JP5781644B2 - 温度測定用パイロメータの校正装置 - Google Patents
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Description
図6に示すように、ボディハウジングの出光壁100cには、離隔体に形成された蓋体固定孔と向かい合う位置にねじ山内周面を有する蓋体締付溝102が形成されている。このため、各固定体300(たとえば、ねじ山ボルト)が蓋体固定孔201を貫通するときに、ねじ山結合しながら固定体の先端が蓋体締付溝102に嵌め込まれてねじ山結合されることにより、出光壁保護蓋体200をボディハウジングの出光壁100cにねじ山結合によって固定することができる。
40 パイロメータ
41 レンズ
100 ボディハウジング
100c 出光壁
110 黒体
200 出光壁保護蓋体
300 固定体
Claims (10)
- 一方の端面が掘り込まれて輻射エネルギーを放射する内部空間である輻射空間を有する黒体と、
内部空間に前記黒体を設け、前記黒体の開口された一方の端面と向かい合い、前記輻射空間と貫通連結される出光口が形成された出光壁を有するボディハウジングと、
前記出光口と向かい合う位置に5μm〜20μmの長波長が透過可能な透明遮断板を備え、前記ボディハウジングの出光壁と結合される出光壁保護蓋体と、
前記出光壁保護蓋体を前記ボディハウジングの出光壁に固定する固定体と、
を備え、
前記出光壁保護蓋体は、前記ボディハウジングの出光壁と向かい合う内部面とこの内部面の反対面である外部面を貫通する蓋体貫通口を備え、前記蓋体貫通口と貫通連結された中心口を有し、前記外部面から突出された貫通体が配設され、前記透明遮断板は、前記中心口の内径に接して設けられ、
前記出光壁保護蓋体は、前記ボディハウジングの出光口と外部を継ぐ通路空間が形成されるように前記ボディハウジングの出光壁に離間して結合されることを特徴とする温度測定用パイロメータの校正装置。 - 前記透明遮断板は、BaF2、CaF2、Geのうちのいずれか一種の材質からなることを特徴とする請求項1に記載の温度測定用パイロメータの校正装置。
- 前記透明遮断板は、凸レンズまたは凹レンズ、凸レンズ結合体または凹レンズ結合体、あるいは、凸レンズと凹レンズとの結合体のうちのいずれか一種であることを特徴とする請求項1に記載の温度測定用温度測定用パイロメータの校正装置。
- 前記出光壁保護蓋体は、
前記内部面と、前記外部面とを有する蓋体プレートと、
前記出光口と向かい合う位置において前記内部面と外部面を貫通する前記蓋体貫通口と、
前記蓋体貫通口と貫通連結された中心口を有し、外部面から突出された貫通体であって、前記中心口を遮断する前記透明遮断板を備える透明遮断板結合体と、
前記内部面から突出されて、突出面が前記ボディハウジングの出光壁と接触可能な離隔体と、
前記離隔体の突出面と外部面を貫通する蓋体固定孔と、
を備えることを特徴とする請求項1に記載の温度測定用パイロメータの校正装置。 - 前記内部面の周縁部は、前記蓋体プレートの先端に進むにつれて前記蓋体プレートの厚さを薄くする第1斜面を有することを特徴とする請求項4に記載の温度測定用パイロメータの校正装置。
- 前記ボディハウジングの出光壁の周縁部には、前記第1斜面と同じ隙間を有するように前記第1斜面と向かい合う第2斜面が形成されたことを特徴とする請求項5に記載の温度測定用パイロメータの校正装置。
- 前記ボディハウジングの出光壁は、
前記出光壁保護蓋体が離間して結合されて覆われる領域である中心出光壁と、
前記出光壁保護蓋体が覆われていない領域である周縁出光壁と、
を備え、
前記中心出光壁の厚さが前記周縁出光壁の厚さよりも小さな厚さ段差を有することを特徴とする請求項4に記載の温度測定用パイロメータの校正装置。 - 前記中心出光壁は、
内周と外周を有するドーナツ状を呈し、前記内周は前記出光口に接することを特徴とする請求項7に記載の温度測定用パイロメータの校正装置。 - 前記出光壁保護蓋体は前記外周の直径よりも小さな直径を有し、前記出光壁保護蓋体が前記中心出光壁の外周内において向かい合って離間して結合されることを特徴とする請求項8に記載の温度測定用パイロメータの校正装置。
- 前記透明遮断板結合体は、
第1内部円周を有し、前記蓋体貫通口の外部面から突出された第1円周突出面を有する第1円周貫通体と、
前記第1内部円周よりも大きな直径を有する第2内部円周を有し、第2内部円周の内部面に形成された第2円周ねじ山を形成した第2円周貫通体と、
内側面と外側面を有し、前記内側面が前記第1円周突出面に載置される透明遮断板と、
前記透明遮断板の外側面と接して前記第2円周ねじ山に沿って結合して、前記透明遮断板を前記第1円周突出面に密着固定する円周リングと、
を備えることを特徴とする請求項4または請求項7に記載の温度測定用パイロメータの校正装置。
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US5820261A (en) * | 1995-07-26 | 1998-10-13 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a rapid thermal processing system |
JP3204605B2 (ja) * | 1995-09-12 | 2001-09-04 | 日本鋼管株式会社 | 光ファイバー温度計の校正方法 |
US6179465B1 (en) * | 1996-03-28 | 2001-01-30 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a thermal processing system using multiple light sources |
US6144031A (en) * | 1997-04-21 | 2000-11-07 | Inframetrics Inc. | Infrared video camera system with uncooled focal plane array and radiation shield |
US6293696B1 (en) * | 1999-05-03 | 2001-09-25 | Steag Rtp Systems, Inc. | System and process for calibrating pyrometers in thermal processing chambers |
US6447160B1 (en) * | 1999-11-02 | 2002-09-10 | Advanced Monitors Corp. | Blackbody cavity for calibration of infrared thermometers |
JP3404531B2 (ja) * | 2001-03-02 | 2003-05-12 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 温度校正方法および装置 |
US6940073B1 (en) * | 2002-11-08 | 2005-09-06 | Georgia Tech Research Corporation | Method for determining the concentration of hydrogen peroxide in a process stream and a spectrophotometric system for the same |
WO2005092051A2 (en) * | 2004-03-22 | 2005-10-06 | Advanced Biophotonics, Inc. | Integrated black body and lens cap assembly and methods for calibration of infrared cameras using same |
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