JP5788241B2

JP5788241B2 - Heat treatment equipment

Info

Publication number: JP5788241B2
Application number: JP2011140843A
Authority: JP
Inventors: 聡森分; 二雄金子
Original assignee: 株式会社ヒラノテクシード
Priority date: 2011-06-24
Filing date: 2011-06-24
Publication date: 2015-09-30
Anticipated expiration: 2031-06-24
Also published as: JP2013007532A

Description

本発明は、長尺状の基材を乾燥又は熱処理させる熱処理装置に関するものである。 The present invention relates to a heat treatment apparatus for drying or heat-treating a long substrate.

従来より、熱処理室内部の長尺状の基材の走行路の上下に沿ってノズルが複数個配され、これら上下ノズルから吹き出される熱風によって、この熱処理室の内部に搬入された基材をフローティング状態で熱処理又は乾燥を行う熱処理装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。 Conventionally, a plurality of nozzles are arranged along the upper and lower sides of the running path of the long base material in the heat treatment chamber, and the hot air blown out from these upper and lower nozzles causes the substrate carried into the heat treatment chamber to be A heat treatment apparatus that performs heat treatment or drying in a floating state has been proposed (see, for example, Patent Document 1).

特開平７−２３４０７０号公報JP-A-7-234070

上記熱処理装置において、塗工液に含まれている有機溶剤が乾燥により蒸発するが、安全管理基準の溶剤濃度を爆発下限値（ＬＥＬ）の２５％以下になるように熱処理室からの空気の排気量を設定する必要がある。 In the above heat treatment apparatus, the organic solvent contained in the coating liquid evaporates by drying, but air is exhausted from the heat treatment chamber so that the solvent concentration of the safety management standard is 25% or less of the lower explosion limit (LEL). The amount needs to be set.

一方、基材に塗工された塗工液を乾燥させる場合に、塗工直後は、塗工部の表面が波立たないようにするために、上下ノズルの風速を抑える必要がある。 On the other hand, when drying the coating liquid applied to the base material, it is necessary to suppress the wind speed of the upper and lower nozzles immediately after coating in order to prevent the surface of the coating part from undulating.

しかし、上記で説明した必要な排気量を設定すると、この上下ノズルの風速を抑えることができないという問題点がある。 However, there is a problem in that the wind speed of the upper and lower nozzles cannot be suppressed when the necessary displacement described above is set.

そこで、本発明は上記問題点に鑑み、上下ノズルからの風速を抑えても、必要な排気量を確保できる熱処理装置を提供する。 Therefore, in view of the above problems, the present invention provides a heat treatment apparatus that can secure a necessary displacement even if the wind speed from the upper and lower nozzles is suppressed.

本発明は、熱処理室と、前記熱処理室の内部に設けられた長尺状の基材の走行路の上方であって、前記走行路に沿って配され、前記基材の上面に熱風を吹き出す複数の上ノズルと、前記走行路の下方であって、前記走行路に沿って配され、前記基材の下面に熱風を吹き出す複数の下ノズルと、前記複数の上ノズルの上部に設けられ、前記各上ノズルに熱風をそれぞれ供給する上ダクトと、前記複数の下ノズルの下部に設けられ、前記各下ノズルに熱風をそれぞれ供給する下ダクトと、前記熱処理室の内部の空気を外部に排気するための排気口と、前記上ダクトに開口した上開口部と、前記下ダクトに開口した下開口部と、前記熱処理室の外部に設けられた送風機と、前記熱処理室の外部に設けられ、前記送風機から送風された空気を加熱するヒータと、前記ヒータで加熱された熱風を、前記熱処理室の内部に設けられた前記上ダクトと前記下ダクトにそれぞれ給気する給気ダクトと、前記熱処理室の外部に設けられた空気を取り込む取り込み口と、前記熱処理室内部の空気を前記送風機に循環させるための循環口と、前記取り込み口から取り込んだ空気と、前記循環口から循環した空気とを混合して前記送風機に循環させる循環ダクトと、前記上開口部と前記下開口部の開口面積をそれぞれ可変させる上面ルーパーと下面ルーパーと、を有し、前記基材の上面と下面には、有機溶剤が含まれている塗工液がそれぞれ塗工され、前記上ノズルと前記下ノズルからそれぞれ吹き出される熱風のノズル風速を下げる場合に、前記上面ルーパーと前記下面ルーパーによって前記上開口部と前記下開口部の開口面積を大きくして、前記ヒータから前記給気ダクトに供給される空気の給気量を前記排気口から排気される空気の排気量より大きくする、ことを特徴とする熱処理装置である。
The present invention is a heat treatment chamber and a long base material provided in the inside of the heat treatment chamber, above the travel path of the base material, arranged along the travel path, and blows hot air on the upper surface of the base material. A plurality of upper nozzles, below the travel path, arranged along the travel path, provided with a plurality of lower nozzles for blowing hot air to the lower surface of the substrate, and provided above the plurality of upper nozzles, An upper duct that supplies hot air to each of the upper nozzles, a lower duct that is provided below each of the plurality of lower nozzles and supplies hot air to each of the lower nozzles, and exhausts air inside the heat treatment chamber to the outside An exhaust opening for opening, an upper opening opened in the upper duct, a lower opening opened in the lower duct, a blower provided outside the heat treatment chamber, and provided outside the heat treatment chamber, Heating air blown from the blower A hot air heated by the heater, an air supply duct for supplying air to the upper duct and the lower duct provided inside the heat treatment chamber, and air provided outside the heat treatment chamber, respectively. Circulation for mixing the intake port, the circulation port for circulating the air in the heat treatment chamber to the blower, the air taken in from the intake port, and the air circulated from the circulation port and circulating to the blower A coating liquid that includes a duct, an upper surface looper and a lower surface looper that respectively change the opening areas of the upper opening and the lower opening, and the upper surface and the lower surface of the base material contain an organic solvent. When the nozzle speed of hot air blown from the upper nozzle and the lower nozzle is lowered, the upper opening portion and the front opening portion are moved forward by the upper surface looper and the lower surface looper. By increasing the aperture area of the lower opening, larger than the amount of exhaust air exhausted the air supply amount of the air supplied to the air supply duct from the heater from the exhaust port, a heat treatment apparatus, wherein It is.

本発明によれば、上ダクトに開口した上開口部と、下ダクトに開口した下開口部から熱風が吹き出すことにより、上下ノズルの風速を上げることなく、排気量を増加させることができる。 According to the present invention, the hot air blows out from the upper opening portion opened in the upper duct and the lower opening portion opened in the lower duct, whereby the exhaust amount can be increased without increasing the wind speed of the upper and lower nozzles.

本発明の一実施形態を示す熱処理装置の斜視図である。It is a perspective view of the heat processing apparatus which shows one Embodiment of this invention. 熱処理装置の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the heat processing apparatus. 熱処理装置の横断面図である。It is a cross-sectional view of a heat treatment apparatus. 熱処理装置における空気の流れを示す概略図である。It is the schematic which shows the flow of the air in a heat processing apparatus.

以下、本発明の一実施形態の熱処理装置１０について、図１〜図４に基づいて説明する。 Hereinafter, the heat processing apparatus 10 of one Embodiment of this invention is demonstrated based on FIGS.

熱処理装置１０は、一定の速度で前後方向に走行する長尺状の基材１の上下両面に塗工液が塗工された塗工部２を乾燥させるものであって、本実施形態の熱処理装置１０は、熱風を循環させる循環方式である。基材１としては、フィルム、リチウム二次電池の電極に使用される金属箔、孔が開いた金属箔、金属製の網等である。また、塗工液は、有機溶剤を含んでいる。この有機溶剤としては、例えば、沸点が２０２℃のＮ−メチル−２−ピロリドン（N-methylpyrrolidone、ＮＭＰ）、１１０℃のトルエン、７９．５℃のメチルエチルケトン（methyl ethyl ketone、ＭＥＫ）である。 The heat treatment apparatus 10 dries the coating part 2 in which the coating liquid is coated on the upper and lower surfaces of the long base 1 that travels in the front-rear direction at a constant speed. The apparatus 10 is a circulation system that circulates hot air. Examples of the substrate 1 include a film, a metal foil used for an electrode of a lithium secondary battery, a metal foil having a hole, a metal net, and the like. The coating solution contains an organic solvent. Examples of the organic solvent include N-methylpyrrolidone (NMP) having a boiling point of 202 ° C., toluene at 110 ° C., and methyl ethyl ketone (MEK) at 79.5 ° C.

（１）熱処理装置１０の構造
熱処理装置１０の構造について、図１〜図３に基づいて説明する。 (1) Structure of heat treatment apparatus 10 The structure of the heat treatment apparatus 10 will be described with reference to FIGS.

熱処理装置１０は、長方体よりなる熱処理室１２を有する。この熱処理室１２は、断熱性を有し、前面に基材１の搬入口１４が開口し、後面に搬出口１６が開口し、基材１が搬入口１４から搬出口１６に向かって前後方向に走行する走行路が設けられている。走行路の上方には、走行路に沿って上ダクト２０が設けられている。この上ダクト２０の下面、すなわち、走行路の上方には、上ノズル２２が所定間隔毎に設けられている。この上ノズル２２は、基材１の幅方向に沿って上ダクト２０の下面に取り付けられ、上ノズル２２の下面には、熱風を吹き出すためのスリット状の吹き出し口２４が、平行に２個設けられている。 The heat treatment apparatus 10 has a heat treatment chamber 12 made of a rectangular parallelepiped. This heat treatment chamber 12 has heat insulation properties, a carry-in port 14 of the base material 1 is opened on the front surface, a carry-out port 16 is opened on the rear surface, and the base material 1 is moved in the front-rear direction from the carry-in port 14 toward the carry-out port 16 A traveling path for traveling is provided. An upper duct 20 is provided above the travel path along the travel path. Upper nozzles 22 are provided at predetermined intervals on the lower surface of the upper duct 20, that is, above the traveling path. The upper nozzle 22 is attached to the lower surface of the upper duct 20 along the width direction of the base material 1, and two slit-like outlets 24 for blowing hot air are provided in parallel on the lower surface of the upper nozzle 22. It has been.

走行路の下方には、下ダクト２６が、走行路に沿って設けられ、この下ダクト２６の上部には、下ノズル２８が所定間隔毎に設けられている。また、上ノズル２２と下ノズル２８とは、図２に示すように、千鳥状に配されている。さらに、下ノズル２８は、基材１の幅方向に沿って設けられている。また、下ノズル２８の上面にも、スリット状の吹き出し口２４が平行に２個設けられている。 A lower duct 26 is provided below the traveling path along the traveling path, and lower nozzles 28 are provided at predetermined intervals above the lower duct 26. The upper nozzle 22 and the lower nozzle 28 are arranged in a staggered manner as shown in FIG. Further, the lower nozzle 28 is provided along the width direction of the substrate 1. Also, two slit-shaped outlets 24 are provided in parallel on the upper surface of the lower nozzle 28.

熱処理室１２の外部において、空気を送風するための送風機３０が設けられている。 A blower 30 for blowing air is provided outside the heat treatment chamber 12.

送風機３０の下流側において、ガスバーナ等によって空気を加熱するヒータ３２が設けられている。このヒータ３２は、送風機から送風された空気を加熱する。このヒータ３２も熱処理室１２の外部に設けられている。 A heater 32 is provided on the downstream side of the blower 30 to heat the air with a gas burner or the like. The heater 32 heats the air blown from the blower. This heater 32 is also provided outside the heat treatment chamber 12.

ヒータ３２によって加熱された熱風を上ダクト２０と下ダクト２６にそれぞれ送るための給気ダクト３４が設けられている。この給気ダクト３４は、熱処理室１２を貫通し、上ダクト２０と下ダクト２６に直接連結されている。 An air supply duct 34 for sending hot air heated by the heater 32 to the upper duct 20 and the lower duct 26 is provided. The air supply duct 34 passes through the heat treatment chamber 12 and is directly connected to the upper duct 20 and the lower duct 26.

送風機３０に新しい空気を送るための取り込み口３６が送風機３０と熱処理室１２との間に設けられている。この取り込み口３６には、取り込み量を調整するための取り込みダンパー３８が設けられている。 An intake port 36 for sending new air to the blower 30 is provided between the blower 30 and the heat treatment chamber 12. The intake port 36 is provided with an intake damper 38 for adjusting the intake amount.

熱処理室１２の側面であって、送風機３０が取り付けられている側には、循環口４０が開口している。この循環口４０と、送風機３０の入口を結ぶ循環ダクト４２が設けられている。この循環ダクト４２には、取り込み口３６における取り込みダンパー３８が設けられ、循環ダクト４２には、循環口４０から循環した空気と取り込み口３６から取り込みダンパー３８を経て取り込まれた新しい空気とが混合して流れる。循環ダクト４２と送風機３０の入口との間には、循環ダンパー４４が設けられている。 A circulation port 40 is opened on the side of the heat treatment chamber 12 on the side where the blower 30 is attached. A circulation duct 42 that connects the circulation port 40 and the inlet of the blower 30 is provided. The circulation duct 42 is provided with an intake damper 38 at the intake port 36, and the air circulated from the circulation port 40 and new air taken from the intake port 36 through the intake damper 38 are mixed in the circulation duct 42. Flowing. A circulation damper 44 is provided between the circulation duct 42 and the inlet of the blower 30.

熱処理室１２の天井面には、排気口４６が設けられ、この排気口４６には排気ダンパー４８が取り付けられている。 An exhaust port 46 is provided on the ceiling surface of the heat treatment chamber 12, and an exhaust damper 48 is attached to the exhaust port 46.

（２）上ダクト２０と下ダクト２６の構造
上ダクト２０と下ダクト２６の構造について詳しく説明する。 (2) Structure of the upper duct 20 and the lower duct 26 The structure of the upper duct 20 and the lower duct 26 will be described in detail.

上ダクト２０は、基部（後部側）において、上面と下面が平行であり、中央部分から上面が下方に傾斜し、先端部（前部側）にいくほど、上ダクト２０内部の容積が小さくなっている。この傾斜した上面には、上面開口部５０が設けられ、この上面開口部５０には、開閉量を調整できる上面ルーバー５２が設けられている。 The upper duct 20 has an upper surface and a lower surface that are parallel to each other at the base (rear side), the upper surface is inclined downward from the central portion, and the volume inside the upper duct 20 decreases toward the front end (front side). ing. An upper surface opening 50 is provided on the inclined upper surface, and an upper surface louver 52 whose opening / closing amount can be adjusted is provided in the upper surface opening 50.

この上ダクト２０の基部（後部）には、上記で説明した給気ダクト３４が連結されている。そして、給気ダクト３４から給気された熱風は、上ダクト２０の下部に取り付けられた複数の上ノズル２２に供給されると共に、上面ルーバー５２から排気される。 The air supply duct 34 described above is connected to the base (rear part) of the upper duct 20. The hot air supplied from the air supply duct 34 is supplied to the plurality of upper nozzles 22 attached to the lower part of the upper duct 20 and is exhausted from the upper surface louver 52.

下ダクト２６は、上ダクト２０と上下対称の構造を有し、下面には下面開口部５４が開口し、この下面開口部５４には、開閉量を調整する下面ルーバー５６が設けられている。また、この下ダクト２６の基部にも、上記で説明した給気ダクト３４が連結されている。 The lower duct 26 has a vertically symmetrical structure with the upper duct 20, and a lower surface opening 54 is opened on the lower surface, and a lower surface louver 56 that adjusts the opening / closing amount is provided in the lower surface opening 54. The air supply duct 34 described above is also connected to the base of the lower duct 26.

（３）熱処理装置１０の動作状態
次に、熱処理装置１０の動作状態について図１〜図３に基づいて説明する。 (3) Operation State of Heat Treatment Apparatus 10 Next, an operation state of the heat treatment apparatus 10 will be described with reference to FIGS.

熱処理室１２の搬入口１４から長尺状の基材１が搬入される。この基材１の上下面にはそれぞれ有機溶剤を含んだ塗工液が塗工されている。 The long base material 1 is carried in from the carry-in entrance 14 of the heat treatment chamber 12. A coating solution containing an organic solvent is applied to the upper and lower surfaces of the substrate 1.

送風機３０とヒータ３２を動作させると、送風機３０は取り込み口３６から取り込んだ新しい空気をヒータ３２に送風し、ヒータ３２はこの空気を加熱して、給気ダクト３４によって上ダクト２０と下ダクト２６に熱風を給気する。 When the blower 30 and the heater 32 are operated, the blower 30 blows new air taken in from the intake port 36 to the heater 32, and the heater 32 heats this air, and the upper duct 20 and the lower duct 26 are heated by the air supply duct 34. Supply hot air to the air.

上ダクト２０に給気された熱風は、上ダクト２０内部を通り、各上ノズル２２に供給される。各上ノズル２２から供給された熱風は、上ノズル２２の下面にある吹き出し口２４から、基材１の幅方向に沿って下方に吹き出される。一方、下ダクト２６に供給された熱風は、下ノズル２８に供給され、下ノズル２８の吹き出し口２４から上方に吹き出される。走行路を走行する基材１は、図２に示すようにほぼ正弦波のフローティング状態で上下方向から熱風が吹き付けられて塗工部２が加熱され、塗工液から有機溶剤が蒸発する。 The hot air supplied to the upper duct 20 passes through the upper duct 20 and is supplied to each upper nozzle 22. The hot air supplied from each upper nozzle 22 is blown downward along the width direction of the base material 1 from the blowout port 24 on the lower surface of the upper nozzle 22. On the other hand, the hot air supplied to the lower duct 26 is supplied to the lower nozzle 28 and blown upward from the outlet 24 of the lower nozzle 28. As shown in FIG. 2, the base material 1 traveling on the traveling path is heated in a vertical direction in a substantially sinusoidal floating state to heat the coating part 2, and the organic solvent evaporates from the coating liquid.

この蒸発した有機溶剤を含んだ熱風は、熱処理室１２の天井面にある排気ダンパー４４を経て排気口４６から排気され、また、循環口４０に流れ込み、取り込み口３６から取り込まれた新しい空気と混合して、送風機３０に送られる。このように、熱処理装置１０においては、一部の空気を循環させつつ、基材１の上下面に熱風を当てて、塗工液を乾燥させる。 The hot air containing the evaporated organic solvent is exhausted from the exhaust port 46 through the exhaust damper 44 on the ceiling surface of the heat treatment chamber 12, flows into the circulation port 40, and is mixed with new air taken in from the intake port 36. Then, it is sent to the blower 30. Thus, in the heat treatment apparatus 10, the hot air is applied to the upper and lower surfaces of the base material 1 while circulating a part of the air to dry the coating liquid.

（４）上面開口部５０と下面開口部５４の効果
次に、上面開口部５０と下面開口部５４を設けた理由及びその効果について図４に基づいて説明する。 (4) Effects of the upper surface opening 50 and the lower surface opening 54 Next, the reason why the upper surface opening 50 and the lower surface opening 54 are provided and the effects thereof will be described with reference to FIG.

基材１を乾燥させる場合には、上記のような熱処理装置１０を複数個並べて乾燥を行っている。この場合に、塗工直後の基材１を乾燥させる場合には、上ノズル２２と下ノズル２８から吹き出される熱風のノズル風速を抑えて、塗工面が波立たないようにする必要がある。しかし、この場合であっても、有機溶剤の蒸発に伴い、安全管理基準の溶剤濃度を爆発下限値（ＬＥＬ）の２５％以下にする必要がある。この場合の上面開口部５０と下面開口部５４の役割について説明する。 When the substrate 1 is dried, a plurality of heat treatment apparatuses 10 as described above are arranged and dried. In this case, when drying the substrate 1 immediately after coating, it is necessary to suppress the nozzle air velocity of the hot air blown from the upper nozzle 22 and the lower nozzle 28 so that the coating surface does not wave. However, even in this case, with the evaporation of the organic solvent, the solvent concentration of the safety management standard needs to be 25% or less of the lower explosion limit (LEL). The roles of the upper surface opening 50 and the lower surface opening 54 in this case will be described.

（４−１）定義
この説明で使用する符号Ａ〜Ｆの定義について図４に基づいて説明する。 (4-1) Definition Definitions of symbols A to F used in this description will be described with reference to FIG.

まず、取り込み口３６から取り込まれる取り込み量をＡとする。この取り込み量Ａは、取り込みダンパー３８によって調整する。 First, let A be the amount of intake taken in from the intake port 36. This intake amount A is adjusted by the intake damper 38.

次に、ヒータ３２から上ダクト２０及び下ダクト２６に給気される熱風の給気量をＢとする。 Next, let B be the amount of hot air supplied from the heater 32 to the upper duct 20 and the lower duct 26.

次に、熱処理室１２の排気口４６から排気される空気の排気量をＣとする。この排気量Ｃは、排気ダンパー４８によって調整する。そして、取り込み量Ａ＝排気量Ｃになるように取り込みダンパー３８と排気ダンパー４８で調整する。 Next, let C be the amount of air exhausted from the exhaust port 46 of the heat treatment chamber 12. The exhaust amount C is adjusted by the exhaust damper 48. The intake damper 38 and the exhaust damper 48 adjust the intake amount A to the exhaust amount C.

次に、熱処理室１２の循環口４０から循環ダクト４２に循環する空気の循環量をＤとする。 Next, let D be the amount of air circulated from the circulation port 40 of the heat treatment chamber 12 to the circulation duct 42.

次に、上ダクト２０及び下ダクト２６から吹き出される熱風の総吹き出し量をＦとする。 Next, let F be the total amount of hot air blown out from the upper duct 20 and the lower duct 26.

次に、上面開口部５０と下面開口部５４から排出される排出量をＥとする。 Next, let E be the discharge amount discharged from the upper surface opening 50 and the lower surface opening 54.

（４−２）従来の熱処理装置の説明
まず、上面開口部５０と下面開口部５４がない従来の熱処理装置の動作について説明する。 (4-2) Description of Conventional Heat Treatment Apparatus First, the operation of a conventional heat treatment apparatus without the upper surface opening 50 and the lower surface opening 54 will be described.

従来は、ノズル風速を抑えるためには、総吹き出し量Ｆを減らす必要があり、そのためには、給気量Ｂを小さくする必要がある。この給気量Ｂを小さくすると、排気量Ｃより小さくなることがある。そのため、取り込み口３６から取り込まれた新しい空気が、循環口４０の方向に逆流し、循環口４０付近にある有機溶剤を含んだ熱風が冷却されて、循環口４０の回りに結露を生じる場合がある。 Conventionally, in order to suppress the nozzle wind speed, it is necessary to reduce the total blowing amount F, and for this purpose, it is necessary to reduce the air supply amount B. If the air supply amount B is reduced, the exhaust amount C may be reduced. Therefore, the new air taken in from the intake port 36 flows backward in the direction of the circulation port 40, and the hot air containing the organic solvent in the vicinity of the circulation port 40 is cooled to cause condensation around the circulation port 40. is there.

（４−３）本実施家板の熱処理装置１０の説明
次に、上面開口部５０と下面開口部５４を有する熱処理装置１０の動作について説明する。 (4-3) Description of Heat Treatment Apparatus 10 for Household Plate Next, the operation of the heat treatment apparatus 10 having the upper surface opening 50 and the lower surface opening 54 will be described.

本実施形態では、ノズル風速を抑えるために給気量Ｂが小さくする必要はない。その理由は、上面開口部５０及び下面開口部５４が、上面ルーバー５２と下面ルーバー５６によって開口し、上ノズル２２と下ノズル２８のノズル風速を低いままの状態で（総吹き出し量Ｆを小さくした状態）、給気量Ｂを増加させることができるからである。すなわち、上面開口部５０と下面開口部５４から熱風が排出されるため、総吹き出し量Ｆを小さくした維持したまま、その排出量Ｅの分だけ給気量Ｂを増加させることができるからである。すると、給気量Ｂが排出量Ｃよりも大きくなり、循環ダクト４２側に循環量Ｄの熱風が流れ、循環ダンパー４４を経て送風機３０に送られる。そのため、循環口４０に逆流する空気がなくなり、循環口４０付近に有機溶剤の結露が生じない。 In the present embodiment, it is not necessary to reduce the air supply amount B in order to suppress the nozzle wind speed. The reason is that the upper surface opening 50 and the lower surface opening 54 are opened by the upper surface louver 52 and the lower surface louver 56, and the nozzle air velocity of the upper nozzle 22 and the lower nozzle 28 is kept low (the total blowing amount F is reduced). This is because the air supply amount B can be increased. That is, since hot air is discharged from the upper surface opening 50 and the lower surface opening 54, the air supply amount B can be increased by the discharge amount E while keeping the total blowing amount F small. . Then, the air supply amount B becomes larger than the discharge amount C, the hot air of the circulation amount D flows to the circulation duct 42 side, and is sent to the blower 30 through the circulation damper 44. Therefore, there is no air flowing back to the circulation port 40, and no condensation of the organic solvent occurs near the circulation port 40.

これを式で表すと、
Ａ＝Ｃ・・・（１）
Ｂ＝Ｅ＋Ｆ・・・（２）
Ｂ＝Ｃ＋Ｄ・・・（３）
Ｂ＞Ｃ・・・（４）
となる。但し、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ＞０である。 This can be expressed as an expression:
A = C (1)
B = E + F (2)
B = C + D (3)
B> C (4)
It becomes. However, A, B, C, D, E, F> 0.

（５）効果
本実施形態によれば、上ノズル２２と下ノズル２８からの風速を押さえても、上面開口部５０と下面開口部５４の開閉量を上面ルーバー５２と下面ルーバー５６によって調整して排出量Ｅを増加させて、給気量Ｂを排出量Ｃよりも常に大きくする。これによって、循環口４０における逆流がなくなる。 (5) Effect According to the present embodiment, the opening / closing amounts of the upper surface opening 50 and the lower surface opening 54 are adjusted by the upper surface louver 52 and the lower surface louver 56 even if the wind speed from the upper nozzle 22 and the lower nozzle 28 is suppressed. The exhaust amount E is increased so that the air supply amount B is always larger than the exhaust amount C. This eliminates backflow at the circulation port 40.

また、上ノズル２２と下ノズル２８からの風速を上げる場合は、上面ルーバー５２と下面ルーバー５６を閉じて上面開口部５０と下面開口部５４の開閉量を少なくすればよい。 Further, when increasing the wind speed from the upper nozzle 22 and the lower nozzle 28, the upper surface louver 52 and the lower surface louver 56 may be closed to reduce the opening / closing amounts of the upper surface opening 50 and the lower surface opening 54.

（６）変更例
上記実施形態の熱処理装置１０においては、熱風を循環させる循環方式で示したが、この循環方式に限らず、熱処理室１２に給気された空気を全て排気する方式の熱処理装置１０においても、上ダクト２０と下ダクト２６に上面開口部５０と下面開口部５４を設けることにより、送風機３０からの送風量を増大させつつ、上ノズル２２と下ノズル２８の風速を小さくすることができる。この理由は、上面開口部５０と下面開口部５４からの熱風の排出があるからである。 (6) Modification Example In the heat treatment apparatus 10 of the above embodiment, the circulation system that circulates hot air is used. However, the present invention is not limited to this circulation system, and a heat treatment apparatus that exhausts all the air supplied to the heat treatment chamber 12. 10, the upper duct 20 and the lower duct 26 are provided with the upper surface opening 50 and the lower surface opening 54, so that the air velocity of the upper nozzle 22 and the lower nozzle 28 is reduced while increasing the amount of air blown from the blower 30. Can do. This is because hot air is discharged from the upper surface opening 50 and the lower surface opening 54.

上記では本発明の一実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の主旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。 Although one embodiment of the present invention has been described above, this embodiment is presented as an example and is not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the spirit of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.

１０・・・熱処理装置、１２・・・熱処理室、２０・・・上ダクト、２２・・・上ノズル、２６・・・下ダクト、２８・・・上ノズル、３０・・・送風機、３２・・・ヒータ、３４・・・給気ダクト、３６・・・取り込み口、４０・・・循環口、４２・・・循環ダクト、４６・・・排気口、５０・・・上面開口部、５４・・・下面開口部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Heat processing apparatus, 12 ... Heat processing chamber, 20 ... Upper duct, 22 ... Upper nozzle, 26 ... Lower duct, 28 ... Upper nozzle, 30 ... Blower, 32. ..Heater 34 ... Air supply duct 36 ... Intake port 40 ... Circulation port 42 ... Circulation duct 46 ... Exhaust port 50 ... Upper surface opening 54 ..Lower surface opening

Claims

熱処理室と、
前記熱処理室の内部に設けられた長尺状の基材の走行路の上方であって、前記走行路に沿って配され、前記基材の上面に熱風を吹き出す複数の上ノズルと、
前記走行路の下方であって、前記走行路に沿って配され、前記基材の下面に熱風を吹き出す複数の下ノズルと、
前記複数の上ノズルの上部に設けられ、前記各上ノズルに熱風をそれぞれ供給する上ダクトと、
前記複数の下ノズルの下部に設けられ、前記各下ノズルに熱風をそれぞれ供給する下ダクトと、
前記熱処理室の内部の空気を外部に排気するための排気口と、
前記上ダクトに開口した上開口部と、
前記下ダクトに開口した下開口部と、
前記熱処理室の外部に設けられた送風機と、
前記熱処理室の外部に設けられ、前記送風機から送風された空気を加熱するヒータと、
前記ヒータで加熱された熱風を、前記熱処理室の内部に設けられた前記上ダクトと前記下ダクトにそれぞれ給気する給気ダクトと、
前記熱処理室の外部に設けられた空気を取り込む取り込み口と、
前記熱処理室内部の空気を前記送風機に循環させるための循環口と、
前記取り込み口から取り込んだ空気と、前記循環口から循環した空気とを混合して前記送風機に循環させる循環ダクトと、
前記上開口部と前記下開口部の開口面積をそれぞれ可変させる上面ルーパーと下面ルーパーと、
を有し、
前記基材の上面と下面には、有機溶剤が含まれている塗工液がそれぞれ塗工され、
前記上ノズルと前記下ノズルからそれぞれ吹き出される熱風のノズル風速を下げる場合に、前記上面ルーパーと前記下面ルーパーによって前記上開口部と前記下開口部の開口面積を大きくして、前記ヒータから前記給気ダクトに供給される空気の給気量を前記排気口から排気される空気の排気量より大きくする、
ことを特徴とする熱処理装置。 A heat treatment chamber;
A plurality of upper nozzles that are above the traveling path of the elongated base material provided in the heat treatment chamber, are arranged along the traveling path, and blows hot air over the upper surface of the base material,
A plurality of lower nozzles below the travel path, disposed along the travel path, and for blowing hot air to the lower surface of the substrate;
An upper duct provided at an upper part of the plurality of upper nozzles and supplying hot air to each of the upper nozzles;
A lower duct provided at a lower portion of the plurality of lower nozzles and supplying hot air to each of the lower nozzles;
An exhaust port for exhausting the air inside the heat treatment chamber to the outside;
An upper opening opening in the upper duct;
A lower opening opened in the lower duct;
A blower provided outside the heat treatment chamber;
A heater that is provided outside the heat treatment chamber and heats air blown from the blower;
An air supply duct for supplying hot air heated by the heater to the upper duct and the lower duct provided inside the heat treatment chamber;
An intake port for taking in air provided outside the heat treatment chamber;
A circulation port for circulating air in the heat treatment chamber to the blower;
A circulation duct for mixing the air taken in from the intake port and the air circulated from the circulation port to circulate to the blower;
An upper surface looper and a lower surface looper that respectively change the opening area of the upper opening and the lower opening;
Have
The upper surface and the lower surface of the base material are each coated with a coating liquid containing an organic solvent,
When lowering the nozzle speed of hot air blown from the upper nozzle and the lower nozzle, respectively, the opening area of the upper opening and the lower opening is increased by the upper surface looper and the lower surface looper, An amount of air supplied to the air supply duct is made larger than an amount of air exhausted from the exhaust port;
The heat processing apparatus characterized by the above-mentioned.