JP5755681B2 - Bar code using direct image exposure apparatus, defective unit mark forming system and method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、ダイレクトイメージ露光器を用いるバーコード、並びに不良ユニットマーク形成システム及びその方法に関し、特に、ドリリングを用いることなく、ダイレクトイメージ露光器による回路パターンの露光工程と同時にバーコード形成領域及び不良ユニットに対して露光することによって、バーコード及び不良ユニットマークを形成するシステム及びその方法に関する。   The present invention relates to a barcode using a direct image exposure device, and a defective unit mark forming system and method thereof, and more particularly to a barcode formation region and a defect simultaneously with a circuit pattern exposure process using a direct image exposure device without using drilling. The present invention relates to a system and method for forming barcodes and defective unit marks by exposing a unit.

基板の製造工程に投入されるパネルには、加工対象である複数のユニットを含むストリップと、このストリップを区別するためのストリップバーコードと、該投入されたパネルを区別するためのパネルバーコードとを含む。すなわち、文字や数字を黒白の縞模様で表示した記号であって、読取り手段によって光学的に読み取られることによって、該ストリップを区別する手段がストリップバーコードであり、これと同じ手段として該パネルを区別する手段がパネルバーコードである。   The panel input to the substrate manufacturing process includes a strip including a plurality of units to be processed, a strip barcode for distinguishing the strip, and a panel barcode for distinguishing the input panel. including. That is, a symbol in which letters and numbers are displayed in a black and white stripe pattern, and a means for discriminating the strip by being optically read by a reading means is a strip bar code. The means for distinguishing is a panel barcode.

一方、パネルバーコード及びストリップバーコードを形成する工程とは別に、パネルに含まれた複数のユニットに対する不良検査を行い、これによって不良に判定されたユニットに対しては、該不良ユニットに対して表示または刻印をすることによって良品と不良品とを区別した。また、良品と判断されたユニットの回路パターンの露光処理を行わなければならないが、この工程は不良ユニットマーク形成工程とは別個に行われる。   On the other hand, apart from the process of forming the panel barcode and the strip barcode, a defect inspection is performed on a plurality of units included in the panel, and a unit determined to be defective by this is determined for the defective unit. A good product and a defective product are distinguished by marking or engraving. Further, the exposure process of the circuit pattern of the unit determined to be non-defective must be performed, but this process is performed separately from the defective unit mark forming process.

韓国公開特許第１０−１９９９−００３９７３９号公報Korean Published Patent No. 10-1999-0039739

ところが、このようなストリップバーコードの形成において、従来は、ドリリング方式を用いた。このドリリング方式によれば、ドリリングの特性上、異物が発生する可能性が高く、該異物によって後続工程においてバーコードの認識エラーが発生する可能性が高かった。   However, in the formation of such a strip barcode, a drilling method has been conventionally used. According to this drilling method, due to the characteristics of drilling, there is a high possibility that foreign matter is generated, and the foreign matter is likely to cause a barcode recognition error in a subsequent process.

また、前述のように、バーコード形成工程、不良ユニットに対する刻印工程及び良品と判断されたユニットの回路パターンの露光工程が全て別に行われるため、生産性が低下するという不都合がある。   Further, as described above, since the barcode forming process, the marking process for the defective unit, and the exposure process of the circuit pattern of the unit determined to be non-defective are all performed separately, there is a disadvantage that productivity is lowered.

本発明は上記の問題点に鑑みて成されたものであって、ストリップバーコードを、従来のドリリング方式ではないＤＩ（Ｄｉｒｅｃｔ Ｉｍａｇｅ）露光器による露光によって形成して、ストリップバーコード形成工程で異物が発生する可能性を除去することによって、バーコードの認識率を向上させることに、その目的がある。   The present invention has been made in view of the above problems, and a strip barcode is formed by exposure using a DI (Direct Image) exposure device that is not a conventional drilling system, and a foreign matter is formed in the strip barcode formation process. The purpose is to improve the barcode recognition rate by eliminating the possibility of the occurrence of.

また、本発明は、単一のバーコード形成工程で不良ユニットを示すマークを形成することによって、設備費及び材料費を節減し、工程の単一化を具現することに、その目的がある。   Another object of the present invention is to reduce the equipment cost and material cost by implementing a mark indicating a defective unit in a single bar code forming process, and to realize the unitization of the process.

また、本発明は、バーコード及び不良ユニットマークを形成する工程と同時に、不良ユニットを除いたユニットの回路パターンを露光することによって、工程を単純化し、生産性を向上させることに、その目的がある。   Another object of the present invention is to simplify the process and improve the productivity by exposing the circuit pattern of the unit excluding the defective unit simultaneously with the process of forming the barcode and the defective unit mark. is there.

上記目的を解決するために、本発明の実施形態によるバーコード及び不良ユニットマーク形成システムは、パネルを撮影する撮像部と、前記撮像部によって撮影された前記パネルを認識する認識部と、不良ユニット情報を保存するサーバと、ＤＩ露光によってストリップバーコード及び不良ユニットマークを形成するＤＩ露光器と、前記サーバから前記不良ユニット情報を受信して前記ＤＩ露光器の露光を制御する制御部と、を含む。   In order to solve the above-described object, a barcode and defective unit mark forming system according to an embodiment of the present invention includes an imaging unit that captures a panel, a recognition unit that recognizes the panel captured by the imaging unit, and a defective unit. A server for storing information; a DI exposure unit that forms a strip barcode and a defective unit mark by DI exposure; and a control unit that receives the defective unit information from the server and controls exposure of the DI exposure unit. Including.

一実施形態によれば、前記パネルは、該パネルを識別するための前記パネルバーコードが形成されるパネルバーコード形成領域と、複数のユニットを含むストリップと、前記ストリップを識別するための前記ストリップバーコードが形成されるストリップバーコード形成領域と、を含む。   According to one embodiment, the panel includes a panel barcode forming area in which the panel barcode for identifying the panel is formed, a strip including a plurality of units, and the strip for identifying the strip. And a strip barcode forming area where the barcode is formed.

一実施形態によれば、前記認識部は、前記パネルに含まれた前記複数のユニットを認識する。前記制御部は、前記認識部によって認識された前記複数のユニットに対する不良ユニット情報を前記サーバから受信する。前記ＤＩ露光器は、前記サーバから受信した前記不良ユニット情報に基づいて前記不良ユニットを露光する。   According to an embodiment, the recognition unit recognizes the plurality of units included in the panel. The control unit receives defective unit information for the plurality of units recognized by the recognition unit from the server. The DI exposure unit exposes the defective unit based on the defective unit information received from the server.

一実施形態によれば、前記ＤＩ露光器は、前記ストリップバーコードのイメージを自動で生成し、その前記ストリップバーコードのイメージで前記ストリップバーコード形成領域を露光する。   According to an embodiment, the DI exposure unit automatically generates an image of the strip barcode, and exposes the strip barcode forming area with the image of the strip barcode.

一実施形態によれば、前記ＤＩ露光器は、前記不良ユニットを除いたユニット各々の回路パターンを露光する。   According to an embodiment, the DI exposure unit exposes a circuit pattern of each unit excluding the defective unit.

一実施形態によれば、前記ＤＩ露光器は、前記ストリップバーコード及び前記不良ユニットマークを形成すると共に前記不良ユニットを除いたユニットの回路パターンを露光する。   According to one embodiment, the DI exposure unit exposes a circuit pattern of a unit that forms the strip barcode and the defective unit mark and excludes the defective unit.

一実施形態によれば、前記ＤＩ露光器は、前記不良ユニット上に予め決められた模様で不良ユニットマークを形成する。   According to one embodiment, the DI exposure unit forms a defective unit mark with a predetermined pattern on the defective unit.

一実施形態によれば、前記認識部は、前記パネルバーコード形成領域に形成されたパネルバーコードを認識することによって前記パネルを認識する。   According to an embodiment, the recognition unit recognizes the panel by recognizing a panel barcode formed in the panel barcode formation region.

一実施形態によれば、前記パネルバーコードは、ドリリング工程によって形成される。   According to one embodiment, the panel barcode is formed by a drilling process.

また、上記目的を解決するために、本発明の他の実施形態によるバーコード及び不良ユニットマーク形成方法は、不良ユニットの情報をサーバに格納するステップと、投入されたパネルをカメラによって撮影するステップと、前記投入されたパネルに含まれた不良ユニットの情報を前記サーバから受信するステップと、ＤＩ露光器によってストリップバーコード形成領域及び前記不良ユニットを露光するステップとを含む。   In order to solve the above-described object, a barcode and defective unit mark forming method according to another embodiment of the present invention includes a step of storing information on a defective unit in a server, and a step of photographing a loaded panel with a camera. And receiving information on defective units included in the inserted panel from the server, and exposing a strip barcode forming area and the defective units with a DI exposure unit.

一実施形態によれば、前記不良ユニットの情報を前記サーバに格納するステップは、前記不良ユニットに対して露光される不良ユニットマークのイメージデータを格納するステップを含む。   According to an embodiment, the step of storing information on the defective unit in the server includes storing image data of a defective unit mark exposed to the defective unit.

一実施形態によれば、前記ＤＩ露光器によって露光するステップは、前記ストリップバーコードのイメージを自動で生成し、そのストリップバーコードのイメージで前記ストリップバーコード形成領域を露光するステップを含む。   According to one embodiment, the step of exposing by the DI exposure unit includes the step of automatically generating an image of the strip barcode and exposing the strip barcode forming area with the image of the strip barcode.

一実施形態によれば、前記ＤＩ露光器によって露光するステップは、前記不良ユニットを除いたユニット各々の回路パターンを露光するステップを含む。   According to an embodiment, the step of exposing by the DI exposure unit includes the step of exposing a circuit pattern of each unit excluding the defective unit.

一実施形態によれば、前記ＤＩ露光器によって露光するステップは、ＤＩ露光によって前記ストリップバーコード及び前記不良ユニットマークが形成されると共に前記不良ユニットを除いたユニットの回路パターンを露光するステップを含む。   According to an embodiment, the step of exposing by the DI exposure unit includes the step of exposing the circuit pattern of the unit excluding the defective unit while the strip barcode and the defective unit mark are formed by DI exposure. .

一実施形態によれば、前記ＤＩ露光器によって露光するステップは、前記不良ユニット上に予め決められた模様で露光することによって不良ユニットマークを形成するステップを含む。   According to one embodiment, the step of exposing by the DI exposure unit includes the step of forming a defective unit mark by exposing the defective unit with a predetermined pattern.

一実施形態によれば、前記投入されたパネルをカメラによって撮影するステップの前に、パネルバーコード形成領域にドリリングによってパネルバーコードを形成するステップをさらに含む。   According to one embodiment, the method further includes forming a panel barcode by drilling in the panel barcode forming region before photographing the loaded panel with a camera.

一実施形態によれば、前記露光するステップの後に、前記不良ユニットの情報をアップデートするステップをさらに含む。   According to an embodiment, after the exposing step, the method further includes a step of updating information on the defective unit.

一実施形態によれば、前記不良ユニットの情報をサーバに格納するステップの前に、前記不良ユニットを除いたユニットの回路パターンの情報を前記サーバに格納するステップをさらに含む。   According to an embodiment, before the step of storing the information on the defective unit in the server, the method further includes the step of storing the circuit pattern information of the unit excluding the defective unit in the server.

一実施形態によれば、前記不良ユニットを除いたユニット各々の回路パターンのイメージデータを格納するステップを含む。   According to an embodiment, the method includes a step of storing image data of a circuit pattern of each unit excluding the defective unit.

本発明によれば、ストリップバーコードをＤＩ露光器で露光して形成することによって、ストリップバーコード形成工程で異物が発生する可能性を除してバーコードの認識率を向上させるという効果が奏する。   According to the present invention, the strip barcode is formed by exposing it with a DI exposure device, thereby improving the barcode recognition rate by eliminating the possibility of foreign matter being generated in the strip barcode formation process. .

また、本発明によれば、単一のバーコード形成工程で不良ユニットに対するマークを形成することによって、設備費及び材料費を節減すると共に、バーコード形成工程及び不良ユニットマーク形成工程を単一化することができるという効果が奏する。   In addition, according to the present invention, by forming a mark for a defective unit in a single barcode forming process, equipment costs and material costs are reduced, and the barcode forming process and the defective unit mark forming process are unified. The effect of being able to do is produced.

また、本発明によれば、バーコード及び不良ユニットマークを形成する工程と同時に不良ユニットを除いたユニットの回路パターンを露光することによって、工程を単純化し、生産性を向上させるという効果が奏する。   Further, according to the present invention, by exposing the circuit pattern of the unit excluding the defective unit at the same time as the process of forming the barcode and the defective unit mark, the process is simplified and the productivity is improved.

本発明の実施形態によるバーコード及び不良ユニットマーク形成システムのブロック図である。1 is a block diagram of a barcode and defective unit mark forming system according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態によるバーコード及び不良ユニットマーク形成システムに投入されるパネルの構成図である。It is a block diagram of the panel thrown into the barcode and the defective unit mark formation system by embodiment of this invention. 本発明の一実施形態によるバーコード及び不良ユニットマーク形成方法のフローチャートである。3 is a flowchart of a method for forming a barcode and a defective unit mark according to an embodiment of the present invention. 本発明の他の実施形態によるバーコード及び不良ユニットマーク形成方法のフローチャートである。5 is a flowchart of a method for forming a barcode and a defective unit mark according to another embodiment of the present invention.

以下、本発明の好適な実施の形態は図面を参考にして詳細に説明する。次に示される各実施の形態は当業者にとって本発明の思想が十分に伝達されることができるようにするために例として挙げられるものである。従って、本発明は以下示している各実施の形態に限定されることなく他の形態で具体化されることができる。そして、図面において、装置の大きさ及び厚さなどは便宜上誇張して表現されることができる。明細書全体にわたって同一の参照符号は同一の構成要素を示している。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Each embodiment shown below is given as an example so that those skilled in the art can sufficiently communicate the idea of the present invention. Therefore, the present invention is not limited to the embodiments described below, but can be embodied in other forms. In the drawings, the size and thickness of the device can be exaggerated for convenience. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

本明細書で使われた用語は、実施形態を説明するためのものであって、本発明を制限しようとするものではない。本明細書において、単数形は文句で特別に言及しない限り複数形も含む。明細書で使われる「含む」とは、言及された構成要素、ステップ、動作及び／又は素子は、一つ以上の他の構成要素、ステップ、動作及び／又は素子の存在または追加を排除しないことに理解されたい。   The terminology used herein is for the purpose of describing embodiments and is not intended to limit the invention. In this specification, the singular includes the plural unless specifically stated otherwise. As used herein, “includes” a stated component, step, action, and / or element does not exclude the presence or addition of one or more other components, steps, actions, and / or elements. Want to be understood.

図１は、本発明の実施形態によるバーコード及び不良ユニットマーク形成システムのブロック図で、図２は、本発明の実施形態によるバーコード及び不良ユニットマーク形成システムに投入されるパネルの構成図である。   FIG. 1 is a block diagram of a barcode and defective unit mark forming system according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a configuration diagram of a panel inserted into the barcode and defective unit mark forming system according to an embodiment of the present invention. is there.

図１及び図２を参照して、本発明の実施形態によるバーコード及び不良ユニットマーク形成システム１００は、パネル６０を撮影する撮像部４０と、この撮像部４０によって撮影されたパネル６０を認識する認識部３０と、不良ユニット情報を保存するサーバ１０と、ＤＩ露光によってストリップバーコード及び不良ユニットマークを形成するＤＩ露光器５０と、このサーバ１０から前記不良ユニット情報を受信してＤＩ露光器５０の露光を制御する制御部２０とを含む。   With reference to FIGS. 1 and 2, the barcode and defective unit mark forming system 100 according to the embodiment of the present invention recognizes the imaging unit 40 that captures the panel 60 and the panel 60 that is captured by the imaging unit 40. A recognition unit 30; a server 10 that stores defective unit information; a DI exposure unit 50 that forms a strip barcode and a defective unit mark by DI exposure; and the DI exposure unit 50 that receives the defective unit information from the server 10 And a control unit 20 for controlling the exposure.

パネル上の被露光層を露光するための手段の一つとして、最近、ＤＩ露光器が使われている。このＤＩ露光器は、レーザーダイオードを光源として使って、パネル上の被露光層を直接露光する装備である。このようなＤＩ露光器は、複数の露光ヘッドを含み、一定の間隔で互いに離間された状態でスキャニングユニットに固定され、設定された露光量でパネル上の被露光層を露光する。この場合、前記複数の露光ヘッドは、設定されたスキャニング速度で移送されることになる。このような露光器を用いてパネル上の被露光層を露光する場合、テーブルにパネルを載置した後、複数の露光ヘッドを順次露光方法によってスキャニングしながら該当領域を各々露光することができる。ここで、順次露光方法とは、各々の露光ヘッドが該当領域の一番目のスキャンラインを露光した後、該一番目のスキャンライン寄りの二番目スキャンラインを露光するような方式を意味する。   Recently, a DI exposure device has been used as one of means for exposing a layer to be exposed on a panel. This DI exposure device is a device that directly exposes an exposed layer on a panel using a laser diode as a light source. Such a DI exposure device includes a plurality of exposure heads, is fixed to a scanning unit in a state of being spaced apart from each other at a constant interval, and exposes an exposed layer on the panel with a set exposure amount. In this case, the plurality of exposure heads are transferred at a set scanning speed. When exposing an exposure layer on a panel using such an exposure device, after placing the panel on a table, each of the corresponding areas can be exposed while scanning a plurality of exposure heads sequentially by an exposure method. Here, the sequential exposure method means a method in which each exposure head exposes the first scan line of the corresponding area and then exposes the second scan line near the first scan line.

前記パネル６０は、該パネル６０を識別するための前記パネルバーコードが形成されるパネルバーコード形成領域６１と、複数のユニット６３を含むストリップ６２と、前記ストリップ６２を識別するための前記ストリップバーコードが形成されるストリップバーコード形成領域６４とを含む。前記パネルバーコード形成領域６１は、前記パネル６０当たり一つを含み、前記パネル６０を識別するためのパネルバーコードが形成される。また、前記ストリップバーコード形成領域６４は、前記ストリップ６２当たり一つを含み、前記ストリップ６２を識別するためのストリップバーコードが形成される。また、前記ストリップ６２は、複数のユニット６３を含む。このユニット６３は、前記サーバ１０に格納された不良ユニット情報によって良品または不良品に区分され、良品と判断されたユニットは、前記ＤＩ露光器５０によって回路パターンが露光され、不良品と判断されたユニットは、前記ＤＩ露光器５０によって不良ユニットマークとして露光される。   The panel 60 includes a panel barcode forming area 61 in which the panel barcode for identifying the panel 60 is formed, a strip 62 including a plurality of units 63, and the strip bar for identifying the strip 62. And a strip barcode forming area 64 in which a code is formed. The panel barcode forming area 61 includes one per panel 60, and a panel barcode for identifying the panel 60 is formed. The strip bar code forming area 64 includes one per strip 62, and a strip bar code for identifying the strip 62 is formed. The strip 62 includes a plurality of units 63. The unit 63 is classified into a non-defective product or a non-defective product according to the defective unit information stored in the server 10, and the unit determined to be a non-defective product is determined to be a defective product by the circuit pattern being exposed by the DI exposure unit 50. The unit is exposed as a defective unit mark by the DI exposure unit 50.

前記パネル６０は、前記撮像部４０によって撮影される。前記認識部３０は、前記撮像部４０に接続される。前記認識部３０は、前記パネル６０に含まれた前記複数のユニット６３を認識する。前記制御部２０は、前記認識部３０によって認識された前記複数のユニット６３に対する不良ユニット情報を前記サーバ１０から受信する。前記ＤＩ露光器５０は、前記サーバ１０から受信された前記不良ユニット情報に基づいて前記不良ユニットを露光する。この場合、前記認識部３０は、前記パネルバーコード形成領域６１に形成されたパネルバーコードを認識することによって前記パネルを認識する。前記パネルバーコード形成領域に形成されたパネルバーコードは、ドリリング工程によって形成される。   The panel 60 is photographed by the imaging unit 40. The recognition unit 30 is connected to the imaging unit 40. The recognition unit 30 recognizes the plurality of units 63 included in the panel 60. The control unit 20 receives, from the server 10, defective unit information for the plurality of units 63 recognized by the recognition unit 30. The DI exposure unit 50 exposes the defective unit based on the defective unit information received from the server 10. In this case, the recognition unit 30 recognizes the panel by recognizing the panel barcode formed in the panel barcode formation region 61. The panel barcode formed in the panel barcode forming region is formed by a drilling process.

前記ＤＩ露光器５０は、前記ストリップバーコードのイメージを自動で生成し、その前記ストリップバーコードのイメージで前記ストリップバーコード形成領域６４を露光する。または、前記ＤＩ露光器５０は、前記サーバ１０に格納された前記ストリップバーコードのイメージを受信し、前記ストリップバーコード形成領域６４を露光する。   The DI exposure unit 50 automatically generates an image of the strip barcode and exposes the strip barcode forming area 64 with the strip barcode image. Alternatively, the DI exposure unit 50 receives the strip barcode image stored in the server 10 and exposes the strip barcode formation area 64.

前記ＤＩ露光器５０は、前記不良ユニットを除いたユニット各々の回路パターンを露光する。前記ユニット６３は、前記サーバ１０に格納された不良ユニット情報によって良品または不良品に区分され、前記不良ユニットを除いたユニット各々は、設定された回路パターンによって露光される。   The DI exposure unit 50 exposes the circuit pattern of each unit excluding the defective unit. The unit 63 is classified into a non-defective product or a defective product according to defective unit information stored in the server 10, and each unit excluding the defective unit is exposed with a set circuit pattern.

前記ＤＩ露光器５０は、前記ストリップバーコード及び前記不良ユニットマークを形成すると共に前記不良ユニットを除いたユニットの回路パターンを露光する。   The DI exposure unit 50 forms the strip barcode and the defective unit mark, and exposes the circuit pattern of the unit excluding the defective unit.

前記ＤＩ露光器５０は、前記不良ユニット上に予め決められた模様で不良ユニットマークを形成する。すなわち、前記ＤＩ露光器５０は、前記不良ユニット上に不良ユニットであることを表示する図形、文字などの所定のマークを形成する。   The DI exposure unit 50 forms a defective unit mark in a predetermined pattern on the defective unit. That is, the DI exposure unit 50 forms a predetermined mark such as a figure or a character indicating that it is a defective unit on the defective unit.

図３は、本発明の一実施形態によるバーコード及び不良ユニットマーク形成方法のフローチャートである。   FIG. 3 is a flowchart of a barcode and defective unit mark forming method according to an embodiment of the present invention.

図３に示すように、本発明の一実施形態によるバーコード及び不良ユニットマーク形成方法は、不良ユニットの情報をサーバに格納するステップ（Ｓ１１０）と、投入されたパネルをカメラによって撮影するステップ（Ｓ１２０）と、この投入されたパネルに含まれた不良ユニットの情報を前記サーバから受信するステップ（Ｓ１３０）と、ＤＩ露光器によってストリップバーコード形成領域及び前記不良ユニットを露光するステップ（Ｓ１４０、Ｓ１５０）とを含む。   As shown in FIG. 3, in the barcode and defective unit mark forming method according to the embodiment of the present invention, a step of storing information on defective units in a server (S110), and a step of photographing an input panel with a camera (S110). S120), the step of receiving information on the defective unit included in the inserted panel from the server (S130), and the step of exposing the strip barcode forming area and the defective unit by the DI exposure unit (S140, S150). ).

一実施形態によれば、前記露光するステップ（Ｓ１４０、Ｓ１５０）の後に、前記不良ユニットの情報をアップデートするステップをさらに含んでもよい。すなわち、前記ＤＩ露光器によってストリップバーコード形成領域及び前記不良ユニットが露光された後、アップデートされた不良ユニットの情報を前記サーバに格納し、新たなストリップバーコード形成領域及び不良ユニットを露光してもよい。   According to an embodiment, after the exposing step (S140, S150), the method may further include a step of updating information on the defective unit. That is, after the strip barcode forming area and the defective unit are exposed by the DI exposure unit, the updated defective unit information is stored in the server, and the new strip barcode forming area and the defective unit are exposed. Also good.

一実施形態によれば、前記不良ユニットの情報をサーバに格納するステップ（Ｓ１１０）は、前記不良ユニットに対して露光される不良ユニットマークのイメージデータを格納するステップを含んでもよい。   According to an embodiment, the step of storing information on the defective unit in the server (S110) may include a step of storing image data of a defective unit mark exposed to the defective unit.

一実施形態によれば、前記ＤＩ露光器によって露光するステップ（Ｓ１４０、Ｓ１５０）は、ストリップパーコードのイメージを自動で生成し、そのストリップバーコードのイメージで前記ストリップバーコード形成領域を露光するステップを含んでもよい。   According to one embodiment, the exposure by the DI exposure unit (S140, S150) automatically generates a strip barcode image and exposes the strip barcode formation area with the strip barcode image. May be included.

一実施形態によれば、前記ＤＩ露光器によって露光するステップ（Ｓ１４０、Ｓ１５０）は、前記不良ユニットを除いたユニット各々の回路パターンを露光するステップを含む。   According to one embodiment, the exposing (S140, S150) by the DI exposure unit includes exposing a circuit pattern of each unit excluding the defective unit.

前記ＤＩ露光器によって露光するステップ（Ｓ１４０、Ｓ１５０）は、前記不良ユニット上に予め決められた模様で露光することによって不良ユニットマークを形成するステップを含んでもよい。   The exposure (S140, S150) by the DI exposure unit may include a step of forming a defective unit mark by exposing the defective unit with a predetermined pattern.

また、前記投入されたパネルをカメラによって撮影するステップの前に、パネルバーコード形成領域にドリリングによってパネルバーコードを形成するステップをさらに含んでもよい。この場合、前記パネルバーコードは、ＤＩ露光器によって露光されないで従来のドリリング方式によって形成されてもよく、前記パネルバーコードが前記カメラによって撮影されることによってパネルが認識されることができる。   In addition, the method may further include a step of forming a panel barcode by drilling in the panel barcode formation region before the step of photographing the inserted panel with a camera. In this case, the panel barcode may be formed by a conventional drilling method without being exposed by a DI exposure device, and the panel can be recognized by photographing the panel barcode with the camera.

図４は、本発明の他の実施形態によるバーコード及び不良ユニットマーク形成方法のフローチャートである。図３で説明した部分と重複する説明は省略することにする。   FIG. 4 is a flowchart of a barcode and defective unit mark forming method according to another embodiment of the present invention. The description overlapping with the part described in FIG. 3 will be omitted.

図４に示すように、本発明の他の実施形態によるバーコード及び不良ユニットマーク形成方法は、不良ユニットの情報及び前記不良ユニットを除いたユニットの回路パターンの情報をサーバに格納するステップ（Ｓ２１０）と、投入されたパネルをカメラによって撮影するステップ（Ｓ２２０）と、該投入されたパネルに含まれた不良ユニットの情報及び前記不良ユニットを除いたユニットの回路パターンの情報を前記サーバから受信するステップ（Ｓ２３０）と、ＤＩ露光器によってストリップバーコード形成領域、前記不良ユニット及び前記不良ユニットを除いたユニットの回路パターンを露光するステップ（Ｓ２４０）とを含む。   As shown in FIG. 4, the barcode and defective unit mark forming method according to another embodiment of the present invention stores the information on the defective unit and the circuit pattern information on the unit excluding the defective unit in the server (S210). ), Photographing the inserted panel with the camera (S220), and receiving information on the defective unit included in the inserted panel and information on the circuit pattern of the unit excluding the defective unit from the server. A step (S230) and a step (S240) of exposing a strip bar code forming area, the defective unit, and a circuit pattern of the unit excluding the defective unit by a DI exposure device.

一実施形態によれば、前記ＤＩ露光器によって露光するステップは、ＤＩ露光によって前記ストリップバーコード及び前記不良ユニットマークを形成すると共に、前記不良ユニットを除いたユニットの回路パターンを露光するステップを含んでもよい。   According to an embodiment, the step of exposing by the DI exposure unit includes the step of forming the strip barcode and the defective unit mark by DI exposure and exposing a circuit pattern of a unit excluding the defective unit. But you can.

一実施形態によれば、前記露光するステップ（Ｓ２４０）の後に、前記不良ユニットの情報をアップデートするステップをさらに含んでもよい。すなわち、前記ＤＩ露光器によってストリップバーコード形成領域及び前記不良ユニットを露光した後、アップデートされた不良ユニットの情報を前記サーバに格納し、新たなストリップバーコード形成領域及び不良ユニットを露光してもよい。   According to an embodiment, after the exposing step (S240), the method may further include a step of updating information on the defective unit. That is, after the strip barcode forming area and the defective unit are exposed by the DI exposure unit, the updated defective unit information is stored in the server, and the new strip barcode forming area and the defective unit are exposed. Good.

また、一実施形態によれば、前記不良ユニットの情報をサーバに格納するステップの前に、前記不良ユニットを除いたユニットの回路パターンの情報を前記サーバに格納するステップをさらに含んでもよい。   In addition, according to an embodiment, before the step of storing the information on the defective unit in the server, the method may further include the step of storing the circuit pattern information of the unit excluding the defective unit in the server.

この場合、前記不良ユニットを除いたユニット各々の回路パターンのイメージデータを格納するステップを含んでもよい。   In this case, a step of storing image data of the circuit pattern of each unit excluding the defective unit may be included.

また、一実施形態によれば、前記投入されたパネルをカメラによって撮影するステップの前に、パネルバーコード形成領域にドリリングによってパネルバーコードを形成するステップをさらに含んでもよい。この場合、前記パネルバーコードは、ＤＩ露光器によって露光されないで従来のドリリング方式によって形成されてもよい。前記パネルバーコードが前記カメラによって撮影されることによって、パネルが認識されることができる。   According to an embodiment, the method may further include a step of forming a panel barcode by drilling in the panel barcode formation region before the step of photographing the inserted panel with a camera. In this case, the panel barcode may be formed by a conventional drilling method without being exposed by a DI exposure device. The panel can be recognized by the panel barcode being photographed by the camera.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、前記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above description of the embodiments but by the scope of claims, and is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of claims.

１０ サーバ
２０ 制御部
３０ 認識部
４０ 撮像部
５０ ＤＩ露光器
６０ パネル
６１ パネルバーコード形成領域
６２ ストリップ
６３ ユニット
６４ ストリップバーコード形成領域
１００ バーコード及び不良ユニットマーク形成システム。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Server 20 Control part 30 Recognition part 40 Image pick-up part 50 DI exposure device 60 Panel 61 Panel barcode formation area 62 Strip 63 Unit 64 Strip barcode formation area 100 Barcode and defective unit mark formation system.

Claims (19)

パネルを撮影する撮像部と、
前記撮像部によって撮影された前記パネルを認識する認識部と、
不良ユニット情報を保存するサーバと、
ＤＩ（Ｄｉｒｅｃｔ Ｉｍａｇｅ）露光によってストリップバーコードを形成すると共に不良ユニットマークを形成するＤＩ露光器と、
前記サーバから前記不良ユニット情報を受信し、前記ＤＩ露光器の露光を制御する制御部と、
を含む、バーコード及び不良ユニットマーク形成システム。 An imaging unit for photographing the panel;
A recognition unit for recognizing the panel imaged by the imaging unit;
A server for storing bad unit information;
A DI exposure device for forming a strip barcode and forming a defective unit mark by DI (Direct Image) exposure;
A controller that receives the defective unit information from the server and controls exposure of the DI exposure unit;
Bar code and defective unit mark forming system. 前記パネルは、
前記パネルを識別するためのパネルバーコードが形成されるパネルバーコード形成領域と、
複数のユニットを含むストリップと、
前記ストリップを識別するための前記ストリップバーコードが形成されるストリップバーコード形成領域と、
を含む、請求項１に記載のバーコード及び不良ユニットマーク形成システム。 The panel is
A panel barcode forming region panel bar code for identifying the panel is formed,
A strip containing a plurality of units;
A strip barcode forming area in which the strip barcode for identifying the strip is formed;
The barcode and defective unit mark forming system according to claim 1. 前記認識部は、前記パネルに含まれた前記複数のユニットを認識し、
前記制御部は、前記認識部によって認識された前記複数のユニットに対する不良ユニット情報を前記サーバから受信し、
前記ＤＩ露光器は、前記サーバから受信した前記不良ユニット情報に基づいて不良ユニットを露光する、請求項２に記載のバーコード及び不良ユニットマーク形成システム。 The recognizing unit recognizes the plurality of units included in the panel,
The control unit receives defective unit information for the plurality of units recognized by the recognition unit from the server,
The DI exposure device exposes the bad unit based on the defective unit information received from the server, a bar code and bad unit mark forming system according to claim 2. 前記ＤＩ露光器は、前記ストリップバーコードのイメージを自動で生成し、そのストリップバーコードのイメージで前記ストリップバーコード形成領域を露光する、請求項２に記載のバーコード及び不良ユニットマーク形成システム。   3. The barcode and defective unit mark forming system according to claim 2, wherein the DI exposure unit automatically generates an image of the strip barcode and exposes the strip barcode forming area with the strip barcode image. 前記ＤＩ露光器は、不良ユニットを除いたユニット各々の回路パターンを露光する、請求項２に記載のバーコード及び不良ユニットマーク形成システム。 The DI exposure device exposes a circuit pattern of units each excluding the bad units, barcode and defective units mark forming system according to claim 2. 前記ＤＩ露光器は、前記ストリップバーコード及び前記不良ユニットマークを形成すると共に、不良ユニットを除いたユニットの回路パターンを露光する、請求項２に記載のバーコード及び不良ユニットマーク形成システム。 The DI exposure device is configured to form the strip bar code and the defective unit mark, to expose a circuit pattern of a unit except the bad units, barcode and defective units mark forming system according to claim 2. 前記ＤＩ露光器は、不良ユニット上に予め決められた模様で不良ユニットマークを形成する、請求項４に記載のバーコード及び不良ユニットマーク形成システム。 The DI exposure device forms a faulty unit mark in a predetermined pattern on the bad units, barcode and defective units mark forming system according to claim 4. 前記認識部は、前記パネルバーコード形成領域に形成されたパネルバーコードを認識することによって前記パネルを認識する、請求項２に記載のバーコード及び不良ユニットマーク形成システム。   The barcode and defective unit mark formation system according to claim 2, wherein the recognition unit recognizes the panel by recognizing a panel barcode formed in the panel barcode formation region. 前記パネルバーコードは、ドリリング工程によって形成される、請求項８に記載のバーコード及び不良ユニットマーク形成システム。   The barcode and defective unit mark forming system according to claim 8, wherein the panel barcode is formed by a drilling process. 不良ユニットの情報をサーバに格納するステップと、
投入されたパネルのバーコードをカメラによって撮影してパネルを認識するステップと、
前記投入されたパネルに含まれた不良ユニットの情報を前記サーバから受信するステップと、
ＤＩ露光器によってストリップバーコード形成領域を露光すると共に前記不良ユニットを露光するステップと、
を含む、バーコード及び不良ユニットマーク形成方法。 Storing bad unit information in the server;
Recognizing the panel by shooting the barcode of the inserted panel with the camera,
Receiving information on defective units included in the input panel from the server;
Exposing a strip barcode forming area with a DI exposure device and exposing the defective unit;
Including a barcode and a defective unit mark forming method. 前記不良ユニットの情報をサーバに格納するステップは、
前記不良ユニットに対して露光される不良ユニットマークのイメージデータを格納するステップをさらに含む、請求項１０に記載のバーコード及び不良ユニットマーク形成方法。 The step of storing information on the defective unit in the server includes:
11. The barcode and defective unit mark forming method according to claim 10, further comprising storing image data of a defective unit mark exposed to the defective unit. 前記ＤＩ露光器によって露光するステップは、
ストリップバーコードのイメージを自動で生成し、そのストリップバーコードのイメージで前記ストリップバーコード形成領域を露光するステップをさらに含む、請求項１１に記載のバーコード及び不良ユニットマーク形成方法。 The step of exposing by the DI exposure unit includes:
12. The method of claim 11, further comprising the step of automatically generating an image of a strip barcode and exposing the strip barcode formation area with the strip barcode image. 前記ＤＩ露光器によって露光するステップは、
前記不良ユニットを除いたユニット各々の回路パターンを露光するステップをさらに含む、請求項１２に記載のバーコード及び不良ユニットマーク形成方法。 The step of exposing by the DI exposure unit includes:
The barcode and defective unit mark forming method according to claim 12, further comprising exposing a circuit pattern of each unit excluding the defective unit. 前記ＤＩ露光器によって露光するステップは、
ＤＩ露光によって前記ストリップバーコード及び前記不良ユニットマークを形成すると共に、前記不良ユニットを除いたユニットの回路パターンを露光するステップをさらに含む、請求項１３に記載のバーコード及び不良ユニットマーク形成方法。 The step of exposing by the DI exposure unit includes:
14. The barcode and defective unit mark forming method according to claim 13, further comprising the step of forming the strip barcode and the defective unit mark by DI exposure and exposing a circuit pattern of a unit excluding the defective unit. 前記ＤＩ露光器によって露光するステップは、前記不良ユニットを予め決められた模様で露光することによって不良ユニットマークを形成するステップをさらに含む、請求項１２に記載のバーコード及び不良ユニットマーク形成方法。   13. The barcode and defective unit mark forming method according to claim 12, wherein the step of exposing by the DI exposure unit further includes a step of forming a defective unit mark by exposing the defective unit with a predetermined pattern. 前記投入されたパネルをカメラによって撮影するステップの前に、
パネルバーコード形成領域にドリリングによってパネルバーコードを形成するステップをさらに含む、請求項１０に記載のバーコード及び不良ユニットマーク形成方法。 Before the step of photographing the inserted panel with a camera,
The method of forming a barcode and a defective unit mark according to claim 10, further comprising the step of forming a panel barcode in the panel barcode formation region by drilling. 前記露光するステップの後に、
前記不良ユニットの情報をアップデートするステップをさらに含む、請求項１０に記載のバーコード及び不良ユニットマーク形成方法。 After the exposing step,
The barcode and defective unit mark forming method according to claim 10, further comprising a step of updating information on the defective unit. 前記不良ユニットの情報をサーバに格納するステップの前に、
前記不良ユニットを除いたユニットの回路パターンの情報を前記サーバに格納するステップをさらに含む、請求項１０に記載のバーコード及び不良ユニットマーク形成方法。 Before storing the information on the defective unit in the server,
The barcode and defective unit mark forming method according to claim 10, further comprising the step of storing in the server information on circuit patterns of units excluding the defective unit. 前記不良ユニットを除いたユニット各々の回路パターンのイメージデータを格納するステップをさらに含む、請求項１８に記載のバーコード及び不良ユニットマーク形成方法。   The barcode and defective unit mark forming method according to claim 18, further comprising storing image data of a circuit pattern of each unit excluding the defective unit.
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JP2003309334A (en) * 2002-04-16 2003-10-31 Mitsubishi Paper Mills Ltd Manufacture of printed wiring board
JP2005237998A (en) * 2004-02-24 2005-09-08 Shinano Kenshi Co Ltd Marking apparatus
JP4701753B2 (en) * 2005-03-07 2011-06-15 富士ゼロックス株式会社 Bar code output device and bar code output method
KR100669459B1 (en) * 2005-04-06 2007-01-15 삼성에스디아이 주식회사 Exposure method by direct imaging exposure apparatus
JP2007150029A (en) * 2005-11-29 2007-06-14 Toppan Printing Co Ltd Tape carrier and inspection result management method
KR101247306B1 (en) * 2008-05-15 2013-03-25 삼성테크윈 주식회사 Circuit board with marks indicating bad patterns and manufacturing method of circuit board
KR101156222B1 (en) * 2010-10-05 2012-06-18 삼성전기주식회사 Method for inspecting substrate defect

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