JP5814855B2 - 荷電粒子線調整支援装置および方法 - Google Patents

Description

本発明は、荷電粒子線を傾斜させる機能を備えた画像表示装置に関し、特に荷電粒子線を傾斜走査時と無傾斜走査時の荷電粒子光学系の調整方法に関わる。

走査電子顕微鏡に代表される荷電粒子線装置では、三次元画像を取得する場合、左目用の画像と右目用の画像の角度の異なる方向から取得した二枚の画像を用い、交差法，平行法、または赤青めがねを使用したアナグリフ(anaglyph)法を用いて立体観察を行っていた。

また、試料に対して荷電粒子線を左右に傾斜させて試料の傾斜像を得る方式が考案された。荷電粒子線を傾斜させて角度の異なる画像を取得する従来技術として、実開昭５５−４８６１０号公報（特許文献１）、および特開平２−３３８４３号公報（特許文献２）が知られている。これらは、荷電粒子線を対物レンズの軸外に入射させ、対物レンズの集束作用を利用して、荷電粒子線を傾斜させる方法を開示している。

特開２０１１−４０２４０号公報（特許文献３）には、荷電粒子線装置において、左右の視差画像を上方向からだけでなく、斜め方向から取得する取得手段を提供する方法と、立体観察方法を切り替えることのできる視差画像表示手段及び操作画面を提供する方法が開示されている。

実開昭５５−４８６１０号公報 特開平２−３３８４３号公報 特開２０１１−４０２４０号公報

近年、取得画像の荷電粒子線装置の操作端末上で、無傾斜画像を表示しながら、左右の傾斜画像とその合成画像（アナグリフ画像）を表示するといった使い方が可能となった。無傾斜画像は、立体観察には直接利用しないが、分解能が最も良い画像を得ることができるため、左右の傾斜画像を取得する際の見本とすることができる。

ここで、無傾斜画像と傾斜画像の両方を用いるとき、無傾斜画像、左傾斜画像と右傾斜画像を得るため、それぞれに対して、非点調整、焦点合わせ、および、観察対象表面における荷電粒子線の照射位置合わせ等の調整が必要になる。

そのため、電子顕微鏡の使用者は、観察する際に、まず無傾斜画像用の調整を行い、次に、左右の傾斜画像用の調整を行わなければならず、３次元観察を開始するまで人手がかかるという課題がある。

この課題に対して、３次元立体視を実現するための視差角から電子顕微鏡光学レンズの傾斜制御コイルの電流値を求める方法は、特許文献３に示されているが、対象の形状、３次元画像の凹凸や観察者の左右の目の間隔に依存して調整が必要である非点調整、焦点合わせ、照射位置合わせについては、何ら電子顕微鏡使用者を支援する手段は提供されていない。したがって、現状では、３次元立体視するための調整のために、多大の人手や工数を要する。

本発明は、前記の課題を解決するための発明であって、荷電粒子線装置における３次元観察を支援し、その調整に要する人手や工数を低減することができる、荷電粒子線調整支援装置及び方法を提供することを目的とする。

前記目的を達成するため、３次元表示をする荷電粒子線装置の調整を支援する荷電粒子線調整支援装置は、荷電粒子線装置における２次元観察調整値情報と３次元調整値情報とを、調整者端末から入力し、２次元調整値情報と３次元観察調整値情報とを関連付けて２次元−３次元調整値対応情報を生成し記憶装置に格納する調整値対応計算手段（例えば、調整値対応計算部１３）と、２次元観察調整値に基づき、記憶部に格納された前記２次元−３次元調整値対応情報の中から、類似する２次元観察調整値を検索し、対応する３次元観察調整値を取得する調整値取得手段（例えば、調整値取得部１４）と、を備える。

本発明によれば、荷電粒子線装置における３次元観察を支援し、その調整作業に要する人手や工数を低減することができる。

本発明の実施形態に係る荷電粒子線調整支援装置の機能ブロックの構成の例を示す図である。 ２次元調整画面の例を示す図である。 ３次元調整画面の例を示す図である。 ２次元調整値情報、３次元調整値情報、および、２次元−３次元調整値対応情報のデータ構造の例を示す図である。 ３次元調整の終了を検知する処理フローの例を示す図である。 ３次元調整の各処理の終了を検知する処理フローの例を示す図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳しく説明する。

図１は、本発明の実施形態に係る荷電粒子線調整支援装置の構成の例を示す図である。図１に示すように、荷電粒子線調整支援装置１は、処理部１０、記憶部２０、およびネットワークインタフェース３０などを備える。

処理部１０は、その機能ブロックとして、２次元設定部１１、３次元設定部１２、調整値対応計算部１３および調整値取得部１４を含んで構成される。記憶部２０は、２次元調整値情報２１、３次元調整値情報２２、２次元−３次元調整値対応情報２３などを記憶する。

処理部１０は、記憶部２０に格納されたプログラムを実行することで、各構成要素（例えば、通信部（図示せず））を統括的に制御し、様々な演算処理を行う。具体的には、処理部１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）で実行される。記憶部２０は、プログラムやデータを永続的に記憶するために用いられるものであり、大容量の磁気メモリであるハードディスクなどで構成される。ネットワークインタフェース３０は、ネットワーク２を介して、データのやり取りを行うためのインタフェースである。

以上のように、コンピュータによって構成された荷電粒子線調整支援装置１においては、図１に示した機能ブロックの機能は、処理部１０が記憶部２０に格納されている各機能ブロックに対応する所定のプログラムを実行することによって実現される。従って、荷電粒子線調整支援装置１の各機能ブロックの動作主体は、処理部１０である。なお、このような場合、各機能ブロックの動作を記載するとき、その主語は処理部１０とすべきであるが、本明細書では、各機能ブロックの動作を記載するとき、その主語としてその機能ブロック名を用いる。

さらに、図１に示すように、荷電粒子線調整支援装置１は、ネットワークインタフェース３０によりネットワーク２に接続され、さらに、そのネットワーク２を介して荷電粒子線調整者が使用する複数の荷電粒子線調整者端末３に接続されている。このとき、荷電粒子線調整者端末３は、通常、ＣＰＵと記憶装置を備えたコンピュータによって構成されるが、機能的には、荷電粒子線調整支援装置１の表示装置や入出力装置などとして用いられる。なお、以下、荷電粒子線調整者端末３を調整者端末３と、荷電粒子線調整者を調整者と、それぞれ適宜略記する。

そこで、本実施形態では、荷電粒子線調整支援装置１の各ブロックがネットワークインタフェース３０およびネットワーク２を介して調整者端末３から情報を入力（取得）したり、ネットワークインタフェース３０およびネットワーク２を介して調整者端末３へ情報を出力（表示）したりする場合、単に、調整者端末３から情報を入力（取得）する、あるいは、調整者端末３へ情報を出力（表示）する、と記載する。

なお、図１に示した機能ブロックの構成の例では、荷電粒子線調整支援装置１は、１つのコンピュータによって構成されているが、荷電粒子線調整支援装置１は、ネットワーク２などで相互に接続された複数のコンピュータによって構成されていてもよい。例えば、３次元設定部１２および調整値対応計算部１３のそれぞれが、それぞれ異なるコンピュータ上に実現されてもよい。また、調整者端末３がコンピュータによって構成された場合には、３次元設定部１２の機能が調整者端末３上に実現されてもよい。

次に、図１を参照して、荷電粒子線調整支援装置１の各機能ブロックの機能の概要について説明する。

２次元設定部１１は、荷電粒子線調整者が、荷電粒子線装置４の無傾斜荷電粒子線を調整するのを支援する機能ブロックである。２次元設定部１１は、所定の２次元調整画面を調整者端末３に表示するとともに、その２次元調整画面を介して入力される２次元観察に関する調整情報に基づき、２次元調整値情報２１を生成して、記憶部２０に格納する。同時に、２次元調整値情報２１を荷電粒子線装置４に送信する。

３次元設定部１２は、荷電粒子線調整者が、荷電粒子線装置４の左右の傾斜荷電粒子線を調整するのを支援する機能ブロックである。３次元設定部１２は、所定の３次元調整画面を調整者端末３に表示するとともに、その３次元調整画面を介して入力される３次元観察に関する調整情報に基づき、３次元調整値情報２２を生成して、記憶部２０に格納する。同時に、３次元調整値情報２２を荷電粒子線装置４に送信する。

調整値対応計算部１３は、２次元調整値情報２１と３次元調整値情報２２を関連付ける機能ブロックである。無傾斜荷電粒子線の調整と左右の傾斜荷電粒子線の調整が順に行われ、結果として、２次元設定部１１が２次元調整値情報２１を記憶部２０に格納し、３次元設定部１２が３次元調整値情報２２を記憶部２０に格納したときに、２次元調整値情報２１と３次元調整値情報２２を対応づけて、２次元−３次元調整値対応情報２３を生成して、記憶部２０に格納する。

調整値取得部１４は、２次元設定部１１から取得した２次元調整値情報２１に基づいて、対応する３次元調整値情報２２を記憶部２０から取得する機能ブロックである。まず、２次元設定部１１から取得した２次元調整値情報２１に類似するレコードを、記憶部２０に格納された２次元−３次元調整値対応情報２３に含まれる２次元調整値情報２１から探索し、探索結果の２次元調整値情報２１に対応する３次元調整値情報２２を求める。次に、得られた３次元調整値情報２２を３次元設定部１２に送信する。最後に、３次元設定部１２は、３次元調整値情報２１を荷電粒子線装置４に送信する。

続いて、図２以降の図を参照して、荷電粒子線調整支援装置１の各機能ブロックの機能の詳細について説明する。

各機能ブロックの機能は連携し、次の２つの目的のために機能する。(１) ２次元調整値情報２１、３次元調整値情報２２、および、２次元−３次元調整値対応情報２３の記憶部２０への格納、(２) ２次元−３次元調整値対応情報２３を利用することによる３次元調整値情報２２の取得。

（各種情報２１−２３の格納）
まずは、(１)に注目して、説明する。

図２は、２次元調整画面の例を示す図である。図２に示す２次元調整画面２００は、２次元設定部１１によって、表示される。２次元調整画面２００は、所定のGUIを有する入力画面であり、２次元設定部１１は調整者端末３に２次元調整画面２００を表示する。

図２に示すように、２次元調整画面２００は、荷電粒子線装置４の取得画像２１０を表示する２次元画像表示エリア２０１と、倍率２０２、作動距離２０３、プローブ電流２０４、非点２０５、及びフォーカス２０６の調整値を数値で調整者が入力するための数値入力エリア、調整者の識別名を表示するエリア２０８、３次元観察に移行するためのボタン２０７から構成される。「非点」２０５とは、光学系における非点収差に対応する。

調整者が数値入力エリアの上記の数値を入力または変更すると、２次元設定部１１は入力値から、２次元調整値情報２１を生成し（図４、４１０参照）、ネットワークインタフェース３０を通じて、荷電粒子線装置４に送信する。荷電粒子線装置４は設定に反映し、その結果、２次元画像表示エリア２０１には調整値変更後に荷電粒子線装置４から取得された画像が表示される。

調整者の識別名２０８は、荷電粒子線調整支援装置１の使用開始時に調整者によって別途調整者端末から入力された識別名である。この識別名は処理部１０によって保持され、２次元設定部１１などの機能ブロックは調整者を識別するために利用する。

調整者は、２次元調整を終えたら、３次元観察に必要な調整を行う。３次元調整への移行は調整者が３次元観察ボタン２０７を押すことで実行される。このとき、調整者が３次元観察ボタン２０７を押すと、同時に、２次元設定部１１は、現在の２次元調整値情報２１を記憶部２０に送信し、記憶部２０はそれを格納する。

図３は、３次元調整画面の例を示す図である。図３に示す３次元調整画面３００は、３次元設定部１２によって、表示される。３次元設定部１２は、所定のGUIを有する入力画面であり、３次元設定部１２は調整者端末３に３次元調整画面３００を表示する。

図３に示すように、３次元調整画面３００は、荷電粒子線装置４の左右の傾斜画像を合成した３次元アナグリフ画像を表示する３次元画像表示エリア３０１、左の傾斜画像を表示するエリア３０９、右の傾斜画像を表示するエリア３１０、図２の２次元調整画面２００で取得した無傾斜画像（取得画像２１０）を表示するエリア３１１、左右の傾斜画像に関する非点(astigmatism)（３０２、３０３）、左右の傾斜画像に関するフォーカス（３０４、３０５）、および観察対象上の左右の傾斜画像を取得する観察対象上の位置の間隔（左及び右の視線と対象物との２つの交点間の距離）を示すイメージシフト３０６等の調整値を数値で調整者が入力するためのエリア、使用者の識別名を表示する部品３０８、２次元調整に移行するためのボタン３０９から構成される。

ここで、調整者が数値入力エリアの数値を入力または変更すると、３次元設定部１２は入力値から、３次元調整値情報２２を生成し（図４、４２０）、ネットワークインタフェース３０を通じて、荷電粒子線装置４に送信する。荷電粒子線装置４は設定を反映し、その結果、３次元画像表示エリア３０１には調整値変更後に取得された画像が表示される。調整者はここで、エリア３１１の無傾斜画像を見本にしながら、各調整値を変更することで、３次元アナグリフ画像の立体感を調整する。

３次元設定部１２は、調整者の調整の終了を検知したら、調整値対応計算部１３に現在の３次元調整値情報２２を送信する。調整者の調整の終了は次の手順で検知する。

荷電粒子線装置４の調整では、調整者が典型的には以下の手順を実施する。

まず、左右の傾斜画像を視認できるようにフォーカス（３０４、３０５）の調整を行い、次に、３次元深度調整のためにイメージシフト３０６を調整し、最後に非点（３０２、３０３）を調整する。そのため、３次元設定部１２は図５に示すように、左右のフォーカス５０１、イメージシフト５０２、左右の非点５０３の調整が行われたことを検知すればよい。また、イメージシフト調整中５０２にフォーカスの調整があった場合、調整が前段階に戻ったとし、フォーカス調整５０１の受付に戻る。同様に、非点調整中５０３に、フォーカスやイメージシフトの調整があった場合、それぞれフォーカス５０１、イメージシフト調整５０２の受付に戻る。なお、この調整の順は典型的なものであり、他の順序でも調整は可能である。

それぞれの調整の完了を、３次元設定部１２は検知する。各調整の受付の終了は、図６に示すようにまず調整者の判断のために一定時間待ち（６０１）、次に一定時間、調整値（例えば、非点の調整値）に対して、調整者からの入力があったか判断する（６０２）。入力があった場合、調整が継続していると判断して、一定時間の待機（６０１）に戻る。一定時間入力がない場合、次の調整段階に移行（６０３）する。

（対応情報の作成）
調整値対応計算部１３は３次元設定部１２から送信された３次元調整値情報２２を受信し、２次元−３次元調整値対応情報２３（図４、４００）を生成する。まず調整値対応計算部１３は、記憶部２０より２次元調整値情報２１と２次元−３次元調整値対応情報２２のそれぞれ全レコードを取得する。なお、２次元−３次元調整値対応情報２３のレコードは図４の４００の形式であり、２次元調整値情報レコード４１０と３次元調整値情報を対応付け、２つの情報をあわせ持つ構造となっている。

２次元調整値情報２１のうち、２次元−３次元調整値対応情報２２の全レコード内に同一の２次元調整値情報部分２１が含まれないレコードについて、調整値対応計算部１３が３次元設定部１２から受信し、現在保持している３次元調整値情報２２を対応付け、２次元−３次元調整値対応情報２３を生成し、記憶部２０に格納する。

ここまで、(１) ２次元調整値情報２１、３次元調整値情報２２、および、２次元−３次元調整値対応情報２３の記憶部２０への格納に注目して説明した。ここまでは、調整者は、２次元設定部１１と３次元設定部１２などの機能ブロックを用いて、全て手動で調整値を入力した。

（３次元調整値情報２２の取得）
ここからは、(２) ２次元−３次元調整値対応情報２３を利用することによる３次元調整値情報２２の取得に注目して、機能ブロックの機能を説明する。２次元−３次元調整値対応情報２３を記憶部２０からの取得することによって、３次元設定部１２が３次元調整値情報２を取得して、３次元調整を半自動的に行い、調整者を支援する。

調整者が２次元調整を終えた後、３次元調整を行うとき、３次元調整への移行は調整者が３次元観察ボタン２０７を押すことで実行される。調整者がボタン２０７を押すと同時に、２次元設定部１１は、現在の２次元調整値情報２１を記憶部２０に送信し、記憶部２０はそれを格納する。

通常は、この後、ここまで述べたとおり、調整者が手動で３次元調整を行う。しかし、記憶部２０に、２次元−３次元調整値対応情報２３が格納、又は蓄積されている場合、この情報から３次元調整値対応情報２２を生成し、荷電粒子線装置４に送信する。

具体的には次の動作とする。

調整者が３次元観察ボタン２０７を押すと、２次元設定部１１は２次元調整値情報２１を調整値取得部１４へ送信する。調整値取得部１４は、受信した２次元調整値２１をキーとして、キーに類似の２次元調整値情報２１を含む２次元−３次元調整値対応情報２３のレコードを求め、その情報に含まれる３次元調整値情報２２を３次元設定部１２へ送信する（類似のレコードの取得方法に関して、後で詳述）。３次元設定部１２は、受信した３次元調整値情報２２を、ネットワークインタフェース３０を介して、荷電粒子線装置４へ送信する。

ここで、２次元調整値情報２１の類似レコード取得に基づいて、２次元−３次元調整値対応情報２３を求める方法について詳しく述べる。

荷電粒子線装置４において、次の２次元調整値と３次元調整値の間には相関関係がある。具体的には、２次元調整値のプローブ電流の調整値２０４と３次元調整値のイメージシフトの調整値３０６、２次元調整値の作動距離の調整値２０３と３次元調整値のイメージシフトの調整値３０６、２次元調整値の非点の調整値２０５と３次元調整値の左右の非点の調整値３０２、３０３、および、２次元調整値のフォーカスの調整値２０６と３次元調整値の左右のフォーカスの調整値３０４、３０５の関係である。

（イメージシフト値３０６の決定）
相関関係がある２次元調整値と３次元調整値の関係を利用し、３次元調整値を求める。例えば、３次元調整値のイメージシフト値３０６を決定するためには、次の手順で行う。

まず、現在のプローブ電流と作動距離にもっとも類似した２次元調整値情報２１を含む、２次元−３次元調整値対応情報２３を求める。このさい、類似の尺度として、以下の距離定義を用いる。現在の２次元調整値との間の類似度を計算する対象とする２次元−３次元調整値対応情報２３をxとする。

xの類似距離＝K1× | 現在のプローブ電流 -xのプローブ電流|
＋K2× | 現在の作動距離値− xの作動距離値|
ここで、K1，K2は実験の結果、定めた定数。

この類似距離を最小とする２次元−３次元調整値対応情報２３のイメージシフト値を採用すれば、過去事例において、最適なイメージシフト値を推定したことになる。

（相関に基づくイメージシフト値３０６の決定）
また、３次元調整値の傾斜角（左右の傾斜画像取得のための視差角を構成するための荷電粒子線を傾斜させる角度）と３次元調整値のイメージシフト値に相関があるため、傾斜角の設定を補助的に利用し、次の類似度を計算する式を使用してもよい。

xの類似距離＝K1× | 現在のプローブ電流の調整値 -xのプローブ電流の調整値|
＋K2× | 現在の作動距離の調整値− xの作動距離値の調整値|
＋K3× | 現在の傾斜角の調整値− xの傾斜角の調整値|
ここで、K1，K2, K3は実験の結果、定めた定数。

上記の類似距離が最小の２次元調整値情報２１を含む、２次元−３次元調整値対応情報２３を求め、その中のイメージシフト値を調整値とする。

（非点、フォーカスの調整値の推定）
非点、フォーカスについても同様に、２次元調整値と３次元調整値の相関関係に基づいて、過去の２次元調整値をもとに、３次元の左右の調整値を推定することができる。

非点に関する類似度は次の式で求める。

xの類似距離＝ | 現在の非点の調整値 -xの非点の調整値|
なお、非点の調整値はx座標値、y座標値の組(x,y)で表せるが、その組の差の値は、x座標値の差と、y座標値の差の和とすればよい。

同様にフォーカス関する類似度は次の式で求める。

xの類似距離＝ | 現在のフォーカスの調整値 -xのフォーカスの調整値|
それぞれ、上記の類似距離が最小の２次元調整値情報２１を含む、２次元−３次元調整値対応情報２３を求め、その中の左右のフォーカスの調整値や左右の非点の調整値と採用する。

以上によって、現在の２次元調整値をキーに、類似する２次元調整値を含む、２次元−３次元調整値対応情報２３を求め、含まれる３次元調整値情報２２内の３次元調整値を採用し、荷電粒子線装置に設定することで、調整者の調整にかかる手数や工数を削減する。

また、この発明を用いて、３次元調整値を設定した後でも、調整者は手動で調整することができ、さらにその２次元−３次元調整値対応情報２３を記憶部２０に格納することで、より精度のよい３次元調整値の推測ができるようになり、調整者の手間をさらに省くことができるようになる。

（別の実施例−１）
上記の手順では、類似距離が最小の２次元−３次元調整値対応情報２３を選択し、それに含まれる３次元調整値を採用したが、調整者に類似距離が小さくなる順に２次元−３次元調整値対応情報２３をソートしたうえで、類似距離がもっとも小さい２次元−３次元調整値対応情報２３から複数個の候補から調整者が選択する方法も考えられる。この場合、各３次元調整値候補を採用した場合の画像を取得し、調整者に提示し、調整者がもっとも好ましい画像を選択し、その３次元調整値を採用する方法も考えられる。

この方法によると、調整者が複数候補から選択することが可能なため、調整者のニーズにあった調整値が得られる可能性が高まる利点がある。

（別の実施例−２）
上記では、３次元調整値を1個ずつ設定する方法を述べたが、３次元調整値のレコードの全ての属性を一度に決める方法も考えられる。

具体的には、２次元調整値の一つに注目する。例えば、現在の２次元調整値の倍率に注目し、それをキーとして、２次元−３次元調整値対応情報２３から倍率の近いレコードを検索する。その上位の複数の候補の３次元調整値情報２２を利用し、３次元画像を取得する。調整者がもっとも好ましい画像を選択し、その３次元調整値情報２２のレコードを採用する方法である。

この方法によると、全ての３次元調整値の属性について、組で再現できるので、３次元調整値間の関連が強い場合に、よい調整値が得られる可能性が高まる利点がある。

（別の実施例−３）
上記では、３次元調整値を２次元調整値から推定する方法を考えたが、逆に、２次元調整値を３次元調整値から推定することもできる。推定方法も上記と同様の装置構成のもと、同様の方法で実現できる。

（別の実施例−４）
上記では、調整者の区別なく、調整値を推定する方法を考えたが、調整者が自分の過去の情報のみ利用して、調整値を推定したい場合、２次元−３次元調整値対応情報２３のうち、自分の調整者IDと同一の調整者IDを持つレコードのみを上記の推定のみに使用してよい。この方法によると、調整者に依存して調整値が決まる調整に関して、よい調整値が得られる可能性が高まる利点がある。

以上、本実施形態によれば、３次元設定部１２は、荷電粒子線調整者端末３から入力される情報に基づき生成される２次元−３次元調整値対応情報２３から、３次元調整値情報２２を取得し、荷電粒子線装置４に送信、設定する。

従って、荷電粒子線調整者は、３次元調整値、２次元調整値を容易に設定できるようになり、荷電粒子線調整をより短時間で行えるようになる。

１：荷電粒子線調整支援装置、２：ネットワーク、３：荷電粒子線調整者端末、１０：処理部、１１：２次元設定部、１２：３次元設定部、１３：調整値対応計算部、１４：調整値取得部 、２０：記憶部、２１：２次元調整値情報、２２：３次元調整値情報、２３：２次元−３次元調整値対応情報、３０：ネットワークインタフェース、２００：２次元調整画面、３００：３次元調整画面、４００：２次元−３次元調整値対応情報、４１０：２次元調整値情報、４２０：３次元調整値情報

Claims (13)

1. ３次元表示をする荷電粒子線装置の調整を支援する荷電粒子線調整支援装置であって、
   調整者端末から、前記荷電粒子線装置における２次元調整値を受け付け、前記荷電粒子
   線装置に送信する２次元調整値設定手段と、
   前記調整者端末から、前記荷電粒子線装置における３次元調整値を受け付け、前記荷電
   粒子線装置に送信する３次元調整値設定手段と、
   前記２次元調整値と前記３次元調整値を関連付けて２次元−３次元調整値対応情報を生
   成し、記憶装置に格納する調整値対応計算手段と、
   前記２次元調整値に基づき、前記記憶装置に格納された前記２次元−３次元調整値対応
   情報の中から、類似する２次元調整値を検索し、対応する３次元調整値を取得する調整値
   取得手段とを備える
   ことを特徴とする荷電粒子線調整支援装置。
2. 前記荷電粒子線調整支援装置は、さらに、
   前記荷電粒子線装置の２次元調整値のうちプローブ電流の調整値と作動距離の調整値を
   元に、３次元調整値のうち左右の傾斜画像取得時の観察対象における荷電粒子線の最適な
   照射位置調整値を推定する最適照射位置調整値推定手段と、
   前記荷電粒子線装置の２次元調整値のうち非点の調整値を元に、３次元調整値のうち左
   右の傾斜画像取得時の最適な非点の調整値を推定する最適非点調整値推定手段と、
   前記荷電粒子線装置の２次元調整値のうちフォーカスの調整値を元に、３次元調整値の
   うち左右の傾斜画像取得時のフォーカスの最適な調整値を推定するフォーカス最適調整値
   推定手段とを備える
   ことを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線調整支援装置。
3. 前記荷電粒子線調整支援装置は、さらに、
   前記３次元調整値の複数の候補を使用して、前記荷電粒子線装置で画像を取得して、前
   記調整者端末に表示し、調整者に最適な調整値を選択させる手段と、
   を備える
   ことを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線調整支援装置。
4. 前記荷電粒子線調整支援装置は、さらに、
   前記３次元調整値に基づき、前記記憶装置に格納された前記２次元−３次元調整値対応
   情報の中から、類似する３次元調整値を検索し、対応する２次元調整値を取得する２次元
   調整値取得手段と、を備える
   ことを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線調整支援装置。
5. ３次元表示をする荷電粒子線装置の調整をコンピュータにより支援する荷電粒子線調整
   支援方法であって、
   前記コンピュータは、
   ２次元調整値設定手段により、調整者端末から、前記荷電粒子線装置における２次元調
   整値を受け付け、前記荷電粒子線装置に送信し、
   ３次元調整値設定手段により、調整者端末から、前記荷電粒子線装置における３次元調整値を受け付け、前記荷電粒子線装置に送信し、
   調整値対応計算手段により、前記２次元調整値と前記３次元調整値を関連付けて２次元
   −３次元調整値対応情報を生成して記憶装置に格納し、
   調整値取得手段により、前記２次元調整値に基づき、記憶装置に格納された前記２次元
   −３次元調整値対応情報の中から、類似する２次元調整値を検索し、対応する３次元調整
   値を取得する
   ことを特徴とする荷電粒子線調整支援方法。
6. 前記コンピュータは、さらに、
   最適照射位置調整値推定手段により、前記荷電粒子線装置の２次元調整値のうちプロー
   ブ電流の調整値と作動距離の調整値を元に、３次元調整値のうち左右の傾斜画像取得時の
   観察対象における荷電粒子線の最適な照射位置調整値を推定し、
   最適非点調整値推定手段により、前記荷電粒子線装置の２次元調整値のうち非点の調整
   値を元に、３次元調整値のうち左右の傾斜画像取得時の最適な非点の調整値を推定し、
   フォーカス最適調整値推定手段により、前記荷電粒子線装置の２次元調整値のうちフォ
   ーカスの調整値を元に、３次元調整値のうち左右の傾斜画像取得時のフォーカスの最適な
   調整値を推定する
   ことを特徴とする請求項５に記載の荷電粒子線調整支援方法。
7. 前記コンピュータは、さらに、
   最適調整値選択手段により、３次元調整値の複数の候補を使用して、前記荷電粒子線装
   置で画像を取得して、前記調整者端末に表示し、調整者に最適な調整値を選択させる
   ことを特徴とする請求項５に記載の荷電粒子線調整支援方法。
8. 前記コンピュータは、さらに、
   ２次元調整値取得手段により、前記３次元調整値に基づき、記憶装置に格納された前記
   ２次元−３次元調整値対応情報の中から、類似する３次元調整値を検索し、対応する２次
   元調整値を取得する
   ことを特徴とする請求項５に記載の荷電粒子線調整支援方法。
9. 類似距離が小さくなる順に前記２次元−３次元調整値対応情報をソートしたうえで、類
   似距離がもっとも小さい前記２次元−３次元調整値対応情報の複数個の候補から調整者が
   選択することを特徴とする請求項５に記載の荷電粒子線調整支援方法。
10. 当該２次元調整値の倍率を含むレコードを、前記２次元−３次元調整値対応情報から検
    索し、前記検索された上位の複数の候補の３次元調整値情報を用いて、３次元画像を
    取得することを特徴とする請求項５に記載の荷電粒子線調整支援方法。
11. 前記２次元−３次元調整値対応情報に基づいて、前記２次元調整値を前記３次元調整値
    から推定することを特徴とする請求項５に記載の荷電粒子線調整支援方法。
12. 前記調整者に関する情報に基づいて、前記２次元−３次元調整値対応情報を検索するこ
    とによって、前記調整者に対応する調整値を決定することを特徴とする請求項５に記載の荷電粒子線調整支援方法。
13. 計算機で読み取り可能な記憶媒体であって、請求項５記載の荷電粒子線調整支援方法を
    実行するためのプログラムを格納したことを特徴とする記憶媒体。

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