JP5814855B2 - 荷電粒子線調整支援装置および方法 - Google Patents
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Description
まずは、(1)に注目して、説明する。
調整値対応計算部13は3次元設定部12から送信された3次元調整値情報22を受信し、2次元−3次元調整値対応情報23(図4、400)を生成する。まず調整値対応計算部13は、記憶部20より2次元調整値情報21と2次元−3次元調整値対応情報22のそれぞれ全レコードを取得する。なお、2次元−3次元調整値対応情報23のレコードは図4の400の形式であり、2次元調整値情報レコード410と3次元調整値情報を対応付け、2つの情報をあわせ持つ構造となっている。
ここからは、(2) 2次元−3次元調整値対応情報23を利用することによる3次元調整値情報22の取得に注目して、機能ブロックの機能を説明する。2次元−3次元調整値対応情報23を記憶部20からの取得することによって、3次元設定部12が3次元調整値情報2を取得して、3次元調整を半自動的に行い、調整者を支援する。
相関関係がある2次元調整値と3次元調整値の関係を利用し、3次元調整値を求める。例えば、3次元調整値のイメージシフト値306を決定するためには、次の手順で行う。
+K2× | 現在の作動距離値− xの作動距離値|
ここで、K1,K2は実験の結果、定めた定数。
また、3次元調整値の傾斜角(左右の傾斜画像取得のための視差角を構成するための荷電粒子線を傾斜させる角度)と3次元調整値のイメージシフト値に相関があるため、傾斜角の設定を補助的に利用し、次の類似度を計算する式を使用してもよい。
+K2× | 現在の作動距離の調整値− xの作動距離値の調整値|
+K3× | 現在の傾斜角の調整値− xの傾斜角の調整値|
ここで、K1,K2, K3は実験の結果、定めた定数。
非点、フォーカスについても同様に、2次元調整値と3次元調整値の相関関係に基づいて、過去の2次元調整値をもとに、3次元の左右の調整値を推定することができる。
なお、非点の調整値はx座標値、y座標値の組(x,y)で表せるが、その組の差の値は、x座標値の差と、y座標値の差の和とすればよい。
それぞれ、上記の類似距離が最小の2次元調整値情報21を含む、2次元−3次元調整値対応情報23を求め、その中の左右のフォーカスの調整値や左右の非点の調整値と採用する。
上記の手順では、類似距離が最小の2次元−3次元調整値対応情報23を選択し、それに含まれる3次元調整値を採用したが、調整者に類似距離が小さくなる順に2次元−3次元調整値対応情報23をソートしたうえで、類似距離がもっとも小さい2次元−3次元調整値対応情報23から複数個の候補から調整者が選択する方法も考えられる。この場合、各3次元調整値候補を採用した場合の画像を取得し、調整者に提示し、調整者がもっとも好ましい画像を選択し、その3次元調整値を採用する方法も考えられる。
上記では、3次元調整値を1個ずつ設定する方法を述べたが、3次元調整値のレコードの全ての属性を一度に決める方法も考えられる。
上記では、3次元調整値を2次元調整値から推定する方法を考えたが、逆に、2次元調整値を3次元調整値から推定することもできる。推定方法も上記と同様の装置構成のもと、同様の方法で実現できる。
上記では、調整者の区別なく、調整値を推定する方法を考えたが、調整者が自分の過去の情報のみ利用して、調整値を推定したい場合、2次元−3次元調整値対応情報23のうち、自分の調整者IDと同一の調整者IDを持つレコードのみを上記の推定のみに使用してよい。この方法によると、調整者に依存して調整値が決まる調整に関して、よい調整値が得られる可能性が高まる利点がある。
Claims (13)
- 3次元表示をする荷電粒子線装置の調整を支援する荷電粒子線調整支援装置であって、
調整者端末から、前記荷電粒子線装置における2次元調整値を受け付け、前記荷電粒子
線装置に送信する2次元調整値設定手段と、
前記調整者端末から、前記荷電粒子線装置における3次元調整値を受け付け、前記荷電
粒子線装置に送信する3次元調整値設定手段と、
前記2次元調整値と前記3次元調整値を関連付けて2次元−3次元調整値対応情報を生
成し、記憶装置に格納する調整値対応計算手段と、
前記2次元調整値に基づき、前記記憶装置に格納された前記2次元−3次元調整値対応
情報の中から、類似する2次元調整値を検索し、対応する3次元調整値を取得する調整値
取得手段とを備える
ことを特徴とする荷電粒子線調整支援装置。 - 前記荷電粒子線調整支援装置は、さらに、
前記荷電粒子線装置の2次元調整値のうちプローブ電流の調整値と作動距離の調整値を
元に、3次元調整値のうち左右の傾斜画像取得時の観察対象における荷電粒子線の最適な
照射位置調整値を推定する最適照射位置調整値推定手段と、
前記荷電粒子線装置の2次元調整値のうち非点の調整値を元に、3次元調整値のうち左
右の傾斜画像取得時の最適な非点の調整値を推定する最適非点調整値推定手段と、
前記荷電粒子線装置の2次元調整値のうちフォーカスの調整値を元に、3次元調整値の
うち左右の傾斜画像取得時のフォーカスの最適な調整値を推定するフォーカス最適調整値
推定手段とを備える
ことを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線調整支援装置。 - 前記荷電粒子線調整支援装置は、さらに、
前記3次元調整値の複数の候補を使用して、前記荷電粒子線装置で画像を取得して、前
記調整者端末に表示し、調整者に最適な調整値を選択させる手段と、
を備える
ことを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線調整支援装置。 - 前記荷電粒子線調整支援装置は、さらに、
前記3次元調整値に基づき、前記記憶装置に格納された前記2次元−3次元調整値対応
情報の中から、類似する3次元調整値を検索し、対応する2次元調整値を取得する2次元
調整値取得手段と、を備える
ことを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線調整支援装置。 - 3次元表示をする荷電粒子線装置の調整をコンピュータにより支援する荷電粒子線調整
支援方法であって、
前記コンピュータは、
2次元調整値設定手段により、調整者端末から、前記荷電粒子線装置における2次元調
整値を受け付け、前記荷電粒子線装置に送信し、
3次元調整値設定手段により、調整者端末から、前記荷電粒子線装置における3次元調整値を受け付け、前記荷電粒子線装置に送信し、
調整値対応計算手段により、前記2次元調整値と前記3次元調整値を関連付けて2次元
−3次元調整値対応情報を生成して記憶装置に格納し、
調整値取得手段により、前記2次元調整値に基づき、記憶装置に格納された前記2次元
−3次元調整値対応情報の中から、類似する2次元調整値を検索し、対応する3次元調整
値を取得する
ことを特徴とする荷電粒子線調整支援方法。 - 前記コンピュータは、さらに、
最適照射位置調整値推定手段により、前記荷電粒子線装置の2次元調整値のうちプロー
ブ電流の調整値と作動距離の調整値を元に、3次元調整値のうち左右の傾斜画像取得時の
観察対象における荷電粒子線の最適な照射位置調整値を推定し、
最適非点調整値推定手段により、前記荷電粒子線装置の2次元調整値のうち非点の調整
値を元に、3次元調整値のうち左右の傾斜画像取得時の最適な非点の調整値を推定し、
フォーカス最適調整値推定手段により、前記荷電粒子線装置の2次元調整値のうちフォ
ーカスの調整値を元に、3次元調整値のうち左右の傾斜画像取得時のフォーカスの最適な
調整値を推定する
ことを特徴とする請求項5に記載の荷電粒子線調整支援方法。 - 前記コンピュータは、さらに、
最適調整値選択手段により、3次元調整値の複数の候補を使用して、前記荷電粒子線装
置で画像を取得して、前記調整者端末に表示し、調整者に最適な調整値を選択させる
ことを特徴とする請求項5に記載の荷電粒子線調整支援方法。 - 前記コンピュータは、さらに、
2次元調整値取得手段により、前記3次元調整値に基づき、記憶装置に格納された前記
2次元−3次元調整値対応情報の中から、類似する3次元調整値を検索し、対応する2次
元調整値を取得する
ことを特徴とする請求項5に記載の荷電粒子線調整支援方法。 - 類似距離が小さくなる順に前記2次元−3次元調整値対応情報をソートしたうえで、類
似距離がもっとも小さい前記2次元−3次元調整値対応情報の複数個の候補から調整者が
選択することを特徴とする請求項5に記載の荷電粒子線調整支援方法。 - 当該2次元調整値の倍率を含むレコードを、前記2次元−3次元調整値対応情報から検
索し、前記検索された上位の複数の候補の3次元調整値情報を用いて、3次元画像を
取得することを特徴とする請求項5に記載の荷電粒子線調整支援方法。 - 前記2次元−3次元調整値対応情報に基づいて、前記2次元調整値を前記3次元調整値
から推定することを特徴とする請求項5に記載の荷電粒子線調整支援方法。 - 前記調整者に関する情報に基づいて、前記2次元−3次元調整値対応情報を検索するこ
とによって、前記調整者に対応する調整値を決定することを特徴とする請求項5に記載の荷電粒子線調整支援方法。 - 計算機で読み取り可能な記憶媒体であって、請求項5記載の荷電粒子線調整支援方法を
実行するためのプログラムを格納したことを特徴とする記憶媒体。
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