JP5768803B2 - Mems装置 - Google Patents
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Description
図5は、光偏向装置1の変形例に係るコア33を示している。コア33は、第1縦延在部331dからx軸の正方向に屈曲して伸びる第3横延在部331eと、第3横延在部331eからz軸の負方向に屈曲して伸びる第3縦延在部331fと、第2縦延在部332dからx軸の負方向に屈曲して伸びる第4横延在部332eと、第4横延在部332eからz軸の負方向に屈曲して伸びる第4縦延在部332fと、第3縦延在部331fおよび第4縦延在部332fのz軸の負方向の端部同士を接続する端部接続部33gとを含んでいる。なお、磁極331a,332a、第1横延在部331b,331c、第1縦延在部331d、第2横延在部332b,332c、第2縦延在部332dの形態は図1〜3に示す磁極311a,312a、第1横延在部311b,311c、第1縦延在部311d、第2横延在部312b,312c、第2縦延在部312dと同様であるため、説明を省略する。
3,4:磁極の面の中心を結ぶ線
10:上部基板
12:可動部
20:下部基板
31,32,33,33a:コア
31e,32e:接続部
33g:端部接続部
36a,36b:コイル
111a,111b,121a,121b:可撓梁
112:支持枠
140:ミラー構造体
150:永久磁石
160,162a〜162d:磁界検出手段
162,163,164:支持部材
163a:スペーサ
163b:回路基板
164a,164b:挿込部
311a,312a,321a,322a,331a,332a:磁極
311b,311c,321b,321c,331b,331c:第1横延在部
312b,312c,322b,322c,332b,332c:第2横延在部
311d,321d,331d:第1縦延在部
312d,322d,332d:第2縦延在部
331e:第3横延在部
331f:第3縦延在部
332e:第4横延在部
332f:第4縦延在部
333a,333b:孔部
341,342:上面
346a,346b:位置決め部材
Claims (6)
- 基板と、
磁性体を有し、基板に対して相対的に傾動可能な可動部と、
磁性体に磁界を印加可能な第1磁極および第2磁極と、
磁性体の磁界を検出する磁界検出手段と、を備えており、
可動部の磁性体が設けられている側に第1磁極と第2磁極が配置され、
磁界検出手段は、第1磁極と第2磁極との間に配置されており、
第1磁極と第2磁極との間の距離は、可動部の第1磁極から第2磁極に向かう方向の長さよりも短い、MEMS装置。 - 第1磁極および第2磁極を有するコアと、
コアに捲回されるコイルと、
磁界検出手段をコアの第1磁極と第2磁極との間となる位置で支持する支持部材とをさらに備えている、請求項1に記載のMEMS装置。 - 可動部は、傾動体と、その傾動体と基板とを接続する可撓梁とを有しており、可撓梁がその軸周りに捻じれることで、傾動体が基板に対して傾動するように構成されており、
傾動体が基板に対して傾動していない状態では、基板と傾動体とは同一平面に位置しており、
前記同一平面と直交する直交方向の磁界検出手段と磁性体の距離は、傾動体が基板に対して最も傾動した場合の傾動体の先端と基板との前記直交方向の距離よりも短い、請求項1または2に記載のMEMS装置。 - コアと、コアに捲回されるコイルと、を備えており、
コアは、
磁界検出手段を挟んで配置された第1磁極および第2磁極と、
第1磁極から磁界検出手段に対して遠ざかる第1方向に伸びる第1横延在部と、
第1横延在部から基板に対して遠ざかる第2方向に屈曲して伸びる第1縦延在部と、
第2磁極から第1方向と逆方向に伸びる第2横延在部と、
第2横延在部から第2方向に屈曲して伸びる第2縦延在部と、
第1縦延在部と第2縦延在部とを接続する接続部とを含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載のMEMS装置。 - 接続部は、
第1縦延在部から第1方向と逆方向に屈曲して伸びる第3横延在部と、
第3横延在部から第2方向に屈曲して伸びる第3縦延在部と、
第2縦延在部から第1方向に屈曲して伸びる第4横延在部と、
第4横延在部から第2方向に屈曲して伸びる第4縦延在部と、
第3縦延在部の第2方向の端部と第4縦延在部の第2方向の端部とを接続する端部接続部とを含み、
コイルは、第3縦延在部および第4縦延在部に捲回される、請求項4に記載のMEMS装置。 - 第3磁極をさらに備え、
磁界検出手段は、第1磁極と、第2磁極と、第3磁極との間に配置されている、請求項1に記載のMEMS装置。
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