JP5813370B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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- 239000000314 lubricant Substances 0.000 claims description 54
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 17
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 16
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 17
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 6
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 4
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 4
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 4
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/056—Bearings
- F04D29/059—Roller bearings
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/06—Lubrication
- F04D29/063—Lubrication specially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/08—Sealings
- F04D29/10—Shaft sealings
- F04D29/102—Shaft sealings especially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
- F04D29/582—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/584—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps cooling or heating the machine
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/66—Special parts or details in view of lubrication
- F16C33/6637—Special parts or details in view of lubrication with liquid lubricant
- F16C33/664—Retaining the liquid in or near the bearing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
- F16C19/02—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows
- F16C19/04—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for radial load mainly
- F16C19/06—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for radial load mainly with a single row or balls
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/72—Sealings
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Description
請求項1に記載の真空ポンプは凝縮要素を有し、凝縮要素は、潤滑される軸受のポンプ作用構造部分に向けられた側に配置されている。この表面は、潤滑剤が凝縮する温度に存在している。これにより、軸受内において潤滑剤の蒸発により発生する損失が低減される。潤滑剤蒸気はポンプ作用構造部分の方向へ軸に沿って圧力降下に基づいて上昇し、凝縮要素において凝縮し、および滴下して液体として軸受の方向に戻る。同時に、この潤滑剤蒸気がポンプ作用構造部分の範囲内および入口および出口の範囲内における真空を低下させることが阻止される。この場合、ポンプ作用構造部分は、ターボ分子構造タイプのディスク・ロータ、ターボ分子構造タイプの釣鐘ロータ、ホルベック・ポンプ要素およびサイド・チャネル・ポンプ要素等を含んでいてもよい。この軸受のほかに、ポンプ作用構造部分の遊動支持が得られるように、軸端に第2の軸受が設けられている。
請求項6に記載の次の変更態様は、潤滑剤が凝縮する表面上に排出構造が設けられているように設計されている。これは凝縮された潤滑剤の排出を容易にさせる。
戻し通路および戻し供給手段により2つの循環回路が形成され、循環回路は使用された潤滑剤を潤滑剤貯蔵装置に移送して戻すので、損失は明らかに低減され、したがって、真空ポンプの保守間隔は明らかに延長される。特に、このようにして、真空ポンプはあらゆる取付姿勢において運転可能であり、且つこのとき潤滑剤は戻し通路および戻し供給手段を通過して潤滑剤貯蔵装置に到達して戻る。
はじめに、図2は、凝縮要素の軸線に直角な断面図を示す。凝縮要素180は冷却体184を含む。冷却体はリング状に形成されているので、取付状態において、真空ポンプの軸はリングの中央開口内を貫通する。冷却体は周囲に分配された凹部を有し、凹部内に電熱変換器182が配置されている。少なくとも1つの変換器が必要ではあるが、均等な温度分布を達成するためには複数の変換器が有利である。冷却体とハウジングとの間に断熱要素例えば不良熱伝導層が設けられていてもよい。これにより、冷却体の温度低下が容易となる。このような層は例えば酸化シリコンを含んでいてもよい。代替態様として、冷却体とハウジングとの接触面積が低減されるように、凹部が設けられている。
102 入口
104 出口
106 ハウジング
108 ハウジングの下部部分
110 軸
112 軸線
120 駆動装置
122 モータ磁石
124 電気コイル
130 永久磁気軸受
132 ロータ側磁気リング
134 ステータ側磁気リング
140 羽根を設けたディスク(ロータ側)(ポンプ作用構造部分)
142 平滑スリーブ(ポンプ作用構造部分)
144 ステータ構成要素
146 ハブ
148 羽根を設けたディスク(ステータ側)
150 軸受
152 潤滑剤貯蔵装置
154 潤滑剤供給装置
156 噴霧ナット
160 軸隙間
162 捕獲室
164 モータ隙間
172 戻し通路
174 戻し供給手段
180、280 凝縮要素
182、282 電熱変換器
184、284 冷却体
186 斜面
188 接触面
286 円錐表面
290 排出構造
292 冷表面
294 温表面
Claims (10)
- 軸(110)と、潤滑剤で潤滑され且つ軸を回転可能に支持する軸受(150)と、軸上
に配置されたポンプ作用構造部分(140、142)とを備えた真空ポンプ(100)に
おいて、
前記軸受のポンプ作用構造部分に向けられた側に、凝縮要素(180;280)が配置さ
れており、前記凝縮要素(180;280)が電熱変換器(182;282)を含むことを特徴とする真空ポンプ(100)。 - 前記凝縮要素(180;280)が軸受(150)と駆動装置(120)との間に配置さ
れていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ(100)。 - 前記凝縮要素(180;280)がリング状に軸(110)を包囲するように形成されて
いることを特徴とする請求項1または2に記載の真空ポンプ(100)。 - 前記凝縮要素(180;280)がリング状電熱変換器(282)を含むことを特徴とす
る請求項1に記載の真空ポンプ(100)。 - 前記凝縮要素(180;280)が排出構造(290)を含むことを特徴とする請求項1
ないし4のいずれかに記載の真空ポンプ(100)。 - 前記凝縮要素(180;280)によって捕集された潤滑剤がそれにより潤滑剤貯蔵装置
(152)に戻される戻し通路(172)が設けられていることを特徴とする請求項1な
いし5のいずれかに記載の真空ポンプ(100)。 - 戻し供給手段(174)が潤滑剤を軸受(150)から潤滑剤貯蔵装置(152)に供給
することを特徴とする請求項6に記載の真空ポンプ(100)。 - 前記ポンプ作用構造部分(140、142)がターボ分子構造タイプ(140)に従って
形成されていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の真空ポンプ(10
0)。 - 前記ポンプ作用構造部分(140、142)が、軸(110)上に配置されている、羽根
を設けたディスク(140)を含むことを特徴とする請求項1ないし8のいずれかに記載
の真空ポンプ(100)。 - 前記軸(110)が、軸受(150)とは反対側端部において永久磁気軸受(130)に
より回転可能に支持されていることを特徴とする請求項9に記載の真空ポンプ(100
)。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102010021945.2 | 2010-05-28 | ||
DE102010021945A DE102010021945A1 (de) | 2010-05-28 | 2010-05-28 | Vakuumpumpe |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011247253A JP2011247253A (ja) | 2011-12-08 |
JP5813370B2 true JP5813370B2 (ja) | 2015-11-17 |
Family
ID=44343792
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011109231A Expired - Fee Related JP5813370B2 (ja) | 2010-05-28 | 2011-05-16 | 真空ポンプ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2390510B1 (ja) |
JP (1) | JP5813370B2 (ja) |
DE (1) | DE102010021945A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012110691A1 (de) * | 2012-11-08 | 2014-05-08 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vorrichtung zur kinetischen Energiespeicherung |
DE102012224070A1 (de) * | 2012-12-20 | 2014-06-26 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Lagerfassung für ein Drehlager, insbesondere für eine Vakuuumpumpe |
GB201307196D0 (en) * | 2013-04-22 | 2013-05-29 | Edwards Ltd | Vacuum pump |
DE102013210109A1 (de) * | 2013-05-29 | 2014-12-04 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
DE102014102273A1 (de) * | 2014-02-21 | 2015-08-27 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
DE102014102272B4 (de) * | 2014-02-21 | 2022-09-22 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Pumpe |
GB2535163B (en) * | 2015-02-09 | 2017-04-05 | Edwards Ltd | Pump lubricant supply systems |
GB2552700A (en) | 2016-08-04 | 2018-02-07 | Edwards Ltd | Turbomolecular pump lubricant supply systems |
GB2560927B (en) * | 2017-03-28 | 2020-09-09 | Edwards Ltd | Pump bearing lubrication |
JP7006520B2 (ja) | 2018-06-14 | 2022-01-24 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプおよび診断システム |
EP3650702B1 (de) * | 2018-11-12 | 2020-09-16 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verwendung eines synthetischen öls in einer vakuumpumpe und vakuumpumpe |
CN110714930B (zh) * | 2019-10-09 | 2021-06-11 | 苏州格力士实业有限公司 | 一种循环冷却式漩涡式气泵 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2052120A1 (de) * | 1970-10-23 | 1972-04-27 | Pfeiffer Vakuumtechnik | Lageranordnung für Molekularpumpen und Turbomolekularpumpen |
JP3471071B2 (ja) * | 1994-04-12 | 2003-11-25 | 株式会社荏原製作所 | 回転機械の軸受潤滑装置 |
GB0511877D0 (en) * | 2005-06-10 | 2005-07-20 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
DE102006053237A1 (de) | 2006-11-11 | 2008-05-29 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Lagermodul für eine Vakuumpumpe |
DE102007014142B4 (de) * | 2007-03-23 | 2019-05-29 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
GB0712777D0 (en) * | 2007-07-02 | 2007-08-08 | Edwards Ltd | Vacuum Pump |
-
2010
- 2010-05-28 DE DE102010021945A patent/DE102010021945A1/de not_active Withdrawn
-
2011
- 2011-05-03 EP EP11003587.0A patent/EP2390510B1/de not_active Not-in-force
- 2011-05-16 JP JP2011109231A patent/JP5813370B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102010021945A1 (de) | 2011-12-01 |
EP2390510B1 (de) | 2019-03-06 |
JP2011247253A (ja) | 2011-12-08 |
EP2390510A2 (de) | 2011-11-30 |
EP2390510A3 (de) | 2016-09-14 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20130319 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A601 | Written request for extension of time |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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