変えて、または、電解銅箔については電解銅箔の製造装置における電解銅箔の進行方向と垂直な方向(TD)に測定位置を変えて、それぞれ10回行い、10回の測定での値を求めた。
なお、表面処理前の銅箔についても、同様にして表面粗さ(Rz)を求めておいた。
また、各実施例、比較例の表面処理後の他方の表面については非接触式の方法を用いて表面の粗さを測定することが好ましい。具体的にはレーザー顕微鏡で測定した粗さの値で各実施例、比較例の表面処理後の他方の表面の状態を評価する。表面の状態をより詳細に評価することができるからである。
表面処理銅箔の他方の表面について、オリンパス社製レーザー顕微鏡OLS4000にて、表面粗さ(十点平均粗さ)RzをJIS B0601 1994に準拠して測定した。対物レンズ50倍を使用して、銅箔表面の観察において評価長さ258μm、カットオフ値ゼロの条件で、圧延銅箔については圧延方向と垂直な方向(TD)の測定で、または、電解銅箔については電解銅箔の製造装置における電解銅箔の進行方向と垂直な方向(TD)の測定で、それぞれ値を求めた。なお、レーザー顕微鏡による表面粗さRzの測定環境温度は23〜25℃とした。Rzを任意に10箇所測定し、そのRzの10箇所の平均値を表面粗さ(十点平均粗さ)Rzの値とした。また、測定に用いたレーザー顕微鏡のレーザー光の波長は405nmとした。
・表面の二乗平均平方根高さRqの測定;
各実施例、比較例の銅箔の他方の表面について、オリンパス社製レーザー顕微鏡OLS4000にて、銅箔表面の二乗平均平方根高さRqをJIS B0601 2001に準拠して測定した。対物レンズ50倍を使用して、銅箔表面の観察において評価長さ258μm、カットオフ値ゼロの条件で、圧延銅箔については圧延方向と垂直な方向(TD)の測定で、または、電解銅箔については電解銅箔の製造装置における電解銅箔の進行方向と垂直な方向(TD)の測定で、それぞれ値を求めた。なお、レーザー顕微鏡による表面の二乗平均平方根高さRqの測定環境温度は23〜25℃とした。Rqを任意に10箇所測定し、そのRqの10箇所の平均値を二乗平均平方根高さRqの値とした。また、測定に用いたレーザー顕微鏡のレーザー光の波長は405nmとした。
・表面の算術平均粗さRaの測定;
各実施例、比較例の表面処理後の銅箔の他方の表面について、表面粗さRaを、JIS B0601−1994に準拠して、オリンパス社製レーザー顕微鏡OLS4000にて測定した。対物レンズ50倍を使用して、銅箔表面の観察において評価長さ258μm、カットオフ値ゼロの条件で、圧延銅箔については圧延方向と垂直な方向(TD)の測定で、また、電解銅箔については電解銅箔の製造装置における電解銅箔の進行方向と垂直な方向(TD)の測定で、それぞれ値を求めた。なお、レーザー顕微鏡による表面の算術平均粗さRaの測定環境温度は23〜25℃とした。Raを任意に10箇所測定し、そのRaの10箇所の平均値を算術平均粗さRaの値とした。また、測定に用いたレーザー顕微鏡のレーザー光の波長は405nmとした。
・ポリイミド越しの色差ΔE*abの測定;
表面処理銅箔と、銅箔に張り合わせ前のΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドフィルム(カネカ製厚み25μmまたは50μm)とを積層して構成した銅張積層板における、ポリイミドフィルム越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abを測定した。色差ΔE*abの測定は、HunterLab社製色差計MiniScan XE Plusを使用して、JIS Z8730に準拠して行った。なお、前述の色差計では、白色板の測定値をΔE*ab=0、黒い袋で覆って暗闇で測定したときの測定値をΔE*ab=90として、色差を校正する。ΔE*abは、L*a*b表色系を用い、ΔL:白黒、Δa:赤緑、Δb:黄青として、下記式に基づいて測定した。ここで色差ΔE*abは白色をゼロ、黒色を90で定義される;
Figure 0005819571
なお、銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abは、例えば日本電色工業株式会社製の微小面分光色差計(型式:VSS400など)やスガ試験機株式会社製の微小面分光測色計(型式:SC−50μなど)など公知の測定装置を用いて測定をすることができる。
・銅箔表面の面積比(A/B);
銅箔の一方の表面の表面積はレーザー顕微鏡による測定法を使用した。各実施例、比較例の表面処理後の銅箔の一方の表面について、オリンパス社製レーザー顕微鏡OLS4000を用いて処理表面の倍率20倍における647μm×646μm相当面積B(実データでは417,953μm2)における三次元表面積Aを測定して、三次元表面積A÷二次元表面積B=面積比(A/B)とする手法により設定を行った。なお、レーザー顕微鏡による三次元表面積Aの測定環境温度は23〜25℃とした。
・光沢度;
JIS Z8741に準拠した日本電色工業株式会社製光沢度計ハンディーグロスメーターPG−1を使用し、圧延銅箔については、圧延方向(圧延時の銅箔の進行方向、すなわち幅方向)に直角な方向(TD)の入射角60度で表面処理前の一方の表面について測定した。また、電解銅箔については、電解処理時の銅箔運搬方向に直角な方向(すなわち幅方向)(TD)の入射角60度で表面処理前の表面(マット面)について測定した。
・明度曲線の傾き
作製した銅箔を一方の表面側からポリイミドフィルムに向けてポリイミドフィルムの両面に積層した。
ここで、上記ポリイミドフィルムについては、カネカ製厚み25μmまたは50μmのポリイミドフィルム〔PIXEO(ポリイミドタイプ:FRS)、銅張積層板用接着層付ポリイミドフィルム、PMDA(ピロメリット酸無水物)系のポリイミドフィルム(PMDA−ODA(4、4’-ジアミノジフェニルエーテル)系のポリイミドフィルム)〕を使用した。
なお、後述の「視認性(樹脂透明性)」、「ピール強度(接着強度)」、及び、「歩留まり」の評価において、各試験例に関する表面処理銅箔の表面を貼り合わせるポリイミドフィルムは、当該「明度曲線の傾き」の評価において使用したポリイミドフィルムと同様のものである。
そして、一方の面の銅箔を全てエッチングにより除去した。また、他方の面の銅箔をエッチングして幅0.3mmのライン状にした。その後、幅0.3mmのライン状にした銅箔の背面に白紙を敷き、当該ポリイミドフィルム越しにCCDカメラ(8192画素のラインCCDカメラ)で撮影し、撮影によって得られた画像について、観察された銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、マークの端部からマークがない部分にかけて生じる明度曲線からΔB及びt1、t2、Svを測定した。このとき用いた撮影装置の構成及び明度曲線の測定方法を表す模式図を図3に示す。なお、明度曲線の傾きの評価に用いた厚さ25μmまたは50μmのポリイミドは、銅箔に張り合わせ前のポリイミドについてのΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドを用いた。なお、当該銅箔に張り合わせ前のポリイミドについてのΔB(PI)の測定の際には幅0.3mmのライン状の銅箔の代わりに、幅0.3mmのライン状の黒色の印を白紙に印刷したもの(ライン状の黒色マークを印刷した印刷物)を用いて、ΔB(PI)の測定を行った。
また、ΔB及びt1、t2、Svは、下記撮影装置で測定した。なお、横軸の1ピクセルは10μm長さに相当する。
また、上記「幅0.3mmのライン状にした銅箔の背面」に敷いた「白紙」には光沢度43.0±2の白色の光沢紙を用いた。
上記「ライン状の黒色マークを印刷した印刷物」は、光沢度43.0±2の白色の光沢紙上にJIS P8208(1998)(図1 きょう雑物計測図表のコピー)及びJIS P8145(2011)(附属書JA(規定)目視法異物比較チャート 図JA.1−目視法異物比較チャートのコピー)のいずれにも採用されている図6に示す透明フィルムに各種の線等が印刷されたきょう雑物(夾雑物)(株式会社朝陽会製 品名:「きょう雑物測定図表-フルサイズ判」 品番:JQA160−20151−1(独立行政法人国立印刷局で製造された))を載せたものを使用した。
上記光沢紙の光沢度は、JIS Z8741に準拠した日本電色工業株式会社製光沢度計ハンディーグロスメーターPG−1を使用し、入射角60度で測定した。
撮影装置は、CCDカメラ、サンプルの銅箔を積層したポリイミド基板を置く白紙(銅箔を積層したポリイミド基板はライン状の銅箔を有する面とは反対側の面をCCDカメラに向けて置かれる)、ポリイミド基板の撮影部に光を照射する照明用電源、撮影対象の銅箔及びポリイミド基板をステージ上に搬送する搬送機(不図示)を備えている。当該撮影装置の主な仕様を以下に示す:
・撮影装置:株式会社ニレコ製シート検査装置Mujiken
・ラインCCDカメラ:8192画素(160MHz)、1024階調ディジタル(10ビット)
・照明用電源:高周波点灯電源(電源ユニット×2)
・照明:蛍光灯(30W、形名:FPL27EX−D、ツイン蛍光灯)
ΔB(PI)測定用のラインは、0.7mm2の図5の夾雑物に描かれた矢印で示すラインを使用した。当該ラインの幅は0.3mmである。また、ラインCCDカメラ視野は図5の点線の配置とした。
ラインCCDカメラによる撮影では、フルスケール256階調にて信号を確認し、測定対象のポリイミドフィルム(ポリイミド基板)を置かない状態で、印刷物の黒色マークが存在しない箇所(上記白色の光沢紙の上に上記透明フィルムを載せ、透明フィルム側から夾雑物に印刷されているマーク外の箇所をCCDカメラで測定した場合)のピーク階調信号が230±5に収まるようにレンズ絞りを調整した。カメラスキャンタイム(カメラのシャッターが開いている時間、光を取り込む時間)は250μ秒固定とし、上記階調以内に収まるようにレンズ絞りを調整した。
なお、図3に示された明度について、0は「黒」を意味し、明度255は「白」を意味し、「黒」から「白」までの灰色の程度(白黒の濃淡、グレースケール)を256階調に分割して表示している。
・視認性(樹脂透明性);
銅箔を一方の表面側からポリイミドフィルムの両面に貼り合わせ、銅箔をエッチング(塩化第二鉄水溶液)で除去してサンプルフィルムを作成した。得られた樹脂層の一面に印刷物(直径6cmの黒色の円)を貼り付け、反対面から樹脂層越しに印刷物の視認性を判定した。印刷物の黒色の円の輪郭が円周の90%以上の長さにおいてはっきりしたものを「◎」、黒色の円の輪郭が円周の80%以上90%未満の長さにおいてはっきりしたものを「○」(以上合格)、黒色の円の輪郭が円周の0〜80%未満の長さにおいてはっきりしたもの及び輪郭が崩れたものを「×」(不合格)と評価した。
・ピール強度(接着強度);
IPC−TM−650に準拠し、引張り試験機オートグラフ100で常態ピール強度を測定し、上記常態ピール強度が0.7N/mm以上を積層基板用途に使用できるものとした。なお、本ピール強度の測定にはポリイミドフィルムと本発明の実験例に係る表面処理銅箔の一方の表面である表面処理面とを貼り合わせたサンプルを用いた。なお、ピール強度の測定は銅箔厚みを18μmとして測定を行った。厚みが18μmに満たない銅箔については銅めっきを行って銅箔厚みを18μmとした。また、厚みが18μmよりも大きい場合にはエッチングを行って銅箔厚みを18μmとした。
・歩留まり;
銅箔の一方の表面側からポリイミドフィルムの両面に貼り合わせ、銅箔をエッチング(塩化第二鉄水溶液)して、L/Sが30μm/30μmの回路幅のFPCを作成した。その後、20μm×20μm角のマークをポリイミド越しにCCDカメラで検出することを試みた。10回中9回以上検出できた場合には「◎」、7〜8回検出できた場合には「○」、6回検出できた場合には「△」、5回以下検出できた場合には「×」とした。
なお、プリント配線板または銅張積層板においては、樹脂を溶かして除去することで、銅回路または銅箔表面について、前述の(1)表面粗さ(Rz)、(3)銅箔表面の面積比(A/B)を測定することができる。
・ラミネート加工による銅箔シワ等の評価;
厚さ25μmのポリイミド樹脂の両表面に、それぞれ実施例、比較例の表面処理銅箔を、一方の表面側から積層し、さらに、各表面処理銅箔の他方の表面側へ厚さ125μmの保護フィルム(ポリイミド製)を積層させた状態、すなわち、保護フィルム/表面処理銅箔/ポリイミド樹脂/表面処理銅箔/保護フィルムの5層とした状態で、両方の保護フィルムの外側からラミネートロールを用いて熱と圧力をかけながら貼り合わせ加工(ラミネート加工)を行い、ポリイミド樹脂の両面に表面処理銅箔を貼り合わせた。続いて、両表面の保護フィルムを剥がした後、表面処理銅箔の他方の表面を目視観察し、シワ又はスジの有無を確認し、シワ又はスジが全く発生しないときを◎、銅箔長さ5mあたりにシワ又はスジが1箇所だけ観察されるときを○、銅箔5mあたりシワ又はスジが2箇所以上観察されるときを×と評価した。
上記各試験の条件及び評価を表1〜4に示す。
Figure 0005819571
Figure 0005819571
Figure 0005819571
Figure 0005819571
(評価結果)
実施例1〜9は、いずれもポリイミド越しの色差ΔE*abが50以上であり、且つ、ΔBが40以上であり、視認性が良好であった。また、他方の表面に表面処理が形成されているため、両面ラミネート工法における銅箔の当該他方の表面にシワやスジの発生が良好に抑制されていた。
比較例1〜4は、ポリイミド越しの色差ΔE*abが50未満、または、ΔBが40未満であり、視認性が不良であった。
また、比較例1〜4及び比較例5及び6は、他方の表面に表面処理が形成されていないため、両面ラミネート工法における銅箔の当該他方の表面に生じるシワやスジの発生が抑制できなかった。
図4に、上記Rz評価の際の、(a)比較例1、(b)実施例1の銅箔表面のSEM観察写真をそれぞれ示す。
また、上記実施例1〜9において、幅0.3mmのライン状にした銅箔であるマーク並びに夾雑物のマークの幅を0.3mmから0.16mm(夾雑物のシートの面積0.5mm2の0.5の記載に近いほうから3番目のマーク(図6の矢印が指すマーク))に変更して同様のΔB(PI)、Sv値およびΔB値の測定を行ったが、いずれもΔB(PI)、Sv値およびΔB値はマークの幅を0.3mmとした場合と同じ値となった。
さらに、上記実施例1〜9において、「明度曲線のトップ平均値Bt」について、マークの両側の端部位置から50μm離れた位置を、100μm離れた位置、300μm離れた位置、500μm離れた位置として、当該位置から、それぞれ30μm間隔で5箇所(両側で合計10箇所)測定したときの明度の平均値に変更して同様のΔB(PI)、Sv値およびΔB値の測定を行ったが、いずれもΔB(PI)、Sv値およびΔB値は、マークの両側の端部位置から50μm離れた位置から30μm間隔で5箇所(両側で合計10箇所)測定したときの明度の平均値を「明度曲線のトップ平均値Bt」とした場合のΔB(PI)、Sv値およびΔB値と同じ値となった。
なお、前記各実施例と同じ銅箔を用いて一方の表面について表面処理を行ったのと同じ条件で銅箔の両面に、表面処理を行い、表面処理銅箔を製造して評価した結果、両面共に前記各実施例の一方の表面と同じ評価結果が得られた。なお、銅箔について電解研磨または化学研磨を行っている場合には、両面に電解研磨または化学研磨を行った後に表面処理を行った。また、実施例8については銅箔の光沢面(電解銅箔製造時にドラムと接触している側の面)について電解研磨および/または化学研磨を行うことにより、そのTDの粗さRzと光沢度を析出面と同じとした後に所定の表面処理または中間層等の形成を行った。
銅箔の両面に粗化処理等の表面処理を行う場合、両面に同時に表面処理をしてもよく、一方の面と、他方の面とに、それぞれ別々に表面処理を行ってもよい。なお、両面に同時に表面処理を行う場合には、銅箔の両面側にアノードを設けた、表面処理装置(めっき装置)を用いて表面処理を行うと良い。なお、本実施例では、同時に両面に表面処理を行った。
また、各実施例の粗化処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzは、いずれも0.35μm以上であった。また、各実施例の粗化処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaは、いずれも0.05μm以上であった。また、各実施例の粗化処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqは、いずれも0.08μm以上であった。

Claims (45)

  1. 一方の表面および他方の表面にそれぞれ表面処理が行われた表面処理銅箔であって、
    表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となり、
    前記銅箔を一方の表面側から積層させた前記ポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、
    前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
    前記銅箔の端部から前記銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、
    前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上である表面処理銅箔。
  2. 一方の表面および他方の表面にそれぞれ表面処理が行われた表面処理銅箔であって、
    表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となり、
    前記銅箔を、一方の表面側から積層させた前記ポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、
    前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
    前記銅箔の端部から前記銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
    Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
    前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上である表面処理銅箔。
  3. 前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である請求項1又は2に記載の表面処理銅箔。
  4. 一方の表面および他方の表面にそれぞれ表面処理が行われた表面処理銅箔であって、
    表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となり、
    前記銅箔を一方の表面側から積層させた前記ポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、
    前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
    前記銅箔の端部から前記銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、
    前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である表面処理銅箔。
  5. 一方の表面および他方の表面にそれぞれ表面処理が行われた表面処理銅箔であって、
    表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となり、
    前記銅箔を、一方の表面側から積層させた前記ポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、
    前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
    前記銅箔の端部から前記銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
    Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
    前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である表面処理銅箔。
  6. 前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である請求項1〜5のいずれか一項に記載の表面処理銅箔。
  7. 一方の表面および他方の表面にそれぞれ表面処理が行われた表面処理銅箔であって、
    表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となり、
    前記銅箔を一方の表面側から積層させた前記ポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、
    前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
    前記銅箔の端部から前記銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、
    前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である表面処理銅箔。
  8. 一方の表面および他方の表面にそれぞれ表面処理が行われた表面処理銅箔であって、
    表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となり、
    前記銅箔を、一方の表面側から積層させた前記ポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、
    前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
    前記銅箔の端部から前記銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
    Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
    前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である表面処理銅箔。
  9. 前記他方の表面の表面処理が粗化処理である請求項1〜8のいずれか一項に記載の表面処理銅箔。
  10. 前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となる請求項1、3、4、6、7及び9のいずれか一項に記載の表面処理銅箔。
    Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
  11. 前記表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが53以上となる請求項1〜10のいずれか一項に記載の表面処理銅箔。
  12. 前記明度曲線における(1)式で定義されるSvが3.5以上となる請求項2、3、5、6、8〜11のいずれか一項に記載の表面処理銅箔。
  13. 前記明度曲線における(1)式で定義されるSvが3.9以上となる請求項12に記載の表面処理銅箔。
  14. 前記明度曲線における(1)式で定義されるSvが5.0以上となる請求項13に記載の表面処理銅箔。
  15. 前記一方の表面の接触式粗さ計で測定したTDの十点平均粗さRzが0.20〜0.64μmであり、前記銅箔表面の三次元表面積Aと二次元表面積Bとの比A/Bが1.0〜1.7である請求項1〜14のいずれか一項に記載の表面処理銅箔。
  16. 前記一方の表面の接触式粗さ計で測定したTDの十点平均粗さRzが0.26〜0.62μmである請求項15に記載の表面処理銅箔。
  17. 前記A/Bが1.0〜1.6である請求項15又は16に記載の表面処理銅箔。
  18. 請求項1〜17のいずれか一項に記載の表面処理銅箔と樹脂基板とを積層して構成した銅張積層板。
  19. 請求項1〜17のいずれか一項に記載の表面処理銅箔を用いたプリント配線板。
  20. 請求項19に記載のプリント配線板を少なくとも1つ用いた電子機器。
  21. 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、
    前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
    前記絶縁樹脂基板越しの前記銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
    前記銅回路を、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
    前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
    前記銅回路の端部から前記銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上であるプリント配線板。
  22. 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、
    前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
    前記絶縁樹脂基板越しの前記銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
    前記銅回路を、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
    前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
    前記銅回路の端部から前記銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
    Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
    前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上であるプリント配線板。
  23. 前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である請求項21又は22に記載のプリント配線板。
  24. 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、
    前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
    前記絶縁樹脂基板越しの前記銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
    前記銅回路を、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
    前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
    前記銅回路の端部から前記銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上であるプリント配線板。
  25. 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、
    前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
    前記絶縁樹脂基板越しの前記銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
    前記銅回路を、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
    前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
    前記銅回路の端部から前記銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
    Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
    前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上であるプリント配線板。
  26. 前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である請求項21〜25のいずれか一項に記載のプリント配線板。
  27. 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、
    前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
    前記絶縁樹脂基板越しの前記銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
    前記銅回路を、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
    前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
    前記銅回路の端部から前記銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上であるプリント配線板。
  28. 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、
    前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
    前記絶縁樹脂基板越しの前記銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
    前記銅回路を、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
    前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
    前記銅回路の端部から前記銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
    Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
    前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上であるプリント配線板。
  29. 前記他方の表面の表面処理が粗化処理である請求項21〜28のいずれか一項に記載のプリント配線板。
  30. 請求項21〜29のいずれか一項に記載のプリント配線板を2つ以上接続して、プリント配線板が2つ以上接続したプリント配線板を製造する方法。
  31. 請求項21〜29のいずれか一項に記載のプリント配線板を少なくとも1つと、もう一つの請求項21〜29のいずれか一項に記載のプリント配線板又請求項21〜29のいずれか一項に記載のプリント配線板に該当しないプリント配線板とを接続する工程を少なくとも含む、プリント配線板が2つ以上接続したプリント配線板を製造する方法。
  32. 請求項21〜29のいずれか一項に記載のプリント配線板が少なくとも1つ接続したプリント配線板を1つ以上用いた電子機器。
  33. 請求項21〜29のいずれか一項に記載のプリント配線板に用いられている表面処理銅箔。
  34. 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、
    前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
    前記絶縁樹脂基板越しの前記銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
    前記銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
    前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
    前記ライン状の銅箔の端部から前記ライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上である銅張積層板。
  35. 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、
    前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
    前記絶縁樹脂基板越しの前記銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
    前記銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
    前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
    前記ライン状の銅箔の端部から前記ライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
    Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
    前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上である銅張積層板。
  36. 前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である請求項34又は35に記載の銅張積層板。
  37. 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、
    前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
    前記絶縁樹脂基板越しの前記銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
    前記銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
    前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
    前記ライン状の銅箔の端部から前記ライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である銅張積層板。
  38. 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、
    前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
    前記絶縁樹脂基板越しの前記銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
    前記銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
    前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
    前記ライン状の銅箔の端部から前記ライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
    Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
    前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である銅張積層板。
  39. 前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である請求項34〜38のいずれか一項に記載の銅張積層板。
  40. 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、
    前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
    前記絶縁樹脂基板越しの前記銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
    前記銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
    前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
    前記ライン状の銅箔の端部から前記ライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である銅張積層板。
  41. 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、
    前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
    前記絶縁樹脂基板越しの前記銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
    前記銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
    前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
    前記ライン状の銅箔の端部から前記ライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
    Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
    前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である銅張積層板。
  42. 前記他方の表面の表面処理が粗化処理である請求項34〜41のいずれか一項に記載の銅張積層板。
  43. 請求項34〜42のいずれか一項に記載の銅張積層板に用いられている表面処理銅箔。
  44. 請求項34〜42のいずれか一項に記載の銅張積層板を用いて製造したプリント配線板。
  45. 請求項44に記載のプリント配線板を用いた電子機器。
JP2015520739A 2013-12-10 2014-12-10 表面処理銅箔、銅張積層板、プリント配線板、電子機器及びプリント配線板の製造方法 Active JP5819571B1 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015520739A JP5819571B1 (ja) 2013-12-10 2014-12-10 表面処理銅箔、銅張積層板、プリント配線板、電子機器及びプリント配線板の製造方法

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013255472 2013-12-10
JP2013255472 2013-12-10
JP2015520739A JP5819571B1 (ja) 2013-12-10 2014-12-10 表面処理銅箔、銅張積層板、プリント配線板、電子機器及びプリント配線板の製造方法
PCT/JP2014/082766 WO2015087942A1 (ja) 2013-12-10 2014-12-10 表面処理銅箔、銅張積層板、プリント配線板、電子機器及びプリント配線板の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP5819571B1 true JP5819571B1 (ja) 2015-11-24
JPWO2015087942A1 JPWO2015087942A1 (ja) 2017-03-16

Family

ID=53371241

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015520739A Active JP5819571B1 (ja) 2013-12-10 2014-12-10 表面処理銅箔、銅張積層板、プリント配線板、電子機器及びプリント配線板の製造方法

Country Status (7)

Country Link
JP (1) JP5819571B1 (ja)
KR (1) KR101944166B1 (ja)
CN (1) CN105980609B (ja)
MY (1) MY183375A (ja)
PH (1) PH12016501130A1 (ja)
TW (1) TWI573500B (ja)
WO (1) WO2015087942A1 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6895936B2 (ja) * 2018-09-28 2021-06-30 古河電気工業株式会社 表面処理銅箔、並びにこれを用いた銅張積層板及び回路基板

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0987889A (ja) * 1995-09-28 1997-03-31 Nikko Gould Foil Kk 印刷回路用銅箔の処理方法
JP2011240625A (ja) * 2010-05-19 2011-12-01 Jx Nippon Mining & Metals Corp 銅張積層板
JP2012211351A (ja) * 2011-03-30 2012-11-01 Jx Nippon Mining & Metals Corp 電解銅箔及び電解銅箔の製造方法
JP2012212529A (ja) * 2011-03-30 2012-11-01 Jx Nippon Mining & Metals Corp 二次電池負極集電体用電解銅箔及びその製造方法
JP2012224941A (ja) * 2011-03-23 2012-11-15 Jx Nippon Mining & Metals Corp 銅箔及びそれを用いた銅張積層板

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4090467B2 (ja) 2002-05-13 2008-05-28 三井金属鉱業株式会社 チップオンフィルム用フレキシブルプリント配線板
JP2004098659A (ja) 2002-07-19 2004-04-02 Ube Ind Ltd 銅張積層板及びその製造方法
JP3977790B2 (ja) * 2003-09-01 2007-09-19 古河サーキットフォイル株式会社 キャリア付き極薄銅箔の製造方法、及び該製造方法で製造された極薄銅箔、該極薄銅箔を使用したプリント配線板、多層プリント配線板、チップオンフィルム用配線基板
EP2351876A1 (en) * 2008-11-25 2011-08-03 JX Nippon Mining & Metals Corporation Copper foil for printed circuit
JP5855244B2 (ja) * 2012-05-21 2016-02-09 Jx日鉱日石金属株式会社 表面処理銅箔及びそれを用いた積層板、プリント配線板、電子機器及びプリント配線板を製造する方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0987889A (ja) * 1995-09-28 1997-03-31 Nikko Gould Foil Kk 印刷回路用銅箔の処理方法
JP2011240625A (ja) * 2010-05-19 2011-12-01 Jx Nippon Mining & Metals Corp 銅張積層板
JP2012224941A (ja) * 2011-03-23 2012-11-15 Jx Nippon Mining & Metals Corp 銅箔及びそれを用いた銅張積層板
JP2012211351A (ja) * 2011-03-30 2012-11-01 Jx Nippon Mining & Metals Corp 電解銅箔及び電解銅箔の製造方法
JP2012212529A (ja) * 2011-03-30 2012-11-01 Jx Nippon Mining & Metals Corp 二次電池負極集電体用電解銅箔及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20160086378A (ko) 2016-07-19
TW201532485A (zh) 2015-08-16
TWI573500B (zh) 2017-03-01
JPWO2015087942A1 (ja) 2017-03-16
KR101944166B1 (ko) 2019-01-30
CN105980609A (zh) 2016-09-28
MY183375A (en) 2021-02-18
PH12016501130A1 (en) 2016-07-18
CN105980609B (zh) 2018-08-07
WO2015087942A1 (ja) 2015-06-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5362898B1 (ja) 表面処理銅箔及びそれを用いた積層板、プリント配線板並びに銅張積層板
JP5819569B1 (ja) 表面処理銅箔、銅張積層板、プリント配線板、電子機器及びプリント配線板の製造方法
JP5362924B1 (ja) 表面処理銅箔及びそれを用いた積層板
JP5362921B1 (ja) 表面処理銅箔及びそれを用いた積層板
JP6393126B2 (ja) 表面処理圧延銅箔、積層板、プリント配線板、電子機器及びプリント配線板の製造方法
JP5475897B1 (ja) 表面処理銅箔及びそれを用いた積層板、銅箔、プリント配線板、電子機器、並びに、プリント配線板の製造方法
JP5417538B1 (ja) 表面処理銅箔及びそれを用いた積層板、プリント配線板、電子機器、並びに、プリント配線板の製造方法
JP5362923B1 (ja) 表面処理銅箔及びそれを用いた積層板
JP5362899B1 (ja) 表面処理銅箔及びそれを用いた積層板
JP5432357B1 (ja) 表面処理銅箔及びそれを用いた積層板、銅張積層板、プリント配線板並びに電子機器
JP5855244B2 (ja) 表面処理銅箔及びそれを用いた積層板、プリント配線板、電子機器及びプリント配線板を製造する方法
JP5362922B1 (ja) 表面処理銅箔及びそれを用いた積層板
JP2014065974A (ja) 表面処理銅箔及びそれを用いた積層板、銅張積層板、プリント配線板並びに電子機器
WO2014073696A1 (ja) 表面処理銅箔及びそれを用いた積層板
JP5819571B1 (ja) 表面処理銅箔、銅張積層板、プリント配線板、電子機器及びプリント配線板の製造方法
JP6081883B2 (ja) 銅箔及びそれを用いた積層板、電子機器の製造方法、並びに、プリント配線板の製造方法
JP2014148747A (ja) 表面処理銅箔及びそれを用いた積層板、プリント配線板、電子機器、並びに、プリント配線板の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150901

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150930

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5819571

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250