JP5797727B2 - 分散型x線を発生するデバイス及びその方法 - Google Patents
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Claims (16)
- 分散型X線を発生するデバイスであって、
電子ビームを発生する電子銃と、
電子ビームの回りを囲んで設置され、走査磁場を発生して、前記電子ビームを偏向する走査装置と、
規則的に設置される複数の開口を有し、前記電子ビームが前記走査装置の制御によって前記限流装置を走査するときに、前記限流装置の下方において、走査の順に合う、開口位置に対応するパルス電子ビームを、順にアレイ型に発生する限流装置と、
前記限流装置の下流に設置され、アノードターゲットに電圧を印加することによって、均一の電界を前記限流装置と前記アノードターゲットとの間に形成させ、前記アレイ型パルス電子ビームを加速するアノードターゲットと、を備え、
加速された電子ビームは、前記アノードターゲットに衝撃して、X線を発生するデバイス。 - 前記電子銃の下流に設置され、電子銃に接続され、前記限流装置と前記アノードターゲットとを囲んで、前記電子ビームの発生及び動きの環境を高真空にする真空ボックスを更に備える請求項1に記載のデバイス。
- 前記電子銃、前記走査装置、前記アノードターゲットに電源を提供して動作制御を行う電源・制御装置を更に備える請求項2に記載のデバイス。
- 前記限流装置は、複数の開口を有する長尺ストリップ状の金属板である請求項3に記載のデバイス。
- 前記アノードターゲットは、前記限流装置と近い長さを有する長尺ストリップ状の金属板である請求項4に記載のデバイス。
- 前記アノードターゲットは、タングステン材料によって製作される請求項5に記載のデバイス。
- 前記アノードターゲットは長さ方向に前記限流装置に平行し、幅方向に前記限流装置と小さい夾角を形成する請求項5に記載のデバイス。
- 前記電子銃から発生する電子ビームを集束し、電子ビームの光斑を縮小するように設置される集束装置を更に有する請求項3に記載のデバイス。
- 真空ボックスに設置され、真空ボックス内部に高真空を維持させる真空装置を更に有する請求項3に記載のデバイス。
- 前記真空装置は、イオンポンプである請求項9に記載のデバイス。
- 前記真空ボックスの下端に設置され、内部が前記アノードターゲットに接続され、外部が前記真空ボックスから延び出し、前記電源・制御装置と前記アノードターゲットを速く接続する挿抜可能な高圧接続装置を更に有する請求項3に記載のデバイス。
- 前記真空ボックスの外側に設置され、前記アノードターゲットに対応する細長いコリメータ開口が開けられる遮蔽・コリメータ装置を更に有する請求項3に記載のデバイス。
- 前記遮蔽・コリメータ装置は、鉛材料によって製作される請求項12に記載のデバイス。
- 分散型X線を発生する方法であって、
電子銃を制御して、電子ビームを発生するステップと、
走査装置を制御して、走査磁場を発生し、前記電子ビームを偏向するステップと、
前記走査装置の制御によって、前記電子ビームで限流装置に規則的に設置された複数の開口を走査し、アレイ型に分布されたパルス電子ビームを順に出力するステップと、
電界を発生して、前記アレイ型に分布されたパルス電子ビームを加速するステップと、
加速された電子ビームがアノードターゲットに衝撃して、X線を発生するステップと、
を含む方法。 - 前記限流装置は、複数の開口を有する長尺ストリップ状の金属板である請求項14に記載の方法。
- 前記アノードターゲットは、前記限流装置と近い長さを有する長尺ストリップ状の金属板である請求項14に記載の方法。
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