JP5743608B2 - Multilayer piezoelectric element, piezoelectric actuator including the same, injection device, and fuel injection system - Google Patents

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Description

本発明は、例えば自動車エンジンの燃料噴射装置等に用いられる積層型圧電素子およびこれを備えた圧電アクチュエータ、噴射装置、燃料噴射システムに関するものである。   The present invention relates to a laminated piezoelectric element used in, for example, a fuel injection device of an automobile engine, and a piezoelectric actuator, an injection device, and a fuel injection system including the same.

積層型圧電素子として、圧電体層と正極および負極を有する内部電極とが複数積層され、内部電極の端面の一部が側面に達してなる積層体と、内部電極と電気的に接続されるように積層体の側面に被着された一対のメタライズ層と、少なくとも該一対のメタライズ層の存在しない部位で正極および負極の両方の内部電極の端面を覆うように積層体の側面に被着された無機材料からなるコート層とを含むものが知られている。   As a multilayer piezoelectric element, a piezoelectric body layer and a plurality of internal electrodes having a positive electrode and a negative electrode are stacked, and a multilayer body in which a part of the end surface of the internal electrode reaches the side surface is electrically connected to the internal electrode. A pair of metallized layers deposited on the side surfaces of the laminate, and at least a portion where the pair of metallized layers does not exist, and was deposited on the side surfaces of the laminate so as to cover the end surfaces of both the positive electrode and the negative electrode. What contains the coat layer which consists of inorganic materials is known.

そして、この積層型圧電素子を圧電アクチュエータとして使う場合は、外部から積層体への接触傷、異物付着等による導通を防ぐとともに、内部電極の両極間の沿面放電を防ぐなどの目的で、積層体の側面に無機材料からなるコート層を被着させることが知られている（例えば特許文献１を参照）。   When this multilayer piezoelectric element is used as a piezoelectric actuator, the multilayer body is used for the purpose of preventing contact damage from the outside to the multilayer body, adhesion due to adhesion of foreign matter, etc., and preventing creeping discharge between both electrodes of the internal electrode. It is known to deposit a coat layer made of an inorganic material on the side surface of the film (see, for example, Patent Document 1).

特開2007−173842号公報JP 2007-173842 A

近年、積層型圧電素子には、大きな変位量を確保するように求められている。   In recent years, multilayer piezoelectric elements have been required to ensure a large amount of displacement.

ここで、コート層がセラミックスからなる場合は、積層型圧電素子の駆動による変位に伴い結晶粒界に欠陥が生じてこの欠陥が進展するおそれがある。欠陥が進展すると、正極および負極の両方の内部電極の端面に被着されたコート層の内部では、内部電極の金属イオン（たとえばＡｇイオン）が進展した欠陥を伝ってマイグレーションが発生し、積層型圧電素子の駆動能力が低下するおそれがあった。   Here, when the coat layer is made of ceramics, there is a possibility that a defect is generated in the crystal grain boundary due to the displacement caused by the driving of the multilayer piezoelectric element and the defect develops. When the defect progresses, migration occurs in the coat layer deposited on the end faces of both the positive electrode and the negative electrode through the defect in which the metal ions (for example, Ag ions) of the internal electrode have progressed. There is a possibility that the driving ability of the piezoelectric element is lowered.

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、欠陥の進展によるマイグレーションの抑制されたセラミックコート層を備えた積層型圧電素子およびこれを備えた圧電アクチュエータ、噴射装置、燃料噴射システムを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a laminated piezoelectric element including a ceramic coat layer in which migration due to the progress of defects is suppressed, and a piezoelectric actuator, an injection device, and a fuel injection system including the same. With the goal.

本発明の積層型圧電素子は、圧電体層と正極および負極を有する内部電極とが複数積層され、該内部電極の端面の一部が側面に達してなる積層体と、前記内部電極と電気的に接続されるように前記積層体の側面に被着された一対のメタライズ層と、少なくとも該一対のメタライズ層の存在しない部位で前記正極および前記負極の両方の前記内部電極の端面を覆うように前記積層体の側面に被着されたセラミックコート層とを含み、該セラミックコート層には複数のボイドがあり、該複数のボイドは、前記側面の側に、かつ前記圧電体層の側方に偏って分布していることを特徴とするものである。
The multilayer piezoelectric element of the present invention includes a multilayer body in which a plurality of piezoelectric layers and internal electrodes each having a positive electrode and a negative electrode are stacked, and a part of an end surface of the internal electrode reaches the side surface, A pair of metallized layers deposited on the side surfaces of the laminate so as to be connected to each other, and at least a portion where the pair of metallized layers does not exist so as to cover the end surfaces of both the positive electrode and the negative electrode and a ceramic coating layer deposited on the side surface of the laminate, the said ceramic coating layer Ri multiple Boidogaa, voids the plurality of the side of the side, and a side of the piezoelectric layer those characterized that you have distributed unevenly on.

また本発明の積層型圧電素子は、上記構成において、前記複数のボイドが前記セラミックコート層の厚み方向に沿って互いに連通しないように分散していることを特徴とするものである。   In the multilayer piezoelectric element of the present invention, the plurality of voids are dispersed so as not to communicate with each other along the thickness direction of the ceramic coat layer.

また本発明の積層型圧電素子は、上記構成において、前記セラミックコート層が圧電体からなることを特徴とするものである。   The multilayer piezoelectric element of the present invention is characterized in that, in the above configuration, the ceramic coat layer is made of a piezoelectric body.

また、本発明の積層型圧電素子は、前記積層型圧電素子を内部に収容するケースを備えた圧電アクチュエータであることを特徴とする。   In addition, the multilayer piezoelectric element of the present invention is a piezoelectric actuator including a case that accommodates the multilayer piezoelectric element therein.

また、本発明は、噴射孔を有する容器と、積層型圧電素子とを備え、前記容器内に蓄えられた流体が前記積層型圧電素子の駆動により前記噴射孔から吐出されることを特徴とする噴射装置である。   Further, the present invention includes a container having an injection hole and a multilayer piezoelectric element, and fluid stored in the container is discharged from the injection hole by driving the multilayer piezoelectric element. It is an injection device.

また、本発明は、高圧燃料を蓄えるコモンレールと、該コモンレールに蓄えられた前記高圧燃料を噴射する噴射装置と、前記コモンレールに前記高圧燃料を供給する圧力ポンプと、前記噴射装置に駆動信号を与える噴射制御ユニットとを備えたことを特徴とする燃料噴射システムである。   The present invention also provides a common rail that stores high-pressure fuel, an injection device that injects the high-pressure fuel stored in the common rail, a pressure pump that supplies the high-pressure fuel to the common rail, and a drive signal to the injection device. A fuel injection system comprising an injection control unit.

本発明の積層型圧電素子は、セラミックコート層の内部に複数のボイドが設けられていることにより、積層体の伸縮や振動による応力をボイドが吸収するとともに粒界欠陥の進展をボイドが食い止めることにより、セラミックコート層の粒界欠陥が進展しなくなる。その結果、マイグレーションが抑制され、長期間安定した駆動をすることができる。また、複数のボイドは、積層体の側面の側に、かつ圧電体層の側方に偏って分布していることにより、積層型圧電素子の駆動により圧電体層が伸縮するため、複数のボイドが最も駆動変形する圧電体層の側方に偏って分布していることで、効果的に応力を吸収でき、マイグレーションを抑制することができる。
The multilayer piezoelectric element of the present invention has a plurality of voids provided inside the ceramic coat layer, so that the void absorbs stress due to expansion and contraction and vibration of the multilayer body, and the void stops the progress of grain boundary defects. As a result, grain boundary defects in the ceramic coat layer do not progress. As a result, migration is suppressed and stable driving can be performed for a long time. Further, since the plurality of voids are distributed on the side surface side of the multilayer body and toward the lateral side of the piezoelectric body layer, the piezoelectric body layer expands and contracts by driving the multilayer piezoelectric element. Is distributed to the side of the piezoelectric layer that is most driven and deformed, so that stress can be absorbed effectively and migration can be suppressed.

本発明の積層型圧電素子の実施の形態の一例を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows an example of embodiment of the lamination type piezoelectric element of this invention. 図１に示す積層型圧電素子のＡ−Ａ線断面図である。It is the sectional view on the AA line of the lamination type piezoelectric element shown in FIG. 本発明の積層型圧電素子の実施の形態の一例の要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view of an example of embodiment of the lamination type piezoelectric element of this invention. 本発明の積層型圧電素子の実施の形態の他の例の要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view of the other example of embodiment of the lamination type piezoelectric element of this invention. 本発明の圧電アクチュエータの実施の形態の一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of embodiment of the piezoelectric actuator of this invention. 本発明の噴射装置の実施の形態の一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of embodiment of the injection apparatus of this invention. 本発明の燃料噴射システムの実施の形態の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of embodiment of the fuel-injection system of this invention.

以下、本発明の積層型圧電素子の実施の形態の一例について図面を参照して詳細に説明する。   Hereinafter, an example of an embodiment of a multilayer piezoelectric element of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図１は本発明の積層型圧電素子の実施の形態の一例を示す概略斜視図であり、図２は図１に示す積層型圧電素子のＡ−Ａ線断面図である。   FIG. 1 is a schematic perspective view showing an example of an embodiment of a multilayer piezoelectric element of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the multilayer piezoelectric element shown in FIG.

図１および図２に示す積層型圧電素子１は、圧電体層２と正極および負極を有する内部電極３とが複数積層され、内部電極３の端面の一部が側面に達してなる積層体４と、内部電極３と電気的に接続されるように積層体４の側面に被着された一対のメタライズ層５と、少なくとも一対のメタライズ層５の存在しない部位で正極および負極の両方の内部電極３の端面を覆うように積層体４の側面に被着されたセラミックコート層６とを含み、セラミックコート層６には複数のボイド７がある。   A laminated piezoelectric element 1 shown in FIG. 1 and FIG. 2 includes a laminated body 4 in which a plurality of piezoelectric layers 2 and internal electrodes 3 having positive and negative electrodes are laminated, and a part of the end face of the internal electrode 3 reaches the side surface. A pair of metallized layers 5 deposited on the side surfaces of the laminate 4 so as to be electrically connected to the internal electrodes 3, and both positive and negative internal electrodes at sites where at least the pair of metallized layers 5 are not present. 3, and a ceramic coat layer 6 deposited on the side surface of the laminate 4 so as to cover the end face of the laminate 3. The ceramic coat layer 6 has a plurality of voids 7.

積層型圧電素子１を構成する積層体４は、例えば圧電体層２および内部電極３が交互に複数積層されてなる活性部と、活性部の積層方向両端に設けられた圧電体層２からなる不活性部とを有し、例えば縦0.5〜10ｍｍ、横0.5〜10ｍｍ、高さ１〜100ｍｍの直方体状に
形成されている。 The multilayer body 4 constituting the multilayer piezoelectric element 1 includes, for example, an active portion in which a plurality of piezoelectric layers 2 and internal electrodes 3 are alternately stacked, and piezoelectric layers 2 provided at both ends of the active portion in the stacking direction. It has an inactive portion, and is formed in a rectangular parallelepiped shape having a length of 0.5 to 10 mm, a width of 0.5 to 10 mm, and a height of 1 to 100 mm, for example.

積層体４を構成する圧電体層２は、圧電特性を有するセラミックスで形成されたもので、このようなセラミックスとして、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ：ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３）からなるペロブスカイト型酸化物、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）などを用いることができる。この圧電体層３の厚みは、例えば３〜250μｍとされる。 The piezoelectric layer 2 constituting the multilayer body 4 is formed of ceramics having piezoelectric characteristics, and as such ceramics, for example, perovskite type oxidation made of lead zirconate titanate (PZT: PbZrO 3 -PbTiO 3 ). For example, lithium niobate (LiNbO 3 ) or lithium tantalate (LiTaO 3 ) can be used. The thickness of the piezoelectric layer 3 is, for example, 3 to 250 μm.

積層体４を構成する内部電極３は、圧電体層２を形成するセラミックスと同時焼成により形成されたもので、圧電体層２と交互に積層されて圧電体層２を上下から挟んでおり、積層順に正極および負極が配置されることにより、それらの間に挟まれた圧電体層２に駆動電圧を印加するものである。この形成材料として、例えば銀、銀−パラジウム合金、銀−白金、銅などを含む導体を用いることができる。図１に示す例では、正極および負極（もしくはグランド極）の内部電極３の端面の一部がそれぞれ積層体４の対向する一対の側面に達して互い違いに導出され、積層体４の側面に設けられた一対のメタライズ層５と電気的に接続されている。また、正極および負極の両方の内部電極３の端面のうちの他の一部が、一対のメタライズ層５の存在しない部位で積層体４の側面に達している。この内部電極３の厚みは、例えば0.1〜５μｍとされる。   The internal electrode 3 constituting the multilayer body 4 is formed by simultaneous firing with the ceramics forming the piezoelectric layer 2, and is alternately stacked with the piezoelectric layer 2 to sandwich the piezoelectric layer 2 from above and below, By arranging the positive electrode and the negative electrode in the order of lamination, a driving voltage is applied to the piezoelectric layer 2 sandwiched between them. As this forming material, for example, a conductor containing silver, silver-palladium alloy, silver-platinum, copper, or the like can be used. In the example shown in FIG. 1, part of the end faces of the positive electrode and negative electrode (or ground electrode) internal electrodes 3 reach a pair of opposing side surfaces of the stacked body 4 and are alternately led out to be provided on the side surfaces of the stacked body 4. The pair of metallized layers 5 are electrically connected. In addition, another part of the end faces of both the positive electrode and the negative electrode 3 reaches the side surface of the laminate 4 at a portion where the pair of metallized layers 5 do not exist. The thickness of the internal electrode 3 is, for example, 0.1 to 5 μm.

なお、積層体４において、複数の内部電極３のうちの一部に代えて、例えば複数の気孔を有する導体層（多孔質層）が配置されていてもよい。この多孔質層は、内部電極３よりも強度が低く、応力によって内部にクラックが発生しやすいことから、駆動に伴って積層体４に発生する応力によって内部電極３よりも先にクラック等による破壊が生じるものであり、それによって積層体４内において応力を緩和する層として機能するものである。   In the laminate 4, for example, a conductor layer (porous layer) having a plurality of pores may be disposed instead of a part of the plurality of internal electrodes 3. Since this porous layer is lower in strength than the internal electrode 3 and easily cracks due to stress, the porous layer is destroyed by cracks or the like prior to the internal electrode 3 due to the stress generated in the laminate 4 when driven. As a result, the layer 4 functions as a layer that relieves stress.

積層体４の側面に設けられて内部電極３と電気的に接続された一対のメタライズ層５は、例えば銀とガラスからなるペーストを塗布して焼き付けて形成されたもので、積層体４の側面に接合されて、積層体４の対向する側面に互い違いに導出された内部電極３とそれぞれ電気的に接続されている。このメタライズ層５の厚みは、例えば５〜500μｍとされ
る。なお、図１において、メタライズ層５の幅はこのメタライズ層５が形成された面の幅よりも狭く形成されているが、これらの幅は同一であってもよく、例えば、積層体４の形状を六角柱や八角柱とした場合に、同一の幅に形成するのがよい。 The pair of metallized layers 5 provided on the side surfaces of the laminate 4 and electrically connected to the internal electrodes 3 are formed by applying and baking a paste made of silver and glass, for example. Are connected to the internal electrodes 3 that are alternately led to the opposite side surfaces of the laminate 4. The thickness of the metallized layer 5 is, for example, 5 to 500 μm. In FIG. 1, the width of the metallized layer 5 is narrower than the width of the surface on which the metallized layer 5 is formed, but these widths may be the same, for example, the shape of the laminate 4 When a hexagonal column or an octagonal column is used, it is preferable to form them with the same width.

少なくとも一対のメタライズ層５の存在しない部位で正極および負極の両方の内部電極３の端面を覆うように積層体４の側面にセラミックコート層６が被着されている。このセラミックコート層６は、保護層としての効果や追従性を考慮して、例えば５〜30μｍの厚みに形成されたものである。また、このセラミックコート層６の形成材料としては、例えば、アルミナ、ＰＬＴ（（Ｐｂ Ｌａ）ＴｉＯ３）などの酸化物、圧電体が挙げられるが
、特に圧電体層２を構成する圧電体と同種の圧電体、例えばＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３（ＰＺＴ：チタン酸ジルコン酸鉛）を用いるのが好ましい。セラミックコート層６を圧電体（好ましくは圧電体層２を形成する圧電体と同種の圧電体）で形成することによって、内部電極３からの漏れ電界（電極に挟まれていない領域に生じる電界）によりセラミックコート層６が圧電効果を示し、積層体４の伸縮に追従して変形することが可能となり、よりセラミックコート層６の粒界欠陥を抑制することができる。 A ceramic coat layer 6 is attached to the side surface of the laminate 4 so as to cover the end surfaces of both the positive electrode and the negative electrode 3 at a portion where at least the pair of metallized layers 5 do not exist. The ceramic coat layer 6 is formed to have a thickness of, for example, 5 to 30 μm in consideration of the effect as a protective layer and followability. Further, examples of the material for forming the ceramic coat layer 6 include oxides such as alumina, PLT ((Pb La) TiO 3 ), and piezoelectric materials, and the same kind as the piezoelectric material constituting the piezoelectric layer 2 in particular. It is preferable to use a piezoelectric material such as PbZrO 3 —PbTiO 3 (PZT: lead zirconate titanate). By forming the ceramic coat layer 6 with a piezoelectric body (preferably a piezoelectric body of the same type as the piezoelectric body forming the piezoelectric layer 2), a leakage electric field from the internal electrode 3 (an electric field generated in a region not sandwiched between the electrodes) As a result, the ceramic coat layer 6 exhibits a piezoelectric effect, can be deformed following the expansion and contraction of the laminate 4, and the grain boundary defects of the ceramic coat layer 6 can be further suppressed.

なお、少なくとも一対のメタライズ層５の存在しない部位で正極および負極の両方の内部電極３の端面を覆うように積層体４の側面にセラミックコート層６が被着されたとは、
積層体４の側面における正極および負極の両方の内部電極３の端面が達している部位のみならず、正極または負極の片方の内部電極３の端面が達している部位まで被着されてもよく、さらにメタライズ層５の設けられた部位まで被着されてもよいことを意味する。具体的には、図１では正極および負極の両方の内部電極３の端面が達している側面にセラミックコート層６が設けられているが、メタライズ層５の設けられた側面であってメタライズ層５によって覆われていない正極または負極の片方の内部電極３の端面が達している部位にもセラミックコート層６が設けられてもよく、メタライズ層５を覆うようにセラミックコート層６が設けられてもよい。 The fact that the ceramic coat layer 6 is deposited on the side surface of the laminate 4 so as to cover the end surfaces of both the positive electrode and the negative electrode 3 at a portion where at least the pair of metallized layers 5 does not exist.
In addition to the part where the end faces of both the positive and negative internal electrodes 3 reach the side surface of the laminate 4, it may be applied to the part where the end face of one of the positive and negative internal electrodes 3 reaches, Furthermore, it means that the metallized layer 5 may be applied up to the site. Specifically, in FIG. 1, the ceramic coat layer 6 is provided on the side surface where the end surfaces of both the positive electrode and the negative electrode 3 reach, but the metallized layer 5 is the side surface provided with the metallized layer 5. The ceramic coat layer 6 may be provided also on the portion where the end face of the internal electrode 3 on one side of the positive electrode or the negative electrode which is not covered with the metal coat layer 6 or the ceramic coat layer 6 may be provided so as to cover the metallized layer 5. Good.

そして、セラミックコート層６には、図３に示すように、複数のボイド７がある。複数のボイド７は例えば0.05〜２μｍの径のものであり、この値はセラミックコート層６の断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）等の電子顕微鏡や金属顕微鏡により観察し、任意の線分間に含まれるボイドの個数およびボイドに含まれる線分の長さを測定し、このボイドに含まれる線分の長さの合計距離をボイドの個数で割ることによって求めることができる。また、セラミックコート層６における任意の断面において複数のボイド７が占める面積比率は例えば５〜60％であり、この値も断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）等の電子顕微鏡や金属顕微鏡により観察することによって求めることができる。   The ceramic coat layer 6 has a plurality of voids 7 as shown in FIG. The plurality of voids 7 have a diameter of, for example, 0.05 to 2 μm, and this value is included in an arbitrary line segment by observing the cross section of the ceramic coating layer 6 with an electron microscope such as a scanning electron microscope (SEM) or a metal microscope. The number of voids and the length of the line segment included in the void can be measured, and the total distance of the length of the line segment included in the void can be determined by dividing the total distance by the number of voids. Moreover, the area ratio which the some void 7 occupies in the arbitrary cross sections in the ceramic coat layer 6 is 5 to 60%, for example, and this value also observes a cross section with electron microscopes and metal microscopes, such as a scanning electron microscope (SEM). Can be determined by

セラミックコート層６に複数のボイド７があることで、積層体４の伸縮や振動による応力を複数のボイド７が吸収する。また、結晶粒界の欠陥が進展しようとする応力をボイドが解放することで、結晶粒界の欠陥が進展しそうになるのをボイドが食い止めて欠陥が進展しなくなる。その結果、金属（Ａｇ）イオンによるマイグレーションが抑制され、積層型圧電素子１が長期間安定した駆動をすることができる。   By having the plurality of voids 7 in the ceramic coat layer 6, the plurality of voids 7 absorb the stress due to expansion and contraction and vibration of the laminate 4. Further, the void releases the stress that the defect at the crystal grain boundary is about to develop, so that the void prevents the defect at the crystal grain boundary from developing and the defect does not progress. As a result, migration due to metal (Ag) ions is suppressed, and the multilayer piezoelectric element 1 can be driven stably for a long period of time.

ここで、複数のボイド７は、図４に示すように、積層体４の側面の側に偏って分布している。複数のボイド７が駆動で変形しやすい積層体４の側面の側に偏って分布していることで、より応力を吸収することができ、マイグレーションを抑制することができる。なお、セラミックコート層６の表面側に複数のボイド７が存在せず、積層体４の側面の側のみにボイド７が存在する構成に限定されず、積層体４の側面の側の存在比率が表面側の存在比率よりも多くなっているものであってもよいが、セラミックコート層６の表面側に複数のボイド７がない場合には、ボイド７同士が連通した場合であっても金属イオンの拡散を加速させてしまうような外部からの水分侵入を確実に防ぐことができる。
Here, a plurality of voids 7, as shown in FIG. 4, that are distributed unevenly on the side of the side surface of the stacked body 4. Since the plurality of voids 7 are unevenly distributed on the side surface side of the stacked body 4 that is easily deformed by driving, stress can be absorbed more and migration can be suppressed. The plurality of voids 7 are not present on the surface side of the ceramic coat layer 6, and the present invention is not limited to the configuration in which the voids 7 are present only on the side surface of the laminate 4. It may be larger than the abundance ratio on the surface side. However, when there are no plural voids 7 on the surface side of the ceramic coat layer 6, metal ions may be used even when the voids 7 communicate with each other. Thus, it is possible to reliably prevent moisture from entering from the outside which accelerates the diffusion of water.

なお、複数のボイド７がセラミックコート層６において積層体４の側面の側に偏って分布していることは、積層型圧電素子１の断面を、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）等の電子顕微鏡や金属顕微鏡により観察して、セラミックコート層６における積層体４の側面の側から厚みの３分の１までの距離に含まれる金属粒子の個数と、セラミックコート層６における表面側から厚みの３分の１までの距離に含まれる金属粒子の個数とを測定して、積層体４の側面の側のボイドが多いことを確認することによって判別できる。   Note that the plurality of voids 7 are distributed in the ceramic coat layer 6 so as to be biased toward the side surface of the multilayer body 4. This is because the cross section of the multilayer piezoelectric element 1 is measured with an electron microscope such as a scanning electron microscope (SEM). The number of metal particles included in the distance from the side surface of the laminate 4 in the ceramic coat layer 6 to one third of the thickness when observed with a metal microscope, and the thickness of the ceramic coat layer 6 from the surface side to 3 minutes. It can be determined by measuring the number of metal particles included in the distance up to 1 and confirming that there are many voids on the side surface of the laminate 4.

また、複数のボイド７は、図４に示すように、圧電体層２の側方に位置している。積層型圧電素子１の駆動により圧電体層２が伸縮するため、複数のボイド７が最も駆動変形する圧電体層２の側方に位置していることで、効果的に応力を吸収でき、マイグレーションを抑制することができる。 Further, a plurality of voids 7, as shown in FIG. 4, that is located on the side of the piezoelectric layer 2. Since the piezoelectric layer 2 expands and contracts by driving the stacked piezoelectric element 1, the plurality of voids 7 are located on the side of the piezoelectric layer 2 that is most driven and deformed, so that stress can be absorbed effectively, and migration. Can be suppressed.

また、複数のボイド７は、セラミックコート層６の厚み方向に沿って互いに連通しないように分散していることが好ましい。この構成によれば、外気中の水分が複数のボイド７に侵入するのを抑制でき、金属イオンの拡散が加速されるのを抑制することができる。また、ボイド７の内表面は酸素欠陥に起因した酸素空孔イオンによりマイナスにチャージされているので、複数のボイド７が分散していることで、金属イオン（例えばＡｇイオン）
がボイド７でトラップされるようになる。したがって、マイグレーションを抑制し、長期間安定して積層型圧電素子１を駆動させることができる。 The plurality of voids 7 are preferably dispersed so as not to communicate with each other along the thickness direction of the ceramic coat layer 6. According to this structure, it can suppress that the water | moisture content in external air penetrate | invades into the several void 7, and can suppress that the spreading | diffusion of a metal ion is accelerated. Further, since the inner surface of the void 7 is negatively charged by oxygen vacancy ions caused by oxygen defects, a plurality of voids 7 are dispersed, so that metal ions (for example, Ag ions) are dispersed.
Becomes trapped by the void 7. Therefore, migration can be suppressed and the multilayer piezoelectric element 1 can be driven stably for a long period of time.

そして、メタライズ層５に半田や導電性接着剤等で図５に示すようなリード部材８を接続固定し、リード部材８から0.1〜３ｋＶ／ｍｍの直流電界を印加し、積層体４を構成す
る圧電体層２を分極することによって、積層型圧電素子１の全体を分極することができる。 Then, a lead member 8 as shown in FIG. 5 is connected and fixed to the metallized layer 5 with solder, a conductive adhesive or the like, and a DC electric field of 0.1 to 3 kV / mm is applied from the lead member 8 to constitute the laminate 4. By polarizing the piezoelectric layer 2, the entire multilayer piezoelectric element 1 can be polarized.

この積層型圧電素子１は、図５に示すようなリード部材８を介してメタライズ層５と外部の電源とを接続して、圧電体層２に駆動電圧を印加することにより、各圧電体層２を逆圧電効果によって大きく変位させることができるものである。なお、図示しないが、メタライズ層５の上に導電性接合材を介してメタライズ層５を覆うように平板状、金網状縦断面波型形状などの外部電極を配置し、この外部電極にリード部材８を接合するようにしてもよい。   The laminated piezoelectric element 1 is formed by connecting a metallized layer 5 and an external power source via a lead member 8 as shown in FIG. 2 can be greatly displaced by the inverse piezoelectric effect. Although not shown in the drawing, an external electrode such as a flat plate shape or a wire mesh-like longitudinal cross-sectional shape is disposed on the metallized layer 5 so as to cover the metallized layer 5 via a conductive bonding material, and a lead member is provided on the external electrode. 8 may be joined.

次に、本例の積層型圧電素子１の製造方法について説明する。   Next, a method for manufacturing the multilayer piezoelectric element 1 of this example will be described.

まず、圧電体層２となる圧電セラミックグリーンシートを作製する。具体的には、圧電セラミックスの仮焼粉末と、アクリル系またはブチラール系等の有機高分子からなるバインダーと、可塑剤とを混合して、セラミックスラリーを作製する。そして、ドクターブレード法あるいはカレンダーロール法等のテープ成型法を用いることにより、このセラミックスラリーを用いて圧電セラミックグリーンシートを作製する。圧電セラミックスとしては圧電特性を有するものであればよく、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ：ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３）からなるペロブスカイト型酸化物等を用いることができる。また、可塑剤としては、フタル酸ジブチル（ＤＢＰ）またはフタル酸ジオクチル（ＤＯＰ）等を用いることができる。 First, a piezoelectric ceramic green sheet to be the piezoelectric layer 2 is produced. Specifically, a ceramic slurry is prepared by mixing a calcined powder of piezoelectric ceramic, a binder made of an organic polymer such as acrylic or butyral, and a plasticizer. Then, a piezoelectric ceramic green sheet is produced using this ceramic slurry by using a tape molding method such as a doctor blade method or a calender roll method. As the piezoelectric ceramic, any piezoelectric ceramic may be used. For example, a perovskite oxide made of lead zirconate titanate (PZT: PbZrO 3 —PbTiO 3 ) can be used. As the plasticizer, dibutyl phthalate (DBP), dioctyl phthalate (DOP), or the like can be used.

次に、内部電極３となる内部電極用導電性ペーストを作製する。具体的には、銀−パラジウム合金の金属粉末にバインダーおよび可塑剤を添加混合することによって、内部電極用導電性ペーストを作製する。なお、銀−パラジウム合金に代えて銀粉末とパラジウム粉末とを混合しても良い。   Next, an internal electrode conductive paste to be the internal electrode 3 is prepared. Specifically, an internal electrode conductive paste is prepared by adding and mixing a binder and a plasticizer to a metal powder of a silver-palladium alloy. Note that silver powder and palladium powder may be mixed instead of the silver-palladium alloy.

次に、内部電極用導電性ペーストを、上記の圧電セラミックグリーンシート上に内部電極３のパターンで例えばスクリーン印刷法にて塗布する。   Next, the internal electrode conductive paste is applied to the piezoelectric ceramic green sheet in the pattern of the internal electrode 3 by, for example, a screen printing method.

次に、内部電極用導電性ペーストが塗布された圧電セラミックグリーンシートを所定枚数積層する。   Next, a predetermined number of piezoelectric ceramic green sheets coated with the internal electrode conductive paste are laminated.

そして、これに所定の温度で脱バインダー処理を行なった後、900〜1200℃の温度で焼
成する。 And after performing a binder removal process to this at predetermined | prescribed temperature, it bakes at the temperature of 900-1200 degreeC.

次に、焼成して得られた積層体に、平面研削盤等を用いて所定の形状になるよう側面に研削加工処理を施す。これにより、圧電体層２および内部電極３が交互に積層された積層体４が得られる。   Next, the laminated body obtained by firing is subjected to a grinding process on a side surface so as to have a predetermined shape using a surface grinder or the like. Thereby, the laminated body 4 in which the piezoelectric layers 2 and the internal electrodes 3 are alternately laminated is obtained.

次に、積層体４の側面における正極および負極の両方の内部電極３の端面が露出した領域に、例えばセラミックコート層６を形成するセラミックコート層用インクをディピングやスクリーン印刷によって塗布した後、900〜1200℃で焼成し、積層体４の側面にセラミ
ックコート層を形成する。このとき、メタライズ層５の形成面には、セラミックコート層用インクは塗布しないか、若しくは、エッジのみ塗布とする。なお、セラミックコート層
用インクに含まれるセラミック粉末は、圧電セラミックの仮焼粉末であることが好ましく、さらには、圧電体層２と同一の組成のセラミック粉末であることが好ましい。 Next, for example, after applying the ink for the ceramic coat layer for forming the ceramic coat layer 6 to the region where the end faces of both the positive electrode and the negative electrode 3 are exposed on the side surface of the laminate 4 by dipping or screen printing, 900 Baking at ˜1200 ° C. to form a ceramic coat layer on the side surface of the laminate 4. At this time, the ceramic coat layer ink is not applied to the formation surface of the metallized layer 5 or only the edge is applied. The ceramic powder contained in the ceramic coat layer ink is preferably a calcined powder of piezoelectric ceramic, and more preferably a ceramic powder having the same composition as that of the piezoelectric layer 2.

なお、セラミックコート層用インクは、例えばセラミックの粉体を溶剤、分散剤、可塑剤、及びバインダーの溶液に分散させた後、３本ロールを数回通すことにより、粉体の凝集を解砕するとともに、粉体を分散させて作製される。   The ink for the ceramic coat layer, for example, disperses the powder agglomeration by dispersing the ceramic powder in a solution of solvent, dispersant, plasticizer, and binder, and then passing the three rolls several times. At the same time, it is produced by dispersing the powder.

ディッピングでは、セラミックコート層用インクの中へ、積層体４の内部電極３の両極の端面が露出した面を浸し、引き上げた後、乾燥させて、生のセラミックコート層を形成する。インクの粘度や引き上げ速度を制御することにより、セラミックコート層の厚みを制御することができる。   In dipping, the exposed surface of both ends of the internal electrode 3 of the laminate 4 is dipped in the ink for the ceramic coat layer, pulled up, and dried to form a raw ceramic coat layer. The thickness of the ceramic coat layer can be controlled by controlling the viscosity and pulling speed of the ink.

また、スクリーン印刷では、積層体４の内部電極３の両極の端面が露出した面と同じ大きさ、もしくは、若干、大きくしたメッシュが形成されて製版を作製し、製版の上にインクを乗せ、スキージで積層体４の内部電極３の両面が露出した面にセラミックコート層用インクを印刷し、乾燥させることで、生のセラミックコート層を形成する。セラミックコート層用インクの粘度、メッシュの厚み及びスキージの移動速度などにより、セラミックコート層の厚みを制御することができる。   Further, in screen printing, the same size as the surface where both end faces of the internal electrode 3 of the laminate 4 are exposed, or a slightly larger mesh is formed to prepare a plate, and ink is placed on the plate. The raw ceramic coat layer is formed by printing the ceramic coat layer ink on the surface of the laminate 4 where both surfaces of the internal electrode 3 are exposed with a squeegee and drying. The thickness of the ceramic coat layer can be controlled by the viscosity of the ink for the ceramic coat layer, the thickness of the mesh, the moving speed of the squeegee, and the like.

また、セラミックコート層６にボイド７を形成するには、ボイドのできやすいアクリル系、ブチラール系などのバインダーの量を増加させたセラミックコート層用インク、あるいは所定の寸法のアクリルビーズを添加したセラミックコート層用インクを作製すればよい。バインダー量の多いセラミックコート層用インクは、通常のセラミックコート層用インクより印刷後の生密度が低いため、焼成時にボイドが形成されやすくなる。また、アクリルビーズを混ぜたセラミックコート層用インクは、焼成時にアクリルビーズが分解されることによりボイドが形成される。   In order to form the void 7 in the ceramic coat layer 6, the ceramic coat layer ink in which the amount of binder such as acrylic or butyral which is easily voided is increased, or the acrylic beads having a predetermined size are added. What is necessary is just to produce the ink for coat layers. A ceramic coat layer ink having a large amount of binder has a lower density after printing than a normal ceramic coat layer ink, so that voids are easily formed during firing. Also, the ceramic coat layer ink mixed with acrylic beads forms voids when the acrylic beads are decomposed during firing.

ボイド７を側面の側に偏って分布させて設けるには、例えば２種類のセラミックコート層用インクを作製する。１種類目（第１のインク）に通常のインクを作製し、２種類目（第２のインク）にバインダーの量を増加させた、あるいは所定の寸法のアクリルビーズを添加したボイドのできやすいセラミックコート層用インクを作製する。そして、１層目に第２のインクを塗布し、２層目に第１のインクを塗布し、焼結すればよい。   In order to provide the voids 7 in such a manner that the voids 7 are unevenly distributed on the side surface, for example, two types of inks for ceramic coat layers are prepared. A ceramic that is easy to form voids by making normal ink in the first type (first ink) and increasing the amount of binder in the second type (second ink) or adding acrylic beads of a predetermined size A coating layer ink is prepared. Then, the second ink may be applied to the first layer, the first ink may be applied to the second layer, and sintered.

圧電体層２の側方にボイドを設けるには、例えば、セラミックコート層６の焼結の際、内部電極３付近を先に焼結させればよく、このようにすると内部電極３の側方が密になり、圧電体層２の側方が粗となってボイドが設けられる。例えば、内部電極３付近を先に焼結させるには、セラミックコート層６が焼結する温度よりも100〜200℃低い温度で１〜５時間保持した後にセラミックコート層６が焼結する温度まで昇温させればよい。このようにすることで、内部電極３の成分がセラミックコート層６に拡散して内部電極３付近を先に焼結させることができる。圧電体層２の側方にボイドを設ける別の方法として、内部電極３の側方およびその近傍には上記第１のインクを、それ以外の領域には上記第２のインクをそれぞれパターン印刷してもよい。   In order to provide a void on the side of the piezoelectric layer 2, for example, when the ceramic coat layer 6 is sintered, the vicinity of the internal electrode 3 may be sintered first. Becomes dense, the sides of the piezoelectric layer 2 become rough, and voids are provided. For example, in order to sinter the vicinity of the internal electrode 3 first, the ceramic coat layer 6 is held at a temperature lower by 100 to 200 ° C. than the temperature at which the ceramic coat layer 6 sinters for 1 to 5 hours, and then the ceramic coat layer 6 is sintered. What is necessary is just to raise temperature. By doing so, the components of the internal electrode 3 can diffuse into the ceramic coat layer 6 and the vicinity of the internal electrode 3 can be sintered first. As another method of providing a void on the side of the piezoelectric layer 2, the first ink is printed on the side of the internal electrode 3 and the vicinity thereof, and the second ink is printed on the other areas. May be.

なお、セラミックコート層用インクの焼結は、生の積層体にセラミックコート層用インクを塗布した後、同時に焼成を行なう方法、あるいは、焼結後の積層体に、セラミックコート層用インクを塗布した後、再度焼成を行なう方法のいずれでも可能である。   Sintering of the ceramic coat layer ink is performed by applying the ceramic coat layer ink to the raw laminate and then simultaneously firing it, or by applying the ceramic coat layer ink to the sintered laminate. After that, any of the methods of firing again is possible.

その後、積層体４の側面に内部電極３が電気的に接続された一対のメタライズ層５を形成する。この場合、まず銀粒子およびガラス粉末にバインダーを加えて銀ガラス含有導電性ペーストを作製し、これを積層体４の側面にスクリーン印刷法によって印刷し、500〜8
00℃程度の温度で焼き付け処理を行なう。これにより、メタライズ層５が形成され、積層型圧電素子１が完成する。 Thereafter, a pair of metallized layers 5 in which the internal electrodes 3 are electrically connected are formed on the side surfaces of the laminate 4. In this case, first, a silver glass-containing conductive paste is prepared by adding a binder to silver particles and glass powder, and this is printed on the side surface of the laminate 4 by a screen printing method.
A baking process is performed at a temperature of about 00 ° C. Thereby, the metallized layer 5 is formed, and the laminated piezoelectric element 1 is completed.

一対のメタライズ層５には、リード部材８を半田や導電性接着剤等で接続固定し、その後、一対のメタライズ層５にそれぞれ接続したリード部材８から0.1〜３ｋＶ／ｍｍの直
流電界を印加し、積層体４を構成する圧電体層２を分極することによって、積層型圧電素子１全体が分極する。この積層型圧電素子１は、リード部材８を介してメタライズ層５と外部の電源とを接続して、圧電体層２に駆動電圧を印加することにより、各圧電体層２を逆圧電効果によって大きく変位させることができる。 The lead member 8 is connected and fixed to the pair of metallized layers 5 with solder, conductive adhesive or the like, and then a direct current electric field of 0.1 to 3 kV / mm is applied from the lead members 8 respectively connected to the pair of metallized layers 5. When the piezoelectric layer 2 constituting the multilayer body 4 is polarized, the entire multilayer piezoelectric element 1 is polarized. The multilayer piezoelectric element 1 connects the metallized layer 5 and an external power source via a lead member 8 and applies a driving voltage to the piezoelectric layer 2, thereby causing each piezoelectric layer 2 to have an inverse piezoelectric effect. It can be displaced greatly.

本実施の形態の積層型圧電素子は、例えば、自動車エンジンの燃料噴射装置、インクジェット等の液体噴射装置、光学装置等の精密位置決め装置等として用いられる。   The laminated piezoelectric element of the present embodiment is used as, for example, a fuel injection device for an automobile engine, a liquid injection device such as an ink jet, a precision positioning device such as an optical device, or the like.

次に、本発明の圧電アクチュエータの実施の形態の例について説明する。   Next, an example of an embodiment of the piezoelectric actuator of the present invention will be described.

図５は、本発明の圧電アクチュエータの実施の形態の一例を示す概略断面図であり、図５に示す例の圧電アクチュエータ11は、積層型圧電素子１をケース13に収容してなるものである。   FIG. 5 is a schematic sectional view showing an example of the embodiment of the piezoelectric actuator of the present invention. The piezoelectric actuator 11 of the example shown in FIG. 5 is obtained by housing the multilayer piezoelectric element 1 in a case 13. .

具体的には、ケース13は、上端が塞がれ下端が開口したケース本体15と、ケース本体15の開口を塞ぐようにケース本体15に取り付けられた蓋部材17とで構成され、積層型圧電素子１の両端面をケース13の上端内壁および下端内壁にそれぞれ当接させるようにして積層型圧電素子１がケース13の内部に例えば不活性ガスとともに封入され収容されている。   Specifically, the case 13 includes a case main body 15 whose upper end is closed and whose lower end is open, and a lid member 17 attached to the case main body 15 so as to close the opening of the case main body 15. The laminated piezoelectric element 1 is enclosed and accommodated in the case 13 together with, for example, an inert gas so that both end faces of the element 1 are brought into contact with the upper and lower inner walls of the case 13, respectively.

ケース本体15および蓋部材17は、ＳＵＳ304やＳＵＳ316Ｌなどの金属材料で形成されたものである。   The case body 15 and the lid member 17 are made of a metal material such as SUS304 or SUS316L.

ケース本体15は、上端が塞がれ下端が開口した筒状体であり、積層体４の積層方向に伸縮可能に例えばベローズ（蛇腹）形状となっている。また、蓋部材17は、ケース本体15の開口を塞ぐように例えば板状に形成されていて、ケース本体15に下端にレーザ溶接などにより溶接されている。蓋部材17にはリード部材８を挿通可能な貫通孔が２つ形成されており、リード部材８を貫通孔に挿通させてメタライズ層５と外部とを電気的に導通させている。そして、貫通孔の隙間には軟質ガラス等を充填していて、このリード部材８を固定するとともに、外気の侵入を防いでいる。   The case main body 15 is a cylindrical body whose upper end is closed and whose lower end is opened, and has, for example, a bellows (bellows) shape so as to be extendable in the stacking direction of the stack 4. Further, the lid member 17 is formed, for example, in a plate shape so as to close the opening of the case main body 15, and is welded to the lower end of the case main body 15 by laser welding or the like. The lid member 17 has two through holes into which the lead member 8 can be inserted. The lead member 8 is inserted into the through hole to electrically connect the metallized layer 5 to the outside. The gap between the through holes is filled with soft glass or the like to fix the lead member 8 and prevent intrusion of outside air.

本例の圧電アクチュエータ11によれば、長期間安定して駆動することができる。   According to the piezoelectric actuator 11 of this example, it can be driven stably for a long period of time.

次に、本発明の噴射装置の実施の形態の例について説明する。   Next, the example of embodiment of the injection device of the present invention is explained.

図６は、本発明の噴射装置の実施の形態の一例を示す概略断面図であり、図６に示す例の噴射装置19は、一端に噴射孔21を有する収納容器（容器）23の内部に上記の例の積層型圧電素子１が収納されている。   FIG. 6 is a schematic sectional view showing an example of the embodiment of the injection device of the present invention. The injection device 19 of the example shown in FIG. 6 is disposed inside a storage container (container) 23 having an injection hole 21 at one end. The laminated piezoelectric element 1 of the above example is accommodated.

収納容器23内には、噴射孔21を開閉することができるニードルバルブ25が配設されている。噴射孔21には流体通路27がニードルバルブ25の動きに応じて連通可能になるように配設されている。この流体通路27は外部の流体供給源に連結され、流体通路27に常時高圧で流体が供給されている。従って、ニードルバルブ25が噴射孔21を開放すると、流体通路27に供給されていた流体が外部または隣接する容器、例えば内燃機関の燃料室（図示せず）に、噴射孔21から吐出されるように構成されている。   A needle valve 25 that can open and close the injection hole 21 is disposed in the storage container 23. A fluid passage 27 is disposed in the injection hole 21 so that it can communicate with the movement of the needle valve 25. The fluid passage 27 is connected to an external fluid supply source, and fluid is always supplied to the fluid passage 27 at a high pressure. Therefore, when the needle valve 25 opens the injection hole 21, the fluid supplied to the fluid passage 27 is discharged from the injection hole 21 to the outside or an adjacent container, for example, a fuel chamber (not shown) of the internal combustion engine. It is configured.

ニードルバルブ25の上端部は内径が大きくなっており、収納容器23に形成されたシリンダ29と摺動可能なピストン31になっている。そして、収納容器23内には、上述した例の積層型圧電素子１がピストン31に接して収納されている。   The upper end of the needle valve 25 has a large inner diameter, and is a piston 31 that can slide with a cylinder 29 formed in the storage container 23. In the storage container 23, the multilayer piezoelectric element 1 of the above-described example is stored in contact with the piston 31.

このような噴射装置19では、積層型圧電素子１が電圧を印加されて伸長すると、ピストン31が押圧され、ニードルバルブ25が噴射孔21に通じる流体通路27を閉塞し、流体の供給が停止される。また、電圧の印加が停止されると積層型圧電素子１が収縮し、皿バネ33がピストン31を押し返し、流体通路27が開放され噴射孔21が流体通路27と連通して、噴射孔21から流体の噴射が行なわれるようになっている。   In such an injection device 19, when the laminated piezoelectric element 1 is extended by applying a voltage, the piston 31 is pressed, the needle valve 25 closes the fluid passage 27 leading to the injection hole 21, and the supply of fluid is stopped. The When the voltage application is stopped, the laminated piezoelectric element 1 contracts, the disc spring 33 pushes back the piston 31, the fluid passage 27 is opened, and the injection hole 21 communicates with the fluid passage 27. Fluid injection is performed.

なお、積層型圧電素子１に電圧を印加することによって流体通路27を開放し、電圧の印加を停止することによって流体通路27を閉鎖するように構成してもよい。   Note that the fluid passage 27 may be opened by applying a voltage to the multilayer piezoelectric element 1, and the fluid passage 27 may be closed by stopping the application of the voltage.

また、本例の噴射装置19は、噴射孔21を有する容器23と、上記の例の積層型圧電素子１とを備え、容器23内に充填された流体を積層型圧電素子１の駆動により噴射孔21から吐出させるように構成されていてもよい。すなわち、積層型圧電素子１が必ずしも容器23の内部にある必要はなく、積層型圧電素子１の駆動によって容器23の内部に流体の噴射を制御するための圧力が加わるように構成されていればよい。なお、本例の噴射装置19において、流体とは、燃料，インク等の他、導電性ペースト等の種々の液体および気体が含まれる。本例の噴射装置19を用いることによって、流体の流量および噴出タイミングを長期にわたって安定して制御することができる。   The injection device 19 of this example includes a container 23 having an injection hole 21 and the multilayer piezoelectric element 1 of the above example, and the fluid filled in the container 23 is ejected by driving the multilayer piezoelectric element 1. It may be configured to discharge from the hole 21. In other words, the multilayer piezoelectric element 1 does not necessarily have to be inside the container 23, as long as the multilayer piezoelectric element 1 is configured to apply pressure for controlling the ejection of fluid to the inside of the container 23 by driving the multilayer piezoelectric element 1. Good. In the ejection device 19 of this example, the fluid includes various liquids and gases such as a conductive paste in addition to fuel, ink, and the like. By using the ejection device 19 of this example, the flow rate and ejection timing of the fluid can be stably controlled over a long period of time.

上記の例の積層型圧電素子１を採用した本例の噴射装置19を内燃機関に用いれば、従来の噴射装置に比べてエンジン等の内燃機関の燃焼室に燃料をより長い期間にわたって精度よく噴射させることができる。   If the injection device 19 of this example that employs the multilayer piezoelectric element 1 of the above example is used for an internal combustion engine, the fuel is accurately injected into the combustion chamber of the internal combustion engine such as an engine over a longer period than the conventional injection device. Can be made.

次に、本発明の燃料噴射システムの実施の形態の例について説明する。   Next, the example of embodiment of the fuel-injection system of this invention is demonstrated.

図７は、本発明の燃料噴射システムの実施の形態の一例を示す概略図であり、図７に示す例の燃料噴射システム35は、高圧流体としての高圧燃料を蓄えるコモンレール37と、このコモンレール37に蓄えられた高圧流体を噴射する複数の上記の例の噴射装置19と、コモンレール37に高圧流体を供給する圧力ポンプ39と、噴射装置19に駆動信号を与える噴射制御ユニット41とを備えている。   FIG. 7 is a schematic diagram showing an example of an embodiment of the fuel injection system of the present invention. The fuel injection system 35 shown in FIG. 7 includes a common rail 37 that stores high-pressure fuel as a high-pressure fluid, and the common rail 37. A plurality of the injection devices 19 in the above example for injecting the high-pressure fluid stored in the pressure, a pressure pump 39 for supplying the high-pressure fluid to the common rail 37, and an injection control unit 41 for supplying a drive signal to the injection device 19. .

噴射制御ユニット41は、外部情報または外部からの信号に基づいて高圧流体の噴射の量およびタイミングを制御する。例えば、エンジンの燃料噴射に本例の燃料噴射システム35を用いた場合であれば、エンジンの燃焼室内の状況をセンサ等で感知しながら燃料噴射の量およびタイミングを制御することができる。圧力ポンプ39は、燃料タンク43から流体燃料を高圧でコモンレール37に供給する役割を果たす。例えばエンジンの燃料噴射システム35の場合には1000〜2000気圧（約101ＭＰａ〜約203ＭＰａ）程度、好ましくは1500〜1700気圧（約152ＭＰａ〜約172ＭＰａ）程度の高圧にしてコモンレール37に流体燃料を送り込む。コモンレール37では、圧力ポンプ39から送られてきた高圧燃料を蓄え、噴射装置19に適宜送り込む。噴射装置19は、前述したように噴射孔21から一定の流体を外部または隣接する容器に噴射する。例えば、燃料を噴射供給する対象がエンジンの場合には、高圧燃料を噴射孔21からエンジンの燃焼室内に霧状に噴射する。   The injection control unit 41 controls the amount and timing of high-pressure fluid injection based on external information or an external signal. For example, if the fuel injection system 35 of this example is used for fuel injection of the engine, the amount and timing of fuel injection can be controlled while sensing the condition in the combustion chamber of the engine with a sensor or the like. The pressure pump 39 serves to supply fluid fuel from the fuel tank 43 to the common rail 37 at a high pressure. For example, in the case of the engine fuel injection system 35, fluid fuel is fed into the common rail 37 at a high pressure of about 1000 to 2000 atmospheres (about 101 MPa to about 203 MPa), preferably about 1500 to 1700 atmospheres (about 152 MPa to about 172 MPa). In the common rail 37, the high-pressure fuel sent from the pressure pump 39 is stored and sent to the injection device 19 as appropriate. The injection device 19 injects a certain fluid from the injection hole 21 to the outside or an adjacent container as described above. For example, when the target for injecting and supplying fuel is an engine, high-pressure fuel is injected in a mist form from the injection hole 21 into the combustion chamber of the engine.

本例の燃料噴射システム35によれば、高圧燃料の所望の噴射を長期にわたって安定して行なうことができる。   According to the fuel injection system 35 of this example, desired injection of high-pressure fuel can be stably performed over a long period of time.

なお、本発明は、上記の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸
脱しない範囲内で種々の変更を行なうことは何ら差し支えない。例えば、積層型圧電素子１におけるメタライズ層５は、上記の例では積層体４の対向する２つの側面に１つずつ形成したが、２つのメタライズ層５を積層体４の隣り合う側面に形成してもよいし、積層体４の同一の側面に形成してもよい。また、積層体４の積層方向に直交する方向における断面の形状は、上記の実施の形態の例である四角形状以外に、六角形状や八角形状等の多角形状、円形状、あるいは直線と円弧とを組み合わせた形状であっても構わない。 Note that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made without departing from the scope of the present invention. For example, the metallized layer 5 in the multilayer piezoelectric element 1 is formed on each of two opposing side surfaces of the multilayer body 4 in the above example, but the two metallized layers 5 are formed on adjacent side surfaces of the multilayer body 4. Alternatively, they may be formed on the same side surface of the laminate 4. Moreover, the cross-sectional shape in the direction orthogonal to the stacking direction of the stacked body 4 is not limited to the quadrangular shape which is an example of the above embodiment, but a polygonal shape such as a hexagonal shape and an octagonal shape, a circular shape, You may be the shape which combined.

本例の積層型圧電素子１は、例えば、圧電駆動素子（圧電アクチュエータ），圧力センサ素子および圧電回路素子等に用いられる。駆動素子としては、例えば、自動車エンジンの燃料噴射装置，インクジェットのような液体噴射装置，光学装置のような精密位置決め装置，振動防止装置が挙げられる。センサ素子としては、例えば、燃焼圧センサ，ノックセンサ，加速度センサ，荷重センサ，超音波センサ，感圧センサおよびヨーレートセンサが挙げられる。また、圧電回路素子としては、例えば、圧電ジャイロ，圧電スイッチ，圧電トランスおよび圧電ブレーカーが挙げられる。   The laminated piezoelectric element 1 of this example is used for, for example, a piezoelectric drive element (piezoelectric actuator), a pressure sensor element, a piezoelectric circuit element, and the like. Examples of the driving element include a fuel injection device for an automobile engine, a liquid injection device such as an inkjet, a precision positioning device such as an optical device, and a vibration prevention device. Examples of the sensor element include a combustion pressure sensor, a knock sensor, an acceleration sensor, a load sensor, an ultrasonic sensor, a pressure sensor, and a yaw rate sensor. Examples of the piezoelectric circuit element include a piezoelectric gyro, a piezoelectric switch, a piezoelectric transformer, and a piezoelectric breaker.

本発明の積層型圧電素子からなる圧電アクチュエータを以下のようにして作製した。   A piezoelectric actuator comprising the multilayer piezoelectric element of the present invention was produced as follows.

まず、平均粒径が0.4μｍのチタン酸ジルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３）を
主成分とする圧電セラミックスの仮焼粉末、バインダー及び可塑剤を混合したセラミックスラリーを作製し、ドクターブレード法で厚み150μｍの圧電体層となるセラミックグリ
ーンシートを作製した。 First, a ceramic slurry is prepared by mixing a calcined powder of a piezoelectric ceramic mainly composed of lead zirconate titanate (PbZrO 3 —PbTiO 3 ) having an average particle diameter of 0.4 μm, a binder, and a plasticizer. A ceramic green sheet to be a piezoelectric layer having a thickness of 150 μm was produced.

このセラミックグリーンシートの片面に、銀−パラジウム合金（銀95質量％−パラジウム５重量％）にバインダーを加えて作製した内部電極となる導電性ペーストを、スクリーン印刷法により印刷したセラミックグリーンシートを300枚積層し、積層成形体を作製し
た。 On one side of this ceramic green sheet, a ceramic green sheet obtained by printing a conductive paste to be an internal electrode made by adding a binder to a silver-palladium alloy (95% by mass of silver—5% by weight of palladium) by screen printing is used. Sheets were laminated to produce a laminated molded body.

次に、内部電極となる導電性ペーストが印刷された圧電セラミックグリーンシート300
枚を中心にして、その上下の層に、内部電極となる導電性ペーストが印刷されていない圧電セラミックグリーンシート合計15枚を積層した。 Next, a piezoelectric ceramic green sheet 300 printed with a conductive paste to be an internal electrode
A total of 15 piezoelectric ceramic green sheets on which conductive paste to be internal electrodes are not printed are laminated on the upper and lower layers with the sheet as the center.

次に、所定の大きさとなるようにダイシングソーマシンで積層成形体を切断した後、積層成形体を乾燥させ、焼成して積層体を作製した。焼成は、800℃の温度を90分保持した
後、1000℃で200分間焼成した。積層体は直方体状であり、その大きさは、端面が縦５ｍ
ｍ、横５ｍｍであり、高さが40ｍｍであった。焼成後に、積層体を平面加工した後、積層体をアセトン洗浄し、乾燥させた。その後、積層体を750℃で120分間熱処理した。 Next, after cutting the laminated molded body with a dicing saw machine so as to have a predetermined size, the laminated molded body was dried and fired to produce a laminated body. Firing was carried out at 1000 ° C. for 200 minutes after holding the temperature of 800 ° C. for 90 minutes. The laminate has a rectangular parallelepiped shape, and its size is 5 m at the end face.
m, width 5 mm, and height 40 mm. After firing, the laminate was flattened, and then the laminate was washed with acetone and dried. Thereafter, the laminate was heat-treated at 750 ° C. for 120 minutes.

次に、チタン酸ジルコン酸鉛にブチラール系のバインダー、フタル酸ジブチル可塑剤を添加してなるセラミックコート層用インクを作製し、１層目にバインダー量をチタン酸ジルコン酸鉛100質量部に対して外添で75質量部添加したセラミックコート層用インクを、
厚みが10μｍとなるようにスクリーン印刷にて内部電極の両極が露出している積層体側面に印刷し、２層目にバインダー量をチタン酸ジルコン酸鉛100質量部に対して外添で50質
量部添加したセラミックコート層インクを、内部電極層の両極が露出している積層体側面に１層目の上に印刷した。その後、1000℃で焼成し、積層体の側面側に偏って分布する複数のボイドを有するセラミックコート層を形成した。 Next, an ink for a ceramic coating layer is prepared by adding a butyral binder and a dibutyl phthalate plasticizer to lead zirconate titanate, and the amount of binder in the first layer is 100 parts by weight of lead zirconate titanate. The ceramic coating layer ink added by 75 parts by mass
Printed on the side of the laminate where both electrodes of the internal electrode are exposed by screen printing so that the thickness is 10μm, and the second layer has a binder amount of 50 mass by external addition to 100 parts by mass of lead zirconate titanate. The ceramic coat layer ink added in part was printed on the first layer on the side of the laminate where both electrodes of the internal electrode layer were exposed. Thereafter, firing was performed at 1000 ° C. to form a ceramic coat layer having a plurality of voids distributed unevenly on the side surface side of the laminate.

次に、銀粉末にガラス，バインダーおよび可塑剤を添加して作製した銀ガラスペーストをメタライズ層のパターンで積層体の側面に印刷し、乾燥後700℃で焼き付けを行ない、
メタライズ層を形成した。そして、このメタライズ層上に外部電極を形成し、半田を用い
てリード部材と接続固定した。 Next, silver glass paste prepared by adding glass, binder and plasticizer to silver powder is printed on the side of the laminate with the pattern of metallized layer, dried and baked at 700 ° C,
A metallized layer was formed. Then, an external electrode was formed on the metallized layer and connected and fixed to the lead member using solder.

以上の方法により、本発明実施例となる積層型圧電素子を作製した。   By the above method, a laminated piezoelectric element as an example of the present invention was produced.

また、比較例として、被覆層として、上記の２層目の材料で形成したセラミックコート層の設けられた積層型圧電素子を作製した。   As a comparative example, a laminated piezoelectric element provided with a ceramic coat layer formed of the above-mentioned second layer material as a coating layer was produced.

そして、これらの積層型圧電素子の二本のリードピンを接続し、３ｋＶ／ｍｍの直流電界を15分間印加して分極処理を行ない、本発明実施例の圧電アクチュエータおよび比較例の圧電アクチュエータを作製した。   Then, the two lead pins of these laminated piezoelectric elements were connected, and a 3 kV / mm direct current electric field was applied for 15 minutes for polarization treatment, thereby producing the piezoelectric actuator of the embodiment of the present invention and the piezoelectric actuator of the comparative example. .

作製した圧電アクチュエータに170Ｖの直流電圧を印加したところ、すべての圧電アク
チュエータにおいて、積層方向に変位量が得られた。 When a DC voltage of 170 V was applied to the manufactured piezoelectric actuator, displacement amounts were obtained in the stacking direction in all piezoelectric actuators.

さらに、これらの圧電アクチュエータを150℃の環境下で250Vの直流電圧を印加し続け
る高温連続駆動試験を行なった。 Furthermore, a high-temperature continuous drive test was continuously performed on these piezoelectric actuators under a 150 ° C. environment in which a DC voltage of 250 V was continuously applied.

その結果、本発明実施例の圧電アクチュエータは、2000時間後の高温連続駆動試験後にセラミックコート層に異常は見られなかった。   As a result, the piezoelectric actuator of the embodiment of the present invention showed no abnormality in the ceramic coat layer after the high temperature continuous driving test after 2000 hours.

一方、比較例の圧電アクチュエータは、153時間の連続駆動後に動作が停止した。比較
例の圧電アクチュエータの破壊源を確認したところ、セラミックコート層に粒界欠陥が生じ、この欠陥の進展部分よりマイグレーションを引き起こし、スパークして停止した。 On the other hand, the operation of the comparative piezoelectric actuator stopped after 153 hours of continuous driving. When the failure source of the piezoelectric actuator of the comparative example was confirmed, a grain boundary defect was generated in the ceramic coat layer, and migration occurred from the progressed portion of the defect, and the spark was stopped.

以上のことから、本発明の積層型圧電素子は、積層体の伸縮や振動による応力をボイドが吸収することにより、セラミックコート層の粒界欠陥の進展を抑制することができることがわかる。   From the above, it can be seen that the multilayer piezoelectric element of the present invention can suppress the development of grain boundary defects in the ceramic coat layer by the void absorbing stress due to expansion and contraction and vibration of the multilayer body.

１・・・積層型圧電素子
２・・・圧電体層
３・・・内部電極
４・・・積層体
５・・・メタライズ層
６・・・セラミックコート層
７・・・ボイド
８・・・リード部材
11・・・圧電アクチュエータ
13・・・ケース
15・・・ケース本体
17・・・蓋部材
19・・・噴射装置
21・・・噴射孔
23・・・収納容器（容器）
25・・・ニードルバルブ
27・・・流体通路
29・・・シリンダ
31・・・ピストン
33・・・皿バネ
35・・・燃料噴射システム
37・・・コモンレール
39・・・圧力ポンプ
41・・・噴射制御ユニット
43・・・燃料タンク DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laminated piezoelectric element 2 ... Piezoelectric layer 3 ... Internal electrode 4 ... Laminated body 5 ... Metallized layer 6 ... Ceramic coat layer 7 ... Void 8 ... Lead Element
11 ... Piezoelectric actuator
13 ... Case
15 ... Case body
17 ... Cover member
19 ... Injection device
21 ... Injection hole
23 ・ ・ ・ Storage container (container)
25 ... Needle valve
27 ... Fluid passage
29 ... Cylinder
31 ... Piston
33 ・ ・ ・ Belleville spring
35 ... Fuel injection system
37 ... Common rail
39 ・ ・ ・ Pressure pump
41 ... Injection control unit
43 ... Fuel tank

Claims (6)

圧電体層と正極および負極を有する内部電極とが複数積層され、該内部電極の端面の一部が側面に達してなる積層体と、
前記内部電極と電気的に接続されるように前記積層体の側面に被着された一対のメタライズ層と、
少なくとも該一対のメタライズ層の存在しない部位で前記正極および前記負極の両方の前記内部電極の端面を覆うように前記積層体の側面に被着されたセラミックコート層とを含み、
該セラミックコート層には複数のボイドがあり、
該複数のボイドは、前記側面の側に、かつ前記圧電体層の側方に偏って分布していることを特徴とする積層型圧電素子。 A laminate in which a plurality of piezoelectric layers and internal electrodes having a positive electrode and a negative electrode are laminated, and a part of the end face of the internal electrode reaches the side surface;
A pair of metallization layers deposited on the side surfaces of the laminate so as to be electrically connected to the internal electrodes;
A ceramic coat layer deposited on the side surface of the laminate so as to cover the end surfaces of the internal electrodes of both the positive electrode and the negative electrode at a site where at least the pair of metallized layers does not exist,
In the ceramic coating layer Ri multiple of Boidogaa,
Voids wherein the plurality of multilayer piezoelectric element characterized that you have distributed to the side of the side, and biased to the side of the piezoelectric layer. 前記複数のボイドは前記セラミックコート層の厚み方向に沿って互いに連通しないように分散していることを特徴とする請求項１に記載の積層型圧電素子。   The multilayer piezoelectric element according to claim 1, wherein the plurality of voids are dispersed so as not to communicate with each other along a thickness direction of the ceramic coat layer. 前記セラミックコート層は圧電体からなることを特徴とする請求項１に記載の積層型圧電素子。   The multilayer piezoelectric element according to claim 1, wherein the ceramic coat layer is made of a piezoelectric body. 請求項１に記載の積層型圧電素子と、該積層型圧電素子を内部に収容するケースとを備えていることを特徴とする圧電アクチュエータ。   A piezoelectric actuator comprising: the multilayer piezoelectric element according to claim 1; and a case for housing the multilayer piezoelectric element therein. 噴射孔を有する容器と、請求項１に記載の積層型圧電素子とを備え、前記容器内に蓄えられた流体が前記積層型圧電素子の駆動により前記噴射孔から吐出されることを特徴とする噴射装置。   A container having an injection hole and the multilayer piezoelectric element according to claim 1, wherein fluid stored in the container is discharged from the injection hole by driving the multilayer piezoelectric element. Injection device. 高圧燃料を蓄えるコモンレールと、該コモンレールに蓄えられた前記高圧燃料を噴射する請求項５に記載の噴射装置と、前記コモンレールに前記高圧燃料を供給する圧力ポンプと、前記噴射装置に駆動信号を与える噴射制御ユニットとを備えたことを特徴とする燃料噴射システム。 6. A common rail for storing high-pressure fuel, an injection device according to claim 5 for injecting the high-pressure fuel stored in the common rail, a pressure pump for supplying the high-pressure fuel to the common rail, and a drive signal for the injection device A fuel injection system comprising an injection control unit.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4560860B2 (en) * 1999-11-02 2010-10-13 Ｔｄｋ株式会社 Manufacturing method of laminated piezoelectric material
JP4104345B2 (en) * 2002-02-21 2008-06-18 独立行政法人科学技術振興機構 Multilayer piezoelectric element
DE10329028A1 (en) * 2002-07-11 2004-01-29 Ceram Tec Ag Innovative Ceramic Engineering Preparation of piezoelectric multi layer actuators for e.g. injection valves, provided with heat insulation formed by sintering thick coating mixture of inorganic material and organic binder
DE10260853A1 (en) * 2002-12-23 2004-07-08 Robert Bosch Gmbh Piezo actuator and a method for its production
JP2006165193A (en) * 2004-12-06 2006-06-22 Denso Corp Hollow laminated piezo-electric element and its manufacturing method
WO2008072746A1 (en) * 2006-12-15 2008-06-19 Kyocera Corporation Laminated piezoelectric element, jetting device provided with the laminated piezoelectric element, and fuel jetting system
JP2008167548A (en) * 2006-12-27 2008-07-17 Denso Corp Piezoelectric actuator

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