JP5806463B2 - Transfer robot and substrate transfer method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、基板を搬送する搬送ロボット、及びその基板搬送方法に関する。   The present invention relates to a transfer robot for transferring a substrate, and a method for transferring the substrate.

基板にプロセス処理を施す基板処理システムが知られている。基板処理システムには、移送ロボットと、搬送ロボットと、基板搬送中継装置とを備えている。移送ロボットは、フープと基板搬送中継装置との間で基板を移送させるように構成されており、搬送ロボットは、プロセス処理を行なうチャンバと基板搬送中継装置との間で基板を搬送するように構成されている。そして、基板搬送中継装置は、移送及び搬送されてくる基板を載置可能に構成され、移送ロボットと搬送ロボットとの間での基板の受渡しを補助するようになっている。   2. Description of the Related Art A substrate processing system that processes a substrate is known. The substrate processing system includes a transfer robot, a transfer robot, and a substrate transfer relay device. The transfer robot is configured to transfer the substrate between the hoop and the substrate transfer relay device, and the transfer robot is configured to transfer the substrate between the chamber for processing and the substrate transfer relay device. Has been. The substrate transfer relay device is configured to be able to place a substrate transferred and transferred, and assists in the transfer of the substrate between the transfer robot and the transfer robot.

このような基板処理システムの搬送ロボットの一例として、例えば特許文献1に記載されるような基板搬送用ロボットがある。この基板搬送用ロボットは、２つのハンドを有しており、これら２つのハンドに基板を夫々１枚ずつ載せて保持することができるようになっている。基板搬送用ロボットは、例えば基板搬送中継装置にある１枚の基板を一方のハンドにより受取り、他方のハンドを空けている。その後、基板搬送用ロボットは、他方のハンドをチャンバまで移動させてチャンバ内にある処理済の基板を受取り、続けて一方のハンドに保持している基板をそのチャンバ内に置く。そして、２つのハンドを再び基板搬送中継装置に戻し、他方のハンドに保持した基板を受渡装置に戻し、一方のハンドで基板を受取る。   As an example of the transfer robot of such a substrate processing system, there is a substrate transfer robot as described in Patent Document 1, for example. This substrate transfer robot has two hands, and each substrate can be placed and held on each of the two hands. The substrate transfer robot receives, for example, one substrate in the substrate transfer relay device with one hand and opens the other hand. Thereafter, the substrate transfer robot moves the other hand to the chamber, receives the processed substrate in the chamber, and then places the substrate held in the one hand in the chamber. Then, the two hands are returned to the substrate transfer relay device again, the substrate held by the other hand is returned to the delivery device, and the substrate is received by one hand.

特開２００３−１７９１１９号公報JP 2003-179119 A

基板処理システムでは、基板製造工程にかかる製造時間を短縮することが求められている。しかし、基板を処理する処理時間を短くすることは難しく、基板の搬送時間を短くすることで製造時間を短縮することが求められている。特許文献１に記載の基板搬送用ロボットにおいて搬送時間を短縮する方法としては、２つのハンドの移動速度を上げることによって時間短縮することが考えられる。しかし、位置精度や制御精度の観点から移動速度にも上限値があり、移動速度を上げることによって短縮できる搬送時間にも限界がある。しかしながら、基板処理システムでは、更なる搬送時間の更に短縮が求められている。   In the substrate processing system, it is required to shorten the manufacturing time required for the substrate manufacturing process. However, it is difficult to shorten the processing time for processing the substrate, and it is required to shorten the manufacturing time by shortening the substrate transport time. As a method of shortening the transport time in the substrate transport robot described in Patent Document 1, it is conceivable to shorten the time by increasing the moving speed of two hands. However, the moving speed has an upper limit value from the viewpoint of position accuracy and control accuracy, and there is a limit to the conveyance time that can be shortened by increasing the moving speed. However, the substrate processing system is required to further shorten the transfer time.

そこで本発明は、移動速度を上げなくても搬送時間を短縮することができる搬送装置及びそれを用いた搬送方法を提供することを目的としている。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a transport apparatus that can shorten the transport time without increasing the moving speed, and a transport method using the transport apparatus.

本発明の搬送ロボットは、基板を夫々保持するための複数の保持部を有する第１ハンドと、基板を夫々保持するための複数の保持部を有する第２ハンドと、前記第１ハンド及び前記第２ハンドを前記基板が置かれている待機位置及び互いに異なる複数の搬送位置に夫々移動させる移動装置と、を備えるものである。。   The transfer robot of the present invention includes a first hand having a plurality of holding units for holding the substrate, a second hand having a plurality of holding units for holding the substrate, the first hand, and the first hand, respectively. And a moving device for moving the two hands to a standby position where the substrate is placed and a plurality of different transport positions. .

本発明に従えば、待機位置において、例えば第１ハンドの複数の保持部により一度に複数の基板を受取り、第２ハンドの複数の保持部により複数の基板を一度に引渡すことができる。それ故、例えば第１ハンドに保持した基板を連続して引渡し、また第２ハンドにより基板を連続して受取ることができ、複数の位置にて受渡しが終了した後に再度待機位置に戻せばよくなる。これにより、全搬送工程における第１ハンド及び第２ハンドの移動距離を短くすることができ、全ての搬送位置に対して基板が搬送されるまでの搬送時間を短くすることができる。   According to the present invention, at the standby position, for example, a plurality of substrates can be received at a time by a plurality of holding units of the first hand, and a plurality of substrates can be delivered at a time by a plurality of holding units of the second hand. Therefore, for example, the substrate held in the first hand can be continuously delivered, and the substrate can be continuously received by the second hand. After delivery is completed at a plurality of positions, the substrate can be returned to the standby position again. Thereby, the moving distance of the 1st hand and the 2nd hand in all the conveyance processes can be shortened, and the conveyance time until a board | substrate is conveyed with respect to all the conveyance positions can be shortened.

上記発明において、前記移動装置は、前記待機位置に置かれた複数の基板を前記第１ハンドの複数の保持部に保持させて受取り、その後、前記保持部に保持する前記複数の基板を各搬送位置に対して順次引渡すと共に前記各搬送位置に置かれた基板を前記第２ハンドの保持部により受取るように構成されていることが好ましい。   In the above invention, the moving device receives the plurality of substrates placed in the standby position by holding the plurality of substrates held by the plurality of holding units of the first hand, and then transports the plurality of substrates held by the holding unit. It is preferable that the substrate is sequentially delivered to the position and the substrate placed at each transfer position is received by the holding part of the second hand.

上記構成に従えば、基板の受取り作業を他の複数の搬送位置に対して連続して行なうことができる。従って、各搬送位置への搬送作業する度に待機位置に戻って第１ハンドに基板を保持させたり、第２ハンドに保持された基板をその度に待機位置に降したりする必要がなく、各搬送位置に対して連続的に受取り作業を行うことができる。それ故、第１ハンド及び第２ハンドの移動距離を短くすることができ、全ての搬送位置に対して基板が搬送されるまでの搬送時間を短くすることができる。   If the said structure is followed, the reception operation | work of a board | substrate can be continuously performed with respect to another several conveyance position. Therefore, it is not necessary to return to the standby position and hold the substrate in the first hand every time the transfer operation to each transfer position is performed, or to drop the substrate held in the second hand to the standby position each time. The receiving operation can be continuously performed for each conveyance position. Therefore, the moving distance of the first hand and the second hand can be shortened, and the transport time until the substrate is transported to all transport positions can be shortened.

上記発明において、前記待機位置は、前記複数の基板を待機させることができて、フープとの間で移送ロボットによって前記基板を受渡しするための位置であり、前記移動装置は、前記第２ハンドの複数の保持部により保持されている前記複数の基板を前記待機位置に置くように前記第１ハンド及び前記第２ハンドを動かすことが好ましい。   In the above invention, the standby position is a position for allowing the plurality of substrates to stand by and delivering the substrate to and from the hoop by a transfer robot. It is preferable to move the first hand and the second hand so that the plurality of substrates held by a plurality of holding units are placed at the standby position.

上記構成に従えば、移送ロボットによって予めフープから待機位置に移送させて待機位置に複数の基板を待機させることができる。これにより、第１ハンドによって複数の基板を一度に保持させることができ、搬送時間を短縮することができる。また、逆に第１ハンドに保持されている複数の基板を待機位置に降ろして移送ロボットによってフープに戻すことができる。それ故、１枚１枚基板を降ろす必要がなく、搬送時間を短縮することができる。   According to the above configuration, a plurality of substrates can be waited at the standby position by being transferred from the hoop to the standby position in advance by the transfer robot. Thereby, a several board | substrate can be hold | maintained at once by a 1st hand, and conveyance time can be shortened. Conversely, the plurality of substrates held by the first hand can be lowered to the standby position and returned to the hoop by the transfer robot. Therefore, it is not necessary to take down the substrates one by one, and the transport time can be shortened.

本発明では、前述のように同じ待機位置にて第１ハンドの受渡し作業と第２ハンドの受取作業とを行うことができるので、第１ハンド及び第２ハンドの移動距離を短くすることができ、搬送時間を短縮することができる。   In the present invention, the first hand delivery work and the second hand delivery work can be performed at the same standby position as described above, so that the moving distance between the first hand and the second hand can be shortened. Transport time can be shortened.

上記発明において、前記移動装置は、１つの搬送過程において、予め定められたＮ個の前記搬送位置に前記基板を夫々引渡すように構成され、前記第１ハンドは、前記Ｎ以上の前記保持部を有し、前記第２ハンドは、前記Ｎ以上の前記保持部を有していることが好ましい。   In the above invention, the moving device is configured to deliver the substrate to N predetermined transfer positions in one transfer process, and the first hand includes the N or more holding units. It is preferable that the second hand has the N or more holding portions.

上記構成に従えば、１つの搬送過程で基板を引渡すべきＮ個の搬送位置における受取り作業を連続的に行うことができ、搬送時間をより短くすることができる。   If the said structure is followed, the receiving operation | work in N conveyance positions which should deliver a board | substrate in one conveyance process can be performed continuously, and conveyance time can be shortened.

上記発明において、前記移動装置は、前記第１ハンド及び第２ハンドを一緒に回動するように構成されており、前記待機位置に対して前記回動方向における一方側と他方側とには、Ｎ個の搬送位置が夫々あり、前記移動装置は、第１搬送工程において、前記待機位置からＮ個の基板を受取った後前記第１ハンド及び第２ハンドを前記一方側に回動させて前記一方側にある前記Ｎ個の搬送位置に前記基板を順次夫々引渡し、第２搬送工程において、前記待機位置からＮ個の基板を受取った後前記第１ハンド及び第２ハンドを前記他方側に回動させて前記他方側にある前記Ｎ個の搬送位置に前記基板を順次夫々引渡すように構成されていることが好ましい。   In the above invention, the moving device is configured to rotate the first hand and the second hand together, and on one side and the other side in the rotation direction with respect to the standby position, There are N transfer positions, respectively, and the moving device rotates the first hand and the second hand to the one side after receiving N substrates from the standby position in the first transfer step. The substrates are sequentially delivered to the N transport positions on one side, respectively, and after receiving N substrates from the standby position in the second transport step, the first hand and the second hand are rotated to the other side. It is preferable that the substrate is sequentially transferred to the N transfer positions on the other side.

上記構成に従えば、保持部の数を抑えつつ、第１ハンド及び第２ハンドの移動距離を抑えることができる。これにより、部品点数の増加を抑えると共に搬送時間の短縮を実現することができる。   If the said structure is followed, the movement distance of a 1st hand and a 2nd hand can be suppressed, suppressing the number of holding | maintenance parts. Thereby, the increase in the number of parts can be suppressed and the conveyance time can be shortened.

上記発明において、前記搬送位置の数Ｎは、２であることが好ましい。   In the above invention, the number N of the transport positions is preferably 2.

上記構成に従えば、部品点数の増加の抑制と搬送時間短縮を同時に達成することができる。   If the said structure is followed, suppression of the increase in a number of parts and shortening of conveyance time can be achieved simultaneously.

上記発明において、前記移動装置は、前記待機位置に置かれた複数の基板を前記第１ハンドの前記複数の保持部により一度に保持して受取ると共に、前記第２ハンドの前記複数の保持部によりそれぞれ保持した複数の基板を一度に前記待機位置に置くようにして引渡すように前記第１ハンド及び第２ハンドを動かすよう構成されていることが好ましい。   In the above invention, the moving device holds and receives the plurality of substrates placed at the standby position at the same time by the plurality of holding units of the first hand and uses the plurality of holding units of the second hand. It is preferable that the first hand and the second hand are moved so as to deliver the plurality of held substrates at a time at the standby position.

上記構成に従えば、待機位置では、第１ハンドにより一度に複数の基板を保持することができ、且つ第２ハンドにより一度に複数の基板を置くことができる。それ故、保持する時間及び置く時間を短縮することができる。   According to the above configuration, at the standby position, a plurality of substrates can be held at a time by the first hand, and a plurality of substrates can be placed at a time by the second hand. Therefore, holding time and placing time can be shortened.

上記発明において、前記移動装置は、前記第１ハンド及び前記第２ハンドを夫々の延在方向に個別に進退させる進退ユニットと、前記第１ハンド及び前記第２ハンドを一緒に昇降させる昇降ユニットと、を備え、前記進退ユニットにより前記待機位置に置かれた複数の基板の下方に前記第１ハンドの前記複数の保持部をそれぞれ進出させた後に前記昇降ユニットにより前記第１ハンド及び前記第２ハンドを上昇させることで前記待機位置に置かれた複数の基板を一度に前記第１ハンドの前記複数の保持部により保持し、その後、前記進退ユニットにより前記第1ハンドを後退させるようにして前記待機位置から該複数の基板を受取り、前記進退ユニットにより前記待機搬送位置の上方に前記第２ハンドの前記複数の保持部材を進出させた後に前記昇降ユニットにより前記第１ハンド及び前記第２ハンドを下降させることで前記保持部材により保持された複数の基板を前記待機位置に一度に置き、その後、前記進退ユニットにより前記第２ハンドを後退させるようにして該複数の基板を前記待機位置に引渡すよう構成されていることが好ましい。   In the above invention, the moving device includes an advancing / retreating unit that individually advances and retracts the first hand and the second hand in their extending directions, and an elevating unit that raises and lowers the first hand and the second hand together. The first hand and the second hand are moved by the lifting unit after the plurality of holding portions of the first hand are respectively advanced below the plurality of substrates placed at the standby position by the advance / retreat unit. The plurality of substrates placed at the standby position are held at a time by the plurality of holding portions of the first hand, and then the first hand is moved backward by the advance / retreat unit. After receiving the plurality of substrates from the position and moving the plurality of holding members of the second hand above the standby conveyance position by the advance / retreat unit, The plurality of substrates held by the holding member are placed at the standby position at a time by lowering the first hand and the second hand by the lifting / lowering unit, and then the second hand is moved backward by the advance / retreat unit. Thus, it is preferable that the plurality of substrates be configured to be delivered to the standby position.

上記構成に従えば、第１ハンドを進退及び昇降させるだけで複数の基板を待機位置で保持し、また第２ハンドを進退及び昇降させるだけで複数の基板を待機位置に置くことができる。   According to the above configuration, the plurality of substrates can be held at the standby position simply by moving the first hand forward and backward and up and down, and the plurality of substrates can be placed at the standby position simply by moving the second hand forward and backward.

本発明の基板搬送方法は、基板を夫々保持するための複数の保持部を有する第１ハンドと、基板を夫々保持するための複数の保持部を有する第２ハンドと、前記第１ハンド及び前記第２ハンドを前記基板が置かれている待機位置及び互いに異なる複数の搬送位置に夫々移動させる移動装置と、を備える搬送ロボットの基板搬送方法であり、前記移動装置が前記待機位置に置かれた複数の基板を前記第１ハンドの複数の保持部に保持させて受取る受取り工程と、保持工程の後に、前記保持部に保持する前記複数の基板を各搬送位置に対して順次引渡すと共に前記各搬送位置に置かれた基板を前記第２ハンドの保持部により搬送する搬送工程とを有する方法である。   The substrate transfer method of the present invention includes a first hand having a plurality of holding portions for holding the substrates, a second hand having a plurality of holding portions for holding the substrates, the first hand, And a moving device that moves the second hand to a standby position where the substrate is placed and a plurality of different transfer positions, respectively, wherein the moving device is placed at the standby position. A receiving step of holding and receiving a plurality of substrates on a plurality of holding portions of the first hand, and sequentially transferring the plurality of substrates held on the holding portion to each transfer position and holding each of the transfers after the holding step. A transporting step of transporting the substrate placed at the position by the holding part of the second hand.

上記構成に従えば、第１ハンドが複数の基板を保持可能であるので、待機位置で第１ハンドにより複数の基板を保持することができる。また、第２ハンドも複数の基板を保持可能であるので、第１ハンド及び第２ハンドにより複数の搬送位置に対して基板の受取りを連続して行うことができる。それ故、第１ハンドに基板を保持させては降ろすという作業や第２ハンドに基板を降ろしては保持させるという作業を複数枚で纏めて行うことができるようになり、搬送時間を短縮することができる。   According to the above configuration, since the first hand can hold a plurality of substrates, the plurality of substrates can be held by the first hand at the standby position. In addition, since the second hand can also hold a plurality of substrates, the first hand and the second hand can continuously receive the substrates at a plurality of transfer positions. Therefore, the work of holding the substrate down by the first hand and the operation of lowering the substrate by the second hand and holding the substrate down by the second hand can be performed collectively, thereby shortening the transport time. Can do.

上記発明において、前記待機位置は、前記複数の基板を待機させることができて、フープとの間で移送ロボットによって前記基板が受引渡しするための位置であり、前記移動装置は、前記第２ハンドの複数の保持部により保持されている前記複数の基板を前記待機位置に置くように前記第１ハンド及び前記第２ハンドを動かす引渡し工程を有することが好ましい。   In the above invention, the standby position is a position where the plurality of substrates can be standby, and the substrate is transferred to and from the hoop by a transfer robot. It is preferable to have a delivery step of moving the first hand and the second hand so that the plurality of substrates held by the plurality of holding units are placed at the standby position.

上記構成に従えば、第１ハンドの引渡し作業と第２ハンドの受取作業を待機位置で行うことができるので、受渡作業において第１ハンド及び第２ハンドを動かす必要がない。それ故、第１ハンド及び第２ハンドの移動距離を短くすることができ、搬送時間を短縮することができる。   According to the above configuration, the delivery operation of the first hand and the reception operation of the second hand can be performed at the standby position, so there is no need to move the first hand and the second hand in the delivery operation. Therefore, the moving distance of the first hand and the second hand can be shortened, and the transport time can be shortened.

また、上記構成に従えば、フープから移送ロボットにより取り出された基板は、待機位置にて待機させられ、その後、第１ハンドにより各搬送位置に連続して引渡される。また、引渡す前には、その搬送位置にある基板を第１ハンドにより受取って保持し、各搬送位置に引渡した後に待機位置へと引渡される。そして待機位置に引渡された基板を移送ロボットによりフープに戻すことができる。それ故、待機位置とフープとの間の受渡しの時間を省略することができるので、搬送時間の短縮を図ることができる。   Further, according to the above configuration, the substrate taken out from the hoop by the transfer robot is made to stand by at the standby position, and then continuously delivered to each transfer position by the first hand. Further, before delivery, the substrate at the transport position is received and held by the first hand, delivered to each transport position, and then delivered to the standby position. Then, the substrate delivered to the standby position can be returned to the hoop by the transfer robot. Therefore, since the delivery time between the standby position and the hoop can be omitted, the transport time can be shortened.

上記発明において、前記受取り工程と前記引渡し工程とは同時に行なわれることが好ましい。   In the above invention, the receiving step and the delivery step are preferably performed simultaneously.

上記構成に従えば、基板を受取るまでの待ち時間及び引渡すまでの待ち時間を省略することができる。それ故、搬送時間をより短縮することができる。   According to the above configuration, the waiting time until the substrate is received and the waiting time until the delivery can be omitted. Therefore, the conveyance time can be further shortened.

上記発明において、前記搬送工程では、隣接する前記隣接する搬送位置に前記基板を順次引渡すことが好ましい。   In the above invention, it is preferable that in the transporting step, the substrates are sequentially delivered to the adjacent transporting positions adjacent to each other.

上記構成に従えば、第１ハンド及び第２ハンドの移動距離を短くすることができる。これにより、搬送時間を更に短くすることができる。   If the said structure is followed, the moving distance of a 1st hand and a 2nd hand can be shortened. Thereby, conveyance time can be further shortened.

本発明によれば、移動速度を上げなくても搬送時間を短縮することができる。   According to the present invention, the conveyance time can be shortened without increasing the moving speed.

本発明の実施形態に係る搬送ロボットを備える基板処理システムを示す平面図である。It is a top view which shows a substrate processing system provided with the conveyance robot which concerns on embodiment of this invention. 図１に示す基板処理システムの電気的な構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the electrical structure of the substrate processing system shown in FIG. 図１に示す基板処理システムが備える基板搬送中継装置を示す正面図である。It is a front view which shows the board | substrate conveyance relay apparatus with which the substrate processing system shown in FIG. 1 is provided. 図４に示す基板搬送中継装置を右側方から側面図である。It is a side view from the right side of the board | substrate conveyance relay apparatus shown in FIG. 図４に示す基板搬送中継装置の第１及び第２支持体を夫々上昇及び下降させた状態を示す正面図である。It is a front view which shows the state which raised and lowered the 1st and 2nd support body of the board | substrate conveyance relay apparatus shown in FIG. 4, respectively. 図１に示す搬送ロボットが備える第１及び第２ハンドを拡大して示す拡大斜視図である。It is an expansion perspective view which expands and shows the 1st and 2nd hand with which the conveyance robot shown in FIG. 1 is provided. 搬送ロボットによる搬送処理の手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the procedure of the conveyance process by a conveyance robot. 基板搬送中継装置に基板を受渡する際の第１及び第２ハンド及び基板搬送中継装置の支持体の動きを示す概略図である。It is the schematic which shows the motion of the support body of the 1st and 2nd hand and board | substrate conveyance relay apparatus at the time of delivering a board | substrate to a board | substrate conveyance relay apparatus. 搬送処理を実行する際の搬送ロボットの動きを拡大して示す拡大平面図である。FIG. 10 is an enlarged plan view showing an enlarged movement of the transfer robot when executing the transfer process. 第２実施形態の基板処理システムにおいて、基板搬送中継装置に基板を受渡する際の第１及び第２ハンド及び基板搬送中継装置の支持体の動きを示す概略図である。In the substrate processing system of 2nd Embodiment, it is the schematic which shows the motion of the support body of the 1st and 2nd hand and substrate transport relay apparatus at the time of delivering a board | substrate to a substrate transport relay apparatus.

以下では、前述する図面を参照しながら、本発明の実施形態に係る搬送ロボット５０を備える基板処理システム１について説明する。なお、実施形態における上下、左右、及び前後等の方向の概念は、説明の便宜上使用するものであって、搬送ロボット５０及び基板処理システム１に関して、それらの構成の配置及び向き等をその方向に限定することを示唆するものではない。また、以下に説明する搬送ロボット５０及び基板処理システム１は、本発明の一実施形態に過ぎず、本発明は実施の形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で追加、削除、変更が可能である。   Hereinafter, the substrate processing system 1 including the transfer robot 50 according to the embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings described above. In addition, the concept of directions such as up and down, left and right, and front and back in the embodiment is used for convenience of explanation, and the arrangement and orientation of the components and the like in the direction are related to the transport robot 50 and the substrate processing system 1. It does not suggest limiting. Further, the transfer robot 50 and the substrate processing system 1 described below are only one embodiment of the present invention, and the present invention is not limited to the embodiment, and additions, deletions, and changes are made without departing from the spirit of the invention. Is possible.

＜基板処理システム＞
基板処理システム１は、半導体ウエハやガラス基板等の基板に対して、熱処理、不純物導入処理、薄膜形成処理、リソグラフィー処理、洗浄処理、及び平坦化処理等の様々なプロセス処理を施すための装置である。基板処理システム１は、図１に示すようにフロントエンドモジュール（略称：ＥＦＥＭ）２と、プロセスモジュール３と、制御装置４とを備えている。 <Substrate processing system>
The substrate processing system 1 is an apparatus for performing various process processing such as heat treatment, impurity introduction processing, thin film formation processing, lithography processing, cleaning processing, and planarization processing on a substrate such as a semiconductor wafer or a glass substrate. is there. As shown in FIG. 1, the substrate processing system 1 includes a front end module (abbreviation: EFEM) 2, a process module 3, and a control device 4.

［ＥＦＥＭ］
フロントエンドモジュール２は、基板６をプロセスモジュール３に移送するための装置であり、ハウジング７及び移送ロボット８を備えている。ハウジング７は、平面視で大略矩形状になっており、ハウジング７の一方の側面部（図１の左側面部）には、複数のフープ９（本実施形態では、４つのフープ９）が装着されている。フープ９は、複数の基板６を上方に積み上げて収容できるように構成されており、その中の基板６は、ミニエンバイロメントにより清浄度が保たれている。また、フープ９には、連結口９ａが形成され、この連結口９ａに対応するようにハウジング７にも連結口７ａが形成されている。これにより、各フープ９内とハウジング７内とが連結口９ａ，７ａを介して繋がっている。また、各連結口７ａ，９ａには、ドアが設けられており、このドアによって連結口７ａ，９ａを開閉することができるようになっている。このように構成されるハウジング７内には、移送ロボット８が収容されている。 [EFEM]
The front end module 2 is a device for transferring the substrate 6 to the process module 3 and includes a housing 7 and a transfer robot 8. The housing 7 has a substantially rectangular shape in plan view, and a plurality of hoops 9 (four hoops 9 in this embodiment) are attached to one side surface portion (left side surface portion in FIG. 1) of the housing 7. ing. The hoop 9 is configured such that a plurality of substrates 6 can be stacked and accommodated upward, and the substrate 6 therein is kept clean by a mini-environment. Further, the hoop 9 is formed with a connecting port 9a, and the housing 7 is also formed with a connecting port 7a so as to correspond to the connecting port 9a. Thereby, the inside of each hoop 9 and the inside of the housing 7 are connected via the connection ports 9a and 7a. Each connection port 7a, 9a is provided with a door, and the connection port 7a, 9a can be opened and closed by this door. A transfer robot 8 is accommodated in the housing 7 configured as described above.

移送ロボット８は、基板６をプロセスモジュール３に移送するためのロボットであり、例えば水平３軸ロボットによって構成されている。移送ロボット８は、基台１１と、３つのアーム１２，１３，１４と、ハンド１５とを備えている。基台１１は、ハウジング７に固定されており、基台１１には、上下方向に昇降又は伸縮可能な軸部材（図示せず）が設けられている。また、軸部材の上端部には、第１アーム１２が設けられている。   The transfer robot 8 is a robot for transferring the substrate 6 to the process module 3, and is constituted by, for example, a horizontal three-axis robot. The transfer robot 8 includes a base 11, three arms 12, 13 and 14, and a hand 15. The base 11 is fixed to the housing 7, and the base 11 is provided with a shaft member (not shown) that can be raised or lowered in the vertical direction. A first arm 12 is provided at the upper end of the shaft member.

また、第１アーム１２は、その基端部が軸部材に取付けられ、軸部材に対して回動可能に構成されている。また、第１アーム１２の先端部には、第２アーム１３の基端部が回動可能に取付けられ、第２アーム１３の先端部には、第３アーム１４が回動可能に取付けられている。更に、第３アーム１４の先端部には、ハンド１５が固定されている。ハンド１５は、第３アーム１４に固定されている基端部から先端部に向かって幅広に形成され、またハンド１５の中間部分から先端部にかけて二股状に分かれている。更にハンド１５の上面には、その上に基板６を載せて挟持するための挟持機構（図示せず）が取付けられ、ハンド１５の上に基板６を載せて保持できるようになっている。   The first arm 12 has a base end attached to a shaft member and is configured to be rotatable with respect to the shaft member. In addition, a proximal end portion of the second arm 13 is rotatably attached to the distal end portion of the first arm 12, and a third arm 14 is rotatably attached to the distal end portion of the second arm 13. Yes. Further, a hand 15 is fixed to the tip of the third arm 14. The hand 15 is formed to be wide from the base end portion fixed to the third arm 14 toward the tip end portion, and is divided into two forks from the intermediate portion to the tip end portion of the hand 15. Further, a clamping mechanism (not shown) for mounting and clamping the substrate 6 thereon is attached to the upper surface of the hand 15 so that the substrate 6 can be mounted on the hand 15 and held.

また、移送ロボット８は、図２に示すように昇降ユニット１６、及び第１乃至第３回動ユニット１７〜１９を備えている。昇降ユニット１６は、基台１１に設けられている。昇降ユニット１６は、軸部材を上下方向に昇降又は伸縮させる機能を有しており、例えばシリンダ機構とポンプとによって構成されている。他方、第１乃至第３回動ユニット１７〜１９は、基台１１、第１アーム１２及び第２アーム１３の中に夫々設けられている。第１乃至第３回動ユニット１７〜１９は、第１アーム１２、第２アーム１３、及び第３アーム１４を夫々回動するように構成されており、例えば、電動機とギヤ機構やベルト機構等の伝達機構とによって構成されている。これら４つのユニット１６〜１９は、制御装置４に接続され、その動作が制御装置４によって制御されている。   Moreover, the transfer robot 8 is provided with the raising / lowering unit 16 and the 1st thru | or 3rd rotation units 17-19 as shown in FIG. The elevating unit 16 is provided on the base 11. The elevating unit 16 has a function of moving the shaft member up and down in a vertical direction or extending and contracting, and is constituted by, for example, a cylinder mechanism and a pump. On the other hand, the first to third rotating units 17 to 19 are provided in the base 11, the first arm 12, and the second arm 13, respectively. The 1st thru | or 3rd rotation units 17-19 are comprised so that the 1st arm 12, the 2nd arm 13, and the 3rd arm 14 may each rotate, for example, an electric motor, a gear mechanism, a belt mechanism, etc. And a transmission mechanism. These four units 16 to 19 are connected to the control device 4, and their operations are controlled by the control device 4.

このような構成を有する移送ロボット８は、昇降ユニット１６により軸部材を上下に動かすことでハンド１５を昇降させ、また第１乃至第３回動ユニット１７〜１９により３つのアーム１２，１３，１４を回動させることでハンド１５を任意の位置に移動させることができる。これらの動きを組み合わせることで、移送ロボット８は、フープ９内にある基板６をハンド１５上に保持し、そして基板６をプロセスモジュール３へと移送することができる。このように基板６が移送されてくるプロセスモジュール３は、フロントエンドモジュール２の他方側の側面部（図１の右側面部）に設けられている。   In the transfer robot 8 having such a configuration, the hand 15 is moved up and down by moving the shaft member up and down by the lifting unit 16, and the three arms 12, 13, 14 by the first to third rotating units 17 to 19. The hand 15 can be moved to an arbitrary position by rotating. By combining these movements, the transfer robot 8 can hold the substrate 6 in the hoop 9 on the hand 15 and transfer the substrate 6 to the process module 3. The process module 3 to which the substrate 6 is thus transferred is provided on the other side surface portion (the right side surface portion in FIG. 1) of the front end module 2.

［プロセスモジュール］
プロセスモジュール３は、ロードロックチャンバ２１と、ロボットチャンバ２２と、プロセスチャンバ２３とを備えている。ロードロックチャンバ２１は、ロードロック室２４を形成する真空チャンバであり、フロントエンドモジュール２内に設けられている。フロントエンドモジュール２とロードロックチャンバ２１との間には、第１ゲート７１が設けられており、この第１ゲート７１を介してフロントエンドモジュール２内とロードロック室２４とが繋がるようになっている。ロードロック室２４は、移送ロボット８のハンド１５が第１ゲート７１を通ってその中程まで進行できるようになっており、その中程には、基板搬送中継装置２５が設けられている。基板搬送中継装置２５は、基板６を中継するための装置であり、複数の基板６を載せて支持できるように構成されている。以下では、基板搬送中継装置２５の具体的な構成について説明する。 [Process module]
The process module 3 includes a load lock chamber 21, a robot chamber 22, and a process chamber 23. The load lock chamber 21 is a vacuum chamber that forms the load lock chamber 24, and is provided in the front end module 2. A first gate 71 is provided between the front end module 2 and the load lock chamber 21, and the inside of the front end module 2 and the load lock chamber 24 are connected via the first gate 71. Yes. In the load lock chamber 24, the hand 15 of the transfer robot 8 can travel to the middle through the first gate 71, and a substrate transfer relay device 25 is provided in the middle. The substrate transfer relay device 25 is a device for relaying the substrate 6 and is configured to support a plurality of substrates 6 mounted thereon. Below, the specific structure of the board | substrate conveyance relay apparatus 25 is demonstrated.

基板搬送中継装置２５は、図３及び図４に示すように、台枠２６と、昇降駆動ユニット２７と、２つの支持体２８，２９とを備えている。台枠２６は、大略直方体状に形成されており、そこには昇降駆動ユニット２７の構成の少なくとも一部が設けられている。昇降駆動ユニット２７は、昇降用シリンダ機構３０と、昇降板３１と、第１昇降機構３２と、連動機構３３と、第２昇降機構３４と、圧力供給源４５とを有している。   As shown in FIGS. 3 and 4, the board transfer relay device 25 includes a base frame 26, an elevating drive unit 27, and two supports 28 and 29. The underframe 26 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape, and at least a part of the configuration of the elevating drive unit 27 is provided there. The lift drive unit 27 includes a lift cylinder mechanism 30, a lift plate 31, a first lift mechanism 32, an interlock mechanism 33, a second lift mechanism 34, and a pressure supply source 45.

昇降用シリンダ機構３０は、シリンダ３０ａとロッド３０ｂとを有している。シリンダ３０ａは、台枠２６に固定されており、ロッド３０ｂは、シリンダ３０ａに進退可能に設けられている。また、シリンダ３０ａは、台枠２６外に設けられたポンプ等の圧力供給源４５に接続されており、圧力供給源４５からの圧力供給を受けることによりロッド３０ｂが上下方向に伸縮するようになっている。このロッド３０ｂの先端部には、昇降板３１が固定されている。   The elevating cylinder mechanism 30 includes a cylinder 30a and a rod 30b. The cylinder 30a is fixed to the frame 26, and the rod 30b is provided in the cylinder 30a so as to be able to advance and retreat. The cylinder 30a is connected to a pressure supply source 45 such as a pump provided outside the frame 26, and the rod 30b expands and contracts in the vertical direction by receiving pressure supply from the pressure supply source 45. ing. A lifting plate 31 is fixed to the tip of the rod 30b.

昇降板３１は、台枠２６の長手方向（図３の左右方向）に延在する平板であり、ロッド３０ｂに連動して昇降するようになっている。昇降板３１には、昇降案内機構３５が取付けられている。昇降案内機構３５は、台枠２６に固定されているスライド機構であり、昇降する昇降板３１を上下方向に案内する機能を有している。また、昇降板３１の長手方向両端部には、第１昇降機構３２が夫々設けられている。即ち、昇降板３１には、一対の第１昇降機構３２が設けられている。なお、一対の第１昇降機構３２は、互いが回転対称となる位置に夫々設けられており、以下では、図４の右側に配置されている第１昇降機構３２の構成についてだけ説明し、左側に配置されている第１昇降機構３２の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。   The elevating plate 31 is a flat plate extending in the longitudinal direction of the underframe 26 (left and right direction in FIG. 3), and is moved up and down in conjunction with the rod 30b. A lift guide mechanism 35 is attached to the lift plate 31. The elevation guide mechanism 35 is a slide mechanism fixed to the frame 26 and has a function of guiding the elevation plate 31 that moves up and down in the vertical direction. Moreover, the 1st raising / lowering mechanism 32 is provided in the longitudinal direction both ends of the raising / lowering board 31, respectively. That is, the lift plate 31 is provided with a pair of first lift mechanisms 32. In addition, a pair of 1st raising / lowering mechanism 32 is each provided in the position where mutually becomes rotational symmetry, Below, only the structure of the 1st raising / lowering mechanism 32 arrange | positioned at the right side of FIG. About the structure of the 1st raising / lowering mechanism 32 arrange | positioned in this, the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted.

第１昇降機構３２は、第１昇降可動部３６と、第１スライド機構３７とを有している。第１昇降可動部３６は、右側面視でＬ字状に形成された板状部材であり、昇降板３１に立設されている。立設する第１昇降可動部３６は、昇降板３１から上方に延在する第１延在部３６ａとその上側部分から前方へと屈曲している第１屈曲部３６ｂとを有しており、この第１屈曲部３６ｂには、第１スライド機構３７が設けられている。   The first elevating mechanism 32 includes a first elevating movable part 36 and a first slide mechanism 37. The first elevating movable part 36 is a plate-like member formed in an L shape when viewed from the right side, and is erected on the elevating board 31. The first elevating movable part 36 that is erected has a first extending part 36a that extends upward from the elevating plate 31 and a first bent part 36b that is bent forward from its upper part. A first slide mechanism 37 is provided in the first bent portion 36b.

第１スライド機構３７は、ガイドレール３７ａとスライド部３７ｂとを有している。ガイドレール３７ａは、上下方向に延在するように台枠２６の上部に立設されており、ガイドレール３７ａには、スライド部３７ｂが設けられている。スライド部３７ｂは、大略直方体状になっており、ガイドレール３７ａに沿って上下方向移動するようになっている。第１昇降可動部３６は、このスライド部３７ｂに固定されており、第１スライド機構３７によって上下方向に案内されている。また、第１昇降可動部３６の第１延在部３６ａには、図３に示す第１支持体２８が設けられている。   The first slide mechanism 37 has a guide rail 37a and a slide portion 37b. The guide rail 37a is erected on the upper part of the frame 26 so as to extend in the vertical direction, and a slide portion 37b is provided on the guide rail 37a. The slide portion 37b has a substantially rectangular parallelepiped shape and moves in the vertical direction along the guide rail 37a. The first raising / lowering movable part 36 is fixed to the slide part 37 b and is guided in the vertical direction by the first slide mechanism 37. A first support 28 shown in FIG. 3 is provided on the first extending portion 36 a of the first elevating movable portion 36.

第１支持体２８は、２つの第１支持部３８，３９を有している。２つの第１支持部３８，３９は、平面視で大略円弧状に形成されており、その両端部には、爪部３８ａ，３９ａが夫々設けられている。爪状の部材である爪部３８ａ、３９ａは、両端部に設けられて対を成しており、第１支持部３８，３９は、この一対の爪部３８ａによって基板６の外縁部を支持できるように構成されている。これら２つの第１支持部３９は、平面視で互いに重なるように、且つ上下方向に間隔をあけて配置されており、その間隔は、ハンド１５及び後述するブレード５５，５６を挿入することができる程度になっている。   The first support 28 has two first support portions 38 and 39. The two first support portions 38 and 39 are formed in a substantially arc shape in plan view, and claw portions 38a and 39a are provided at both ends thereof, respectively. Claw portions 38a and 39a, which are claw-shaped members, are provided at both ends to form a pair, and the first support portions 38 and 39 can support the outer edge portion of the substrate 6 by the pair of claw portions 38a. It is configured as follows. These two first support portions 39 are arranged so as to overlap each other in plan view and spaced apart in the vertical direction, and the hand 15 and blades 55 and 56 described later can be inserted into the spacing. It is about.

第１支持体２８は、左右両側の第１昇降可動部３６に設けられて対を成しており、この一対の第１支持体２８は、互いに対向し、左右に離れるように位置している。これにより、２つの第１支持部３８、３９がその間に空間を挟んで配置されて対を成し、一対の第１支持部３８，３９によって基板６の外縁部の回転対称な位置を夫々支持し、第１支持体２８により２枚の基板６を同時に支持することができる。   The first support bodies 28 are provided on the first elevating movable parts 36 on both the left and right sides to form a pair, and the pair of first support bodies 28 face each other and are positioned so as to be separated from each other in the left and right directions. . Thus, the two first support portions 38 and 39 are arranged with a space between them to form a pair, and the pair of first support portions 38 and 39 respectively support the rotationally symmetric positions of the outer edge portions of the substrate 6. In addition, the two substrates 6 can be simultaneously supported by the first support 28.

このように構成される一対の第１支持体２８は、左右両側の第１昇降可動部３６に固定されており、一対の第１昇降可動部３６は、昇降板３１と一緒に動くようになっている。それ故、一対の第１支持体２８は、昇降用シリンダ機構３０を動かすことで互いに連動して昇降し、基板６を平行な状態に保ったまま昇降することができるように構成されている。このように構成される第１昇降機構３２の昇降動作に連動して第２昇降機構３４を動かすために、第１昇降可動部３６には連動機構３３が設けられている。   The pair of first support bodies 28 configured in this way are fixed to the first elevating movable parts 36 on both the left and right sides, and the pair of first elevating movable parts 36 move together with the elevating plate 31. ing. Therefore, the pair of first supports 28 are configured to move up and down in conjunction with each other by moving the lifting cylinder mechanism 30 and to move up and down while keeping the substrate 6 in a parallel state. In order to move the second elevating mechanism 34 in conjunction with the elevating operation of the first elevating mechanism 32 configured as described above, the first elevating movable part 36 is provided with an interlocking mechanism 33.

連動機構３３は、いわゆるラックアンドピニオン機構によって構成されており、図４に示すように２つのラック部材３３ａ，３３ｂとピニオン部材３３ｃとを有している。第１ラック部材３３ａは、第１昇降可動部３６の背面側に設けられており、ピニオン部材３３ｃに噛合している。ピニオン部材３３ｃは、台枠２６に設けられている取付け台４０に回動可能に取付けられており、第１ラック部材３３ａが昇降することでピニオン部材３３ｃが回動するようになっている。また、ピニオン部材３３ｃには、第２ラック部材３３ｂが噛合している。第２ラック部材３３ｂは、ピニオン部材３３ｃを挟んで第１ラック部材３３ａと反対側（即ち、後側）に位置しており、ピニオン部材３３ｃが回動すると第１ラック部材３３ａと反対方向に移動するように構成されている。即ち、第２ラック部材３３ｂは、第１ラック部材３３ａが下降すると上昇し、第１ラック部材３３ａが上昇すると下降するように構成されている。このように構成される第２ラック部材３３ｂは、第２昇降機構３４に一体的に設けられている。   The interlocking mechanism 33 is configured by a so-called rack and pinion mechanism, and has two rack members 33a and 33b and a pinion member 33c as shown in FIG. The 1st rack member 33a is provided in the back side of the 1st raising / lowering movable part 36, and has meshed | engaged with the pinion member 33c. The pinion member 33c is rotatably attached to a mounting base 40 provided on the underframe 26, and the pinion member 33c is rotated as the first rack member 33a moves up and down. Further, the second rack member 33b meshes with the pinion member 33c. The second rack member 33b is located on the opposite side (that is, the rear side) of the first rack member 33a with the pinion member 33c interposed therebetween, and moves in the opposite direction to the first rack member 33a when the pinion member 33c rotates. Is configured to do. That is, the second rack member 33b is configured to be raised when the first rack member 33a is lowered, and to be lowered when the first rack member 33a is raised. The second rack member 33 b configured as described above is provided integrally with the second lifting mechanism 34.

第２昇降機構３４は、第２昇降可動部４１と、第２スライド機構４２とを有している。第２昇降可動部４１は、右側面視でＬ字状に形成された板状部材であり、上下方向に延在する第２延在部４１ａと、その上側部分から前方へと屈曲している第２屈曲部４１ｂとを有している。第２延在部４１ａは、第１昇降可動部３６の延在部３６ａに並設されており、この延在部３６ａの方に向いている前面部の下端側に第２ラック部材３３ｂが一体的に設けられている。第２屈曲部４１ｂには、延在部３６ａに繋がる根元の部分に第２スライド機構４２が設けられている。   The second lifting mechanism 34 has a second lifting movable part 41 and a second slide mechanism 42. The second raising / lowering movable portion 41 is a plate-like member formed in an L shape when viewed from the right side, and is bent forward from a second extending portion 41a extending in the vertical direction and an upper portion thereof. And a second bent portion 41b. The second extending portion 41a is arranged in parallel with the extending portion 36a of the first elevating movable portion 36, and the second rack member 33b is integrally formed on the lower end side of the front portion facing the extending portion 36a. Provided. The second bending portion 41b is provided with a second slide mechanism 42 at a base portion connected to the extending portion 36a.

第２スライド機構４２は、第１スライド機構３７と同様に、ガイドレール４２ａとスライド部４２ｂとを有している。ガイドレール４２ａは、上下方向に延在するように台枠２６の上部に立設されており、このガイドレール４２ａには、それに沿って移動可能にスライド部４２ｂが設けられている。このスライド部４２ｂは、第２屈曲部４１ｂの根元の部分に固定されている。また、第２屈曲部４１ｂの先端部は、第１スライド機構３７のガイドレール３７ａまで延在しており、スライド部３７ｃが固定されている。このスライド部３７ｃは、第１スライド機構３７のガイドレール３７ａに沿って昇降可能に設けられている。このように第２昇降可動部４１は、第１及び第２スライド機構３７，４２によって昇降可能に案内されており、その第２屈曲部４１ｂの中間部分には、第２支持体２９が設けられている。   Similar to the first slide mechanism 37, the second slide mechanism 42 has a guide rail 42a and a slide portion 42b. The guide rail 42a is erected on the upper portion of the frame 26 so as to extend in the vertical direction, and the guide rail 42a is provided with a slide portion 42b movably along the guide rail 42a. The slide portion 42b is fixed to the base portion of the second bent portion 41b. Further, the distal end portion of the second bent portion 41b extends to the guide rail 37a of the first slide mechanism 37, and the slide portion 37c is fixed. The slide portion 37 c is provided so as to be movable up and down along the guide rail 37 a of the first slide mechanism 37. As described above, the second elevating movable portion 41 is guided by the first and second slide mechanisms 37 and 42 so as to be movable up and down, and the second support 29 is provided at an intermediate portion of the second bent portion 41b. ing.

第２支持体２９は、２つの第２支持部４３，４４を有している。第２支持部４３，４４は、平面視で大略円弧状に形成されており、その両端部には、爪部４３ａ，４４ａが夫々設けられている。爪状の部材である爪部４３ａ，４４ａは、両端部に設けられて対を成しており、第２支持部４３，４４は、この一対の爪部４３ａ，４４ａによって基板６の外縁部を支持できるように構成されている。これら第２支持部４３，４４は、平面視で互いに重なるように、且つ上下方向に間隔をあけて位置しており、その間隔は、ハンド１５及び後述するブレード５５，５６を挿入することができる程度になっている。   The second support 29 has two second support portions 43 and 44. The 2nd support parts 43 and 44 are formed in the shape of an abbreviated arc by plane view, and claw parts 43a and 44a are provided in the both ends, respectively. Claw portions 43a and 44a, which are claw-shaped members, are provided at both ends to form a pair, and the second support portions 43 and 44 support the outer edge portion of the substrate 6 by the pair of claw portions 43a and 44a. It is configured so that it can be supported. These second support portions 43 and 44 are positioned so as to overlap each other in a plan view and with a space in the vertical direction, and the hand 15 and blades 55 and 56 described later can be inserted in the space. It is about.

第２支持体２９は、左右両側の第２昇降可動部４１に設けられて対を成しており、この一対の第２支持体２９は、互いに対向し、左右に離れるように位置している。これにより、２つの支持部４３、４４がその間に空間を挟んで配置されて対を成し、一対の第２支持部４３，４４によって基板６の外縁部の回転対称な位置を夫々支持し、第２支持体２９により２枚の基板６を同時に支持することができる。   The second support bodies 29 are provided on the second elevating movable parts 41 on both the left and right sides to form a pair, and the pair of second support bodies 29 face each other and are positioned so as to be separated from the left and right. . Thereby, two support parts 43 and 44 are arranged with a space between them to form a pair, and the pair of second support parts 43 and 44 support the rotationally symmetric positions of the outer edge parts of the substrate 6 respectively. The two substrates 6 can be simultaneously supported by the second support 29.

このように構成される一対の第２支持体２９は、左右両側の第２昇降可動部４１に固定されており、第２昇降可動部４１は、第１昇降可動部３６に連動して動くようになっている。それ故、一対の第２支持体２９は、一対の第１昇降可動部３６が連動するのと同様に、互いが連動して昇降し、基板６を平行な状態に保ったまま昇降することができるようになっている。また、第２昇降可動部４１は、第１昇降可動部３６が動く方向と反対方向に動くようになっているので、一対の第２支持体２９もまた、一対の第１支持体２８が動く方向と反対方向に動かすことができる。例えば、図５に示すように一対の第１支持体２８を下方に移動させると、一対の第２支持体２９を上方に移動させることができる。従って、一対の第１支持体２８と一対の第２支持体２９とは、その上下方向の間隔を上下方向に最も近接する基準間隔とそれよりも上下方向に離された離隔間隔との間で変更することができるように構成されている。   The pair of second support bodies 29 configured as described above are fixed to the second elevating movable part 41 on both the left and right sides, and the second elevating movable part 41 moves in conjunction with the first elevating movable part 36. It has become. Therefore, the pair of second support bodies 29 can be moved up and down in conjunction with each other in the same manner as the pair of first up-and-down moving parts 36 in conjunction with each other, and can be moved up and down while keeping the substrate 6 in a parallel state. It can be done. Moreover, since the 2nd raising / lowering movable part 41 moves to the direction opposite to the direction to which the 1st raising / lowering movable part 36 moves, a pair of 2nd support body 29 also moves a pair of 1st support body 28. It can be moved in the opposite direction. For example, as shown in FIG. 5, when the pair of first support bodies 28 are moved downward, the pair of second support bodies 29 can be moved upward. Therefore, the pair of first support bodies 28 and the pair of second support bodies 29 have a vertical interval between a reference interval that is closest in the vertical direction and a separation interval that is separated in the vertical direction. It is configured so that it can be changed.

このように構成される基板搬送中継装置２５は、圧力供給源４５を駆動して昇降用シリンダ機構３０に空圧を供給することによって、第１及び第２支持体２８，２９を反対方向に夫々上昇及び下降させるようになっている。この圧力供給源４５を含む昇降駆動ユニット２７は、制御装置４に接続され、その動作（具体的には、圧力供給源４５の供給動作）が制御装置４によって制御されている。   The substrate transfer relay device 25 configured as described above drives the pressure supply source 45 to supply pneumatic pressure to the lifting cylinder mechanism 30, thereby moving the first and second supports 28 and 29 in the opposite directions, respectively. Ascend and descend. The lifting drive unit 27 including the pressure supply source 45 is connected to the control device 4, and its operation (specifically, the supply operation of the pressure supply source 45) is controlled by the control device 4.

更に、基板搬送中継装置２５は、図２，３及び５に示すように４つのレーザセンサ４６〜４９を有している。４つのレーザセンサ４６〜４９は、第１及び第２支持部３８，３９，４３，４４に対応させて夫々設けられている。第１〜第４レーザセンサ４６〜４９の各々は、対応する支持部３８，３９，４３，４４の中間部分に設けられている。レーザセンサ４６〜４９は、いわゆる透過型又は反射型のレーザセンサであり、各支持部３８，３９に基板６が載置されているか否かを検知する機能を有している。レーザセンサ４６〜４９は、制御装置４に接続され、検知結果を制御装置４に送信するようになっている。   Furthermore, the board | substrate conveyance relay apparatus 25 has the four laser sensors 46-49, as shown in FIG. The four laser sensors 46 to 49 are provided corresponding to the first and second support portions 38, 39, 43, and 44, respectively. Each of the first to fourth laser sensors 46 to 49 is provided at an intermediate portion of the corresponding support portion 38, 39, 43, 44. The laser sensors 46 to 49 are so-called transmission type or reflection type laser sensors and have a function of detecting whether or not the substrate 6 is placed on each of the support portions 38 and 39. The laser sensors 46 to 49 are connected to the control device 4 and transmit detection results to the control device 4.

このように構成される基板搬送中継装置２５は、図１に示すように第１ゲート７１から入ってロードロックチャンバ２１の中程に位置している。この中程から更に先に進むと、開閉可能な第２ゲート７２が設けられており、この第２ゲート７２の先にロボットチャンバ２２が設けられている。ロボットチャンバ２２は、真空引きされた真空チャンバであり、その中に搬送ロボット５０が収容されている。   The substrate transfer relay device 25 configured as described above enters the first gate 71 and is located in the middle of the load lock chamber 21 as shown in FIG. When further proceeding from the middle, a second gate 72 that can be opened and closed is provided, and the robot chamber 22 is provided beyond the second gate 72. The robot chamber 22 is a vacuum chamber that is evacuated, and the transfer robot 50 is accommodated therein.

搬送ロボット５０は、基台５１と、２つのハンド５２，５３とを備えている。基台５１は、ロボットチャンバ２２に回動可能に取付けられており、そこには、２つのハンド５２，５３が設けられている。第１及び第２ハンド５２，５３は、同じ構成を有している。以下では、第１ハンド５２の構成についてだけし、第２ハンド５３の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。   The transfer robot 50 includes a base 51 and two hands 52 and 53. The base 51 is rotatably attached to the robot chamber 22, and two hands 52 and 53 are provided there. The first and second hands 52 and 53 have the same configuration. Hereinafter, only the configuration of the first hand 52 will be described, and the configuration of the second hand 53 will be denoted by the same reference numerals and description thereof will be omitted.

第１ハンド５２は、ハンド本体５４と、２つのブレード５５，５６とを有している。ハンド本体５４は、平面視で大略平板形状になっており、基台５１に対して進退可能に構成されている。ハンド本体５４は、進退することで基台５１から少なくとも一部が突出する受渡し位置と平面視で基台５１と重なるように引っ込められた回動位置との間を移動することができるように構成されている。更に詳細に説明すると、ハンド本体５４は、例えば、その基端部が図示しないスライダ機構を介して基台５１に取り付けられており、このスライダ機構によって進退するように構成されている。また、ハンド本体５４の先端部には、２つのブレード５５，５６が一体的に取付けられている。   The first hand 52 has a hand main body 54 and two blades 55 and 56. The hand main body 54 has a substantially flat plate shape in plan view, and is configured to be able to advance and retreat with respect to the base 51. The hand main body 54 is configured to be able to move between a delivery position where at least a part protrudes from the base 51 by advancing and retreating and a rotational position retracted so as to overlap the base 51 in plan view. Has been. More specifically, the hand main body 54 has a base end portion attached to the base 51 via a slider mechanism (not shown), for example, and is configured to advance and retreat by the slider mechanism. In addition, two blades 55 and 56 are integrally attached to the distal end portion of the hand main body 54.

２つのブレード５５，５６は、図６に示すようにハンド本体５４の進行方向と同じ方向に延在しており、その中間部分から先端部にかけて二股状に分かれて平面視で大略Ｕ字状を有している。なお、図６は、説明の便宜上、第１及び第２ハンド５２，５３のハンド本体５４から先の部分だけを示している。２つのブレード５５，５６は、上下方向に間隔を空け、且つ互いに平面視で重なるようにしてハンド本体５４に取付けられている。また、２つのブレード５５，５６は、それらの間に少なくとも基板６が挿入できる程度に上下方向に間隔をあけて位置している。なお、ブレード５５，５６の間隔は、２つの第１支持部３８，３９の間隔、及び２つの第２支持部４３，４４と等しいことが好ましい。また、２つのブレード５５，５６は、その上に基板６を夫々載置しできるように構成されており、それらの上面には、載置した基板６を挟持して保持する図示しない保持機構が取付けられている。このようにして構成されている第１ハンド５２は、２つのブレード５５，５６上に基板６を同時に載置することができ、同時に２枚の基板６を保持することができる。   As shown in FIG. 6, the two blades 55 and 56 extend in the same direction as the advancing direction of the hand main body 54. The two blades 55 and 56 are bifurcated from the intermediate portion to the tip portion, and are generally U-shaped in plan view. Have. Note that FIG. 6 shows only the portion of the first and second hands 52 and 53 beyond the hand main body 54 for convenience of explanation. The two blades 55 and 56 are attached to the hand main body 54 so as to be spaced apart in the vertical direction and overlap each other in plan view. Further, the two blades 55 and 56 are positioned at an interval in the vertical direction so that at least the substrate 6 can be inserted between them. The distance between the blades 55 and 56 is preferably equal to the distance between the two first support portions 38 and 39 and the two second support portions 43 and 44. The two blades 55 and 56 are configured so that the substrate 6 can be placed thereon, respectively, and a holding mechanism (not shown) that holds and holds the placed substrate 6 on the upper surface thereof. Installed. The first hand 52 configured as described above can place the substrate 6 on the two blades 55 and 56 at the same time, and can hold the two substrates 6 at the same time.

他方、第２ハンド５３は、第１ハンド５２と平面視で重なるようにしてその下方に位置しており、第１ハンド５２との間に第２ハンド５３の上側のブレード５５に基板６が挿入できる程度の間隔を少なくとも有するようにして基台５１に取付けられている。このようにして取付けられた第２ハンド５３は、第１ハンド５２と同じ方向に且つ互いに独立して進退するように構成されている。また、搬送ロボット５０には、図２に示すように、回動ユニット５７、第１進退ユニット５８、第２進退ユニット５９及び昇降ユニット６０を備えており、これらのユニット５７〜６０によって第１及び第２ハンド５２，５３を回動、進退及び昇降させるように構成されている。以下では、各ユニットの動作について説明する。   On the other hand, the second hand 53 is positioned below the first hand 52 so as to overlap with the first hand 52, and the substrate 6 is inserted between the first hand 52 and the blade 55 on the upper side of the second hand 53. It is attached to the base 51 so as to have at least a possible gap. The second hand 53 attached in this way is configured to advance and retract in the same direction as the first hand 52 and independently of each other. Further, as shown in FIG. 2, the transport robot 50 includes a rotation unit 57, a first advance / retreat unit 58, a second advance / retreat unit 59, and an elevating / lowering unit 60. The second hands 52 and 53 are configured to rotate, advance and retract, and move up and down. Below, operation | movement of each unit is demonstrated.

回動ユニット５７は、ロボットチャンバ２２に設けられている。回動ユニット５７は、いわゆる電動機であり、基台５１を回動駆動する機能を有している。また、第１及び第２進退ユニット５８，５９は、基台５１に設けられている。第１進退ユニット５８は、第１ハンド５２を進退させる機能を有しており、第２進退ユニット５９は、第２ハンド５３を進退させる機能を有している。第１及び第２進退ユニット５８，５９は、例えば電動機と、ベルト等の動力伝達機構と、前述するスライド機構とによって構成されている。また、昇降ユニット６０は、基台５１に設けられている。昇降ユニット６０は、例えばシリンダ機構及び圧力供給源によって構成され、第１及び第２ハンド５２，５３を昇降させる機能を有している。これら４つのユニット５７〜６０は、制御装置４に接続され、その動作が制御装置４によって制御されている。   The rotation unit 57 is provided in the robot chamber 22. The rotation unit 57 is a so-called electric motor, and has a function of driving the base 51 to rotate. The first and second advance / retreat units 58 and 59 are provided on the base 51. The first advance / retreat unit 58 has a function of moving the first hand 52 forward and backward, and the second advance / retreat unit 59 has a function of moving the second hand 53 forward and backward. The first and second advancing / retracting units 58 and 59 are configured by, for example, an electric motor, a power transmission mechanism such as a belt, and the above-described slide mechanism. The elevating unit 60 is provided on the base 51. The elevating unit 60 is constituted by, for example, a cylinder mechanism and a pressure supply source, and has a function of elevating the first and second hands 52 and 53. These four units 57 to 60 are connected to the control device 4, and their operations are controlled by the control device 4.

このように構成される搬送ロボット５０は、回動ユニット５７により基台５１を回動させることで第１及び第２ハンド５２，５３の進退可能な方向（即ち、向き）を変更し、第１及び第２進退ユニット５８，５９により第１及び第２ハンド５２，５３を進退させることができる。これらの動きを組み合わせることで、第１及び第２ハンド５２，５３を基板搬送中継装置２５がある待機位置まで移動させて基板搬送中継装置２５で支持されている基板６を受取り、受取った基板６をロボットチャンバ２２の周りに設けられている複数のプロセスチャンバ２３内に搬送することができる。   The transfer robot 50 configured as described above changes the direction (that is, the direction) in which the first and second hands 52 and 53 can move forward and backward by rotating the base 51 by the rotation unit 57, and the first The first and second hands 52 and 53 can be advanced and retracted by the second advance / retreat units 58 and 59. By combining these movements, the first and second hands 52 and 53 are moved to a standby position where the substrate transfer relay device 25 is located, and the substrate 6 supported by the substrate transfer relay device 25 is received. Can be transferred into a plurality of process chambers 23 provided around the robot chamber 22.

プロセスチャンバ２３は、真空引きされたチャンバであり、その中に基板６を載置して前述する様々なプロセス処理を施すための装置を備えている。プロセスチャンバ２３は、ロボットチャンバ２２に外周部に設けられており、基台５１の回動中心Ｌ１に対して放射状に位置している。本実施形態では、プロセスモジュール３は、４つのプロセスチャンバ２３を有しており、基板搬送中継装置２５に対して基台５１の回動方向一方及び他方側に夫々２つずつ設けられている。   The process chamber 23 is a vacuum-evacuated chamber, and includes an apparatus for placing the substrate 6 in the chamber and performing various processes described above. The process chamber 23 is provided on the outer peripheral portion of the robot chamber 22, and is located radially with respect to the rotation center L <b> 1 of the base 51. In the present embodiment, the process module 3 has four process chambers 23, and two process chambers 23 are provided on one side and the other side of the base 51 in the rotation direction of the base 51.

本実施形態において、第１及び第２ハンド５２，５３のブレード５５，５６は、この回動方向一方及び他方側に夫々設けられているプロセスチャンバ２３の数及び基板搬送中継装置２５の各支持体２８，２９が有する支持部３８，３９、４３，４４の数に対応させて設けられている。即ち、回動方向一方及び他方側に夫々設けられているプロセスチャンバ２３の数が２つであり、また各支持体２８，２９が有する支持部の数が３つであるため、ブレード５５，５６の数も２つとなっている。なお、４つのプロセスチャンバ２３は、基板搬送中継装置２５に対して回動方向一方側にある２つのプロセスチャンバ２３が第１及び第２プロセスチャンバ２３Ａ、２３Ｂであり、その２つのうち基板搬送中継装置２５に近い方が第１プロセスチャンバ２３Ａである。他方、基板搬送中継装置２５に対して回動方向他方側にある２つのプロセスチャンバ２３が第３及び第４プロセスチャンバ２３Ｃ、２３Ｄであり、その２つのうち基板搬送中継装置２５に近い方が第３プロセスチャンバ２３Ｃである。   In the present embodiment, the blades 55 and 56 of the first and second hands 52 and 53 are provided with the number of process chambers 23 provided on one side and the other side in the rotation direction, respectively, and each support body of the substrate transport relay device 25. 28 and 29 are provided corresponding to the number of support portions 38, 39, 43 and 44. That is, since the number of process chambers 23 provided on one side and the other side in the rotation direction is two, and the number of support portions included in each support 28 and 29 is three, the blades 55 and 56 are provided. The number of is also two. The four process chambers 23 are the first and second process chambers 23A and 23B, one of the two process chambers 23 on one side of the rotation direction with respect to the substrate transfer relay device 25, and the substrate transfer relay of the two. The one closer to the apparatus 25 is the first process chamber 23A. On the other hand, the two process chambers 23 on the other side in the rotation direction with respect to the substrate transfer relay device 25 are the third and fourth process chambers 23C and 23D, and the one closer to the substrate transfer relay device 25 is the second one. 3 process chamber 23C.

また、プロセスチャンバ２３は、第３ゲート７３を介してロボットチャンバ２２に設けられており、第３ゲート７３を開くことでプロセスチャンバ２３内とロボットチャンバ２２内とが繋がり、閉じることでプロセスチャンバ２３内とロボットチャンバ２２内とが遮断されるようになっている。この第３ゲート７３は、基台５１の回動中心Ｌ１を向いており、第１及び第２ハンド５２，５３の上に基板６を載せたままそれらを通すことができるように構成されている。それ故、基台５１を回動させて第１及び第２ハンド５２，５３の進行方向を第３ゲート７３の開口面に合わせ、第１及び第２ハンド５２，５３を前進させることで、その上にある基板６を搬送位置にあるプロセスチャンバ２３内の載置台（図示せず）に搬送し、プロセスチャンバ２３内の載置台上の基板をその上に載せることができる。また載せた後、ハンド本体５４を後退させることでプロセスチャンバ２３外へと基板６を搬出することができる。   The process chamber 23 is provided in the robot chamber 22 via a third gate 73. The process chamber 23 and the robot chamber 22 are connected by opening the third gate 73, and the process chamber 23 is closed by closing. The inside and the robot chamber 22 are cut off. The third gate 73 faces the rotation center L1 of the base 51, and is configured so that the substrate 6 can be passed through the first and second hands 52, 53 while being placed thereon. . Therefore, by rotating the base 51 so that the traveling direction of the first and second hands 52 and 53 is aligned with the opening surface of the third gate 73, the first and second hands 52 and 53 are moved forward. The substrate 6 on the top can be transferred to a mounting table (not shown) in the process chamber 23 at the transfer position, and the substrate on the mounting table in the process chamber 23 can be mounted thereon. After the placement, the substrate 6 can be carried out of the process chamber 23 by retracting the hand main body 54.

［制御装置］
このように構成される基板処理システム１は、制御装置４を備えており、この制御装置４によって各ロボット８，５０及び装置２５の動きが制御されている。制御装置４は、記憶部６２と、制御部６３と、移送ロボット駆動部６４と、中継装置駆動部６５と、搬送ロボット駆動部６６とを有している。記憶部６２は、プログラムや様々な情報を記憶する機能を有しており、制御部６３と接続されている。制御部６３は、第１乃至第４レーザセンサ４６〜４９に接続されており、何れの支持部３８，３９，４３，４４にて基板６が支持されているかを判定し、その結果を記憶部６２に記憶させる機能も有している。また、制御部６３は、移送ロボット駆動部６４と、中継装置駆動部６５と、搬送ロボット駆動部６６と、ゲート駆動部６７とに接続されており、記憶部６２に記憶されるプログラムに基づいて前記駆動部６４〜６７の動作を制御する機能を有している。 [Control device]
The substrate processing system 1 configured as described above includes a control device 4, and the movements of the robots 8 and 50 and the device 25 are controlled by the control device 4. The control device 4 includes a storage unit 62, a control unit 63, a transfer robot drive unit 64, a relay device drive unit 65, and a transfer robot drive unit 66. The storage unit 62 has a function of storing programs and various information, and is connected to the control unit 63. The control unit 63 is connected to the first to fourth laser sensors 46 to 49, determines which support unit 38, 39, 43, 44 supports the substrate 6, and stores the result as a storage unit 62 also has a function of storing in 62. The control unit 63 is connected to the transfer robot drive unit 64, the relay device drive unit 65, the transfer robot drive unit 66, and the gate drive unit 67, and is based on a program stored in the storage unit 62. It has a function of controlling the operation of the drive units 64 to 67.

移送ロボット駆動部６４は、移送ロボット８の昇降ユニット１６に接続されており、昇降ユニット１６を駆動してハンド１５を昇降する機能を有している。また、移送ロボット駆動部６４は、移送ロボット８の第１乃至第３回動ユニット１７〜１９にも接続されており、第１乃至第３回動ユニット１７〜１９を駆動して移送ロボット８のアーム１２〜１４を回動させる機能を有している。   The transfer robot drive unit 64 is connected to the lifting unit 16 of the transfer robot 8 and has a function of driving the lifting unit 16 to raise and lower the hand 15. The transfer robot drive unit 64 is also connected to the first to third rotation units 17 to 19 of the transfer robot 8, and drives the first to third rotation units 17 to 19 to drive the transfer robot 8. It has a function of rotating the arms 12-14.

中継装置駆動部６５は、基板搬送中継装置２５の昇降駆動ユニット２７に接続されており、昇降駆動ユニット２７を駆動して支持部３８，３９，４３，４４を昇降する機能を有している。また、搬送ロボット駆動部６６は、搬送ロボット５０の回動ユニット５７と、第１進退ユニット５８と、第２進退ユニット５９と、昇降ユニット６０とに接続されている。搬送ロボット駆動部６６は、回動ユニット５７により第１及び第２ハンド５２，５３の向きを変え、第１及び第２進退ユニット５８，５９により第１及び第２ハンド５２，５３を夫々独立して進退させ、更に昇降ユニット６０によりハンド本体５４を昇降させる機能を有している。   The relay device drive unit 65 is connected to the lift drive unit 27 of the substrate transport relay device 25 and has a function of driving the lift drive unit 27 to move the support portions 38, 39, 43, 44 up and down. The transfer robot drive unit 66 is connected to the rotation unit 57, the first advance / retreat unit 58, the second advance / retreat unit 59, and the elevating / lowering unit 60 of the transfer robot 50. The transfer robot drive unit 66 changes the direction of the first and second hands 52 and 53 by the rotation unit 57 and makes the first and second hands 52 and 53 independent by the first and second advance / retreat units 58 and 59, respectively. And has a function of moving the hand main body 54 up and down by the lifting unit 60.

更に、制御部６３には、ゲート駆動部６７が接続されており、このゲート駆動部６７は、第１乃至第３ゲート７１〜７３を開閉する開閉ユニット（図示せず）を駆動して前記第１乃至第３ゲート７１〜７３を開閉する機能を有している。基板処理システム１では、このような機能を有する制御装置４が記憶部６２に記憶されるプログラムに基づいて移送ロボット８、基板搬送中継装置２５、及び搬送ロボット５０の動作を制御して、以下のような移送処理及び搬送処理を実行する。以下では、まず移送処理について図１乃至６を参照しながら説明する。   In addition, a gate driving unit 67 is connected to the control unit 63, and the gate driving unit 67 drives an opening / closing unit (not shown) that opens and closes the first to third gates 71 to 73 to drive the first driving unit 67. The first to third gates 71 to 73 have a function of opening and closing. In the substrate processing system 1, the control device 4 having such a function controls the operations of the transfer robot 8, the substrate transfer relay device 25, and the transfer robot 50 on the basis of a program stored in the storage unit 62. Such transfer processing and transfer processing are executed. Hereinafter, the transfer process will be described first with reference to FIGS.

［移送処理］
ハウジング７にフープ９を取り付けて基板処理システム１を稼動させると、プロセスチャンバ２３等の真空引きが終了した後、移送処理が実行される。移送処理では、まず、制御装置４が第1乃至第３回動ユニット１７〜１９の動作を制御して第1乃至第３アーム１２〜１４を回動させてハンド１５をフープ９前まで移動させる。次に、制御装置４は、前記フープ９内の指定された基板６の真下に配置すべく、昇降ユニット１６の動作を制御してハンド１５の高さを調整する。その後、制御装置４は、第1乃至第３アーム１２〜１４を回動させてハンド１５をフープ９内へと挿入し、更に昇降ユニット１６によりハンド１５を上昇させてハンド１５の上に基板６を載せて保持する。保持した後、制御装置４は、第1乃至第３アーム１２〜１４を回動させてハンド１５をフープ９内から抜き出し、第１ゲート７１を開けて昇降ユニット１６によりハンド１５を下降させながら基板搬送中継装置２５まで移動させる。 [Transfer processing]
When the hoop 9 is attached to the housing 7 and the substrate processing system 1 is operated, the transfer process is executed after the evacuation of the process chamber 23 and the like is completed. In the transfer process, first, the control device 4 controls the operation of the first to third rotating units 17 to 19 to rotate the first to third arms 12 to 14 to move the hand 15 to the front of the hoop 9. . Next, the control device 4 adjusts the height of the hand 15 by controlling the operation of the elevating unit 16 so as to be placed immediately below the designated substrate 6 in the hoop 9. Thereafter, the control device 4 rotates the first to third arms 12 to 14 to insert the hand 15 into the hoop 9, and further raises the hand 15 by the elevating unit 16 to place the substrate 6 on the hand 15. Put on and hold. After the holding, the control device 4 rotates the first to third arms 12 to 14 to extract the hand 15 from the inside of the hoop 9, opens the first gate 71, and lowers the hand 15 by the elevating unit 16. Move to the transfer relay device 25.

ハンド１５を基板搬送中継装置２５まで移動させる際、制御装置４は、そのハンド１５が平面視で一対の第２支持部４４，４４の間に位置し、且つハンド１５上の基板６の外周縁部の少なくとも一部分が一対の第２支持部４４，４４の両端部に重なるように第1乃至第３アーム１２〜１４の動きを制御する。更に、ハンド１５の高さは、一対の第２支持部４４，４４よりも若干高い位置になるように配置されている。このようにハンド１５が配置されると、制御装置４は、昇降ユニット１６を動かしてハンド１５を下降させる。これにより、ハンド１５上の基板６が一対の第２支持部４４，４４の上に載せられ、一対の第２支持体２９に基板６が引渡される。   When the hand 15 is moved to the substrate transfer relay device 25, the control device 4 has the hand 15 positioned between the pair of second support portions 44, 44 in plan view and the outer periphery of the substrate 6 on the hand 15. The movements of the first to third arms 12 to 14 are controlled so that at least a part of the portions overlaps both ends of the pair of second support portions 44 and 44. Furthermore, the height of the hand 15 is arranged to be slightly higher than the pair of second support portions 44, 44. When the hand 15 is thus arranged, the control device 4 moves the lifting unit 16 to lower the hand 15. Thereby, the substrate 6 on the hand 15 is placed on the pair of second support portions 44, 44, and the substrate 6 is delivered to the pair of second support bodies 29.

その後、制御装置４は、第1乃至第３アーム１２〜１４を回動させてハンド１５を基板搬送中継装置２５から抜き出す。この際、制御装置４が第１及び第２レーザセンサ４６，４７により第１支持体２８に基板６が載せられていることを検出していると、制御装置４は、第1乃至第３アーム１２〜１４を回動させてハンド１５をその基板６の直下に配置する。配置した後、制御装置４は、昇降ユニット１６を動かしてハンド１５を上昇させて基板６をハンド１５上に載せて受取り、再びハンド１５を基板搬送中継装置２５から抜き出す。抜き出したハンド１５は、処理済の基板６を収容するための別のフープ９の前まで戻され、載せられている基板６を前記フープ９内に収容する。その後も制御装置４は、ハンド１５を動かして別の指定された基板６を前述と同様の方法で一対の第２支持部４３，４３に引渡し、またハンド１５により一対の第１支持体２８上の基板６を受け取る。制御装置４は、このような受渡し作業を繰り返して行うように移送ロボット駆動部６４の動作を制御している。   Thereafter, the control device 4 rotates the first to third arms 12 to 14 and pulls out the hand 15 from the substrate transfer relay device 25. At this time, when the control device 4 detects that the substrate 6 is placed on the first support 28 by the first and second laser sensors 46 and 47, the control device 4 detects the first to third arms. The hands 15 are arranged directly below the substrate 6 by rotating the numerals 12 to 14. After the placement, the control device 4 moves the lifting unit 16 to raise the hand 15 to place and receive the substrate 6 on the hand 15, and then remove the hand 15 from the substrate transfer relay device 25 again. The extracted hand 15 is returned to the front of another hoop 9 for accommodating the processed substrate 6 and the loaded substrate 6 is accommodated in the hoop 9. After that, the control device 4 moves the hand 15 to deliver another designated substrate 6 to the pair of second support portions 43 and 43 in the same manner as described above, and also on the pair of first support bodies 28 by the hand 15. The substrate 6 is received. The control device 4 controls the operation of the transfer robot drive unit 64 so as to repeatedly perform such delivery work.

［搬送処理］
また、制御装置４は、移送ロボット８により基板６を移送する移送処理と並行して図７に記載のフローチャートに示されるような搬送処理を実行している。搬送処理は、移送処理と同様に、プロセスチャンバ２３等の真空引きが終了した後に実行される。搬送処理が開始されてステップＳ１に移行すると、第１の搬送過程が始まり、制御装置４は、まず基台５１を回動させて第１及び第２ハンド５２，５３を基板搬送中継装置２５の方に向けて、第１及び第２ハンド５２，５３を基板搬送中継装置２５内に挿入できるようにする。この状態になると、ステップＳ２へと移行する。 [Transfer processing]
Further, the control device 4 executes a transfer process as shown in the flowchart of FIG. 7 in parallel with the transfer process of transferring the substrate 6 by the transfer robot 8. Similarly to the transfer process, the transfer process is executed after the evacuation of the process chamber 23 and the like is completed. When the transfer process is started and the process proceeds to step S <b> 1, the first transfer process starts, and the control device 4 first rotates the base 51 to move the first and second hands 52 and 53 of the substrate transfer relay device 25. The first and second hands 52 and 53 can be inserted into the board transfer relay device 25 toward the direction. If it will be in this state, it will transfer to Step S2.

ステップＳ２では、第１乃至第４レーザセンサ４６〜４９からの信号に基づいて制御装置４が基板搬送中継装置２５の第１及び第２支持体２８，２９上の基板６の有無を検出し、搬送可能条件を満たすか否かを判定する。ここで搬送可能条件とは、第１支持体２８に基板６が載置されておらず、且つ第２支持体２９に２枚の基板６が載置されていることである。制御装置４は、搬送可能条件を満たしていないと判定すると搬送ロボット５０を待機させ、搬送可能条件を満たすまで判定を繰り返す。搬送可能条件を満たすと判定すると、ステップＳ３へと移行する。   In step S2, the control device 4 detects the presence or absence of the substrate 6 on the first and second supports 28 and 29 of the substrate transfer relay device 25 based on the signals from the first to fourth laser sensors 46 to 49, It is determined whether or not the transportable condition is satisfied. Here, the transportable condition is that the substrate 6 is not placed on the first support 28 and two substrates 6 are placed on the second support 29. If the control device 4 determines that the transferable condition is not satisfied, the control device 4 causes the transfer robot 50 to wait and repeats the determination until the transferable condition is satisfied. If it determines with satisfy | filling conveyance possible conditions, it will transfer to step S3.

ステップＳ３では、まず制御装置４が第２ゲート７２を開け、次に第１及び第２進退ユニット５８，５９を動かして第１及び第２ハンド５２，５３を基板搬送中継装置２５がある待機位置まで前進させる。この際、基板搬送中継装置２５では、一対の第１支持体２８及び一対の第２支持体２９が離隔位置（図５参照）に位置しており、第１ハンド５２の２つのブレード５５，５６は、一対の第２支持部４３，４３及び一対の第２支持部４４，４４上の基板６のすぐ下に夫々位置し、後述する工程で第２ハンド５３の２つのブレード５５，５６に載せられた基板６が一対の第１支持部３８，３８及び一対の第１支持部３９，３９のすぐ上に夫々位置する（図８（ａ）参照）。このように第１及び第２ハンド５２，５３を待機位置まで前進させると、ステップＳ４に移行する。   In step S3, the control device 4 first opens the second gate 72, and then moves the first and second advance / retreat units 58 and 59 to place the first and second hands 52 and 53 in the standby position where the substrate transfer relay device 25 is located. Move forward. At this time, in the substrate transfer relay device 25, the pair of first support bodies 28 and the pair of second support bodies 29 are located at the separation positions (see FIG. 5), and the two blades 55, 56 of the first hand 52. Are positioned immediately below the substrate 6 on the pair of second support portions 43, 43 and the pair of second support portions 44, 44, respectively, and placed on the two blades 55, 56 of the second hand 53 in a process described later. The obtained substrate 6 is positioned immediately above the pair of first support portions 38 and 38 and the pair of first support portions 39 and 39, respectively (see FIG. 8A). When the first and second hands 52 and 53 are thus advanced to the standby position, the process proceeds to step S4.

ステップＳ４では、制御装置４が基板搬送中継装置２５の昇降駆動ユニット２７を動かして一対の第１支持体２８を上昇させる。これにより、第２ハンド５３上の２枚の基板６が一対の第１支持部３８，３８及び第１支持部３９，３９に載せられて持ち上げられ（図８（ｂ）参照）、２枚の基板６が第２ハンド５３から一対の第１支持体２８へと引渡される。また、一対の第１支持体２８の上昇に連動して一対の第２支持体２９が下降し、一対の第２支持部４３，４３及び第２支持部４４，４４上の基板６が第１ハンド５２の２つのブレード５５，５６上に載せられる（図８（ｃ）参照）。これにより、一対の第２支持体２９上の２枚の基板６が第１ハンド５２に引渡される。基板搬送中継装置２５と搬送ロボット５０との間の基板６の受渡しが終了すると、ステップＳ５へと移行する。   In step S <b> 4, the control device 4 moves the lifting drive unit 27 of the substrate transfer relay device 25 to raise the pair of first support bodies 28. As a result, the two substrates 6 on the second hand 53 are placed on the pair of first support portions 38 and 38 and the first support portions 39 and 39 and lifted (see FIG. 8B). The substrate 6 is transferred from the second hand 53 to the pair of first supports 28. Further, the pair of second supports 29 is lowered in conjunction with the rise of the pair of first supports 28, and the pair of second supports 43, 43 and the substrate 6 on the second supports 44, 44 are the first. It is placed on the two blades 55 and 56 of the hand 52 (see FIG. 8C). As a result, the two substrates 6 on the pair of second supports 29 are delivered to the first hand 52. When the delivery of the substrate 6 between the substrate transfer relay device 25 and the transfer robot 50 is completed, the process proceeds to step S5.

ステップＳ５では、制御装置４が第１及び第２進退ユニット５８，５９により第１及び第２ハンド５２，５３を後退させて基板搬送中継装置２５から抜く。そして、制御装置４は、基台５１とハンド本体５４とが重なる回動位置まで第１及び第２ハンド５２，５３を後退させ、第２ゲート７２を閉じる。第１及び第２ハンド５２，５３が回動位置まで戻ると、ステップＳ６へ移行する。   In step S <b> 5, the control device 4 retracts the first and second hands 52, 53 by the first and second advance / retreat units 58, 59 and removes them from the substrate transfer relay device 25. Then, the control device 4 retracts the first and second hands 52 and 53 to the rotation position where the base 51 and the hand main body 54 overlap, and closes the second gate 72. When the first and second hands 52 and 53 return to the rotation position, the process proceeds to step S6.

ステップＳ６では、制御部６３が記憶部６２に記憶されている変数Ｘ（初期値０）に１を加算する。変数Ｘに１が加算されると、ステップＳ７に移行する。ステップＳ７では、制御装置４が基台５１を回動させて第１及び第２ハンド５２，５３の向きを変えて、第１及び第２ハンド５２，５３を第Ｘプロセスチャンバ２３（Ｘ＝１，２，３，４）の第３ゲート７３に向ける。例えばＸ＝１の場合、第１及び第２ハンド５２，５３は、第１プロセスチャンバ２３Ａの第３ゲート７３に向けられる。このように向きが変えられると、ステップＳ８へと移行する。   In step S <b> 6, the control unit 63 adds 1 to the variable X (initial value 0) stored in the storage unit 62. When 1 is added to the variable X, the process proceeds to step S7. In step S7, the control device 4 rotates the base 51 to change the direction of the first and second hands 52, 53, and the first and second hands 52, 53 are moved to the Xth process chamber 23 (X = 1). , 2, 3, 4) toward the third gate 73. For example, when X = 1, the first and second hands 52 and 53 are directed to the third gate 73 of the first process chamber 23A. When the direction is changed in this way, the process proceeds to step S8.

ステップＳ８では、制御装置４がまず第３ゲート７３を開け、次に第２ハンド５３を前進させて第１プロセスチャンバ２３Ａの載置台（図示せず）まで移動させる。この載置台には、第１プロセスチャンバ２３Ａで処理された処理済の基板６が載置されており、第２ハンド５３の高さは、その上側のブレード５５が処理済の基板６の下側に位置するように制御装置４によって調整されている。なお、第２ハンド５３の高さの調整は、前進させる前及び前進中の何れで行なってもよい。載置台まで移動させた後、制御装置４は、昇降ユニット６０により第２ハンド５３を上昇させて載置台に載せられた上側のブレード５６上に載せて持ち上げる。このようにして、搬送ロボット５０は、第１プロセスチャンバ２３Ａ内の処理済の基板６を第２ハンド５３によって受取る。受取った後、制御装置４は、第２進退ユニット５９により第２ハンド５３を後退させ、第２ハンド５３が回動位置に戻ると、ステップＳ９へと移行する。   In step S8, the control device 4 first opens the third gate 73, and then advances the second hand 53 to move it to the mounting table (not shown) of the first process chamber 23A. On this mounting table, the processed substrate 6 processed in the first process chamber 23A is mounted, and the height of the second hand 53 is the lower side of the substrate 6 whose upper blade 55 has been processed. It is adjusted by the control device 4 so as to be located at The height of the second hand 53 may be adjusted either before or during advance. After moving to the mounting table, the control device 4 raises the second hand 53 by the lifting unit 60 and places it on the upper blade 56 placed on the mounting table and lifts it up. In this way, the transfer robot 50 receives the processed substrate 6 in the first process chamber 23 </ b> A by the second hand 53. After receiving, the control device 4 moves the second hand 53 backward by the second advancing / retreating unit 59, and when the second hand 53 returns to the rotation position, the process proceeds to step S9.

ステップＳ９では、第１進退ユニット５８により第１ハンド５２を前進させて第１プロセスチャンバ２３Ａの載置台まで移動させる。第１ハンド５２の高さは、その下側のブレード５５上の未処理の基板６が載置台よりも高く位置するように制御装置４によって調整されている。なお、第１ハンド５２の高さの調整は、前進させる前及び前進中の何れで行なってもよい。載置台まで移動させた後、制御装置４は、昇降ユニット６０により第１ハンド５２を下降させて下側のブレード５５上の基板６を載置台に載せて離す。これにより、第１プロセスチャンバ２３Ａ内に未処理の基板６が第２ハンド５３から載置台へと引渡される。引渡した後、制御装置４は、第１進退ユニット５８により第１ハンド５２を後退させて第３ゲート７３を閉じる。そして、第１ハンド５２が回動位置に戻ると、ステップＳ１０へと移行する。   In step S9, the first hand 52 is advanced by the first advance / retreat unit 58 and moved to the mounting table of the first process chamber 23A. The height of the first hand 52 is adjusted by the control device 4 so that the unprocessed substrate 6 on the lower blade 55 is positioned higher than the mounting table. The height of the first hand 52 may be adjusted either before or during advance. After moving to the mounting table, the control device 4 lowers the first hand 52 by the lifting unit 60 and places the substrate 6 on the lower blade 55 on the mounting table and releases it. As a result, the unprocessed substrate 6 is transferred from the second hand 53 to the mounting table in the first process chamber 23A. After the delivery, the control device 4 moves the first hand 52 backward by the first advance / retreat unit 58 and closes the third gate 73. And if the 1st hand 52 returns to a rotation position, it will transfer to Step S10.

ステップＳ１０では、変数Ｘが第１乃至第３条件のうちの何れの条件を充足するかを判定する。第１条件は、Ｘ≠Ｎ，Ｎ×２であり、第２条件は、Ｘ＝Ｎであり、第３条件は、Ｘ＝Ｎ×２である。ここで、Ｎは、第１及び第２ハンド５２，５３が夫々有するブレードの数であり、本実施形態にではＮ＝２である。例えばＸ＝１の場合、第１条件を充足すると判定され、ステップＳ６へと戻る。ステップＳ６では、Ｘに１が加算されてステップＳ７へ移行する。ステップＳ７では、第１及び第２ハンド５２，５３を図９の矢符Ａのように回動させて第Ｘ＋１プロセスチャンバ２３の第３ゲート７３、即ち第２プロセスチャンバ２３Ｂの第３ゲート７３に向け、ステップＳ８に移行する。   In step S10, it is determined which of the first to third conditions the variable X satisfies. The first condition is X ≠ N, N × 2, the second condition is X = N, and the third condition is X = N × 2. Here, N is the number of blades each of the first and second hands 52 and 53 has, and N = 2 in this embodiment. For example, when X = 1, it is determined that the first condition is satisfied, and the process returns to step S6. In step S6, 1 is added to X, and the process proceeds to step S7. In step S7, the first and second hands 52 and 53 are rotated as indicated by an arrow A in FIG. 9 to move to the third gate 73 of the X + 1 process chamber 23, that is, the third gate 73 of the second process chamber 23B. The process proceeds to step S8.

ステップＳ８では、制御装置４が第２ハンド５３を前進させて第２プロセスチャンバ２３Ｂの載置台上の処理済の基板６を受取る。この際、第２ハンド５３の上側のブレード５６には、既に処理済の基板６が載置されている。それ故、第２ハンド５３の高さは、その下側のブレード５５が載置台上の処理済の基板６の下側に位置するように制御装置４によって調整される。そして、制御装置４は、第２ハンド５３を載置台まで移動させ、移動後に上昇させて載置台上の基板６を下側のブレード５５上に載せて持ち上げる。このようにして、搬送ロボット５０は、第２プロセスチャンバ２３Ｂ内の処理済の基板６を第２ハンド５３によって受取る。受取った後、制御装置４は、第２ハンド５３を後退させ、第２ハンド５３が回動位置に戻ると、ステップＳ９へと移行する。   In step S8, the control device 4 advances the second hand 53 and receives the processed substrate 6 on the mounting table of the second process chamber 23B. At this time, the already processed substrate 6 is placed on the blade 56 on the upper side of the second hand 53. Therefore, the height of the second hand 53 is adjusted by the control device 4 so that the lower blade 55 is positioned below the processed substrate 6 on the mounting table. Then, the control device 4 moves the second hand 53 to the mounting table, lifts the second hand 53 after the movement, and lifts the substrate 6 on the mounting table on the lower blade 55. In this manner, the transfer robot 50 receives the processed substrate 6 in the second process chamber 23B by the second hand 53. After receiving, the control device 4 moves the second hand 53 backward, and when the second hand 53 returns to the rotation position, the process proceeds to step S9.

ステップＳ９では、制御装置４が第１ハンド５２を前進させて第２プロセスチャンバ２３Ｂの載置台上に未処理の基板６を引渡す。この際、第１ハンド５２の上側のブレード５６にしか未処理の基板６が載置されていない。それ故、第１ハンド５２の高さは、その上側のブレード５６上の未処理の基板６が載置台よりも高く位置するように制御装置４によって調整されている。そして、制御装置４は、載置台まで移動させ、移動後に第１ハンド５２を下降させて上側のブレード５６上の基板６を載置台に載せて離す。これにより、搬送ロボット５０から第２プロセスチャンバ２３Ｂの載置台に未処理の基板６が引渡される。制御装置４は、第１ハンド５２を後退させて第３ゲート７３を閉じる。そして、第１ハンド５２が回動位置に戻ると、第１及び第２プロセスチャンバ２３Ａ，２３Ｂへと基板６を搬送する第１の搬送過程が終了する。第１の搬送過程が終了すると、再びステップＳ１０へと移行する。   In step S9, the control device 4 advances the first hand 52 and delivers the unprocessed substrate 6 onto the mounting table of the second process chamber 23B. At this time, the unprocessed substrate 6 is placed only on the blade 56 on the upper side of the first hand 52. Therefore, the height of the first hand 52 is adjusted by the control device 4 so that the unprocessed substrate 6 on the upper blade 56 is positioned higher than the mounting table. Then, the control device 4 moves to the mounting table, lowers the first hand 52 after the movement, and places the substrate 6 on the upper blade 56 on the mounting table and releases it. As a result, the unprocessed substrate 6 is delivered from the transfer robot 50 to the mounting table of the second process chamber 23B. The control device 4 retracts the first hand 52 and closes the third gate 73. And when the 1st hand 52 returns to a rotation position, the 1st conveyance process which conveys the board | substrate 6 to 1st and 2nd process chamber 23A, 23B will be complete | finished. When the first transport process is completed, the process proceeds to step S10 again.

このときのステップＳ１０では、変数Ｘが２であるので、制御部６３が第２条件を充足すると判定し、ステップＳ１へと戻り、第２の搬送過程が開始される。ステップＳ１では、制御装置４が第１及び第２ハンド５２，５３を第２プロセスチャンバ２３Ｂから矢符Ｂのように回動させて第１及び第２ハンド５２，５３を基板搬送中継装置２５に向ける。そして、ステップＳ２において、搬送可能条件を充足するか否かを判定し、充足すると判定された場合、ステップＳ３にて第１及び第２ハンド５２，５３を前進させ、ステップＳ４にて基板搬送中継装置２５の第１及び第２支持体２８，２９を昇降させて基板搬送中継装置２５と第１及び第２ハンド５２，５３との間で未処理の基板６と処理済の基板６との受渡しを行なう。更に、ステップＳ５にて第１及び第２ハンド５２，５３を後退させると、ステップＳ６へと移行する。   In step S10 at this time, since the variable X is 2, the control unit 63 determines that the second condition is satisfied, and returns to step S1 to start the second transport process. In step S1, the control device 4 rotates the first and second hands 52 and 53 from the second process chamber 23B as indicated by an arrow B to move the first and second hands 52 and 53 to the substrate transfer relay device 25. Turn. Then, in step S2, it is determined whether or not the transportable condition is satisfied. If it is determined that the condition is satisfied, the first and second hands 52 and 53 are advanced in step S3, and the substrate transport relay is performed in step S4. The first and second supports 28 and 29 of the apparatus 25 are moved up and down to deliver the unprocessed substrate 6 and the processed substrate 6 between the substrate transfer relay device 25 and the first and second hands 52 and 53. To do. Further, when the first and second hands 52 and 53 are moved backward in step S5, the process proceeds to step S6.

ステップＳ６では、Ｘに１が加算されてステップＳ７へ移行し、ステップＳ７では、第１及び第２ハンド５２，５３を図９の矢符Ｃのように回動させて第３プロセスチャンバ２３Ｃに向ける。そして、第１プロセスチャンバ２３Ａにて処理済及び未処理の基板６を受渡した方法と同様にして、第３プロセスチャンバ２３Ｃで基板６の受渡しを行い（ステップＳ８及びＳ９）、受渡しが終了するとステップＳ１０に移行する。   In step S6, 1 is added to X and the process proceeds to step S7. In step S7, the first and second hands 52 and 53 are rotated as indicated by an arrow C in FIG. 9 to enter the third process chamber 23C. Turn. Then, similarly to the method of delivering the processed and unprocessed substrates 6 in the first process chamber 23A, the substrates 6 are delivered in the third process chamber 23C (steps S8 and S9), and when the delivery is completed, the steps are completed. The process proceeds to S10.

このときのステップＳ１０では、変数Ｘが３であるので、制御部６３が第１条件を充足すると判定し、ステップＳ６へと戻る。ステップＳ６では、Ｘに１が加算されてステップＳ７へ移行し、ステップＳ７では、第１及び第２ハンド５２，５３を図９の矢符Ｄのように回動させて第４プロセスチャンバ２３Ｄに向ける。そして、第１プロセスチャンバ２３Ａにて処理済及び未処理の基板６を受渡した方法と同様にして、第４プロセスチャンバ２３Ｄで基板６の受渡しを行い（ステップＳ８及びＳ９）、受渡しが終了すると第３及び第４プロセスチャンバ２３Ａ，２３Ｂへと基板６を搬送する第２の搬送過程が終了する。第２の搬送過程が終了すると、ステップＳ１０に移行する。   In step S10 at this time, since the variable X is 3, the control unit 63 determines that the first condition is satisfied, and the process returns to step S6. In step S6, 1 is added to X and the process proceeds to step S7. In step S7, the first and second hands 52 and 53 are rotated as indicated by an arrow D in FIG. 9 to enter the fourth process chamber 23D. Turn. Then, in the same manner as the method of delivering the processed and unprocessed substrates 6 in the first process chamber 23A, the substrates 6 are delivered in the fourth process chamber 23D (Steps S8 and S9). 2nd conveyance process which conveys the board | substrate 6 to 3 and 4th process chamber 23A, 23B is complete | finished. When the second transport process is completed, the process proceeds to step S10.

このときのステップＳ１０では、変数Ｘが４であるので、制御部６３が第３条件を充足すると判定し、ステップＳ１１に移行する。ステップＳ１１では、ＸからＮを引く、即ちＸ＝Ｘ−Ｎの減算を行なってＸ＝０とする。この減算が行なわれると、ステップＳ１に戻り、再び第１の搬送過程が始まる。   In step S10 at this time, since the variable X is 4, the control unit 63 determines that the third condition is satisfied, and the process proceeds to step S11. In step S11, N is subtracted from X, that is, X = X-N is subtracted to set X = 0. When this subtraction is performed, the process returns to step S1 and the first transport process starts again.

このように本実施形態の搬送ロボット５０では、待機位置にある基板搬送中継装置２５において第１ハンド５２の２つのブレード５５，５６により２枚の基板６を同時に受取り、第２ハンド５３の２つのブレード５５，５６により２枚の基板６を同時に引渡すことができる。また、第１ハンド５２に保持した２枚の基板６を２つのプロセスチャンバ２３に連続して引渡し、また第２ハンド５３により２枚の処理済の基板６を２つのプロセスチャンバ２３内から連続して受取ることができる。これにより、２つのプロセスチャンバ２３で基板６の受渡しをした後に基板搬送中継装置２５に戻せばよくなり、１つの搬送過程における第１ハンド５２及び第２ハンド５３の移動距離を短くすることができ、全ての搬送位置に対して基板が搬送されるまでの搬送時間を短くすることができる。   As described above, in the transfer robot 50 of the present embodiment, the two substrates 6 of the second hand 53 are simultaneously received by the two blades 55 and 56 of the first hand 52 in the substrate transfer relay device 25 in the standby position. The two substrates 6 can be simultaneously delivered by the blades 55 and 56. Further, the two substrates 6 held in the first hand 52 are continuously delivered to the two process chambers 23, and the two processed substrates 6 are continuously delivered from the two process chambers 23 by the second hand 53. Can be received. As a result, after the substrate 6 has been delivered in the two process chambers 23, it may be returned to the substrate transfer relay device 25, and the movement distance of the first hand 52 and the second hand 53 in one transfer process can be shortened. The transport time until the substrate is transported to all transport positions can be shortened.

また、本実施形態の基板処理システム１では、搬送ロボット５０の搬送処理に並行して移送ロボット８の移送処理が行なわれ、搬送処理を行なっている間に移送処理によりフープ９から基板搬送中継装置２５に２枚の基板６が移送されるようになっている。それ故、基板搬送中継装置２５とフープ９との間の受渡しの時間を省略することができるので、搬送時間の短縮を図ることができる。また、移送ロボット８が搬送処理を行なっている間に移送処理で基板搬送中継装置２５に載置された処理済の２枚の基板６を受取るようになっているので、第２ハンド５２のブレード５５，５６に保持された処理済の基板６を基板搬送中継装置２５にて受取りと同時に引渡すことで基板搬送中継装置２５からフープ９へと移送が必要なくなる。それ故、搬送時間を短縮することができる。   Further, in the substrate processing system 1 of the present embodiment, the transfer process of the transfer robot 8 is performed in parallel with the transfer process of the transfer robot 50, and the substrate transfer relay device is transferred from the FOUP 9 by the transfer process during the transfer process. Two substrates 6 are transferred to 25. Therefore, since the delivery time between the board transfer relay device 25 and the FOUP 9 can be omitted, the transfer time can be shortened. In addition, since the transfer robot 8 receives the processed two substrates 6 placed on the substrate transfer relay device 25 during the transfer process, the blade of the second hand 52 is used. By transferring the processed substrates 6 held by 55 and 56 at the same time as being received by the substrate transfer relay device 25, it is not necessary to transfer from the substrate transfer relay device 25 to the FOUP 9. Therefore, the conveyance time can be shortened.

また、本実施形態の搬送ロボット５０では、第１搬送過程及び第２搬送過程で搬送すべきプロセスチャンバ２３の数と、第１及び第２ハンド５２，５３が有するブレード５５，５６の数とが同数となっており、第１の搬送過程及び第２搬送過程で夫々搬送すべきプロセスチャンバ２３全てに対して連続的に受渡し作業を行うことができる。これにより、各プロセスチャンバ２３に対する受渡し作業が終了するたびに基板搬送中継装置２５へ戻す必要がなく、搬送時間を短くすることができる。   Further, in the transfer robot 50 of the present embodiment, the number of process chambers 23 to be transferred in the first transfer process and the second transfer process and the number of blades 55 and 56 of the first and second hands 52 and 53 are determined. The number is the same, and the delivery operation can be continuously performed for all the process chambers 23 to be transported in the first transport process and the second transport process. Thereby, it is not necessary to return to the substrate transfer relay device 25 every time the delivery operation to each process chamber 23 is completed, and the transfer time can be shortened.

更に、基板搬送中継装置２５に対して回動方向一方側と他方側とに同数のプロセスチャンバ２３を形成し、一方側に配置されたプロセスチャンバ２３Ａ，２３Ｂへの搬送過程を第１搬送過程、他方側に配置されたプロセスチャンバ２３Ａ，２３Ｂへの搬送過程を第２搬送過程として分けることで、搬送ロボット５０が一回転して、搬送ロボット５０の各構成と制御装置とを繋ぐ図示しないケーブル等のねじれてしまうことを防ぐことができる。また、基板搬送中継装置２５の回動方向両側に同数配置することで、第１搬送過程及び第２搬送過程の移動距離を略同一にし、第１搬送過程及び第２搬送過程における総移動距離を短くすることができる。これにより、搬送時間の短縮を実現することができる。更に、２つの搬送過程に分けることで、ブレード５５，５６の数を抑えつつ、移動距離を抑えることができる。それ故、部品点数の増加を抑えると搬送時間の短縮を同時に実現することができる。   Further, the same number of process chambers 23 are formed on one side and the other side in the rotation direction with respect to the substrate transfer relay device 25, and the transfer process to the process chambers 23A and 23B arranged on one side is a first transfer process, By separating the transfer process to the process chambers 23A and 23B arranged on the other side as the second transfer process, the transfer robot 50 makes one rotation, and a cable (not shown) that connects each component of the transfer robot 50 and the control device, etc. Can be prevented from being twisted. Further, by arranging the same number on both sides in the rotation direction of the substrate transfer relay device 25, the movement distances in the first transfer process and the second transfer process are made substantially the same, and the total movement distances in the first transfer process and the second transfer process are set. Can be shortened. Thereby, shortening of conveyance time is realizable. Furthermore, by dividing into two conveyance processes, the movement distance can be suppressed while the number of blades 55 and 56 is suppressed. Therefore, if the increase in the number of parts is suppressed, the conveyance time can be shortened at the same time.

また、本実施形態では、第１及び第２ハンド５２，５３と基板搬送中継装置２５との間で受渡し作業を同時に行うことができるので、第１及び第２ハンド５２，５３と基板搬送中継装置２５との間の受渡し時間を短縮することができる。また、第１ハンド５２及び第２ハンド５３と基板搬送中継装置２５との間で受渡し作業を同時に行うことで、第１ハンド５２及び第２ハンド５３を動かす必要がない。それ故、第１ハンド５２及び第２ハンド５３の移動距離を短くすることができ、搬送時間を短縮することができる。   Further, in the present embodiment, since the delivery work can be performed simultaneously between the first and second hands 52, 53 and the substrate transport relay device 25, the first and second hands 52, 53 and the substrate transport relay device. The delivery time with 25 can be shortened. In addition, since the delivery operation is simultaneously performed between the first hand 52 and the second hand 53 and the substrate transfer relay device 25, it is not necessary to move the first hand 52 and the second hand 53. Therefore, the moving distance of the first hand 52 and the second hand 53 can be shortened, and the transport time can be shortened.

更に、本実施形態の基板搬送中継装置２５では、ラックアンドピニオン機構により第１及び第２支持体２８，２９の連動を実現することで部品点数を抑えることができる。これにより、基板搬送中継装置２５の製造コストを抑えることができる。   Furthermore, in the substrate transfer relay device 25 of the present embodiment, the number of parts can be suppressed by realizing the interlocking of the first and second supports 28 and 29 by the rack and pinion mechanism. Thereby, the manufacturing cost of the board | substrate conveyance relay apparatus 25 can be held down.

＜その他の実施形態＞
本実施形態では、搬送ロボット５０の第１及び第２ハンド５２，５３を同時に基板搬送中継装置２５に向かって前進させていたが、図１０に示すように先に第２ハンド５３を前進させて基板搬送中継装置２５の一対の第１支持体２８上の２枚の基板６を受取り（図１０（ａ））、その後第１ハンド５２を前進させてその上の基板６を基板搬送中継装置２５に引渡すようになっていってもよい（図１０（ｂ））。この場合、基板搬送中継装置２５は、昇降駆動ユニット２７を有している必要はなく、基板搬送中継装置２５から２枚の基板６を受取る際に第２ハンド５３を上昇させ、基板搬送中継装置２５に２枚の基板６を受渡す際に第１ハンド５２を下降させればよい。 <Other embodiments>
In the present embodiment, the first and second hands 52 and 53 of the transfer robot 50 are simultaneously advanced toward the substrate transfer relay device 25, but the second hand 53 is first advanced as shown in FIG. The two substrates 6 on the pair of first supports 28 of the substrate transfer relay device 25 are received (FIG. 10A), and then the first hand 52 is advanced to transfer the substrate 6 thereon to the substrate transfer relay device 25. (Fig. 10 (b)). In this case, the substrate transfer relay device 25 does not need to have the lifting / lowering drive unit 27, and when the two substrates 6 are received from the substrate transfer relay device 25, the second hand 53 is raised, When the two substrates 6 are delivered to 25, the first hand 52 may be lowered.

このように、第１ハンド５２を進退及び昇降させることで２枚の基板６を基板搬送中継装置２５から受取ることができ、また第２ハンド５３を進退及び昇降させるだけで２枚の基板６を進退及び昇降させるだけで基板搬送中継装置２５に置くことができる。それ故、保持する時間及び置く時間を短縮することができる。   In this way, the two substrates 6 can be received from the substrate transfer relay device 25 by moving the first hand 52 forward and backward and up and down, and the two substrates 6 can be received only by moving the second hand 53 forward and backward and up and down. The substrate can be placed on the substrate transfer relay device 25 simply by moving up and down and up and down. Therefore, holding time and placing time can be shortened.

また、第１及び第２ハンド５２，５３の数及びそれが有するブレードの数、並びにプロセスチャンバ２３の数及び配置位置は、上述する数及配置位置に限定されず、ハンドやブレードが２つ以上あってもよく、またプロセスチャンバ２３が４つ以上あってもよい。また、ブレードの数とプロセスチャンバ２３との数と基板搬送中継装置２５の支持部の数が前述するような関係になくてもよく、少なくとも１つの搬送過程において搬送するプロセスチャンバ２３の数よりブレード及び支持部の数が多ければよい。   Further, the number of the first and second hands 52 and 53, the number of blades included therein, and the number and arrangement positions of the process chambers 23 are not limited to the above-described number and arrangement positions, and there are two or more hands and blades. There may be four or more process chambers 23. In addition, the number of blades, the number of process chambers 23, and the number of support portions of the substrate transfer relay device 25 do not have to have the relationship described above, and the number of blades is determined by the number of process chambers 23 to be transferred in at least one transfer process. And the number of support parts should just be large.

４ 制御装置
６ 基板
８ 移送ロボット
９ フープ
２３ プロセスチャンバ
２３Ａ 第１プロセスチャンバ
２３Ｂ 第２プロセスチャンバ
２３Ｃ 第３プロセスチャンバ
２３Ｄ 第４プロセスチャンバ
２５ 基板搬送中継装置
５０ 搬送ロボット
５２ 第１ハンド
５３ 第２ハンド
５４ ハンド本体
５５ ブレード
５６ ブレード
５７ 回動ユニット
５８ 第１進退ユニット
５９ 第２進退ユニット
６０ 昇降ユニット
６６ 搬送ロボット駆動部 4 Control Device 6 Substrate 8 Transfer Robot 9 Hoop 23 Process Chamber 23A First Process Chamber 23B Second Process Chamber 23C Third Process Chamber 23D Fourth Process Chamber 25 Substrate Transfer Relay Device 50 Transfer Robot 52 First Hand 53 Second Hand 54 Hand body 55 Blade 56 Blade 57 Rotating unit 58 First advance / retreat unit 59 Second advance / retreat unit 60 Lift unit 66 Transport robot drive unit

Claims (7)

基板を夫々保持するための保持部をＮ個（Ｎ≧２）有している第１ハンドと、
基板を夫々保持するための保持部をＮ個有している第２ハンドと、
前記第１ハンド及び第２ハンドを進退させ且つ一緒に回動させることによって、前記第１ハンド及び第２ハンドを前記基板が置かれている待機位置及び互いに異なる複数の搬送位置に夫々移動させる移動装置と、を備え、
前記待機位置は、前工程から前記Ｎ個の基板を受け入れて待機させることができる位置であり、
前記搬送位置は、前記待機位置に対して回動方向の一方側及び他方側に夫々Ｎ個ずつあり、
前記移動装置は、前記待機位置に置かれたＮ個の基板を前記第１ハンドのＮ個の保持部によって夫々受取ってから前記第１ハンド及び第２ハンドを前記一方側に回動させ且つ進退させて前記一方側にある前記Ｎ個の搬送位置に前記第１ハンド及び第２ハンドを順次移動させる第１搬送工程と、前記待機位置に置かれたＮ個の基板を前記第１ハンドのＮ個の保持部によって夫々受取ってから前記第１ハンド及び第２ハンドを前記他方側に回動させ且つ進退させて前記他方側にある前記Ｎ個の搬送位置に前記第１ハンド及び第２ハンドを順次移動させる第２搬送工程を実行し、
第１搬送工程では、順次移動させる前記搬送位置の各々において前記搬送位置に置かれた基板を前記第２ハンドの保持部により受取って前記第１ハンドの保持部に保持される前記基板を前記搬送位置に引き渡すように前記移動装置が前記第１ハンド及び第２ハンドを動かし、
第２搬送工程では、前記待機位置において前記第２ハンドのＮ個の保持部により保持されている前記Ｎ個の基板を置き、順次移動させる前記搬送位置の各々において前記搬送位置に置かれた基板を前記第２ハンドの保持部により受取って前記第１ハンドの保持部に保持される前記基板を前記搬送位置に引き渡すように前記移動装置が前記第１ハンド及び第２ハンドを動かすようになっている、搬送ロボット。 A first hand having N holding parts (N ≧ 2) for holding the substrates,
A second hand having N holding portions for holding the respective substrates;
Moving the first hand and the second hand to a standby position where the substrate is placed and a plurality of different transport positions by moving the first hand and the second hand back and forth and rotating together. An apparatus,
The standby position is a position where the N substrates can be received from the previous process and allowed to wait.
There are N transfer positions each on one side and the other side in the rotation direction with respect to the standby position,
The moving device receives the N substrates placed at the standby position by the N holding portions of the first hand, and then rotates the first hand and the second hand to the one side and moves forward and backward. A first transfer step of sequentially moving the first hand and the second hand to the N transfer positions on the one side, and N substrates placed in the standby position are set to N of the first hand. The first hand and the second hand are rotated to the other side and advanced and retracted after being received by the respective holding portions, and the first hand and the second hand are moved to the N transport positions on the other side. Execute the second transfer process to move sequentially,
In the first transport step, the substrate placed at the transport position at each of the transport positions to be sequentially moved is received by the holding unit of the second hand and the substrate held by the holding unit of the first hand is transported. The moving device moves the first hand and the second hand to deliver the position;
In the second transport step, the N substrates held by the N holding portions of the second hand are placed at the standby position, and the substrates placed at the transport position at each of the transport positions to be sequentially moved. Is moved by the holding unit of the second hand, and the moving device moves the first hand and the second hand so as to deliver the substrate held by the holding unit of the first hand to the transport position. A transfer robot. 前記搬送位置の数Ｎは、２である、請求項１に記載の搬送ロボット。   The transfer robot according to claim 1, wherein the number N of transfer positions is two. 前記移動装置は、前記待機位置に置かれた前記Ｎ個の基板を前記第１ハンドの前記Ｎ個の保持部により一度に保持して受取ると共に、前記第２ハンドの前記Ｎ個の保持部により夫々保持した前記Ｎ個の基板を一度に前記待機位置に置くようにして引渡すように前記第１ハンド及び第２ハンドを動かすよう構成されている、請求項１又は２に記載の搬送ロボット。   The moving device holds the N substrates placed at the standby position at a time by the N holding units of the first hand and receives the N substrates by the N holding units of the second hand. 3. The transfer robot according to claim 1, wherein the transfer robot is configured to move the first hand and the second hand so as to deliver the N substrates held respectively at the standby position at a time. 前記移動装置は、前記第１ハンド及び前記第２ハンドを夫々の延在方向に個別に進退させる進退ユニットと、前記第１ハンド及び前記第２ハンドを一緒に昇降させる昇降ユニットと、を備え、
前記進退ユニットにより前記待機位置に置かれた前記Ｎ個の基板の下方に前記第１ハンドの前記Ｎ個の保持部をそれぞれ進出させた後に前記昇降ユニットにより前記第１ハンド及び前記第２ハンドを上昇させることで前記待機位置に置かれた前記Ｎ個の基板を一度に前記第１ハンドの前記Ｎ個の保持部により保持し、その後、前記進退ユニットにより前記第1ハンドを後退させるようにして前記待機位置から該Ｎ個の基板を受取り、
前記進退ユニットにより前記待機位置の上方に前記第２ハンドの前記Ｎ個の保持部を進出させた後に前記昇降ユニットにより前記第１ハンド及び前記第２ハンドを下降させることで前記保持部により保持された前記Ｎ個の基板を前記待機位置に一度に置き、その後、前記進退ユニットにより前記第２ハンドを後退させるようにして該Ｎ個の基板を前記待機位置に引渡すよう構成されている、請求項３に記載の搬送ロボット。 The moving device includes an advancing / retreating unit that individually advances and retracts the first hand and the second hand in their extending directions, and a lifting unit that raises and lowers the first hand and the second hand together,
After the N holding portions of the first hand are advanced below the N substrates placed at the standby position by the advance / retreat unit, the first hand and the second hand are moved by the lifting unit. The N substrates placed at the standby position are held by the N holding portions of the first hand at a time by raising, and then the first hand is moved backward by the advance / retreat unit. Receiving the N substrates from the standby position;
After the N holding parts of the second hand are advanced above the standby position by the advance / retreat unit, the first hand and the second hand are lowered by the elevating unit and held by the holding part. The N substrates are placed at the standby position at a time, and then the N substrates are transferred to the standby position by moving the second hand back by the advance / retreat unit. 3. The transfer robot according to 3. 基板を夫々保持するためのＮ個（Ｎ≧２）の保持部を有する第１ハンドと、基板を夫々保持するためのＮ個の保持部を有する第２ハンドと、前記第１ハンド及び第２ハンドを進退させ且つ一緒に回動させることによって前記第１ハンド及び前記第２ハンドを前記基板が置かれている待機位置及び互いに異なる複数の搬送位置に夫々移動させる移動装置とを備え、前記待機位置は、前工程から前記Ｎ個の基板を受け入れて待機させることができる位置であり、前記搬送位置は、前記待機位置に対して回動方向の一方側及び他方側に夫々Ｎ個ずつある搬送ロボットの基板搬送方法であり、
前記待機位置に置かれたＮ個の基板を前記第１ハンドのＮ個の保持部によって保持させて受取るように前記移動装置が前記第１ハンドを動かす第１受取り工程と、
前記第１受取り工程の後、前記第１ハンド及び第２ハンドを前記一方側に回動させ且つ進退させて前記一方側にある前記Ｎ個の搬送位置に前記第１ハンド及び第２ハンドを順次移動させ、順次移動させる前記搬送位置の各々において前記搬送位置に置かれた基板を前記第２ハンドの保持部により受取って前記第１ハンドの保持部に保持される前記基板を前記搬送位置に引き渡し、前記第２ハンドの保持部によって保持される前記基板を搬送するように、前記移動装置が前記第１ハンド及び前記第２ハンドを動かす第１搬送工程と、
第１搬送工程の後、前記第２ハンドのＮ個の保持部により保持されている前記Ｎ個の基板を前記待機位置に置くように前記移動装置が前記第２ハンドを動かす引渡し工程と、
第１搬送工程の後、前記待機位置に置かれたＮ個の基板を前記第１ハンドのＮ個の保持部によって夫々受取るように前記移動装置が前記第１ハンドを動かす第２受取り工程と、
前記第２受取り工程の後、前記第１ハンド及び第２ハンドを前記他方側に回動させ且つ進退させて前記他方側にある前記Ｎ個の搬送位置に前記第１ハンド及び第２ハンドを順次移動させ、順次移動させる前記搬送位置の各々において前記搬送位置に置かれた基板を前記第２ハンドの保持部により受取って前記第１ハンドの保持部に保持される前記基板を前記搬送位置に引き渡し、前記第２ハンドの保持部によって保持される前記基板を搬送するように、前記移動装置が前記第１ハンド及び前記第２ハンドを動かす第２搬送工程とを有する、基板搬送方法。 A first hand having N (N ≧ 2) holding portions for holding the substrates, a second hand having N holding portions for holding the substrates, the first hand and the second hand, respectively. A moving device for moving the first hand and the second hand to a standby position where the substrate is placed and a plurality of different transport positions by moving the hand forward and backward and rotating together, The position is a position at which the N substrates can be received from the previous step and can be made to stand by, and the transfer positions are N transfers on one side and the other side in the rotation direction with respect to the standby position. It is a robot substrate transfer method,
A first receiving step in which the moving device moves the first hand so that the N substrates placed in the standby position are received and held by the N holding portions of the first hand;
After the first receiving step, the first hand and the second hand are rotated to the one side and moved forward and backward to sequentially move the first hand and the second hand to the N transfer positions on the one side. The substrate placed at the transfer position at each of the transfer positions to be moved and sequentially moved is received by the holding unit of the second hand, and the substrate held by the holding unit of the first hand is delivered to the transfer position. A first transport step in which the moving device moves the first hand and the second hand so as to transport the substrate held by the holding unit of the second hand;
A delivery step in which the moving device moves the second hand so that the N substrates held by the N holding units of the second hand are placed at the standby position after the first transport step;
A second receiving step in which the moving device moves the first hand so that the N substrates placed in the standby position are received by the N holding units of the first hand after the first transport step;
After the second receiving step, the first hand and the second hand are rotated to the other side and moved forward and backward to sequentially move the first hand and the second hand to the N transport positions on the other side. The substrate placed at the transfer position at each of the transfer positions to be moved and sequentially moved is received by the holding unit of the second hand, and the substrate held by the holding unit of the first hand is delivered to the transfer position. And a second transport step in which the moving device moves the first hand and the second hand so as to transport the substrate held by the holding unit of the second hand. 前記待機位置に基板搬送中継装置が設けられ、
前記基板搬送中継装置は、
前記基板を支持する第１支持部を有し、上昇することで前記第２ハンドの保持部に保持されている基板を前記第１支持部により受け取って支持し、下降することで前記第１支持部により支持している基板を前記第１ハンドの保持部に引渡す第１支持体と、
前記基板を支持する第２支持部を有し、上昇することで前記第２ハンドの保持部に保持されている基板を前記第２支持部により受け取って支持し、下降することで前記第２支持部により支持している基板を前記第１ハンドの保持部に引渡す第２支持体と、
前記第１支持体を昇降させるよう構成された第１昇降機構と、
前記第２支持体を昇降させるよう構成された第２昇降機構と、を備え、
前記第２昇降機構は、前記第１昇降機構が前記第１支持体を上方に移動させる場合には前記第２支持体を下方に移動させ、前記第１昇降機構が前記第１支持体を下方に移動させる場合には前記第２支持体を上方に移動させるように構成され、
前記引渡し工程と前記第２受取り工程は、前記搬送ロボットが前記基板搬送中継装置と協働することによって同時に行なわれる、請求項５に記載の基板搬送方法。 A substrate transfer relay device is provided at the standby position,
The substrate transfer relay device
A first support portion for supporting the substrate; the first support portion receives and supports the substrate held by the holding portion of the second hand by moving up; and the first support by moving down. A first support that delivers the substrate supported by the part to the holding part of the first hand;
A second support portion for supporting the substrate; the second support portion receives and supports the substrate held by the holding portion of the second hand by moving up; and the second support by moving down. A second support that delivers the substrate supported by the part to the holding part of the first hand;
A first lifting mechanism configured to lift and lower the first support;
A second lifting mechanism configured to raise and lower the second support,
The second lifting mechanism moves the second support downward when the first lifting mechanism moves the first support upward, and the first lifting mechanism moves the first support downward. In the case of moving the second support, the second support is moved upward,
The substrate transfer method according to claim 5, wherein the delivery step and the second receiving step are simultaneously performed by the transfer robot cooperating with the substrate transfer relay device. 前記第１及び第２搬送工程では、隣接する前記搬送位置に前記基板を順次引渡す、請求項５又は６に記載の基板搬送方法。   The substrate transfer method according to claim 5 or 6, wherein in the first and second transfer steps, the substrates are sequentially delivered to adjacent transfer positions.
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