JP5772228B2 - Linear actuator unit inspection device, linear actuator unit driving device, and vibration damping device including the same - Google Patents

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Description

本発明は、リニアアクチュエータユニットを検査する検査装置、リニアアクチュエータユニット駆動装置及びこれを備えた制振装置に関するものである。   The present invention relates to an inspection device for inspecting a linear actuator unit, a linear actuator unit driving device, and a vibration damping device including the same.

従来から、固定子に対して可動子を往復動作させるリニアアクチュエータが、コンプレッサ等の種々な用途に対して適用されている。   Conventionally, linear actuators that reciprocate a movable element with respect to a stator have been applied to various uses such as a compressor.

例えば特許文献１には、一つの適用例として、レシプロモータ等のリニアアクチュエータを自動車等の車両に搭載して加振手段として用い、振動センサで検出される振動に対し逆相となる振動をリニアアクチュエータを通じて制振すべき位置に発生させるアクティブマスダンパー（制振装置）が開示されている。この制振装置では、振動を相殺するための相殺振動をリニアアクチュエータから発生させるべく、リニアアクチュエータの可動子を固定子に対して常に適切な可動範囲内で駆動することを制御の前提としているものの、万一、可動子が適切な可動範囲から超えてしまうことにより可動子を往復動可能に支持する板バネ等の支持部が破損することを防止すべく、可動子の往復動ストロークを規定する機械ストッパが可動子の往復動方向両側に対をなして配置されているのが通例である（特許文献１、２参照）。   For example, in Patent Document 1, as one application example, a linear actuator such as a reciprocating motor is mounted on a vehicle such as an automobile and used as a vibrating means, and vibrations having a phase opposite to that detected by a vibration sensor are linearly detected. An active mass damper (damping device) that is generated at a position to be damped through an actuator is disclosed. This vibration damping device is based on the premise that the linear actuator mover is always driven within an appropriate movable range with respect to the stator in order to generate a canceling vibration for canceling the vibration from the linear actuator. Should the reciprocating stroke of the mover be specified in order to prevent damage to the support portion such as a leaf spring that supports the reciprocating movement of the movable element by any time the movable element exceeds the appropriate movable range. In general, mechanical stoppers are arranged in pairs on both sides in the reciprocating direction of the mover (see Patent Documents 1 and 2).

上記のようなアクティブマスダンパー用のリニアアクチュエータは、主としてエンジンルーム内に置かれることが多いことから、厳しい温度やノイズ、浸水といった劣悪環境でも極めて高い信頼性が求められるため、例えば特許文献３、４に示すように、可動子及び固定子を有するリニアアクチュエータ本体の周囲をケースで包囲することで、可動子を始めとする磁気回路をケースで密閉してユニット化した構成が採用される。   Since the linear actuator for an active mass damper as described above is often placed mainly in the engine room, extremely high reliability is required even in a harsh environment such as severe temperature, noise, and flooding. For example, Patent Document 3, As shown in FIG. 4, a configuration is adopted in which a magnetic circuit including the mover is hermetically sealed and unitized by surrounding the periphery of a linear actuator body having a mover and a stator with a case.

国際公開第２００７／１２９６２７号International Publication No. 2007/129627 特開２００７−１３５３５０号公報JP 2007-135350 A 特許第４３８６１４９号公報Japanese Patent No. 4386149 特開２０１０−２２３３３８号公報JP 2010-223338 A

上記のリニアアクチュエータの製造コストを低減させるための一つの有効な手段として、機械ストッパをケースに設け、リニアアクチュエータ本体とケースとを組立状態にしたときに、対をなす機械ストッパが可動子の往復動方向両側に配置されるように構成することが考えられる。   As one effective means for reducing the manufacturing cost of the above linear actuator, a mechanical stopper is provided in the case, and when the linear actuator body and the case are in an assembled state, the pair of mechanical stoppers are moved back and forth by the mover. It can be considered to be arranged on both sides in the moving direction.

そして、このようなリニアアクチュエータユニットを量産するにあたり、リニアアクチュエータ本体とケースとを組み立てた状態の完成形ユニットが設計通りに動作するか否かの動作確認検査を行う必要がある。検査項目としては、通電に応じた方向に可動子が動作すること（すなわち配線ミスがないこと）や、組立状態で可動子の往復動方向両側に配置される対をなす機械ストッパ間に規定される可動子の有効ストロークが設計通りであること（すなわち組付誤差が許容範囲内であること）などが挙げられる。   In mass production of such a linear actuator unit, it is necessary to perform an operation check to check whether or not the completed unit assembled with the linear actuator body and the case operates as designed. The inspection items are defined between the movement of the mover in the direction corresponding to the energization (that is, there is no wiring error) and the pair of mechanical stoppers arranged on both sides in the reciprocating direction of the mover in the assembled state. The effective stroke of the movable element is as designed (that is, the assembly error is within an allowable range).

完成形ユニットの動作を検査する簡易な検査方法として、可動子の動作状態を目視又は撮像手段を通じて検査する光学的な検査法が考えられる。しかしながら、この検査方法は、ケースがアルミ製等のように不透明な場合は採用することができない。   As a simple inspection method for inspecting the operation of the completed unit, an optical inspection method for inspecting the operation state of the mover visually or through an imaging means can be considered. However, this inspection method cannot be used when the case is opaque, such as aluminum.

光学的な検査法を採用するための一つの手段として、ケースの一部に窓を設けることが考えられるが、ケースがコスト高になると共に、ケースの機密性の問題が生じてしまう。   As one means for adopting the optical inspection method, it is conceivable to provide a window in a part of the case. However, the case becomes expensive and a problem of confidentiality of the case occurs.

光学的な検査法を採用するための上記以外の手段として、アクリル等の透明材質を用いてケース自体を構成することが考えられるが、ケースがコスト高になるうえ、透明といえどもケース越しに視認することになり、検査判定の精度が悪化する可能性がある。   As a means other than the above for adopting an optical inspection method, it is conceivable to construct the case itself using a transparent material such as acrylic. However, the case is expensive, and even though it is transparent, the case is transparent. It will be visually recognized, and the accuracy of the inspection determination may deteriorate.

本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、その目的は、可動子がケースに覆われて内部が視認できない場合でも、リニアアクチュエータユニットの内部状態を検査可能な検査装置、リニアアクチュエータ駆動装置及びこれを備えた制振装置を提供することである。   The present invention has been made paying attention to such problems, and its purpose is to inspect the internal state of the linear actuator unit even when the mover is covered by the case and the inside cannot be visually recognized. Another object of the present invention is to provide a linear actuator driving device and a vibration damping device including the linear actuator driving device.

本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。   In order to achieve this object, the present invention takes the following measures.

すなわち、本発明のリニアアクチュエータユニット検査装置は、固定子及び当該固定子に対して所定方向に往復動作し得る可動子を有し通電により前記可動子が往復移動するリニアアクチュエータ本体と、前記リニアアクチュエータ本体の一部を固定した状態で当該リニアアクチュエータ本体の周囲を包囲するケースと、前記リニアアクチュエータ本体と前記ケースの組立状態において前記可動子の往復動方向両側に配置される対をなす機械ストッパとを備えたリニアアクチュエータユニットを検査する検査装置であって、通電がされていない状態において前記機械ストッパ間に規定される往復可動範囲の中心から前記可動子が自重により重力方向側にオフセットズレする姿勢に設置された検査対象となるリニアアクチュエータユニットに対して通電を行う駆動制御部と、前記通電に応じた前記可動子の往復動作によって前記リニアアクチュエータユニットに生じる振動又は音波を検出し、検出した振動波形又は音波波形に基づき前記可動子が前記機械ストッパへ衝突したことを検出する衝突検出手段と、前記駆動制御部による通電及び前記衝突検出手段による衝突検出の有無に基づき前記リニアアクチュエータユニットの内部状態を判定するための内部判定部とを備えてなり、所定振幅で振動する可動子の往復動中心を前記オフセットズレした状態から反重力方向側にオフセット移動させたときには前記機械ストッパとの衝突が発生せず且つ重力方向側にオフセット移動させたときには前記機械ストッパとの衝突が発生する検査用オフセット距離を予め設定しておき、前記所定振幅で可動子を振動させる往復動通電と、前記可動子の往復動中心を反重力方向側に前記検査用オフセット距離分オフセット移動させるオフセット通電とを重畳した検査用通電を前記駆動制御部を通じて行い、前記検査用通電がなされているときに前記衝突検出手段により衝突が検出された場合に、前記可動子が通電方向に応じた方向に動作しないと前記内部判定部が判定する一方で、前記衝突が検出されない場合に、前記可動子が通電方向に応じた方向に動作すると前記内部判定部が判定するように構成したことを特徴とする。   That is, the linear actuator unit inspection apparatus of the present invention includes a stator and a linear actuator main body having a movable element that can reciprocate in a predetermined direction with respect to the stator, and the movable element reciprocates when energized, and the linear actuator A case that surrounds the periphery of the linear actuator main body in a state where a part of the main body is fixed, and a pair of mechanical stoppers that are disposed on both sides in the reciprocating direction of the mover in the assembled state of the linear actuator main body and the case. An inspection apparatus for inspecting a linear actuator unit comprising: an attitude in which the mover is offset from the center of a reciprocating movable range defined between the mechanical stoppers in the state of being deenergized toward the direction of gravity due to its own weight when not energized. The linear actuator unit installed in A drive control unit for energizing the motor, and detecting vibrations or sound waves generated in the linear actuator unit by reciprocating movement of the mover in response to the energization, and the mover moves the mechanical stopper based on the detected vibration waveform or sound wave waveform. A collision detecting means for detecting the collision of the linear actuator unit, and an internal determination section for determining the internal state of the linear actuator unit based on the presence / absence of the current detection by the drive control section and the collision detection by the collision detection means. When the reciprocating center of the mover that vibrates with a predetermined amplitude is offset-shifted from the offset state to the antigravity direction side, no collision with the mechanical stopper occurs, and when the offset is moved to the gravity direction side, An inspection offset distance that causes a collision with the mechanical stopper is set in advance, and the predetermined vibration is set. Through the drive control unit, conducting energization for inspection in which reciprocation energization for vibrating the mover and offset energization for offset moving the reciprocation center of the mover in the anti-gravity direction by the offset distance for inspection is performed, When a collision is detected by the collision detection means when the inspection energization is performed, the internal determination unit determines that the mover does not operate in a direction corresponding to the energization direction, while the collision is If not detected, the internal determination unit determines that the mover moves in a direction corresponding to the energization direction.

このように構成すれば、ケースに包囲されることで可動子が視認できないリニアアクチュエータユニットについて、検査用通電をなしたときに配線方向等が正しければ、可動子と機械ストッパとが衝突せず、配線方向等が間違っていれば可動子と機械ストッパとが衝突するので、衝突の有無を検出によって、可動子が通電方向に応じた方向に動作するか否かを検査することが可能となる。   If constituted in this way, if the wiring direction etc. is correct when energization for inspection is performed for the linear actuator unit in which the mover is not visible by being surrounded by the case, the mover and the mechanical stopper do not collide, If the wiring direction or the like is wrong, the mover and the mechanical stopper collide, and therefore it is possible to inspect whether the mover operates in the direction corresponding to the energization direction by detecting the presence or absence of the collision.

周りの雑音に影響されることを低減して衝突判定精度を向上させるためには、前記衝突検出手段は、前記通電に応じた前記可動子の往復動作によって前記リニアアクチュエータユニットに生じる振動を検出する振動センサと、前記振動センサで検出した振動波形と理想波形との偏差に応じて前記可動子が前記機械ストッパに衝突したか否かを判定する衝突判定部とにより構成されていることが好ましい。   In order to reduce the influence of surrounding noise and improve the collision determination accuracy, the collision detection means detects vibration generated in the linear actuator unit by the reciprocating motion of the mover in response to the energization. It is preferable to include a vibration sensor and a collision determination unit that determines whether or not the mover has collided with the mechanical stopper in accordance with a deviation between a vibration waveform detected by the vibration sensor and an ideal waveform.

検査時に消費する電気エネルギーを抑制するためには、前記検査対象となるリニアアクチュエータユニットが取り付けられると共に、前記振動センサが取り付けられる振動台座部を備え、前記往復動通電は、前記振動台座部の共振周波数と一致する周波数又はその近傍の周波数で前記可動子を往復動作させるように設定されていることが望ましい。   In order to suppress electrical energy consumed during inspection, a linear actuator unit to be inspected is attached and a vibration pedestal portion to which the vibration sensor is attached is provided, and the reciprocating energization is performed by resonance of the vibration pedestal portion. It is desirable that the mover is set to reciprocate at a frequency that matches the frequency or a frequency in the vicinity thereof.

上記リニアアクチュエータユニットに対し、通電指令に応じた通電を行うことにより前
記可動子の駆動を制御する通常モードを具備するリニアアクチュエータユニット駆動装置
に上記検査機能を搭載して、経年劣化によってリニアアクチュエータユニットが交換時期
であるか否かを容易に知るためには、通電がされていない状態において前記機械ストッパ間に規定される往復可動範囲の中心から前記可動子が自重により重力方向側にオフセットズレする姿勢に設置された検査対象となるリニアアクチュエータユニットに対して通電を行う駆動制御部と、前記通電に応じた前記可動子の往復動作によって前記リニアアクチュエータユニットに生じる振動又は音波を検出し、検出した振動波形又は音波波形に基づき前記可動子が前記機械ストッパへ衝突したことを検出する衝突検出手段と、前記駆動制御部による通電及び前記衝突検出手段による衝突検出の有無に基づき前記リニアアクチュエータユニットの内部状態を判定するための内部判定部とを備えてなり、所定振幅で振動する可動子の往復動中心を前記オフセットズレした状態から反重力方向側にオフセット移動させたときには前記機械ストッパとの衝突が発生せず且つ重力方向側にオフセット移動させたときには前記機械ストッパとの衝突が発生する検査用オフセット距離を予め設定しておき、前記所定振幅で可動子を振動させる往復動通電と、前記可動子の往復動中心を反重力方向側に前記検査用オフセット距離分オフセット移動させるオフセット通電とを重畳した検査用通電を前記駆動制御部を通じて行い、前記検査用通電がなされているときに前記衝突検出手段により衝突が検出された場合に、前記可動子が通電方向に応じた方向に動作しないと前記内部判定部が判定する一方で、前記衝突が検出されない場合に、前記可動子が通電方向に応じた方向に動作すると前記内部判定部が判定するように構成することが好ましい。 The linear actuator unit driving device having a normal mode for controlling the driving of the mover by energizing the linear actuator unit in accordance with an energization command is equipped with the inspection function, and the linear actuator unit is deteriorated due to deterioration over time. In order to easily know whether or not is the replacement time, the mover is offset from the center of the reciprocating movable range defined between the mechanical stoppers in the gravity direction side by its own weight in a state where no power is supplied. A drive control unit for energizing a linear actuator unit to be inspected installed in a posture, and a vibration or sound wave generated in the linear actuator unit due to a reciprocating motion of the mover in response to the energization is detected and detected. Based on the vibration waveform or the sound wave waveform, the movable element is the mechanical stopper. A collision detection means for detecting a collision, and an internal determination section for determining the internal state of the linear actuator unit based on the energization by the drive control section and the presence or absence of collision detection by the collision detection means, When the reciprocating center of the mover that vibrates with a predetermined amplitude is offset-shifted from the offset position to the antigravity direction side, no collision with the mechanical stopper occurs, and when the offset is moved to the gravity direction side, the machine An inspection offset distance at which a collision with the stopper occurs is set in advance, reciprocation energization for vibrating the mover with the predetermined amplitude, and the inspection offset distance on the anti-gravity direction side of the reciprocation center of the mover. Inspection energization superposed with offset energization for offset movement is performed through the drive control unit, and the inspection When a collision is detected by the collision detection means when the collision is detected, the internal determination unit determines that the movable element does not operate in a direction corresponding to the energization direction, while the collision is not detected. It is preferable that the internal determination unit determines that the mover moves in a direction corresponding to the energization direction .

本発明のリニアアクチュエータユニット駆動装置は、リニアアクチュエータユニットを加振手段として用いる制振装置に適用するのが好適である。すなわち、本発明のリニアアクチュエータユニット駆動装置を適用したものであって、前記振動センサで検出した振動に対し逆相となる振動を制振すべき位置に前記リニアアクチュエータユニットを通じて発生させるための制振通電指令を生成する制振通電指令生成部を備え、前記通常モードにおいて前記制振通電指令生成部で生成された制振通電指令を用いて前記可動子を駆動するように構成した制振装置が挙げられる。   The linear actuator unit driving device of the present invention is preferably applied to a vibration damping device that uses the linear actuator unit as a vibration means. In other words, the linear actuator unit driving device of the present invention is applied, and the vibration control is performed for generating vibrations in the opposite phase to the vibration detected by the vibration sensor through the linear actuator unit at a position to be controlled. A vibration damping device that includes a vibration suppression energization command generation unit that generates an energization command, and is configured to drive the mover using the vibration suppression energization command generated by the vibration suppression energization command generation unit in the normal mode. Can be mentioned.

本発明は、以上説明した構成によれば、検査用通電をなしたときに配線方向等が正しければ、可動子と機械ストッパとが衝突せず、配線方向等が間違っていれば可動子と機械ストッパとが衝突するので、ケースに包囲されることで可動子が視認できない場合であっても、衝突の有無を検出によって、可動子が通電方向に応じた方向に動作するか否かを検査することが可能となる。   According to the present invention, according to the configuration described above, if the wiring direction is correct when energization for inspection is performed, the mover and the mechanical stopper do not collide, and if the wiring direction is incorrect, the mover and the machine Since the stopper collides with the case, even if the mover cannot be visually recognized by being surrounded by the case, it is checked whether the mover moves in the direction corresponding to the energization direction by detecting the presence or absence of the collision. It becomes possible.

したがって、可動子の視認できない場合でも、内部状態を検査可能なリニアアクチュエータユニット検査装置、リニアアクチュエータユニット駆動装置及びこれを備えた制振装置を提供することが可能となる。   Therefore, it is possible to provide a linear actuator unit inspection device, a linear actuator unit driving device, and a vibration damping device including the linear actuator unit inspection device that can inspect the internal state even when the mover cannot be visually recognized.

本発明の一実施形態に係るリニアアクチュエータユニット検査装置を模式的に示す図。The figure which shows typically the linear actuator unit test | inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 検査対象となるリニアアクチュエータユニットを模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the linear actuator unit used as test object. 同検査装置により駆動するリニアアクチュエータユニットの可動子の動作を模式的に示す図。The figure which shows typically operation | movement of the needle | mover of the linear actuator unit driven by the inspection apparatus. 同検査装置により駆動するリニアアクチュエータユニットの可動子の動作を模式的に示す図。The figure which shows typically operation | movement of the needle | mover of the linear actuator unit driven by the inspection apparatus. 可動子の駆動によって発生する振動に関する模式的な説明図。The typical explanatory view about the vibration which occurs by the drive of a mover. 同検査装置で実行されるモード制御処理ルーチンを示すフローチャート。The flowchart which shows the mode control processing routine performed with the inspection apparatus. 同検査装置で実行されるオフセット通電指令生成処理ルーチンを示すフローチャート。The flowchart which shows the offset electricity supply instruction | command generation process routine performed with the inspection apparatus. 同検査装置で実行される内部状態判定処理ルーチンを示すフローチャート。The flowchart which shows the internal state determination processing routine performed with the inspection apparatus. 本発明の一実施形態に係るリニアアクチュエータユニット駆動装置が適用される制振装置の構成を模式的に示す構成図。The block diagram which shows typically the structure of the damping device to which the linear actuator unit drive device which concerns on one Embodiment of this invention is applied. 図９に示すリニアアクチュエータユニット駆動装置の構成及び機能を模式的に示す図。The figure which shows typically the structure and function of the linear actuator unit drive device shown in FIG.

以下、本発明の一実施形態に係るリニアアクチュエータユニットＵを検査する検査装置を、図面を参照して説明する。   Hereinafter, an inspection apparatus for inspecting a linear actuator unit U according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

まず、検査対象となるリニアアクチュエータユニットＵについて説明する。図２に示すように、リニアアクチュエータユニットＵは、リニアアクチュエータ本体１０と、リニアアクチュエータ本体１０を収納するためのケース１１と、機械ストッパ１２とを有する。   First, the linear actuator unit U to be inspected will be described. As shown in FIG. 2, the linear actuator unit U includes a linear actuator main body 10, a case 11 for housing the linear actuator main body 10, and a mechanical stopper 12.

リニアアクチュエータ本体１０は、固定子１３及び固定子１３に対して所定の往復動方向Ｘに往復動作し得る可動子１４を有し、可動子１４を固定子１３の外側に配置した、いわゆるアウター型構造を採用しているものである。固定子１３は、永久磁石１３ａを設けた固定子コア１３ｂをシャフト１３ｃに取り付けたもので、シャフト１３ｃを介してケース１１の一部である固定土台１１ａに固定される。可動子１４は、その軸方向両端部が板バネ１５を介してシャフト１３ｃに固定されることで、所定の往復動方向Ｘに沿って往復移動可能に板バネ１５を介してシャフト１３ｃに支持されている。本実施形態では、図示の通り、リニアアクチュエータユニットＵを、その可動子１４の往復動方向Ｘが上下方向となる姿勢で設置される。   The linear actuator body 10 includes a stator 13 and a movable element 14 that can reciprocate in a predetermined reciprocating direction X with respect to the stator 13, and a so-called outer type in which the movable element 14 is disposed outside the stator 13. The structure is adopted. The stator 13 is obtained by attaching a stator core 13b provided with a permanent magnet 13a to a shaft 13c, and is fixed to a fixed base 11a which is a part of the case 11 via the shaft 13c. Both ends in the axial direction of the mover 14 are fixed to the shaft 13c via the leaf spring 15, so that the mover 14 is supported by the shaft 13c via the leaf spring 15 so as to be reciprocally movable along a predetermined reciprocating direction X. ing. In the present embodiment, as shown in the figure, the linear actuator unit U is installed in such a posture that the reciprocating direction X of the movable element 14 is the vertical direction.

ケース１１は、リニアアクチュエータ本体１０の一部、すなわち固定子１３を固定した状態で収容し得る、例えばアルミダイキャストを主体として構成されるもので、リニアアクチュエータ本体１０（シャフト１３ｃ）を取り付ける固定土台１１ａと、固定土台１１ａと共にリニアアクチュエータ本体１０の周囲を包囲するケース本体１１ｂとを有している。   The case 11 can be accommodated in a state in which a part of the linear actuator main body 10, that is, the stator 13 is fixed. The case 11 is configured mainly by, for example, aluminum die casting, and is a fixed base to which the linear actuator main body 10 (shaft 13 c) is attached. 11a and a case main body 11b surrounding the linear actuator main body 10 together with the fixed base 11a.

機械ストッパ１２は、例えば金属や樹脂、ゴム等により構成されるもので、ケース１１（固定土台１１ａ及びケース本体１１ｂ）とリニアアクチュエータ本体１０とを組み立てた状態で可動子１４の往復動方向両側に対をなして配置されるように、固定土台１１ａ及びケース本体１１ｂに取り付けられ、機械ストッパ１２を取り付けるための部材を省略して製造コストを低減させている。そして、組立状態において対をなす機械ストッパ１２間に可動子１４の可動範囲Ｄ（有効ストローク範囲）が規定されることになる。   The mechanical stopper 12 is made of, for example, metal, resin, rubber, or the like, and is provided on both sides of the movable element 14 in the reciprocating direction in a state where the case 11 (the fixed base 11a and the case main body 11b) and the linear actuator main body 10 are assembled. In order to be arranged in a pair, it is attached to the fixed base 11a and the case main body 11b, and a member for attaching the mechanical stopper 12 is omitted to reduce the manufacturing cost. And the movable range D (effective stroke range) of the needle | mover 14 is prescribed | regulated between the mechanical stoppers 12 which make a pair in an assembly state.

リニアアクチュエータ本体１０を構成する図示しないコイルに交流電流が通電される場合において、コイルに所定方向の電流が流れるときには、コイルへの通電で発生する磁界及び永久磁石１３ａで発生する磁界によって磁束のループが形成され、可動子１４が往復動方向Ｘの一方向である第一動作方向Ｘ１（反重力方向側）に白抜き矢印で示すように移動する。一方、コイルに対して所定方向とは逆方向に電流が流れると、可動子１４が往復動方向Ｘの他方向である第二動作方向Ｘ２（重力方向側）に移動する。すなわち、可動子１４は、交流電流によるコイルへの電流の流れる方向が交互に変化することにより上記動作を繰り返し、固定子１３に対してシャフト１３ｃの軸方向に往復動作することになる。可動子１４に働く推力は、コイルに通電する電流の大きさに比例するため、可動子１４の往復動作の振幅を、電流値（通電量）で制御することが可能である。このリニアアクチュエータ本体１０のより具体的な構造や動作説明は、特許文献１〜４等にも開示されているので、詳細は省略する。   When an alternating current is applied to a coil (not shown) constituting the linear actuator body 10 and a current in a predetermined direction flows through the coil, a magnetic flux loop is generated by the magnetic field generated by the energization of the coil and the magnetic field generated by the permanent magnet 13a. Is formed, and the mover 14 moves in the first movement direction X1 (the antigravity direction side), which is one direction of the reciprocation direction X, as indicated by the white arrow. On the other hand, when a current flows in a direction opposite to the predetermined direction with respect to the coil, the mover 14 moves in the second operation direction X2 (gravity direction side), which is the other direction of the reciprocation direction X. That is, the mover 14 repeats the above operation by alternately changing the direction of current flow to the coil due to the alternating current, and reciprocates in the axial direction of the shaft 13 c with respect to the stator 13. Since the thrust acting on the mover 14 is proportional to the magnitude of the current passed through the coil, the amplitude of the reciprocating motion of the mover 14 can be controlled by the current value (energization amount). Since a more specific structure and operation description of the linear actuator body 10 are also disclosed in Patent Documents 1 to 4 and the like, details thereof are omitted.

上記のリニアアクチュエータユニットＵを検査する動作検査装置は、図１に示すように、検査対象となるリニアアクチュエータユニットＵに通電を行って可動子１４を駆動し、可動子１４を機械ストッパ１２（図２参照）に衝突させ、衝突した際の通電に基づき不良があるか否かを判定するもので、振動台座部２と、モード制御部３と、駆動制御部４と、衝突検出手段５と、内部判定部６と、報知手段７とを有している。   As shown in FIG. 1, the operation inspection apparatus for inspecting the linear actuator unit U energizes the linear actuator unit U to be inspected to drive the mover 14, thereby moving the mover 14 to the mechanical stopper 12 (see FIG. 1). 2), and whether or not there is a defect based on energization at the time of the collision is determined. The vibration pedestal 2, the mode controller 3, the drive controller 4, the collision detection means 5, An internal determination unit 6 and a notification unit 7 are provided.

振動台座部２は、図１及び図３（ｂ）に示すように、検査対象となるリニアアクチュエータユニットＵを、通電がなされていない状態において機械ストッパ１２間に規定される往復可動範囲Ｄの中心Ｄｃから可動子１４が自重により重力方向Ｘ２側にオフセットズレする姿勢で設置するための板状をなす取付板を主体とするもので、可動子１４の往復動作によってリニアアクチュエータユニットＵと一体に振動するように、リニアアクチュエータユニットＵの取付部位から変位した複数箇所で支持されている。勿論、振動台座部２の形状は板状でなくともよく、また、片持ち状態で支持されるようにしてもよい。   As shown in FIGS. 1 and 3B, the vibration pedestal portion 2 is configured so that the linear actuator unit U to be inspected is centered in a reciprocating movable range D defined between the mechanical stoppers 12 in a state where current is not applied. It is mainly composed of a plate-like mounting plate for installation in a posture in which the movable element 14 is offset from the gravity direction X2 by its own weight, and vibrates integrally with the linear actuator unit U by the reciprocating motion of the movable element 14. As described above, the linear actuator unit U is supported at a plurality of locations displaced from the attachment site. Of course, the shape of the vibration pedestal portion 2 may not be a plate shape, and may be supported in a cantilever state.

ここで、図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、重力によって可動子１４が重力方向Ｘ２側にオフセットズレする重力オフセット距離Ｌｍ[m]は、可動子の質量をｍ[kg]、重力加速度をｇ[m/s2]、板バネ１５のバネ定数をｋ[N/m]、可動子に働く重力をＦ[N]とすると、次の数式（１）で示される。
重力オフセット距離Ｌｍ＝Ｆ／ｋ＝ｍ・ｇ／ｋ…（１） Here, as shown in FIGS. 3A and 3B, the gravity offset distance Lm [m] at which the mover 14 is offset by the gravity toward the gravity direction X2 side is the mass of the mover m [kg], When the acceleration of gravity is g [m / s 2 ], the spring constant of the leaf spring 15 is k [N / m], and the gravity acting on the mover is F [N], the following equation (1) is obtained.
Gravity offset distance Lm = F / k = m · g / k (1)

図１に戻り、モード制御部３は、動作方向検査又は有効ストローク検査のうち、外部からの検査指令で指示された検査を行うべく、制御部Ｃｏの動作モードを司るもので、現在行うべき動作モードを示すモード信号ＭＳを出力する。モード制御部３は、図示しないＣＰＵ、メモリ及びインターフェイスを具備するマイクロコンピュータユニットにより構成される制御部Ｃｏ（コントローラともいう）において図６に示すモード制御処理ルーチンがＣＰＵに実行されることで実現される。具体的には、図１及び図６に示すように、検査信号により動作方向検査が指示された場合（ステップＳＴ１：ＹＥＳ）には、ステップＳＴ２において動作方向検査モードＭＳ１を示すモード信号ＭＳを出力する。一方、有効ストローク検査が指示された場合（ステップＳＴ３：ＹＥＳ）には、第一動作方向ストローク検査モードＭＳ２又は第二動作方向ストローク検査モードＭＳ３のいずれかを示すモード信号ＭＳを出力する（ステップＳＴ４、ＳＴ６参照）。有効ストローク検査においては、第一動作方向ストローク検査モードＭＳ２及び第二動作方向ストローク検査モードＭＳ３を順次実行すべく、後述する衝突検出信号ＣＳの入力を以てモード信号ＭＳを切り換えるように構成されている（ステップＳＴ５参照）。 Returning to FIG. 1, the mode control unit 3 controls the operation mode of the control unit Co in order to perform the inspection instructed by the inspection command from the outside in the operation direction inspection or the effective stroke inspection. A mode signal MS indicating the mode is output. The mode control unit 3 is realized by a CPU executing a mode control processing routine shown in FIG. 6 in a control unit Co (also referred to as a controller) configured by a microcomputer unit having a CPU, a memory, and an interface (not shown). The Specifically, as shown in FIG. 1 and FIG. 6, when the operation direction inspection is instructed by the inspection signal (step ST1: YES), the mode signal MS indicating the operation direction inspection mode MS 1 is generated in step ST2. Output. On the other hand, if the effective stroke test is instructed (step ST3: YES), the CPU outputs a mode signal MS indicating one of the first operation direction stroke test mode MS 2 or the second operation direction stroke test mode MS 3 ( (See steps ST4 and ST6). In the effective stroke inspection, the mode signal MS is switched by the input of a collision detection signal CS (to be described later) in order to sequentially execute the first operation direction stroke inspection mode MS 2 and the second operation direction stroke inspection mode MS 3. (See step ST5).

動作方向検査モードＭＳ１は、通電方向に応じた方向に可動子１４が動作するかを検査するモードであり、第一動作方向ストローク検査モードＭＳ２は、第一動作方向Ｘ１への可動子１４の可動範囲（有効ストローク）が適正であるかを検査するモードであり、第二動作方向ストローク検査モードＭＳ３は、第二動作方向Ｘ２への可動子１４の可動範囲（有効ストローク）が適正であるかを検査するモードである。 Operation direction check mode MS 1 is a mode for checking whether the direction to the movable member 14 is operated in accordance with the energizing direction, the first operation direction stroke test mode MS 2 is the movable element 14 to the first operation direction X1 a mode in which the movable range of the (effective stroke) it is checked for proper, the second operation direction stroke test mode MS 3, the movable range of the movable element 14 to the second operation direction X2 (effective stroke) is correct This is a mode for checking whether there is any.

図１に示す駆動制御部４は、図１及び図３（ｂ）に示すように、予め定めた所定振幅Ｌｐで可動子１４を振動させる往復動通電ＩLPと、図３（ｂ）→図３（ｃ）のように可動子１４の往復動中心Ｗｃをオフセット移動させるオフセット通電Ｉoffとを重畳した検査用通電Ichを検査対象となるリニアアクチュエータユニットＵに対して行うもので、上記制御部Ｃｏで実現される。図１に示すように、駆動制御部４は、動作モードに応じた検査用通電Ichがなされるように構成されている。具体的には、入力された通電指令Irefに応じた通電をリニアアクチュエータユニットＵに行う通電制御部４０と、可動子１４を往復動させるための往復動通電指令Iref_Lpを生成する往復動指令生成部４１と、可動子１４の往復動中心Ｗｃをオフセット移動させるオフセット通電指令Iref_offを生成するオフセット通電指令生成部４２とを有している。 As shown in FIGS. 1 and 3 (b), the drive control unit 4 shown in FIG. 1 includes a reciprocating energization I LP that vibrates the mover 14 with a predetermined amplitude Lp, and FIG. 3 (b) → FIG. 3 performs relative reciprocating center Wc offset current is offset moves the I off and the linear actuator unit be inspected for inspection current I ch obtained by superimposing U of the mover 14, the control as (c) Realized by the part Co. As shown in FIG. 1, the drive control unit 4 is configured to perform the energization I ch for inspection according to the operation mode. Specifically, an energization control unit 40 that energizes the linear actuator unit U according to the energization command Iref that has been input, and a reciprocation command generation unit that generates a reciprocation energization command Iref_Lp for reciprocating the mover 14. 41 and an offset energization command generation unit 42 that generates an offset energization command Iref_off for offset movement of the reciprocation center Wc of the mover 14.

通電制御部４０は、図１に示すように、通電指令Irefに応じた電流をリニアアクチュエータユニットＵに通電するための電流指令信号ｇｓを生成する電流指令生成部４０ａと、電流指令生成部４０ａで生成された電流指令信号ｇｓに応じた電流を電源（図示せず）からリニアアクチュエータユニットＵに流す通電部４０ｂとを備えている。なお、本実施形態では、電流制御方式を採用しているが、電圧制御方式を採用してもよい。   As shown in FIG. 1, the energization control unit 40 includes a current command generation unit 40a that generates a current command signal gs for energizing the linear actuator unit U with a current corresponding to the energization command Iref, and a current command generation unit 40a. And an energization unit 40b for supplying a current corresponding to the generated current command signal gs from a power source (not shown) to the linear actuator unit U. In this embodiment, the current control method is adopted, but the voltage control method may be adopted.

往復動指令生成部４１は、図１に示すように、予め設定された振幅指令及び周波数指令を入力し、振幅指令の示す振幅Ｌｐで且つ周波数指令の示す周波数ｆで可動子１４を往復動させるための往復動通電指令Iref_Lpを生成する。生成された往復動通電指令Iref_Lpは、加算器４３において上述したオフセット通電指令Iref_offと重畳され、通電指令Irefとして通電制御部４０（電流指令生成部４０ａ）に入力される。すなわち、往復動通電指令Iref_Lp及びオフセット通電指令Iref_offを重畳した通電指令Irefが通電制御部４０に入力されることによって、所定振幅Ｌｐで可動子１４を往復動させる往復動通電ＩLPと、可動子１４の往復動中心Ｗｃをオフセット移動させるオフセット通電Ｉoffとを重畳した検査用通電Ich（＝ＩLP＋Ｉoff）がなされることになる。振幅指令の示す振幅は、所定振幅Ｌｐに設定されている。周波数指令の示す周波数ｆは、可動子１４の往復動作によってリニアアクチュエータユニットＵ及び振動台座部２が共振状態となるように、振動台座部２の共振周波数に一致する周波数又はその近傍の周波数に設定されている。このように往復動作の周波数ｆを、共振状態を得る周波数に設定することで、少ない通電量（電流値）でより大きな振動を得ることができ、使用する通電量（電流）を抑制している。 As shown in FIG. 1, the reciprocating command generation unit 41 inputs a preset amplitude command and frequency command, and reciprocates the mover 14 at the amplitude Lp indicated by the amplitude command and at the frequency f indicated by the frequency command. The reciprocating energization command Iref_Lp is generated for this. The generated reciprocating energization command Iref_Lp is superimposed on the above-described offset energization command Iref_off in the adder 43 and input to the energization control unit 40 (current command generation unit 40a) as the energization command Iref. That is, by energizing command Iref obtained by superposing the reciprocating energization command Iref_Lp and offset current command Iref_off is input to the power supply controller 40, and a reciprocating current I LP for reciprocating the movable element 14 at a predetermined amplitude Lp, the movable element The energization for inspection I ch (= I LP + I off ) is superimposed on the offset energization I off for offset movement of the 14 reciprocation centers Wc. The amplitude indicated by the amplitude command is set to a predetermined amplitude Lp. The frequency f indicated by the frequency command is set to a frequency that matches the resonance frequency of the vibration pedestal 2 or a frequency in the vicinity thereof so that the linear actuator unit U and the vibration pedestal 2 are in a resonance state by the reciprocating motion of the mover 14. Has been. Thus, by setting the frequency f of the reciprocating operation to a frequency at which a resonance state is obtained, a larger vibration can be obtained with a small energization amount (current value), and the energization amount (current) to be used is suppressed. .

ここで、所定振幅Ｌｐ[m]で可動子を往復動させるための往復動通電指令Iref_Lp[A]は、角速度をω[rad/s]、モータ推力定数をＫｔ[N/A]とすると、以下の数式（２）で示される。
往復動通電指令Iref_Lp＝（ｍ・ω２）／（√２・Ｋｔ・Ｌｐ）…（２） Here, the reciprocating energization command Iref_Lp [A] for reciprocating the mover with the predetermined amplitude Lp [m] is assumed that the angular velocity is ω [rad / s] and the motor thrust constant is Kt [N / A]. It is shown by the following formula (2).
Reciprocating energization command Iref_Lp = (m · ω 2 ) / (√2 · Kt · Lp) (2)

オフセット通電指令生成部４２は、図１に示すように、モード信号ＭＳ及び後述する衝突検出信号ＣＳを入力し、モード信号ＭＳの示す動作モードに応じたオフセット通電指令Iref_offを生成するもので、制御部Ｃｏにおいて図７に示すオフセット通電指令生成処理ルーチンが実行されることで実現される。具体的に、動作モードが動作方向検査モードＭＳ１である場合（図７のステップＳＴ１０：ＹＥＳ参照）には、図３（ｃ）に示すように可動子１４の往復動中心Ｗｃを反重力方向Ｘ１側（第一動作方向Ｘ１）に予め設定した検査用オフセット距離Ly_ch分オフセット移動させるオフセット通電指令Iref_offを生成して出力する（図７のステップＳＴ１１参照）。一方、動作モードが第一動作方向ストローク検査モードＭＳ２である場合（図７のステップＳＴ１２：ＹＥＳ参照）には、図４（ａ）→図４（ｂ）→図４（ｃ）のように、可動子１４の往復動中心Ｗｃを反重力方向Ｘ１側（第一動作方向Ｘ１）にオフセット移動させるオフセット通電指令Iref_offを、オフセット通電をしない状態から漸増させて出力する（図７のステップＳＴ１４参照）。オフセット通電指令Iref_offの出力は、衝突検出信号ＣＳが入力されるまで行う（図７のステップＳＴ１３、ＳＴ１４、ＳＴ１５参照）。また、動作モードが第二動作方向ストローク検査モードＭＳ３である場合（図７のステップＳＴ１６：ＹＥＳ参照）には、図４（ｄ）→図４（ｅ）→図４（ｆ）のように、可動子１４の往復動中心Ｗｃを重力方向Ｘ２側（第二動作方向Ｘ２）にオフセット移動させるオフセット通電指令Iref_offを、オフセット通電しない状態から漸増させて出力する（図７のステップＳＴ１８参照）。オフセット通電指令Iref_offの出力は、衝突検出信号ＣＳが入力されるまで行う（図７のステップＳＴ１７、ＳＴ１８、ＳＴ１９参照）。 As shown in FIG. 1, the offset energization command generator 42 receives a mode signal MS and a collision detection signal CS described later, and generates an offset energization command Iref_off corresponding to the operation mode indicated by the mode signal MS. This is realized by executing the offset energization command generation processing routine shown in FIG. Specifically, when the operation mode is the operation direction inspection mode MS 1 (see step ST10: YES in FIG. 7), the reciprocation center Wc of the mover 14 is set in the antigravity direction as shown in FIG. An offset energization command Iref_off for performing an offset movement by a preset inspection offset distance Ly_ch on the X1 side (first operation direction X1) is generated and output (see step ST11 in FIG. 7). On the other hand, if the operation mode is the first operation direction stroke test mode MS 2 (step of FIG. 7 ST12: YES reference), Fig. 4 (a) → Fig. 4 (b) → as shown in FIG. 4 (c) Then, the offset energization command Iref_off for offset-moving the reciprocating center Wc of the mover 14 in the anti-gravity direction X1 side (first operation direction X1) is gradually increased from the state in which no offset energization is performed (see step ST14 in FIG. 7). ). The offset energization command Iref_off is output until the collision detection signal CS is input (see steps ST13, ST14, and ST15 in FIG. 7). Further, when the operation mode is the second operation direction stroke test mode MS 3 (step of Fig. 7 ST16: YES reference), Fig. 4 (d) → Fig. 4 (e) → as shown in FIG. 4 (f) Then, the offset energization command Iref_off for offset-moving the reciprocation center Wc of the mover 14 to the gravity direction X2 side (second operation direction X2) is gradually increased from the state where no offset energization is performed (see step ST18 in FIG. 7). The offset energization command Iref_off is output until the collision detection signal CS is input (see steps ST17, ST18, and ST19 in FIG. 7).

ここで、図１及び図３に示す検査用オフセット距離Ly_ch[m]は、図３（ｃ）に示すように所定振幅Ｌｐで振動する可動子１４の往復動中心Ｗｃをオフセットズレした状態から反重力方向Ｘ１側にオフセット移動させたときには機械ストッパ１２との衝突が発生しない一方で、図３（ｄ）に示すように可動子１４の往復動中心Ｗｃを重力方向Ｘ２側にオフセット移動させたときには機械ストッパ１２との衝突が発生する範囲の距離に設定したもので、次のように求められる。   Here, the inspection offset distance Ly_ch [m] shown in FIG. 1 and FIG. 3 is opposite from the state in which the reciprocation center Wc of the mover 14 oscillating with a predetermined amplitude Lp is offset as shown in FIG. When the offset is moved to the gravity direction X1 side, the collision with the mechanical stopper 12 does not occur. On the other hand, when the reciprocation center Wc of the mover 14 is offset to the gravity direction X2 side as shown in FIG. The distance is set within a range where a collision with the mechanical stopper 12 occurs, and is obtained as follows.

まず、可動子１４の往復動中心Ｗｃを或る距離Ｌ、オフセット移動させるためのオフセット通電指令Iref_off[A]は、次の数式（３）で示される。
オフセット通電指令Iref_off＝（Ｌ・ｋ）／ｋｔ…（３） First, an offset energization command Iref_off [A] for offsetting the reciprocation center Wc of the mover 14 by a certain distance L is expressed by the following equation (3).
Offset energization command Iref_off = (L · k) / kt (3)

次に、図３（ａ）に示すように、オフセットズレしていない状態において可動子が±Ｌｌｉｍ[m]動作可能である場合に、図３（ｂ）に示すように、重力オフセット距離Ｌｍ分重力方向にオフセットズレし且つ可動子１４が所定振幅Ｌｐで往復動する状態において、図４（ｃ）に示すように可動子１４と反重力方向Ｘ１側の機械ストッパが衝突するために必要な第一動作方向Ｘ１（反重力方向Ｘ１）へのオフセット距離Ly_upは、Ｌｌｉｍ＋Ｌｍ−Ｌｐとなる。同様に、図３（ｂ）に示す状態において、図４（ｆ）に示すように可動子１４と重力方向Ｘ２側の機械ストッパ１２が衝突するために必要な第二動作方向Ｘ２（重力方向Ｘ２）へのオフセット距離Ly_dnは、Ｌｌｉｍ−Ｌｍ−Ｌｐとなる。そして、検査用オフセット距離Ly_chは、条件（Ly_up＜Ly_ch＜Ly_dn）を満たす範囲の値に設定される。なお、図３（ｃ）に示すように可動子１４の往復動中心Ｗｃを反重力方向Ｘ１（第一動作方向Ｘ１）に検査用オフセット距離Ly_ch分オフセット移動させるためのオフセット通電指令Iref_offは、上記数式（３）によれば（Ly_ch・ｋ）／ｋｔとなる。   Next, as shown in FIG. 3A, when the mover can operate ± Llim [m] in a state where the offset is not shifted, as shown in FIG. In a state in which the movable element 14 is offset in the gravitational direction and the movable element 14 reciprocates with a predetermined amplitude Lp, as shown in FIG. 4C, the first movement necessary for the movable element 14 and the mechanical stopper on the antigravity direction X1 side to collide with each other. The offset distance Ly_up in one movement direction X1 (antigravity direction X1) is Llim + Lm−Lp. Similarly, in the state shown in FIG. 3B, as shown in FIG. 4F, the second movement direction X2 (gravity direction X2) necessary for the movable element 14 and the mechanical stopper 12 on the gravity direction X2 side to collide with each other. The offset distance Ly_dn to) is Llim-Lm-Lp. The inspection offset distance Ly_ch is set to a value in a range that satisfies the condition (Ly_up <Ly_ch <Ly_dn). As shown in FIG. 3C, the offset energization command Iref_off for moving the reciprocation center Wc of the mover 14 in the antigravity direction X1 (first operation direction X1) by the inspection offset distance Ly_ch is as described above. According to Equation (3), (Ly_ch · k) / kt.

また、第一動作方向ストローク検査モードＭＳ２において用いる第一動作方向理想オフセット値（上方オフセット値）として、図４（ｃ）に示すように可動子１４の往復動中心Ｗｃを第一動作方向Ｘ１にオフセット距離Ly_up分オフセット移動させるオフセット通電指令Iref_off_up＝（Ly_up・ｋ）／ｋｔを予めメモリに記憶して設定しておくと共に（図１参照）、第二動作方向理想値（上方オフセット値）として、図４（ｆ）に示すように可動子１４の往復動中心Ｗｃを第二動作方向Ｘ２にオフセット距離Ly_dn分オフセット移動させるオフセット通電指令Iref_off_dn＝（Ly_dn・ｋ）／ｋｔを予めメモリに記憶して設定している（図１参照）。 The first operation direction ideal offset value used in the first operation direction stroke test mode MS 2 as (upper offset value), reciprocating around Wc first operation direction X1 of the mover 14 as shown in FIG. 4 (c) An offset energization command Iref_off_up = (Ly_up · k) / kt for offset movement by the offset distance Ly_up is previously stored in the memory (see FIG. 1) and set as the second operation direction ideal value (upward offset value). As shown in FIG. 4 (f), the offset energization command Iref_off_dn = (Ly_dn · k) / kt for offset movement of the reciprocation center Wc of the mover 14 in the second movement direction X2 by the offset distance Ly_dn is stored in the memory in advance. (See FIG. 1).

図１に戻り、衝突検出手段５は、駆動制御部４による通電に応じた可動子１４の往復動作によってリニアアクチュエータユニットＵに生じる振動を検出し、検出した振動波形に基づき可動子１４が機械ストッパ１２へ衝突したことを検出するもので、具体的には、上記の振動台座部２に取り付けられる加速度センサ等の振動センサ５０と、上記制御部Ｃｏで実現される衝突判定部５１とを有している。   Returning to FIG. 1, the collision detection means 5 detects the vibration generated in the linear actuator unit U by the reciprocating motion of the mover 14 in response to the energization by the drive control unit 4, and the mover 14 is mechanically stopped based on the detected vibration waveform. Specifically, it has a vibration sensor 50 such as an acceleration sensor attached to the vibration pedestal 2 and a collision determination unit 51 realized by the control unit Co. ing.

振動センサ５０は、図１に示すように、振動台座部２のうちリニアアクチュエータユニットＵが取り付けられている部位の裏面に取り付けられている。勿論、振動センサ５０の取り付け位置は、この位置に限定されるわけではなく、振動台座部２のうち最も振動の大きな部位に取り付けることが望ましい。   As shown in FIG. 1, the vibration sensor 50 is attached to the back surface of the portion of the vibration pedestal 2 where the linear actuator unit U is attached. Of course, the attachment position of the vibration sensor 50 is not limited to this position, and it is desirable to attach the vibration sensor 50 to a portion of the vibration pedestal portion 2 where the vibration is greatest.

衝突判定部５１は、振動センサ５０で検出した振動波形と予め設定された理想波形との偏差に応じて可動子が機械ストッパに衝突したか否かを判定する。具体的には、検出波形整形部５１ａと、波形判別部５１ｂとを有する。   The collision determination unit 51 determines whether the mover has collided with the mechanical stopper according to the deviation between the vibration waveform detected by the vibration sensor 50 and a preset ideal waveform. Specifically, it includes a detected waveform shaping unit 51a and a waveform discriminating unit 51b.

衝突判定部５１を構成する検出波形整形部５１ａは、振動センサ５０からの振動検出信号ｓｓ１を波形判別部５１ｂで処理しやすい整形検出信号ｓｓ２に変換するもので、例えばＡ／Ｄ変換処理や単位変換処理などを行う。   The detection waveform shaping unit 51a constituting the collision determination unit 51 converts the vibration detection signal ss1 from the vibration sensor 50 into a shaping detection signal ss2 that can be easily processed by the waveform discrimination unit 51b. For example, an A / D conversion process or unit Perform conversion processing.

衝突判定部５１を構成する波形判別部５１ｂは、モード信号ＭＳ及び整形検出信号ｓｓ２を入力し、動作モードに応じて予め設定された理想波形と検出した振動波形との偏差が予め定めた波形判別閾値を超えた場合に、可動子１４が機械ストッパ１２に衝突したと判定し、衝突検出信号ＣＳを出力する。衝突判定の考え方は、衝突時の波形が機械ストッパの材質や反発係数に応じて変わるものの、基本的には、図５に模式的に示すように、可動子が機械ストッパに衝突していない場合には、検出される振動がほぼ正弦波状の理想波形に近い波形となるのに対し、可動子が衝突した場合には、検出される振動波形が乱れることに着目したものである。本実施形態では、衝突時に検出される加速度が、非衝突時に検出される加速度よりも急激に変化する部分があるのを利用したもので、検出される加速度の単位時間あたりの変化量（微分値）のピーク値が波形判別閾値を超えた場合に衝突したと判定し、波形判別閾値を超えない場合に衝突していないと判定するようにしている。波形判別閾値は適切な値に予め設定される。その他の判定方法としては、検出した振動波形の歪みに基づき判定する方法、検出した振動波形の絶対値積分値と理想波形の絶対値積分値を比較して判定する方法、検出した振動波形と理想波形との差分値を積算して判定する方法、ウェーブレット解析により判定する方法等、種々の方法が挙げられる。なお、本実施形態では、衝突していないときに検出されるべき波形を理想波形として予め設定しているが、衝突したときに検出されるべき波形を理想波形としてもよい。   The waveform discriminating unit 51b constituting the collision judging unit 51 receives the mode signal MS and the shaping detection signal ss2, and the discriminating between the ideal waveform preset according to the operation mode and the detected vibration waveform is determined in advance. When the threshold value is exceeded, it is determined that the mover 14 has collided with the mechanical stopper 12, and a collision detection signal CS is output. The concept of collision judgment is that the waveform at the time of collision varies depending on the material and coefficient of restitution of the mechanical stopper, but basically, as shown schematically in FIG. 5, the mover does not collide with the mechanical stopper. However, when the movable member collides, the detected vibration waveform is disturbed while the detected vibration is a waveform close to an ideal waveform having a substantially sinusoidal shape. In the present embodiment, the fact that there is a part where the acceleration detected at the time of collision changes more rapidly than the acceleration detected at the time of non-collision is used. If the peak value of () exceeds the waveform discrimination threshold, it is determined that there is a collision, and if it does not exceed the waveform discrimination threshold, it is determined that there is no collision. The waveform discrimination threshold is preset to an appropriate value. Other determination methods include a method for determining based on the distortion of the detected vibration waveform, a method for determining by comparing the absolute value integrated value of the detected vibration waveform with the absolute value integrated value of the ideal waveform, and the detected vibration waveform and the ideal Various methods such as a method of determining by integrating difference values with a waveform, a method of determining by wavelet analysis, and the like can be mentioned. In this embodiment, the waveform to be detected when there is no collision is set in advance as an ideal waveform, but the waveform to be detected when there is a collision may be set as an ideal waveform.

図１に戻り、内部判定部６は、オフセット通電指令Iref_off、モード信号ＭＳ及び衝突検出信号ＣＳを入力し、駆動制御部４による通電及び衝突検出手段５による衝突検出の有無に基づきリニアアクチュエータユニットＵの内部状態を判定するもので、制御部Ｃｏにおいて図８に示す内部状態判定処理ルーチンが実行されることで実現される。具体的には、図１及び図８に示すように、動作モードが動作方向検査モードＭＳ１である場合（ステップＳＴ２０：ＹＥＳ参照）において、所定判定時間内に衝突が検出された場合（ステップＳＴ２１：ＹＥＳ参照）には、可動子１４が通電方向に応じた方向に動作しない（すなわち動作方向不良）と判定し（ステップＳＴ２２参照）、一方で、衝突が検出されない場合（ステップＳＴ２１：ＮＯ参照）には、可動子１４が通電方向に応じた方向に動作する（すなわち動作方向正常）と判定する（ステップＳＴ２３参照）。また、動作モードが第一動作方向ストローク検査モードＭＳ２である場合（ステップＳＴ２４：ＹＥＳ参照）において、衝突検出信号ＣＳが入力され衝突が検出された場合には、衝突検出時のオフセット通電量（オフセット通電指令Iref_offの値）を第一動作方向オフセット通電量Ｖupとして記憶する（ステップＳＴ２６参照）。また、動作モードが第二動作方向ストローク検査モードＭＳ３である場合（ステップＳＴ２７：ＹＥＳ参照）において、衝突検出信号ＣＳが入力され衝突が検出された場合には、衝突検出時のオフセット通電量（オフセット通電指令Iref_offの値）を第二動作方向オフセット通電量Ｖdnとして記憶する（ステップＳＴ２９参照）。そして、第一及び第二動作方向オフセット通電量Ｖup、Ｖdnがそれぞれ記憶された場合（ステップＳＴ３０：ＹＥＳ参照）には、第一動作方向オフセット通電量Ｖupとその理想値である第一動作方向理想オフセット値Iref_off_up（上方オフセット値）との誤差値（Ｖup−Iref_off_up）を算出すると共に、第二動作方向オフセット通電量Ｖdnとその理想値である第二動作方向理想オフセット値Iref_off_dn（下方オフセット値）との誤差値（Ｖdn−Iref_off_dn）を算出し（ステップＳＴ３１参照）、双方の誤差値（Ｖup−Iref_off_up）、（Ｖdn−Iref_off_dn）のうち少なくともいずれかが判定閾値ｔｈを超えた場合（ステップＳＴ３２：ＹＥＳ参照）に、リニアアクチュエータユニットＵに可動子の有効ストローク不良があると判定する（ステップＳＴ３３参照）。言い換えると、可動子１４の有効ストロークとその理想値である所定ストロークとのバラツキが所定の許容範囲内でないと判定する。一方で、上記双方の誤差値（Ｖup−Iref_off_up）、（Ｖdn−Iref_off_dn）のいずれも判定閾値ｔｈを超えない場合（ステップＳＴ３２：ＮＯ参照）には、上記有効ストローク不良がないと判定する（ステップＳＴ３４参照）。言い換えると、可動子１４の有効ストロークとその理想値である所定ストロークとのバラツキが所定の許容範囲内であると判定する。 Returning to FIG. 1, the internal determination unit 6 inputs the offset energization command Iref_off, the mode signal MS, and the collision detection signal CS, and the linear actuator unit U based on the presence of the energization by the drive control unit 4 and the collision detection by the collision detection unit 5. The control unit Co is implemented by executing the internal state determination processing routine shown in FIG. Specifically, as shown in FIGS. 1 and 8, when the operation mode is the operation direction inspection mode MS 1 (see step ST20: YES), when a collision is detected within a predetermined determination time (step ST21). : Refer to YES), it is determined that the mover 14 does not operate in the direction corresponding to the energization direction (that is, the operation direction is defective) (see step ST22), and on the other hand, no collision is detected (see step ST21: NO). Therefore, it is determined that the mover 14 operates in a direction corresponding to the energization direction (that is, the operation direction is normal) (see step ST23). Further, when the operation mode is the first operation direction stroke test mode MS 2: (Step ST24 YES reference), when the collision detection signal CS is inputted collision is detected, the offset amount of current collision detection ( (The value of the offset energization command Iref_off) is stored as the first operation direction offset energization amount V up (see step ST26). Further, when the operation mode is the second operation direction stroke test mode MS 3: In (step ST27 YES reference), when a collision is inputted collision detection signal CS is detected, the offset amount of current collision detection ( The offset energization command Iref_off) is stored as the second operation direction offset energization amount V dn (see step ST29). When the first and second operation direction offset energization amounts V up and V dn are respectively stored (see step ST30: YES), the first operation direction offset energization amount V up and the first value which is the ideal value thereof. An error value (V up −Iref_off_up) with respect to the motion direction ideal offset value Iref_off_up (upper offset value) is calculated, and the second motion direction offset energization amount V dn and its ideal value, the second motion direction ideal offset value Iref_off_dn ( An error value (V dn −Iref_off_dn) with respect to the lower offset value is calculated (see step ST31), and at least one of the error values (V up −Iref_off_up) and (V dn −Iref_off_dn) of both sets the determination threshold th. If it exceeds (see step ST32: YES), it is determined that the linear actuator unit U has a defective effective stroke of the mover (see step ST33). ). In other words, it is determined that the variation between the effective stroke of the mover 14 and the ideal stroke, which is the ideal value, is not within the predetermined tolerance. On the other hand, if neither of the above error values (V up −Iref_off_up) and (V dn −Iref_off_dn) exceed the determination threshold th (see step ST32: NO), it is determined that there is no defective effective stroke. (Refer to step ST34). In other words, it is determined that the variation between the effective stroke of the movable element 14 and the predetermined stroke which is an ideal value thereof is within a predetermined allowable range.

報知手段７は、内部判定部６による判定結果を、マイクによるビープ音やＬＥＤ、ディスプレイ、通信手段を介した上位コントローラへの報告信号の送信等を通じて外部に報知する。   The notification unit 7 notifies the determination result by the internal determination unit 6 to the outside through a beep sound from a microphone, LED, display, transmission of a report signal to a host controller via a communication unit, or the like.

上記構成の検査装置の動作を説明する。まず、検査指令で動作方向検査が指示された場合について説明する。この場合、図１に示すように、動作方向検査モードＭＳ１を示すモード信号ＭＳがモード制御部３から出力され、図３（ｃ）に示すように所定振幅Ｌｐで往復動作する可動子１４を反重力方向Ｘ１に検査用オフセット距離Ly_up分オフセット移動させる通電がなされる。配線方向が正しければ、同図に示すように可動子１４が反重力方向Ｘ１に移動して、両機械ストッパ１２と衝突しない範囲で往復動作し、図１の衝突検出手段５で衝突が検出されない。すると、図１の内部判定部６は、所定時間内に衝突が検出されないことを以て、可動子１４の動作方向が正常であると判定して、その結果を報知手段７を介して外部に報知する。一方、配線が間違っていれば、図３（ｄ）のように重力方向Ｘ２に移動してしまい、重力方向Ｘ２側の機械ストッパ１２と衝突して、この衝突を図１の衝突検出手段５が検出する。すると、図１の内部判定部６は、衝突が検出されたことを以て、通電方向に応じた方向に可動子１４が動作しない動作方向不良があると判定し、その結果を報知手段７を介して外部に報知する。 The operation of the inspection apparatus having the above configuration will be described. First, a case where an operation direction inspection is instructed by an inspection command will be described. In this case, as shown in FIG. 1, a mode signal MS indicating the operation direction inspection mode MS 1 is output from the mode control unit 3, and as shown in FIG. Energization is performed to offset the inspection offset distance Ly_up in the antigravity direction X1. If the wiring direction is correct, the mover 14 moves in the antigravity direction X1 as shown in the figure, and reciprocates in a range where it does not collide with both mechanical stoppers 12, and the collision detection means 5 in FIG. . Then, the internal determination unit 6 in FIG. 1 determines that the moving direction of the movable element 14 is normal because no collision is detected within a predetermined time, and notifies the result to the outside via the notification means 7. . On the other hand, if the wiring is wrong, it moves in the gravitational direction X2 as shown in FIG. 3D, collides with the mechanical stopper 12 on the gravitational direction X2 side, and the collision detection means 5 in FIG. To detect. Then, the internal determination unit 6 in FIG. 1 determines that there is an operation direction defect in which the movable element 14 does not operate in the direction corresponding to the energization direction because the collision is detected, and the result is notified via the notification means 7. Notify outside.

次に、検査指令でストローク検査が指示された場合について説明する。この場合、図１に示すように、まず、第一動作方向ストローク検査モードＭＳ２を示すモード信号ＭＳがモード制御部３から出力され、所定振幅Ｌｐで往復動作する可動子１４を第一動作方向Ｘ１にオフセット移動させる通電がなされる。このとき、図４（ａ）→図４（ｂ）→図４（ｃ）に示すように、オフセット距離が０から第一動作方向Ｘ１に向けて漸増する。やがて、オフセット距離が過大となって、図４（ｃ）に示すように可動子１４が第一動作方向Ｘ１側の機械ストッパ１２に衝突すると、この衝突を図１の衝突検出手段５が検出する。すると、図１の内部判定部６は、衝突時のオフセット通電量を第一動作方向オフセット通電量Ｖupとしてメモリに記憶する。続けて、図１に示すように第二動作方向ストローク検査モードＭＳ３を示すモード信号ＭＳがモード制御部３から出力され、所定振幅Ｌｐで往復動作する可動子１４を第二動作方向Ｘ２にオフセット移動させる通電がなされる。このとき、図４（ｄ）→図４（ｅ）→図４（ｆ）に示すように、オフセット距離が０から第二動作方向Ｘ２に向けて漸増する。やがて、オフセット距離が過大となって、図４（ｆ）に示すように可動子１４が第二動作方向Ｘ２側の機械ストッパ１２に衝突すると、この衝突を図１の衝突検出手段５が検出する。すると、図１の内部判定部６は、衝突時のオフセット通電量を第二動作方向オフセット通電量Ｖdnとしてメモリに記憶する。 Next, a case where a stroke inspection is instructed by an inspection command will be described. In this case, as shown in FIG. 1, first, the mode signal MS indicating the first operation direction stroke test mode MS 2 is output from the mode control unit 3, the first operating direction the mover 14 reciprocates in a predetermined amplitude Lp Energization for offset movement to X1 is performed. At this time, as shown in FIG. 4A → FIG. 4B → FIG. 4C, the offset distance gradually increases from 0 toward the first operation direction X1. Eventually, when the offset distance becomes excessive and the movable element 14 collides with the mechanical stopper 12 on the first operation direction X1 side as shown in FIG. 4C, the collision detection means 5 in FIG. 1 detects this collision. . Then, the internal determination unit 6 in FIG. 1 stores the offset energization amount at the time of collision in the memory as the first operation direction offset energization amount Vup . Subsequently, as shown in FIG. 1, the mode signal MS indicating the second operation direction stroke inspection mode MS 3 is output from the mode control unit 3, and the movable element 14 reciprocating at a predetermined amplitude Lp is offset in the second operation direction X2. Energization to move is performed. At this time, as shown in FIG. 4D → FIG. 4E → FIG. 4F, the offset distance gradually increases from 0 toward the second operation direction X2. Eventually, when the offset distance becomes excessive and the movable element 14 collides with the mechanical stopper 12 on the second operation direction X2 side as shown in FIG. 4 (f), the collision detection means 5 in FIG. 1 detects this collision. . Then, the internal determination unit 6 in FIG. 1 stores the offset energization amount at the time of the collision in the memory as the second operation direction offset energization amount V dn .

これら第一動作方向オフセット通電量Ｖup及び第二動作方向オフセット通電量Ｖdnは、第一動作方向Ｘ１の有効ストローク及び第二動作方向Ｘ２の有効ストロークに対応する値となるため、これら値とその理想値との誤差を見ることで、有効ストロークの誤差が許容範囲内であるかを判定できる。そのために、第一動作方向Ｘ１及び第二動作方向Ｘ２の有効ストロークの測定が完了して、第一動作方向オフセット通電量Ｖup及び第二動作方向オフセット通電量Ｖdnがメモリに記録されると、第一動作方向オフセット通電量Ｖupとその理想値である第一動作方向理想オフセット値Iref_off_upとの誤差値（Ｖup−Iref_off_up）が算出されると共に、第二動作方向オフセット通電量Ｖdnとその理想値である第二動作方向理想オフセット値Iref_off_dnとの誤差値（Ｖdn−Iref_off_dn）が算出され、これら両誤差値のうちいずれかの誤差値が判定閾値ｔｈを超えている場合には、有効ストロークが不良である（すなわち、有効ストロークとその理想値である所定ストロークとのバラツキが許容範囲内でない）と判定し、その結果を報知手段７を介して外部に報知する。一方、両誤差値のうちいずれの誤差値も判定閾値ｔｈを超えていない場合には、有効ストロークが正常である（すなわち、有効ストロークとその理想値である所定ストロークとのバラツキが許容範囲内である）と判定し、その結果を報知手段７を介して外部に報知する。 The first operation direction offset energization amount V up and the second operation direction offset energization amount V dn are values corresponding to the effective stroke in the first operation direction X1 and the effective stroke in the second operation direction X2. By looking at the error from the ideal value, it can be determined whether the error of the effective stroke is within the allowable range. Therefore, when the measurement of the effective stroke in the first operation direction X1 and the second operation direction X2 is completed and the first operation direction offset energization amount Vup and the second operation direction offset energization amount Vdn are recorded in the memory. An error value (V up −Iref_off_up) between the first operation direction offset energization amount V up and the first operation direction ideal offset value Iref_off_up, which is an ideal value thereof, is calculated, and the second operation direction offset energization amount V dn An error value (V dn −Iref_off_dn) with respect to the ideal second value in the second operation direction offset value Iref_off_dn is calculated, and when any one of these error values exceeds the determination threshold th, It is determined that the effective stroke is defective (that is, the variation between the effective stroke and a predetermined stroke that is an ideal value thereof is not within the allowable range), and the result is reported to the outside via the notification means 7. To know. On the other hand, when neither of the error values exceeds the determination threshold th, the effective stroke is normal (that is, the variation between the effective stroke and the predetermined stroke which is the ideal value is within an allowable range. And the result is notified to the outside via the notification means 7.

以上のように本実施形態のリニアアクチュエータユニットＵを検査する検査装置は、固定子１３及び固定子１３に対して所定方向に往復動作し得る可動子１４を有し通電により可動子１４が往復移動するリニアアクチュエータ本体１０と、リニアアクチュエータ本体１０の一部を固定した状態でリニアアクチュエータ本体１０の周囲を包囲するケース１１と、リニアアクチュエータ本体１０とケース１１の組立状態において可動子１４の往復動方向（Ｘ）両側に配置される対をなす機械ストッパ１２とを備えたリニアアクチュエータユニットＵを検査する検査装置であって、通電がされていない状態において機械ストッパ１２間に規定される往復可動範囲Ｄの中心Ｄｃから可動子１４が自重により重力方向Ｘ２側にオフセットズレする姿勢に設置された検査対象となるリニアアクチュエータユニットＵに対して通電を行う駆動制御部４と、通電に応じた可動子１４の往復動作によってリニアアクチュエータユニットＵに生じる振動を検出し、検出した振動波形に基づき可動子１４が機械ストッパ１２へ衝突したことを検出する衝突検出手段５と、駆動制御部４による通電及び衝突検出手段５による衝突検出の有無に基づきリニアアクチュエータユニットＵの内部状態を判定するための内部判定部６とを備えてなり、所定振幅Ｌｐで振動する可動子１４の往復動中心Ｗｃをオフセットズレした状態から反重力方向Ｘ１側にオフセット移動させたときには機械ストッパ１２との衝突が発生せず且つ重力方向Ｘ２側にオフセット移動させたときには機械ストッパ１２との衝突が発生する検査用オフセット距離Ly_upを予め設定しておき、所定振幅Ｌｐで可動子１４を振動させる往復動通電ＩLPと、可動子１４の往復動中心Ｗｃを反重力方向Ｘ１側に検査用オフセット距離Ly_up分オフセット移動させるオフセット通電Ｉoffとを重畳した検査用通電Ichを駆動制御部４を通じて行い、検査用通電Ichがなされているときに衝突検出手段５により衝突が検出された場合に、可動子１４が通電方向に応じた方向に動作しないと内部判定部６が判定する一方で、衝突が検出されない場合に、可動子１４が通電方向に応じた方向に動作すると内部判定部６が判定するように構成している。 As described above, the inspection apparatus for inspecting the linear actuator unit U according to the present embodiment includes the stator 13 and the movable element 14 that can reciprocate in a predetermined direction with respect to the stator 13. The linear actuator body 10, the case 11 surrounding the linear actuator body 10 with a part of the linear actuator body 10 fixed, and the reciprocating direction of the mover 14 in the assembled state of the linear actuator body 10 and the case 11. (X) An inspection apparatus for inspecting a linear actuator unit U including a pair of mechanical stoppers 12 disposed on both sides, and a reciprocating movable range D defined between the mechanical stoppers 12 in a state where current is not supplied. The movable element 14 is offset from the center Dc by the dead weight in the gravity direction X2 side. The vibration generated in the linear actuator unit U due to the reciprocating motion of the drive control unit 4 that energizes the placed linear actuator unit U to be inspected and the movable element 14 in response to the energization is detected, and the detected vibration waveform is obtained. In order to determine the internal state of the linear actuator unit U based on the collision detection means 5 for detecting that the movable element 14 has collided with the mechanical stopper 12 based on the energization by the drive control unit 4 and the presence or absence of collision detection by the collision detection means 5. The internal determination unit 6 is provided, and a collision with the mechanical stopper 12 occurs when the reciprocation center Wc of the mover 14 that vibrates with a predetermined amplitude Lp is offset from the offset position to the antigravity direction X1 side. Without collision and when the offset is moved to the gravity direction X2 side, a collision with the mechanical stopper 12 occurs. Have set up use offset distance Ly_up advance, predetermined amplitude Lp in a reciprocating current I LP for vibrating the mover 14, test offset distance Ly_up offset by the reciprocation center Wc of the mover 14 in the opposite direction to gravity X1 side when the movement is to offset current I off the test current I ch obtained by superimposing conducted through driving control unit 4, a collision by the collision detecting means 5 when the test current I ch have been detected, the mover 14 Is determined not to move in the direction corresponding to the energization direction, while the internal determination unit 6 determines that the internal determination unit 6 determines that the mover 14 operates in the direction corresponding to the energization direction when no collision is detected. It is composed.

このように構成すれば、ケース１１に包囲されることで可動子１４が視認できないリニアアクチュエータユニットＵについて、検査用通電Ichをなしたときに配線方向等が正しければ、可動子１４と機械ストッパ１２とが衝突せず、配線方向等が間違っていれば可動子１４と機械ストッパ１２とが衝突するので、衝突の有無を検出によって、可動子１４が通電方向に応じた方向に動作するか否かを検査することが可能となる。 With this configuration, if the wiring direction or the like is correct when the inspection energization Ich is performed for the linear actuator unit U in which the mover 14 cannot be visually recognized by being surrounded by the case 11, the mover 14 and the mechanical stopper 12 does not collide, and if the wiring direction or the like is wrong, the mover 14 and the mechanical stopper 12 collide. Therefore, whether or not the mover 14 moves in the direction corresponding to the energization direction by detecting the presence or absence of the collision. It becomes possible to inspect.

また、本実施形態のリニアアクチュエータユニットＵを検査する検査装置は、固定子１３及び固定子１３に対して所定方向に往復動作し得る可動子１４を有し通電により可動子１４が往復移動するリニアアクチュエータ本体１０と、リニアアクチュエータ本体１０の一部を固定した状態でリニアアクチュエータ本体１０の周囲を包囲するケース１１と、リニアアクチュエータ本体１０とケース１１の組立状態において可動子１４の往復動方向（Ｘ）両側に配置される対をなす機械ストッパ１２とを備えたリニアアクチュエータユニットＵを検査する動作検査装置であって、検査対象となるリニアアクチュエータユニットＵに対して通電を行う駆動制御部４と、通電に応じた可動子１４の往復動作によってリニアアクチュエータユニットＵに生じる振動を検出し、検出した振動波形に基づき可動子１４が機械ストッパ１２へ衝突したことを検出する衝突検出手段５と、駆動制御部４による通電及び衝突検出手段５による衝突検出の有無に基づきリニアアクチュエータユニットＵの内部状態を判定するための内部判定部６とを備えてなり、所定振幅Ｌｐで可動子１４を振動させる往復動通電ＩLPと、往復動方向Ｘの一方向である第一動作方向Ｘ１又は他方向である第二動作方向Ｘ２に可動子１４の往復動中心Ｗｃをオフセット移動させるオフセット通電Ｉoffとを重畳した検査用通電Ichを駆動制御部４を通じて行い、検査用通電Ichのうち第一動作方向Ｘ１へのオフセット通電成分を衝突検出手段５で衝突が検出されるまで漸増させ、衝突が検出されたときのオフセット通電量を第一動作方向オフセット通電量Ｖupとして計測する第一動作方向ストローク検査モードＭＳ２と、検査用通電Ichを駆動制御部４を通じて行い、検査用通電Ichのうち第二動作方向Ｘ２へのオフセット通電成分を衝突検出手段５で衝突が検出されるまで漸増させ、衝突が検出されたときのオフセット通電量を第二動作方向オフセット通電量Ｖdnとして計測する第二動作方向ストローク検査モードＭＳ３とを実行し、第一動作方向オフセット通電量Ｖupの理想値（第一動作方向理想オフセット値Iref_off_up）との誤差値（Ｖup−Iref_off_up）または第二動作方向オフセット通電量Ｖdnの理想値（第二動作方向理想オフセット値Iref_off_dn）との誤差値（Ｖdn−Iref_off_dn）の少なくともいずれかが判定閾値ｔｈを越えた場合に、可動子１４の有効ストロークと所定ストロークとのバラツキが許容範囲内でないと内部判定部６が判定する一方で、上記いずれかの誤差値が上記判定閾値を越えない場合に、可動子１４の有効ストロークと所定ストロークとのバラツキが許容範囲内であると内部判定部６が判定するように構成している。 In addition, the inspection apparatus for inspecting the linear actuator unit U of the present embodiment includes the stator 13 and the movable element 14 that can reciprocate in a predetermined direction with respect to the stator 13, and the linear movement element 14 reciprocates when energized. The actuator body 10, the case 11 surrounding the linear actuator body 10 with a part of the linear actuator body 10 fixed, and the reciprocating direction (X of the mover 14 in the assembled state of the linear actuator body 10 and the case 11) ) An operation inspection device for inspecting a linear actuator unit U including a pair of mechanical stoppers 12 disposed on both sides, the drive control unit 4 energizing the linear actuator unit U to be inspected; The reciprocating movement of the mover 14 in response to the energization generates the linear actuator unit U. Based on the detected vibration waveform, based on the detected vibration waveform, the collision detection means 5 for detecting the collision with the mechanical stopper 12, the energization by the drive control unit 4 and the presence or absence of collision detection by the collision detection means 5. An internal determination unit 6 for determining the internal state of the linear actuator unit U, and a reciprocating energization I LP that vibrates the mover 14 with a predetermined amplitude Lp, and a first reciprocating direction X that is one direction. performs the operation direction X1 or offset is offset moves the reciprocation center Wc of the other direction in which the second operating direction X2 to the movable element 14 energized I off the test current I ch obtained by superimposing through driving control unit 4, the current-carrying test collision collision detection means 5 offset current component of the first movement direction X1 of the I ch is gradually increased until is detected, the first operation of the offset amount of energization when a collision is detected Offset current component of the first movement direction stroke test mode MS 2 that measures a direction offset energization amount V Stay up-, inspects energization I ch via the drive control unit 4, the second movement direction X2 of the test current I ch the increased gradually by the collision detection means 5 until the collision is detected, executing a second operation direction stroke test mode MS 3 for measuring the offset current amount as the second operation direction offset current amount V dn when a collision is detected An error value (V up −Iref_off_up) with an ideal value of the first operation direction offset energization amount V up (first operation direction ideal offset value Iref_off_up) or an ideal value of the second operation direction offset energization amount V dn (second when at least one of the error values of the operating direction ideal offset value Iref_off_dn) (V dn -Iref_off_dn) exceeds the determination threshold value th, the effective stroke of the mover 14 and the predetermined scan While the internal determination unit 6 determines that the variation with the roke is not within the allowable range, if any one of the error values does not exceed the determination threshold, the variation between the effective stroke of the movable element 14 and the predetermined stroke is allowable. The internal determination unit 6 is configured to determine that it is within the range.

このように構成すれば、ケース１１に包囲されることで可動子１４が視認できないリニアアクチュエータユニットＵについて、オフセット通電していない状態から可動子１４を機械ストッパ１２に衝突させるために必要なオフセット通電量を、第一動作方向Ｘ１及び第二動作方向Ｘ２のそれぞれについて測定できるので、その測定結果と理想値との誤差値が判定閾値を超えるか否かによって、対をなす機械ストッパ１２・１２間に規定される可動子１４の有効ストロークとその理想値（設計値）である所定ストロークとのバラツキが許容範囲内であるか否かを検査することが可能となる。しかも、オフセット通電Ｉoffによってオフセット移動する距離は、板バネのバネ定数やモータ推力係数等によっても変化するので、これらパラメータによって有効ストロークに不良が生じることになり、板バネ１５や永久磁石１３ａに起因する不具合を有する初期不良品を間接的に排除することができ、適切に不良品を発見することが可能となる。 If comprised in this way, about the linear actuator unit U in which the needle | mover 14 cannot be visually recognized by being enclosed by the case 11, offset electricity supply required in order to make the needle | mover 14 collide with the mechanical stopper 12 from the state which is not offset electricity supply. Since the amount can be measured for each of the first movement direction X1 and the second movement direction X2, depending on whether or not the error value between the measurement result and the ideal value exceeds the determination threshold value, between the paired mechanical stoppers 12 and 12 It is possible to inspect whether or not the variation between the effective stroke of the movable element 14 and the predetermined stroke which is an ideal value (design value) is within an allowable range. In addition, since the offset movement distance due to the offset energization I off also changes depending on the spring constant of the leaf spring, the motor thrust coefficient, etc., these parameters cause a defective effective stroke, and the leaf spring 15 and the permanent magnet 13a It is possible to indirectly exclude an initial defective product having a defect caused by it, and to find a defective product appropriately.

特に、本実施形態では、衝突検出手段５が、通電に応じた可動子１４の往復動作によってリニアアクチュエータユニットＵに生じる振動を検出する振動センサ５０と、振動センサ５０で検出した振動波形と理想波形との偏差に応じて可動子１４が機械ストッパ１２に衝突したか否かを判定する衝突判定部５１とにより構成されているので、可動子の往復動作によってリニアアクチュエータユニットＵに生じる音波（駆動音や衝突時の異音）を検出して衝突判定する構成に比べて、周りの雑音に影響されることを低減して衝突判定精度を向上させることが可能となる。   In particular, in this embodiment, the collision detection means 5 detects the vibration generated in the linear actuator unit U by the reciprocating motion of the mover 14 in response to energization, and the vibration waveform and the ideal waveform detected by the vibration sensor 50. And a collision determination unit 51 that determines whether or not the mover 14 has collided with the mechanical stopper 12 in accordance with the deviation from the sound wave. Compared with a configuration in which a collision is determined by detecting a noise or an abnormal noise at the time of a collision, it is possible to reduce the influence of surrounding noise and improve the collision determination accuracy.

さらに、本実施形態では、検査対象となるリニアアクチュエータユニットＵが取り付けられると共に、振動センサ５０が取り付けられる振動台座部２を備え、往復動通電ＩLPは、振動台座部２の共振周波数と一致する周波数又はその近傍の周波数で可動子１４を往復動作させるように設定されているので、共振現象を利用して少ない通電量（電流値）でより大きな振動を得ることができ、検査時に消費する電気エネルギーを抑制することが可能となる。 Furthermore, in this embodiment, the linear actuator unit U to be inspected is attached, and the vibration pedestal portion 2 to which the vibration sensor 50 is attached is provided, and the reciprocating energization I LP matches the resonance frequency of the vibration pedestal portion 2. Since the movable element 14 is set to reciprocate at a frequency or a frequency in the vicinity thereof, a larger vibration can be obtained with a small amount of current (current value) using the resonance phenomenon, and electricity consumed during inspection can be obtained. It becomes possible to suppress energy.

以上、本発明の一実施形態について説明したが、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではない。   As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, the specific structure of each part is not limited only to embodiment mentioned above.

例えば、本実施形態では、有効ストローク検査においても動作方向検査と同様に、リニアアクチュエータユニットＵを、通電がなされていない状態において可動子１４が自重によりオフセットズレする姿勢に設置しているが、有効ストローク検査に限っては、オフセットズレしない姿勢で設置してもよい。すなわち、可動子１４の往復動方向Ｘが水平方向と一致するようにリニアアクチュエータユニットＵを横置きにしてもよい。   For example, in this embodiment, in the effective stroke inspection, as in the operation direction inspection, the linear actuator unit U is installed in a posture in which the mover 14 is offset due to its own weight in a state where current is not applied. For the stroke inspection only, the posture may be set so as not to be offset. That is, the linear actuator unit U may be placed horizontally so that the reciprocating direction X of the mover 14 coincides with the horizontal direction.

また、本実施形態では、衝突検出手段５として、振動センサ５０で検出した振動の波形に基づき可動子１４と機械ストッパ１２との衝突を検出するように構成しているが、通電に応じた可動子１４の往復動作によってリニアアクチュエータユニットＵに生じる音波（駆動音や衝突時の異音）を検出するマイクロフォンを設け、マイクロフォンで検出した音波波形に基づき可動子１４と機械ストッパ１２との衝突音を検知して、両者の衝突を検出するように構成してもよい。判定方法は、本実施形態とほぼ同じ方式を採用することができ、その他にも種々の方法があるが、例えば通常駆動時には発生しない金属同士の衝突音（異音）の特定周波数成分が、検出した音波に存在するか否かで衝突判定することが挙げられる。   In the present embodiment, the collision detection means 5 is configured to detect a collision between the mover 14 and the mechanical stopper 12 based on the vibration waveform detected by the vibration sensor 50. A microphone is provided for detecting sound waves (driving sound and abnormal noise at the time of collision) generated in the linear actuator unit U by the reciprocating motion of the child 14, and the collision sound between the movable element 14 and the mechanical stopper 12 is generated based on the sound wave waveform detected by the microphone. You may comprise so that it may detect and the collision of both may be detected. The determination method can employ almost the same method as in the present embodiment, and there are various other methods. For example, a specific frequency component of a metal-to-metal collision sound (abnormal noise) that does not occur during normal driving is detected. The collision is determined based on whether or not the sound wave exists.

さらに、本実施形態では、動作方向検査及び有効ストローク検査の両方の機能を備えているが、いずれか一方のみを備えたものであってもよい。   Further, in the present embodiment, both functions of the operation direction inspection and the effective stroke inspection are provided, but only one of them may be provided.

さらにまた、本実施形態では、通電指令Irefを電流で構成した電流制御方式について説明しているが、通電指令を電圧で構成した電圧制御方式にも同様に適用可能である。さらに、本実施形態では、アウター型のリニアアクチュエータユニットを例に説明したが、インナー型のリニアアクチュエータユニットを検査するのにも適用可能である。また、図１に示す各機能部は、所定のプログラムをプロセッサで実行することにより実現してもよく、各機能部を専用回路で構成してもよい。   Furthermore, in the present embodiment, the current control method in which the energization command Iref is configured with a current is described, but the present invention can be similarly applied to a voltage control method in which the energization command is configured with a voltage. Furthermore, in the present embodiment, the outer type linear actuator unit has been described as an example, but the present invention is also applicable to inspecting the inner type linear actuator unit. Moreover, each function part shown in FIG. 1 may be implement | achieved by running a predetermined | prescribed program with a processor, and each function part may be comprised with a dedicated circuit.

上記では、検査装置について説明しているが、リニアアクチュエータユニットＵを駆動する駆動装置に上記検査機能を適用してもよい。その一適用例を以下に述べる。すなわち、図９及び図１０に示すように、検査機能を備えたリニアアクチュエータユニット駆動装置Ｐは、振動発生源ｇｎで生じた振動Ｖｉ１と加振手段ｓｙ２を通じて制振すべき位置ｐｏｓに発生させる相殺振動Ｖｉ２とを制振すべき位置ｐｏｓで相殺させて制振すべき位置ｐｏｓでの振動を低減する制振装置ｓｙに適用され、加振手段ｓｙ２として用いられるリニアアクチュエータユニットＵの可動子１４を往復移動させる装置である。この制振装置ｓｙは、図９に示すように、自動車等の車両に搭載されるものであり、座席ｓｔ等の制振すべき位置ｐｏｓに設けた加速度センサ等の振動センサ５０と、この振動センサ５０で検出される振動が小さくなるように適切な相殺振動Ｖｉ２を加振手段ｓｙ２に発生させる制振制御を実行する制御部Ｃｏ（コントローラともいう）とを有している。この制御部Ｃｏは、振動発生源ｇｎであるエンジンの点火パルス信号ｓｈと振動センサ５０からの検出信号ｓｓ１とを入力し、これらの信号ｓｈ，ｓｓ１に基づき振動センサ５０で検出される振動に対し逆相となる相殺振動Ｖｉ２を加振手段ｓｙ２に発生させる指令である制振通電指令Iref_sy（図１０参照）を生成する制振通電指令生成部Ｃｏ１を主体としている。リニアアクチュエータユニット駆動装置Ｐは、図１０に示すように、上記の制振通電指令生成部Ｃｏ１が生成した制振通電指令Iref_syを入力し、この制振通電指令Iref_syに応じた通電を行うことにより可動子１４の駆動を制御する通常モードＭＳ０を具備している。そして、リニアアクチュエータユニット駆動装置Ｐは、上記検査装置とほぼ同様に、モード制御部１０３、駆動制御部１０４、衝突検出手段１０５、内部判定部６及び報知手段７を有し、制振制御を行う通常モードＭＳ０と、上記検査モード（ＭＳ１、ＭＳ２、ＭＳ３）とを切り換え可能に構成している。通常モードＭＳ０においては制振通電指令生成部Ｃｏ１で生成した制振通電指令Iref_syを用いて可動子１４を駆動する。具体的には、モード制御部１０３を、制振制御を行う通常モードＭＳ０を示すモード信号ＭＳを出力可能に構成し、また、駆動制御部１０４に、検査用通電Ichをなすための通電指令Iref及び制振通電指令生成部Ｃｏ１からの制振通電指令Iref_syを入力し、モード信号ＭＳに応じて通電制御部４０に入力する通電指令を選択する通電指令選択部１４５を設けている。衝突検出手段１０５は、上記検査装置と同様に振動を検出するもので、制振制御を行うための振動センサ１５０を共用している。このように構成すれば、上記検査装置と同様に、対をなす機械ストッパ１２・１２間に規定される可動子１４の有効ストロークとその理想値（設計値）である所定ストロークとのバラツキが許容範囲内であるか否かを判定でき、しかも、例えば車検時などの時に検査モードを実行して、経年劣化による板バネ１５や永久磁石１３ａに起因する不具合を間接的に発見することができ、経年劣化によってリニアアクチュエータユニットＵが交換時期であるか否かを容易に知ることが可能となる。 Although the inspection apparatus has been described above, the inspection function may be applied to a driving apparatus that drives the linear actuator unit U. One application example is described below. That is, as shown in FIGS. 9 and 10, the linear actuator unit driving device P having the inspection function cancels the vibration Vi1 generated by the vibration generation source gn and the position pos to be controlled through the vibration means sy2. The movable element 14 of the linear actuator unit U, which is applied to the vibration damping device sy that reduces the vibration at the position pos to be damped by canceling the vibration Vi2 at the position pos to be damped, is used as the vibration means sy2. It is a device that reciprocates. As shown in FIG. 9, the vibration damping device sy is mounted on a vehicle such as an automobile, and includes a vibration sensor 50 such as an acceleration sensor provided at a position pos to be damped such as a seat st and the vibration. A control unit Co (also referred to as a controller) that executes vibration suppression control for causing the vibration means sy2 to generate an appropriate canceling vibration Vi2 so that vibration detected by the sensor 50 is reduced. The control unit Co receives an engine ignition pulse signal sh that is a vibration generation source gn and a detection signal ss1 from the vibration sensor 50, and with respect to vibration detected by the vibration sensor 50 based on these signals sh and ss1. The main component is a vibration suppression energization command generator Co1 that generates a vibration suppression energization command Iref_sy (see FIG. 10), which is a command for causing the vibration canceling means sy2 to generate a canceling vibration Vi2 that is in reverse phase. As shown in FIG. 10, the linear actuator unit driving device P receives the vibration suppression energization command Iref_sy generated by the vibration suppression energization command generation unit Co1 and performs energization according to the vibration suppression energization command Iref_sy. A normal mode MS 0 for controlling the driving of the mover 14 is provided. The linear actuator unit drive device P includes a mode control unit 103, a drive control unit 104, a collision detection unit 105, an internal determination unit 6, and a notification unit 7, and performs vibration suppression control, almost the same as the inspection device. The normal mode MS 0 and the inspection mode (MS 1, MS 2, MS 3 ) can be switched. In the normal mode MS 0 , the mover 14 is driven using the vibration suppression energization command Iref_sy generated by the vibration suppression energization command generation unit Co 1. Specifically, the mode control unit 103, and outputs configured to be able to mode signal MS indicating the normal mode MS 0 to perform vibration damping control, also to the drive controller 104, energization to form the test current I ch An energization command selection unit 145 that inputs the command Iref and the vibration suppression energization command Iref_sy from the vibration suppression energization command generation unit Co1 and selects the energization command to be input to the energization control unit 40 according to the mode signal MS is provided. The collision detection unit 105 detects vibration in the same manner as the inspection apparatus, and shares the vibration sensor 150 for performing vibration suppression control. If comprised in this way, the variation with the effective stroke of the needle | mover 14 prescribed | regulated between the mechanical stoppers 12 * 12 which make a pair and the predetermined stroke which is the ideal value (design value) is accept | permitted similarly to the said inspection apparatus. It is possible to determine whether or not it is within the range, and in addition, by executing an inspection mode at the time of a vehicle inspection, for example, it is possible to indirectly find defects caused by the leaf spring 15 or the permanent magnet 13a due to aging, It becomes possible to easily know whether or not the linear actuator unit U is in the replacement period due to aging.

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。   In addition, various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

１０…リニアアクチュエータ本体
１１…ケース
１２・１２…機械ストッパ
１３…固定子
１４…可動子
２…振動台座部
４…駆動制御部
５…衝突検出手段
５０…振動センサ
５１…衝突判定部
６…内部判定部
Ｕ…リニアアクチュエータユニット
Ｄ…往復可動範囲
Ｄｃ…往復可動範囲の中心
Ｃｏ１…制振通電指令生成部
Ｘ１…反重力方向（第一動作方向）
Ｘ２…重力方向（第二動作方向）
Ｗｃ…可動子の往復動中心
Ly_ch…検査用オフセット距離
Ｌｐ…所定振幅
ＩLP…往復動通電
Ｉoff…オフセット通電
Ich…検査用通電
Ｖup…第一動作方向オフセット通電量
Ｖdn…第二動作方向オフセット通電量
ＭＳ２…第一動作方向ストローク検査モード
ＭＳ３…第二動作方向ストローク検査モード
Iref_off_up…第一動作方向理想オフセット値（第一動作方向オフセット通電量の理想値）
Iref_off_dn…第二動作方向理想オフセット値（第二動作方向オフセット通電量の理想値）
ｔｈ…判定閾値
ｓｙ…制振装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Linear actuator main body 11 ... Case 12 * 12 Mechanical stopper 13 ... Stator 14 ... Movable element 2 ... Vibration base part 4 ... Drive control part 5 ... Collision detection means 50 ... Vibration sensor 51 ... Collision judgment part 6 ... Internal judgment Part U ... Linear actuator unit D ... Reciprocating movable range Dc ... Center Co1 of reciprocating movable range ... Damping energization command generating part X1 ... Anti-gravity direction (first operation direction)
X2: Gravity direction (second motion direction)
Wc: Center of reciprocation of mover
Ly_ch: Offset distance for inspection Lp ... Predetermined amplitude I LP ... Reciprocating energization I off ... Offset energization
I ch ... energization for inspection V up ... first operation direction offset energization amount V dn ... second operation direction offset energization amount MS 2 ... first operation direction stroke inspection mode MS 3 ... second operation direction stroke inspection mode
Iref_off_up: Ideal offset value in the first motion direction (ideal value of the first drive direction offset energization amount)
Iref_off_dn: Ideal offset value in the second motion direction (ideal value for the amount of energization in the second motion direction offset)
th ... judgment threshold sy ... damping device

Claims (5)

固定子及び当該固定子に対して所定方向に往復動作し得る可動子を有し通電により前記可動子が往復移動するリニアアクチュエータ本体と、前記リニアアクチュエータ本体の一部を固定した状態で当該リニアアクチュエータ本体の周囲を包囲するケースと、前記リニアアクチュエータ本体と前記ケースの組立状態において前記可動子の往復動方向両側に配置される対をなす機械ストッパとを備えたリニアアクチュエータユニットを検査する検査装置であって、
通電がされていない状態において前記機械ストッパ間に規定される往復可動範囲の中心から前記可動子が自重により重力方向側にオフセットズレする姿勢に設置された検査対象となるリニアアクチュエータユニットに対して通電を行う駆動制御部と、
前記通電に応じた前記可動子の往復動作によって前記リニアアクチュエータユニットに生じる振動又は音波を検出し、検出した振動波形又は音波波形に基づき前記可動子が前記機械ストッパへ衝突したことを検出する衝突検出手段と、
前記駆動制御部による通電及び前記衝突検出手段による衝突検出の有無に基づき前記リニアアクチュエータユニットの内部状態を判定するための内部判定部とを備えてなり、
所定振幅で振動する可動子の往復動中心を前記オフセットズレした状態から反重力方向側にオフセット移動させたときには前記機械ストッパとの衝突が発生せず且つ重力方向側にオフセット移動させたときには前記機械ストッパとの衝突が発生する検査用オフセット距離を予め設定しておき、
前記所定振幅で可動子を振動させる往復動通電と、前記可動子の往復動中心を反重力方向側に前記検査用オフセット距離分オフセット移動させるオフセット通電とを重畳した検査用通電を前記駆動制御部を通じて行い、前記検査用通電がなされているときに前記衝突検出手段により衝突が検出された場合に、前記可動子が通電方向に応じた方向に動作しないと前記内部判定部が判定する一方で、前記衝突が検出されない場合に、前記可動子が通電方向に応じた方向に動作すると前記内部判定部が判定するように構成したことを特徴とするリニアアクチュエータユニット検査装置。 A linear actuator body having a stator and a movable element that can reciprocate in a predetermined direction with respect to the stator, and the movable element reciprocates when energized, and the linear actuator in a state where a part of the linear actuator body is fixed An inspection apparatus for inspecting a linear actuator unit comprising a case surrounding a main body, and a pair of mechanical stoppers disposed on both sides of the linear actuator main body and the reciprocating direction of the mover in the assembled state of the case. There,
In a state in which no current is supplied, current is supplied to the linear actuator unit to be inspected installed in a posture in which the movable element is offset from the center of the reciprocating movable range defined between the mechanical stoppers by gravity due to its own weight. A drive control unit for performing
Collision detection for detecting vibration or sound wave generated in the linear actuator unit due to reciprocating movement of the mover in response to the energization, and detecting that the mover has collided with the mechanical stopper based on the detected vibration waveform or sound wave waveform Means,
An internal determination unit for determining the internal state of the linear actuator unit based on the energization by the drive control unit and the presence or absence of collision detection by the collision detection unit,
When the reciprocating center of the mover that vibrates with a predetermined amplitude is offset-shifted from the offset position to the antigravity direction side, no collision with the mechanical stopper occurs, and when the offset is moved to the gravity direction side, the machine Preset the inspection offset distance where collision with the stopper occurs,
The drive control unit performs inspection energization in which reciprocation energization that vibrates the mover with the predetermined amplitude and offset energization that offsets the reciprocation center of the mover toward the anti-gravity direction by the offset distance for inspection overlap. While the internal determination unit determines that the mover does not operate in a direction corresponding to the energization direction when a collision is detected by the collision detection unit when the inspection energization is performed, The linear actuator unit inspection apparatus, wherein the internal determination unit determines that the movable element moves in a direction corresponding to a current-carrying direction when the collision is not detected. 前記衝突検出手段は、前記通電に応じた前記可動子の往復動作によって前記リニアアクチュエータユニットに生じる振動を検出する振動センサと、前記振動センサで検出した振動波形と理想波形との偏差に応じて前記可動子が前記機械ストッパに衝突したか否かを判定する衝突判定部とにより構成されている請求項１に記載のリニアアクチュエータユニット検査装置。 The collision detection means includes a vibration sensor that detects vibration generated in the linear actuator unit due to reciprocation of the mover in response to the energization, and the deviation according to a deviation between a vibration waveform detected by the vibration sensor and an ideal waveform. The linear actuator unit inspection apparatus according to claim 1 , further comprising: a collision determination unit that determines whether or not the mover has collided with the mechanical stopper. 前記検査対象となるリニアアクチュエータユニットが取り付けられると共に、前記振動センサが取り付けられる振動台座部を備え、前記往復動通電は、前記振動台座部の共振周波数と一致する周波数又はその近傍の周波数で前記可動子を往復動作させるように設定されている請求項２に記載のリニアアクチュエータユニット検査装置。 A linear actuator unit to be inspected is attached, and a vibration pedestal portion to which the vibration sensor is attached is provided, and the reciprocating energization is performed at a frequency that coincides with a resonance frequency of the vibration pedestal portion or a frequency in the vicinity thereof. The linear actuator unit inspection device according to claim 2 , wherein the linear actuator unit inspection device is set to reciprocate the child. 固定子及び当該固定子に対して所定方向に往復動作し得る可動子を有し通電により前記可動子が往復移動するリニアアクチュエータ本体と、前記リニアアクチュエータ本体の一部を固定した状態で当該リニアアクチュエータ本体の周囲を包囲するケースと、前記リニアアクチュエータ本体と前記ケースの組立状態において前記可動子の往復動方向両側に配置される対をなす機械ストッパとを備えたリニアアクチュエータユニットに対し、通電指令に応じた通電を行うことにより前記可動子の駆動を制御する通常モードを具備するリニアアクチュエータユニットの駆動装置であって、
通電がされていない状態において前記機械ストッパ間に規定される往復可動範囲の中心から前記可動子が自重により重力方向側にオフセットズレする姿勢に設置された検査対象となるリニアアクチュエータユニットに対して通電を行う駆動制御部と、
前記通電に応じた前記可動子の往復動作によって前記リニアアクチュエータユニットに生じる振動又は音波を検出し、検出した振動波形又は音波波形に基づき前記可動子が前記機械ストッパへ衝突したことを検出する衝突検出手段と、
前記駆動制御部による通電及び前記衝突検出手段による衝突検出の有無に基づき前記リニアアクチュエータユニットの内部状態を判定するための内部判定部とを備えてなり、
所定振幅で振動する可動子の往復動中心を前記オフセットズレした状態から反重力方向側にオフセット移動させたときには前記機械ストッパとの衝突が発生せず且つ重力方向側にオフセット移動させたときには前記機械ストッパとの衝突が発生する検査用オフセット距離を予め設定しておき、
前記所定振幅で可動子を振動させる往復動通電と、前記可動子の往復動中心を反重力方向側に前記検査用オフセット距離分オフセット移動させるオフセット通電とを重畳した検査用通電を前記駆動制御部を通じて行い、前記検査用通電がなされているときに前記衝突検出手段により衝突が検出された場合に、前記可動子が通電方向に応じた方向に動作しないと前記内部判定部が判定する一方で、前記衝突が検出されない場合に、前記可動子が通電方向に応じた方向に動作すると前記内部判定部が判定するように構成したことを特徴とするリニアアクチュエータユニット駆動装置。 A linear actuator body having a stator and a movable element that can reciprocate in a predetermined direction with respect to the stator, and the movable element reciprocates when energized, and the linear actuator in a state where a part of the linear actuator body is fixed An energization command is provided to a linear actuator unit including a case surrounding the body, and a pair of mechanical stoppers disposed on both sides of the linear actuator body and the reciprocating direction of the mover in the assembled state of the case. A linear actuator unit driving apparatus having a normal mode for controlling driving of the mover by energizing according to
In a state in which no current is supplied, current is supplied to the linear actuator unit to be inspected installed in a posture in which the movable element is offset from the center of the reciprocating movable range defined between the mechanical stoppers by gravity due to its own weight. A drive control unit for performing
Collision detection for detecting vibration or sound wave generated in the linear actuator unit due to reciprocating movement of the mover in response to the energization, and detecting that the mover has collided with the mechanical stopper based on the detected vibration waveform or sound wave waveform Means,
An internal determination unit for determining the internal state of the linear actuator unit based on the energization by the drive control unit and the presence or absence of collision detection by the collision detection unit,
When the reciprocating center of the mover that vibrates with a predetermined amplitude is offset-shifted from the offset position to the antigravity direction side, no collision with the mechanical stopper occurs, and when the offset is moved to the gravity direction side, the machine Preset the inspection offset distance where collision with the stopper occurs,
The drive control unit performs inspection energization in which reciprocation energization that vibrates the mover with the predetermined amplitude and offset energization that offsets the reciprocation center of the mover toward the anti-gravity direction by the offset distance for inspection overlap. While the internal determination unit determines that the mover does not operate in a direction corresponding to the energization direction when a collision is detected by the collision detection unit when the inspection energization is performed, The linear actuator unit driving apparatus , wherein when the collision is not detected, the internal determination unit determines that the movable element moves in a direction corresponding to the energization direction . 請求項４に記載のリニアアクチュエータ駆動装置を適用したものであって、
振動センサで検出した振動に対し逆相となる振動を制振すべき位置に前記リニアアクチュエータユニットを通じて発生させるための制振通電指令を生成する制振通電指令生成部を備え、前記通常モードにおいて前記制振通電指令生成部で生成された制振通電指令を用いて前記可動子を駆動するように構成したことを特徴とする制振装置。 The linear actuator drive device according to claim 4 is applied,
A vibration control energization command generating unit that generates a vibration control energization command for generating vibration through the linear actuator unit at a position where vibration that is in reverse phase to the vibration detected by the vibration sensor is to be controlled; A vibration control device configured to drive the mover using a vibration suppression energization command generated by a vibration suppression energization command generation unit.
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