JP5728288B2 - Supply / exhaust adjustment device, supply / exhaust adjustment system - Google Patents

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Description

本発明は、第１ポート及び第２ポートを連通する主流路が形成された本体部と、本体部に対して主流路を流れる排気をニードル弁により調整可能にするスピードコントローラを備える給排気調整装置、及び給排気調整装置を有する給排気調整システムに関する。   The present invention relates to a supply / exhaust adjustment device including a main body portion in which a main flow path communicating with a first port and a second port is formed, and a speed controller that allows exhaust flowing through the main flow path to the main body portion to be adjusted by a needle valve. And an air supply / exhaust adjustment system having an air supply / exhaust adjustment device.

従来、給排気調整装置は、例えば、半導体製造装置において、薬液を制御するエアオペレイトバルブ等のエアを給気供給加圧又は排気調整する装置として用いられている。また、エアシリンダ等のエアを給気供給加圧又は排気調整する装置として用いられる。
エアオペレイトバルブ等については、エアを給気供給加圧又は排気することにより弁体を弁座に当接または離間させることができる。例えば、エアオペレイトバルブでは、一般に、弁閉時にウォータハンマ現象を引き起こすことがある。 2. Description of the Related Art Conventionally, for example, in a semiconductor manufacturing apparatus, an air supply / exhaust adjustment device is used as a device for supplying / pressurizing or adjusting air supply / supply pressure, such as an air operated valve for controlling a chemical solution. Further, it is used as an apparatus for adjusting supply / supply pressure or exhaust of air such as an air cylinder.
About an air operated valve etc., a valve body can be contacted or separated from a valve seat by supplying and pressurizing or exhausting air. For example, an air operated valve generally may cause a water hammer phenomenon when the valve is closed.

ここで、ウォータハンマ現象について簡単に説明する。
エアオペレイトバルブにおいて、出力ポート側に向けて流路を流れている流体は、弁体を急激に弁閉させると、弁閉直後においても、流体の慣性力により、なおも弁体より出力ポート側の流体流路に流れようとする。すると、出力ポート側の流路では流体は負圧となり、正圧に戻るときに衝撃を発するウォータハンマ現象が生じる。
ウォータハンマ現象が起きると、流体制御弁と接続する配管等が振動して、当該エアオペレイトバルブ自体や、この弁周辺の配管部材、配管上の計測機器類等に破損や不具合を引き起こす恐れがある。
そこで、このようなウォータハンマ現象の発生を抑制または阻止するため、様々な工夫がなされたものが開示されている（例えば、特許文献１、２参照）。 Here, the water hammer phenomenon will be briefly described.
In the air operated valve, if the fluid flowing through the flow path toward the output port side closes the valve body suddenly, even after the valve is closed, the fluid is still output from the valve body by the inertial force of the fluid. It tries to flow to the fluid flow path on the side. Then, the fluid has a negative pressure in the flow path on the output port side, and a water hammer phenomenon occurs that generates an impact when the pressure returns to the positive pressure.
When a water hammer phenomenon occurs, the piping connected to the fluid control valve may vibrate, causing damage or malfunction to the air operated valve itself, piping members around this valve, measuring instruments on the piping, etc. is there.
In view of this, various devices have been disclosed in order to suppress or prevent the occurrence of such a water hammer phenomenon (see, for example, Patent Documents 1 and 2).

特許文献１に、操作圧力により動作する逆止弁と、ニードル弁が備えられたエアオペレイトバルブが記載されている。特許文献１のエアオペレイトバルブの主弁体を主弁座に当接されるため弁閉動作を開始した第１排気状態において、逆止弁は弁開状態にある。そのため、逆止弁を挿通したエアは、大気に開放される。その結果、エアオペレイトバルブの主弁体は主弁座方向へと下降する。
続いて、エアオペレイトバルブの主弁体が主弁座に近づいた状態の第２排気状態において、逆止弁は弁閉状態となる。エアはニードル弁を介して少量ずつ排気される。
したがって、特許文献１のエアオペレイトバルブによれば弁閉状態に近い第２排気状態になるとエアはニードル弁を介して少量ずつ排気される。そのため、主弁体は主弁座に対してゆっくりと当接する。したがって、ゆっくり当接することにより、ウォータハンマの発生を抑制することができる。 Patent Document 1 describes a check valve that operates by operating pressure and an air operated valve that includes a needle valve. In the first exhaust state where the valve closing operation is started because the main valve body of the air operated valve of Patent Document 1 is brought into contact with the main valve seat, the check valve is in the valve open state. Therefore, the air inserted through the check valve is released to the atmosphere. As a result, the main valve body of the air operated valve descends in the main valve seat direction.
Subsequently, in the second exhaust state in which the main valve body of the air operated valve is close to the main valve seat, the check valve is closed. The air is exhausted little by little through the needle valve.
Therefore, according to the air operated valve of Patent Document 1, when the second exhaust state close to the valve closed state is reached, air is exhausted little by little through the needle valve. Therefore, the main valve body slowly comes into contact with the main valve seat. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of water hammer by slowly contacting.

特許文献２には、エアオペレイトバルブにリリーフ弁を形成することで、第２排気状態をリリーフ弁により排気する。そのため、ウォータハンマを抑制することができる旨記載されている。   In Patent Document 2, a relief valve is formed on the air operated valve, so that the second exhaust state is exhausted by the relief valve. Therefore, it is described that water hammer can be suppressed.

特開２０００−１２０９２１号公報JP 2000-120921 A 特開２００９−１８０３３８号公報JP 2009-180338 A

しかしながら、従来技術には、以下の問題があった。
すなわち、特許文献１のエアオペレイトバルブは、逆止弁が一体に形成されている。逆止弁が一体に形成されていると、使用状況に応じて第１排気状態における排気を調整することができない。
特許文献２のエアオペレイトバルブでは、第１排気状態における排気を調整することができない。
そのため、エアオペレイトバルブの大きさが異なる場合や、使用状況あるいは仕様によって複数の空気圧を用いるような条件が異なる場合においては、その都度専用のエアオペレイトバルブを用意しなければならないため問題となる。また、エアオペレイトバルブを様々な仕様に合わせ個別に設計することはコストアップにつながり問題となる。
また、エアシリンダについても、使用状況あるいは仕様によって排気を調整し開閉時間を調整することを希望する場合がある。 However, the prior art has the following problems.
That is, the air operated valve of Patent Document 1 is integrally formed with a check valve. If the check valve is integrally formed, the exhaust in the first exhaust state cannot be adjusted according to the use situation.
With the air operated valve of Patent Document 2, the exhaust in the first exhaust state cannot be adjusted.
Therefore, when the size of the air operated valve is different, or when the conditions for using multiple air pressures differ depending on the usage conditions or specifications, a dedicated air operated valve must be prepared each time. Become. In addition, individually designing the air operated valve in accordance with various specifications increases costs and becomes a problem.
In addition, as for the air cylinder, there is a case where it is desired to adjust the exhaust time and adjust the opening / closing time depending on the use situation or specifications.

そこで、本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は排気を使用状況に応じて調整することができる給排気調整装置、及び給排気調整システムを提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide a supply / exhaust adjustment device and a supply / exhaust adjustment system capable of adjusting exhaust according to use conditions. Objective.

上記目的を達成するために、本発明の一態様における給排気調整装置、及び給排気調整システムは、以下の構成を有する。
（１）第１ポート及び第２ポートを連通する主流路が形成された本体部と、前記本体部に対して前記主流路を流れる排気をニードル弁により調整可能にするスピードコントローラを備える給排気調整装置において、前記主流路に対してバイパス流路が形成されていること、前記バイパス流路を流れる排気を調整可能にするリリーフ弁を有すること、前記スピードコントローラのボディの内部に前記ニードル弁が形成され、前記ボディの外周には、パッキンが固定されており、前記パッキンは、径方向外方に傘状に広がり弾性変形可能な変形部が形成されていること、前記第１ポートから前記流体が前記主流路に流れ込んだ場合、前記変形部が閉じるように弾性変形し、前記主流路が連通すること、前記リリーフ弁自体の外周には、凸状の外周円設部が形成されており、前記外周円設部は、前記バイパス流路と前記リリーフ弁の先端に形成される弁体部が当接する弁座との間に位置し、前記外周円設部が排気圧力を受けること、を特徴とする。
（２）（１）に記載する給排気調整装置において、前記リリーフ弁は、円筒部を有すること、が好ましい。
（３）（１）又は（２）に記載する給排気調整装置において、前記スピードコントローラには操作部が形成されていること、前記リリーフ弁にはリリーフ弁の位置を位置決めするためのハンドルが形成されていること、前記操作部と前記ハンドルは同一方向から操作できること、が好ましい。 In order to achieve the above object, an air supply / exhaust adjustment device and an air supply / exhaust adjustment system according to an aspect of the present invention have the following configurations.
(1) Supply / exhaust adjustment comprising a main body part in which a main flow path communicating with the first port and the second port is formed, and a speed controller that enables the exhaust gas flowing through the main flow path to be adjusted with respect to the main body part by a needle valve. In the apparatus, a bypass flow path is formed with respect to the main flow path, a relief valve that enables adjustment of exhaust flowing through the bypass flow path is provided, and the needle valve is formed inside the body of the speed controller. A packing is fixed to the outer periphery of the body, and the packing is formed with a deformable portion that expands radially in the shape of an umbrella and can be elastically deformed, and the fluid flows from the first port. when flowing into the main channel, wherein the deformable portion is elastically deformed to be closed, that the main channel communicates, outside periphery of the relief valve itself is convex periphery Portion is formed, the outer circumference portion is, the valve body portion formed at the distal end of the bypass flow path and the relief valve is located between the abutting valve seat, the peripheral circle portion is Receiving exhaust pressure .
(2) In the air supply / exhaust regulating device described in (1), it is preferable that the relief valve has a cylindrical portion.
(3) In the air supply / exhaust adjustment device described in (1) or (2), an operating part is formed in the speed controller, and a handle for positioning the position of the relief valve is formed in the relief valve. It is preferable that the operation unit and the handle can be operated from the same direction.

（４）（１）乃至（３）のいずれか一つに記載する給排気調整装置において、ウォータハンマを抑制することができること、が好ましい。 (4) In the air supply / exhaust adjustment device described in any one of (1) to (3), it is preferable that water hammer can be suppressed.

（５）（１）乃至（４）のいずれか一つに記載する給排気調整装置を有する給排気調整システムにおいて、前記給排気調整装置が複数個備えられていること、前記複数の給排気調整装置が直列的又は並列的に配置されていること、が好ましい。 (5) In the air supply / exhaust adjustment system having the air supply / exhaust adjustment device according to any one of (1) to (4) , a plurality of the air supply / exhaust adjustment devices are provided, and the plurality of air supply / exhaust adjustments are provided. It is preferred that the devices are arranged in series or in parallel.

上記給排気調整装置、及び給排気調整システムの作用及び効果について説明する。
（１）主流路を流れる排気を調整するニードル弁と、主流路に対して形成されたバイパス流路を流れる排気を調整可能にするリリーフ弁とを有する。また、ニードル弁とリリーフ弁はともに排気を調整することができるため、ピストンを有する機器に対する排気を使用状況に応じて調整することができる。
排気を使用状況に応じて調整することができるため、エアオペレイトバルブ等の弁閉時間を短くすることができる。弁閉時間を短くすることで、半導体製造装置において半導体を従来よりも多く生産することができ生産性を向上させることができる。さらに、弁閉時間を短くすることにより、正確な薬液等の供給ができるため半導体の品質を向上させることもできる。
また、リリーフ弁及びニードル弁を有するため、エアオペレイトバルブ等の大きさが異なる場合や、現場によって複数の空気圧を用いるような条件が異なる場合においても、エアオペレイトバルブ等の弁閉時間を調整し短くすることができる。そのため、エアオペレイトバルブ等について専用品を用意する必要がないためコストダウンをすることができる。
また、排気を使用状況に応じて調整することができるため、エアシリンダの動作時間を短くすることができる。 The operation and effect of the air supply / exhaust adjustment device and the air supply / exhaust adjustment system will be described.
(1) It has a needle valve that adjusts the exhaust gas flowing through the main flow path, and a relief valve that makes it possible to adjust the exhaust gas flowing through the bypass flow path formed with respect to the main flow path. Further, since both the needle valve and the relief valve can adjust the exhaust, the exhaust to the device having the piston can be adjusted according to the use situation.
Since the exhaust gas can be adjusted according to the use situation, the valve closing time of the air operated valve or the like can be shortened. By shortening the valve closing time, more semiconductors can be produced in the semiconductor manufacturing apparatus than before, and the productivity can be improved. Furthermore, by shortening the valve closing time, it is possible to accurately supply a chemical solution or the like, so that the quality of the semiconductor can be improved.
In addition, since it has a relief valve and a needle valve, the valve closing time of the air operated valve can be reduced even when the size of the air operated valve is different, or when conditions such as the use of multiple air pressures differ from site to site. It can be adjusted and shortened. For this reason, it is not necessary to prepare a dedicated product for the air operated valve or the like, so that the cost can be reduced.
Further, since the exhaust gas can be adjusted according to the use situation, the operation time of the air cylinder can be shortened.

（２）上記（１）に記載する作用効果のほか、リリーフ弁及びニードル弁を用いて第１排気状態で排気することにより、排気エアを多量とすることができる。そのため、エアオペレイトバルブ等に本給排気調整装置を用いた場合には、主弁体を主弁座方向に素早く移動させることができる。また、リリーフ弁を弁閉し、ニードル弁を用いて第２排気状態で排気することにより、排気エアを少量とすることができる。そのため、エアオペレイトバルブ等の主弁体と主弁座が当接する手前から主弁体の移動速度が遅くなり、主弁体を主弁座に対してゆっくり弁閉させることができる。
すなわち、主弁体を速く閉じたい部分では第１排気状態となり排気エアを多量とすることができ、主弁体をゆっくり閉じたい部分では第２排気状態なり排気エアを少量とすることができる。
また、第１排気状態において排気エアを多量としたい場合には、リリーフ弁を調整し、排気量が多い時間を長くすることができる。リリーフ弁を調整し排気量が多い時間を長くすることにより、主弁体を主弁座方向に素早く移動させることができる。 (2) In addition to the effects described in (1) above, a large amount of exhaust air can be obtained by exhausting in the first exhaust state using a relief valve and a needle valve. Therefore, when this air supply / exhaust adjustment device is used for an air operated valve or the like, the main valve body can be quickly moved in the main valve seat direction. Further, the exhaust valve can be made small by closing the relief valve and exhausting in the second exhaust state using the needle valve. For this reason, the moving speed of the main valve body is reduced from before the main valve body such as an air operated valve comes into contact with the main valve seat, and the main valve body can be slowly closed with respect to the main valve seat.
That is, a portion where the main valve body is desired to be closed quickly becomes the first exhaust state, and a large amount of exhaust air can be obtained, and a portion where the main valve body is desired to be closed slowly is the second exhaust state where the exhaust air can be reduced.
In addition, when a large amount of exhaust air is desired in the first exhaust state, the relief valve can be adjusted to lengthen the time during which the exhaust amount is large. The main valve body can be quickly moved in the main valve seat direction by adjusting the relief valve and lengthening the time during which the exhaust amount is large.

（３）（１）又は（２）に記載する作用効果のほか、リリーフ弁及びニードル弁の弁開度を調整することができることにより、第１ポートから排出される排気の排気時間を調整することができる。すなわち、リリーフ弁及びニードル弁の弁開度を調整し排気を調整できるため、主弁体と主弁座の当接するために必要とされる排気の排気時間を調整することができる。排気の排気時間を調整することができることにより、エアオペレイトバルブの主弁体が主弁座に当接する時間を調整することができるため、エアオペレイトバルブをウォータハンマが起きることなく素早く弁閉させることができる。また、排気の排気時間を調整することができるため、エアシリンダ等を用いた場合には、動作時間を調整することができる。 (3) In addition to the effects described in (1) or (2), by adjusting the valve opening of the relief valve and the needle valve, adjusting the exhaust time of the exhaust discharged from the first port Can do. That is, since the exhaust opening can be adjusted by adjusting the valve openings of the relief valve and the needle valve, the exhaust time required for the exhaust to contact the main valve body and the main valve seat can be adjusted. By adjusting the exhaust time of the exhaust, it is possible to adjust the time for the main valve body of the air operated valve to contact the main valve seat, so the air operated valve can be quickly closed without causing water hammer. Can be made. Further, since the exhaust time of exhaust can be adjusted, the operation time can be adjusted when an air cylinder or the like is used.

（４）（２）に記載する作用効果のほか、第１排気状態及び第２排気状態を有することにより多段階的に排気することができる。すなわち、第１排気状態と第２排気状態で排気の流量が異なる。そのため、第１排気状態と第２排気状態とではエアオペレイトバルブの開閉速度を多段階的に変更することができる。または、エアシリンダの動作速度を多段階的に変更することができる。 (4) In addition to the function and effect described in (2), the first exhaust state and the second exhaust state can be provided to exhaust in a multistage manner. That is, the flow rate of exhaust differs between the first exhaust state and the second exhaust state. Therefore, the opening / closing speed of the air operated valve can be changed in multiple steps between the first exhaust state and the second exhaust state. Alternatively, the operating speed of the air cylinder can be changed in multiple steps.

（５）（１）乃至（４）に記載する作用効果のほか、ウォータハンマを抑制することができる。すなわち、多段階的に排気することができるため、第１排気状態では排気を多量に行い、第２排気状態では排気を少量行うことにより、弁閉時の弁体の速度をゆっくりすることができる。それにより、ウォータハンマを抑制することができる。 (5) In addition to the effects described in (1) to (4), water hammer can be suppressed. That is, since exhaust can be performed in multiple stages, the speed of the valve body when the valve is closed can be reduced by performing a large amount of exhaust in the first exhaust state and performing a small amount of exhaust in the second exhaust state. . Thereby, a water hammer can be suppressed.

（６）（１）乃至（５）に記載する作用効果のほか、給排気調整装置をノーマルオープンタイプ又はノーマルクローズタイプとして使用することができるため、作業現場において臨機応変に使用することができる。 (6) In addition to the effects described in (1) to (5), since the air supply / exhaust adjustment device can be used as a normal open type or a normal close type, it can be used flexibly at the work site.

（７）（１）乃至（６）に記載する作用効果のほか、エアオペレイトバルブが一体であることにより、エアオペレイトバルブの第１排気状態及び第２排気状態における弁閉時間を調整することができる。また、エアオペレイトバルブと給排気調整装置を結ぶ配管が必要なくなるため省スペース化を図ることができる。 (7) In addition to the effects described in (1) to (6), the valve closing time of the air operated valve in the first exhaust state and the second exhaust state is adjusted by integrating the air operated valve. be able to. Further, since the piping connecting the air operated valve and the air supply / exhaust adjustment device is not necessary, space saving can be achieved.

（８）（１）乃至（６）に記載する作用効果のほか、ソレノイドバルブが一体であることにより、ソレノイドバルブと給排気調整装置を結ぶ配管が必要なくなるため省スペース化を図ることができる。 (8) In addition to the functions and effects described in (1) to (6), when the solenoid valve is integrated, a pipe connecting the solenoid valve and the air supply / exhaust adjustment device is not required, and thus space saving can be achieved.

（９）（１）乃至（８）に記載する作用効果のほか、給排気調整装置が複数個備えられていること、複数の給排気調整装置が直列的又は並列的に配置されていることにより、エアオペレイトバルブ等を多段階的に動作可変することができる。すなわち、第１給排気調整装置が第２給排気調整装置への流体の供給量を調整することができ、さらに第２給排気調整装置がエアオペレイトバルブ等への流体の供給量を調整することができるため、多段階的に動作可変することができる。 (9) In addition to the effects described in (1) to (8), a plurality of supply / exhaust adjustment devices are provided, and a plurality of supply / exhaust adjustment devices are arranged in series or in parallel. The operation of the air operated valve can be varied in multiple steps. That is, the first air supply / exhaust adjustment device can adjust the fluid supply amount to the second air supply / exhaust adjustment device, and the second air supply / exhaust adjustment device adjusts the fluid supply amount to the air operated valve or the like. Therefore, the operation can be varied in multiple steps.

本発明に係る給排気調整装置のエア給気時の断面図である。It is sectional drawing at the time of air supply of the air supply / exhaust adjustment apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る給排気調整装置のエア排気時（第１排気状態）の断面図である。It is sectional drawing at the time of air exhaustion (1st exhaust state) of the air supply / exhaust adjustment apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る給排気調整装置のエア排気時（第２排気状態）の断面図である。It is sectional drawing at the time of air exhaustion (2nd exhaust state) of the air supply / exhaust adjustment apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る給排気調整システムの全体構成図である。1 is an overall configuration diagram of a supply / exhaust adjustment system according to the present invention. 本発明に係る給排気調整装置を用いた場合のエアオペレイトバルブの操作圧力（排気圧力）と時間との関係を表した図である。It is a figure showing the relationship between the operating pressure (exhaust pressure) of an air operated valve at the time of using the air supply / exhaust adjustment apparatus which concerns on this invention, and time. 従来技術に係るスピードコントローラを用いた場合のエアオペレイトバルブの操作圧力（排気圧力）と時間との関係を表した図である。It is a figure showing the relationship between the operating pressure (exhaust pressure) of an air operated valve at the time of using the speed controller which concerns on a prior art, and time. 本発明に係る給排気調整システムの変形例１の全体構成図である。It is a whole block diagram of the modification 1 of the supply / exhaust adjustment system which concerns on this invention. 本発明に係る給排気調整システムの変形例２の全体構成図である。It is a whole block diagram of the modification 2 of the supply / exhaust adjustment system which concerns on this invention.

次に、本発明に係る給排気調整装置の一実施の形態について図面を参照して説明する。   Next, an embodiment of an air supply / exhaust adjustment device according to the present invention will be described with reference to the drawings.

＜給排気調整システムの全体構成＞
図４に給排気調整システム１の全体構成図を示す。
給排気調整システム１は、エアオペレイトバルブ２を開閉させるためのシステムである。図４に示すように、給排気調整システム１は、エアオペレイトバルブ２、給排気調整装置３、及び、ソレノイドバルブ４を有する。エアオペレイトバルブ２とソレノイドバルブ４は流路で連結されており、給排気調整装置３は流路に接続されている。
エアオペレイトバルブ２及びソレノイドバルブ４は従来技術と変わるところがないため詳細な説明を割愛する。
なお、本実施形態においてはエアオペレイトバルブ２の給排気を調整することとしたが、エアを供給又は排気することによりピストンが摺動するものであれば給排気調整システム１に組み込むことができる。例えばピストンが摺動するエアシリンダ等がある。 <Overall configuration of supply / exhaust adjustment system>
FIG. 4 shows an overall configuration diagram of the supply / exhaust adjustment system 1.
The air supply / exhaust adjustment system 1 is a system for opening and closing the air operated valve 2. As shown in FIG. 4, the air supply / exhaust adjustment system 1 includes an air operated valve 2, an air supply / exhaust adjustment device 3, and a solenoid valve 4. The air operated valve 2 and the solenoid valve 4 are connected by a flow path, and the air supply / exhaust adjustment device 3 is connected to the flow path.
Since the air operated valve 2 and the solenoid valve 4 are not different from the prior art, a detailed description is omitted.
In the present embodiment, the air supply / exhaust of the air operated valve 2 is adjusted. However, as long as the piston slides by supplying or exhausting air, it can be incorporated into the air supply / exhaust adjustment system 1. . For example, there is an air cylinder in which a piston slides.

＜給排気調整装置の全体構成＞
図１に、エア給気時の給排気調整装置３の断面図を示す。図２に、エア排気時（第１排気状態）の給排気調整装置３の断面図を示す。図３に、エア排気時（第２排気状態）の給排気調整装置３の断面図を示す。
図１に示す給排気調整装置３は、スピードコントローラ本体５、リリーフバルブ本体６、装置本体部３０を有する。スピードコントローラ本体５及びリリーフバルブ本体６は装置本体部３０に取り付け固設されている。 <Overall configuration of air supply / exhaust adjustment device>
FIG. 1 is a cross-sectional view of the air supply / exhaust adjustment device 3 during air supply. FIG. 2 shows a cross-sectional view of the air supply / exhaust adjustment device 3 during air exhaust (first exhaust state). FIG. 3 shows a cross-sectional view of the air supply / exhaust adjustment device 3 during air exhaust (second exhaust state).
1 has a speed controller main body 5, a relief valve main body 6, and an apparatus main body 30. The speed controller body 5 and the relief valve body 6 are fixedly attached to the apparatus body 30.

図１に示すように、装置本体部３０には第１ポート３１及び第２ポート３２が形成され、第１ポート３１と第２ポート３２は流路３３で連通している。流路３３は、第１ポート３１、第１収納孔３４を連通し第２ポート３２へと連通する主流路３３１を有する。また、第１収納孔３４と第２収納孔３５を連通し主流路３３１に連通するバイパス流路３３２を有する。   As shown in FIG. 1, a first port 31 and a second port 32 are formed in the apparatus main body 30, and the first port 31 and the second port 32 communicate with each other through a flow path 33. The flow path 33 has a main flow path 331 that communicates with the second port 32 through the first port 31 and the first storage hole 34. Further, a bypass channel 332 that communicates with the main channel 331 through the first accommodation hole 34 and the second accommodation hole 35 is provided.

＜スピードコントローラ本体の構成＞
図１に示すように、スピードコントローラ本体５は、主流路３３１を流れるエアの流量を調整するものである。スピードコントローラ本体５は、装置本体部３０に形成された第１収納孔３４に着脱可能に収容されている。
スピードコントローラ本体５は、中心部に近い方から、ボディ５１、ボディ５１の上部に当接した回転可能な回転部５２、ボディ５１及び回転部５２の外周に外筒部５４、外筒部５４の外周に操作部５５が形成されている。 <Configuration of speed controller body>
As shown in FIG. 1, the speed controller body 5 adjusts the flow rate of air flowing through the main flow path 331. The speed controller body 5 is detachably accommodated in a first accommodation hole 34 formed in the apparatus body 30.
The speed controller main body 5 includes a body 51, a rotatable rotating portion 52 that is in contact with the upper portion of the body 51, and an outer cylinder portion 54 and an outer cylinder portion 54 on the outer periphery of the body 51 and the rotating portion 52. An operation portion 55 is formed on the outer periphery.

ボディ５１及び回転部５２の中心であり軸心方向の内部にニードル弁７を挿入するためのニードル弁孔５８が形成されている。また、ニードル弁孔５８は、小径孔５８ａ及び大径孔５８ｂにより構成されている。小径孔５８ａが大径孔５８ｂと当接する当接部の円周状の端部には弁座５１ａが形成されている。大径孔５８ｂは、ボディ５１の外周部に形成された主流路３３１と連通する外周連通流路５８ｄと連通している。
ニードル弁孔５８のうち、大径孔５８ｂとニードル弁７が当接する部分には、雌ネジ５８ｃが形成されている。回転部５２の外周部のうち、操作部５５の雌ネジ５５ｂと当接する部分に、雄ネジ５２ａが形成されている。 A needle valve hole 58 for inserting the needle valve 7 is formed in the center of the body 51 and the rotating part 52 and in the axial center. The needle valve hole 58 includes a small diameter hole 58a and a large diameter hole 58b. A valve seat 51a is formed at the circumferential end of the contact portion where the small diameter hole 58a contacts the large diameter hole 58b. The large diameter hole 58 b communicates with an outer peripheral communication channel 58 d that communicates with a main channel 331 formed in the outer peripheral portion of the body 51.
A female screw 58c is formed in a portion of the needle valve hole 58 where the large diameter hole 58b and the needle valve 7 abut. A male screw 52 a is formed in a portion of the outer peripheral portion of the rotating unit 52 that contacts the female screw 55 b of the operation unit 55.

図１に示す、ボディ５１は第１収納孔３４の孔径とほぼ同じ径の大径部５１ｃと、大径部５１ｃの先端部に第１収納孔３４の径孔よりも孔径が小さい小径部５１ｄを有する。大径部５１ｃと第１収納孔３４の孔径がほぼ同じ径であることにより第１収納孔３４をシールすることができる。
小径部５１ｄの先端外周状には、弾性部材であるパッキン５１０を収納する収納凹部５１ｅが形成されている。パッキン５１０は、収納凹部５１ｅに嵌合されることにより、固定されている。パッキン５１０は中空円筒状の円筒部５１１と、円筒部５１１に対して外周方向に傘状に広がり弾性変形可能な変形部５１２が形成されている。変形部５１２は図１中下方向に傘状に広がっているため、上方向からエアが流出した場合には変形部５１２が弾性変形し、主流路３３１が挿通する。他方、図２及び図３に示すように、主流路３３１方向からエアが流出した場合変形部５１２は傘状の内側にエアが流出し変形部５１２は広がり、主流路３３１を塞ぐ。 The body 51 shown in FIG. 1 has a large diameter portion 51c having a diameter substantially the same as the diameter of the first accommodation hole 34, and a small diameter portion 51d having a smaller diameter than the diameter hole of the first accommodation hole 34 at the tip of the large diameter portion 51c. Have Since the large diameter portion 51c and the first storage hole 34 have substantially the same diameter, the first storage hole 34 can be sealed.
A storage recess 51e for storing packing 510, which is an elastic member, is formed on the outer periphery of the tip of the small diameter portion 51d. The packing 510 is fixed by being fitted into the storage recess 51e. The packing 510 has a hollow cylindrical portion 511 and a deformable portion 512 that spreads in an umbrella shape in the outer circumferential direction with respect to the cylindrical portion 511 and can be elastically deformed. Since the deformable portion 512 spreads in an umbrella shape in the lower direction in FIG. 1, when air flows out from the upper direction, the deformable portion 512 is elastically deformed and the main flow path 331 is inserted. On the other hand, as shown in FIGS. 2 and 3, when air flows out from the direction of the main flow path 331, the deformed portion 512 flows into the umbrella-shaped inside, and the deformed portion 512 spreads to block the main flow path 331.

ニードル弁７は、自らが有するニードル部７１を小径孔５８ａへ挿入し、挿入する深さを調整することにより流路面積を調整するものである。ニードル弁７は、本体部７２と本体部７２の先端に固定され先細のテーパ形状に形成されたニードル部７１を有する。本体部７２のうち、大径孔５８ｂと当接する部分に、雄ネジ７４が形成されている。雄ネジ７４はニードル弁孔５８に形成された雌ネジ５８ｃと螺合する。また、本体部７２には、略直方体形状の中空部であるガイド孔７３が形成されている。ガイド孔７３が外筒５４に固定されたガイド棒５７によりガイドされる。それにより、ニードル弁７は回転方向の移動が規制され、軸心方向にのみ移動が可能となる。
本実施形態においては、ニードル部７１は、弁座５１ａから僅かに離間した状態にある。そのため、ニードル部７１と弁座５１ａの隙間の小径孔５８ａからエアが流出入することができる。 The needle valve 7 adjusts the flow path area by inserting the needle portion 71 of the needle valve 7 into the small diameter hole 58a and adjusting the depth of insertion. The needle valve 7 has a main body portion 72 and a needle portion 71 fixed to the tip of the main body portion 72 and formed in a tapered shape. A male screw 74 is formed in a portion of the main body 72 that contacts the large-diameter hole 58b. The male screw 74 is screwed with a female screw 58 c formed in the needle valve hole 58. In addition, a guide hole 73 that is a hollow portion having a substantially rectangular parallelepiped shape is formed in the main body 72. The guide hole 73 is guided by a guide bar 57 fixed to the outer cylinder 54. Thereby, the needle valve 7 is restricted from moving in the rotational direction, and can move only in the axial direction.
In the present embodiment, the needle portion 71 is in a state slightly separated from the valve seat 51a. Therefore, air can flow in and out from the small diameter hole 58a in the gap between the needle portion 71 and the valve seat 51a.

外筒５４は、ボディ５１及び回転部５２の位置を固定するためのものである。外筒５４の中心であり軸心方向の内部にボディ５１及び回転部５２を挿入するための外筒中空部５４ａが形成されている。ボディ５１及び回転部５２は外筒中空部５４ａに挿入されることにより位置が固定され、軸心方向及び径方向に動くことはない。なお、回転部５２は回転可能に挿入されているため、回転動作をすることができる。   The outer cylinder 54 is for fixing the positions of the body 51 and the rotating part 52. An outer cylinder hollow part 54a for inserting the body 51 and the rotating part 52 is formed at the center of the outer cylinder 54 and in the axial direction. The position of the body 51 and the rotating part 52 is fixed by being inserted into the outer cylinder hollow part 54a, and the body 51 and the rotating part 52 do not move in the axial direction and the radial direction. In addition, since the rotation part 52 is inserted so that rotation is possible, it can be rotated.

操作部５５は、ニードル弁７を操作するためのものであり、操作部５５を操作することにより、ニードル弁７を弁座５１ａ方向に移動させることができる。操作部５５の中心部には、回転部５２及び外筒５４を挿入するための操作中空部５５ａが形成されている。操作中空部５５ａの内壁面のうち回転部５２の雄ネジ５２ａと当接する部分に、雌ネジ５５ｂが形成されている。   The operation unit 55 is for operating the needle valve 7, and by operating the operation unit 55, the needle valve 7 can be moved in the direction of the valve seat 51a. An operation hollow portion 55 a for inserting the rotating portion 52 and the outer cylinder 54 is formed at the center of the operation portion 55. A female screw 55b is formed in a portion of the inner wall surface of the operation hollow portion 55a that contacts the male screw 52a of the rotating portion 52.

＜リリーフバルブ本体の構成＞
図１に示すように、リリーフバルブ本体６は、バイパス流路３３２を流れるエアの流量を調整するものである。リリーフバルブ本体６は、装置本体部３０に形成された第２収納孔３５に収容されている。
リリーフバルブ本体６は、中心部に近い方から、リリーフ弁６１、及び位置決め部材６３が形成されている。 <Configuration of relief valve body>
As shown in FIG. 1, the relief valve body 6 adjusts the flow rate of air flowing through the bypass flow path 332. The relief valve body 6 is housed in a second housing hole 35 formed in the apparatus body portion 30.
In the relief valve main body 6, a relief valve 61 and a positioning member 63 are formed from the side closer to the center.

リリーフ弁６１は、第２収納孔弁座３７に対して当接離間することでバイパス流路３３２の流量を調整するためのものである。リリーフ弁６１は、内側に円筒部６１２を有し、円筒部６１２の先端部には弁体部６１４が形成されている。円筒部６１２の中間部には、バイパス流路連通孔６１６が形成されている。円筒部６１２のうち弁体部６１４に近い部分の外周方向に外周円設部６１７が形成されている。外周円設部６１７の径は、第２収納孔３５の径とほぼ同じ径であることにより操作圧力(排気圧力)を受けることができる。
円筒部６１２の内部には内部流路６１８が形成されており内部流路６１８は弁体部６１４と当接する部分まで伸びている。外周円設部６１７の下面には十字形状に内部流路６１８と連通する連通内部流路６１３が形成されている。
弁体部６１４は先端テーパ形状となっており、テーパ部の途中にＯリング６１５が固設されている。Ｏリング６１５が第２収納孔弁座３７に当接することにより第２収納孔弁座３７を確実にシールすることができる。 The relief valve 61 is for adjusting the flow rate of the bypass flow path 332 by contacting and separating from the second storage hole valve seat 37. The relief valve 61 has a cylindrical portion 612 on the inner side, and a valve body portion 614 is formed at the tip of the cylindrical portion 612. A bypass channel communication hole 616 is formed in an intermediate portion of the cylindrical portion 612. An outer circumferential circular portion 617 is formed in the outer circumferential direction of a portion near the valve body portion 614 in the cylindrical portion 612. The diameter of the outer peripheral circular portion 617 is substantially the same as the diameter of the second storage hole 35, so that it can receive an operating pressure (exhaust pressure).
An internal flow path 618 is formed inside the cylindrical portion 612, and the internal flow path 618 extends to a portion in contact with the valve body portion 614. A communication internal flow path 613 that communicates with the internal flow path 618 is formed in a cross shape on the lower surface of the outer peripheral circular portion 617.
The valve body portion 614 has a tapered shape at the tip, and an O-ring 615 is fixed in the middle of the tapered portion. Since the O-ring 615 contacts the second storage hole valve seat 37, the second storage hole valve seat 37 can be reliably sealed.

位置決め部材６３の中心であり軸心方向の内部にリリーフ弁６１を挿入するための位置決め中空孔６３１が形成されている。リリーフ弁６１の円筒部６１２の上端の部分が位置決め中空孔６３１に挿入された形となっている。位置決め部材６３の下端面に弾性部材６２の一端が固設され、リリーフ弁６１の外周円設部６１７の上面に弾性部材６２の他端が固設されている。図１においては、リリーフ弁６１は弾性部材６２により位置決め部材６３から遠ざかる方向へ付勢されるため、リリーフ弁６１は第２収納孔弁座３７に当接している。   A positioning hollow hole 631 for inserting the relief valve 61 is formed in the center of the positioning member 63 and in the axial direction. The upper end portion of the cylindrical portion 612 of the relief valve 61 is inserted into the positioning hollow hole 631. One end of the elastic member 62 is fixed to the lower end surface of the positioning member 63, and the other end of the elastic member 62 is fixed to the upper surface of the outer peripheral circular portion 617 of the relief valve 61. In FIG. 1, since the relief valve 61 is urged away from the positioning member 63 by the elastic member 62, the relief valve 61 is in contact with the second storage hole valve seat 37.

位置決め部材６３の外周部には位置決め部材６３を内包し装置本体部３０と一体成型されたリリーフ弁固定体６４が形成されている。リリーフ弁固定体６４の中心であり軸心方向内部に位置決め部材６３を挿入するための固定体孔６４１が形成されている。固定体孔６４１は、第２収納孔３５と連通している。
位置決め部材６３の外周には雄ネジ６３２が形成されている。また固定体孔６４１の内周面には雌ネジ６４２が形成されている。雄ネジ６３２と雌ネジ６４２は螺合している。位置決め部材６３の上端部にはハンドル６５が一体成型されている。そのため、ハンドル６５を本実施形態においては右回りに回転することにより位置決め部材６３が同様に回転し、位置決め部材６３は下（弁閉）方向へ移動する。反対に左回りにハンドル６５を回転すると位置決め部材６３は上（弁開）方向へ移動する。位置決め部材６３が移動することにより、リリーフ弁６１も同様に移動しリリーフ弁６１の位置を位置決めすることができる。 A relief valve fixing body 64 that includes the positioning member 63 and is integrally formed with the apparatus main body 30 is formed on the outer peripheral portion of the positioning member 63. A fixed body hole 641 for inserting the positioning member 63 is formed at the center of the relief valve fixed body 64 and inside the axial center. The fixed body hole 641 communicates with the second storage hole 35.
A male screw 632 is formed on the outer periphery of the positioning member 63. A female screw 642 is formed on the inner peripheral surface of the fixed body hole 641. The male screw 632 and the female screw 642 are screwed together. A handle 65 is integrally formed at the upper end of the positioning member 63. Therefore, in this embodiment, when the handle 65 is rotated clockwise, the positioning member 63 is similarly rotated, and the positioning member 63 moves downward (valve closing). On the contrary, when the handle 65 is rotated counterclockwise, the positioning member 63 moves in the upward (valve opening) direction. As the positioning member 63 moves, the relief valve 61 moves in the same manner, and the position of the relief valve 61 can be determined.

＜給排気調整システムの作用効果＞
続いて、給排気調整システム１の作用効果について、図１乃至図５を用いて説明する。
図５は、給排気調整装置３を用いた場合のエアオペレイトバルブ２の弁閉時間と操作圧力（排気圧力）との関係を表した図である。図５は、縦軸がエアオペレイトバルブ２内のエアの圧力（ＫＰａ）及びエアオペレイトバルブ２のバルブストローク量を示し、横軸が時間（ｍｓｅｃ）を示す。また、実線Ｘは操作圧力（排気圧力）の値を示し、実線Ｙはエアオペレイトバルブ２のバルブストロークを示す。
スピードコントローラ５により給気されている状態を給気状態Ｔ０とする。リリーフ弁６１及びニードル弁７により排気されている状態を第１排気状態Ｔ１とする。リリーフ弁６１を弁閉し、ニードル弁７により排気されている状態を第２排気状態Ｔ２とする。 <Effect of supply / exhaust adjustment system>
Then, the effect of the air supply / exhaust adjustment system 1 is demonstrated using FIG. 1 thru | or FIG.
FIG. 5 is a graph showing the relationship between the valve closing time of the air operated valve 2 and the operating pressure (exhaust pressure) when the air supply / exhaust adjustment device 3 is used. In FIG. 5, the vertical axis represents the air pressure (KPa) in the air operated valve 2 and the valve stroke amount of the air operated valve 2, and the horizontal axis represents time (msec). A solid line X indicates the value of the operating pressure (exhaust pressure), and a solid line Y indicates the valve stroke of the air operated valve 2.
A state where air is supplied by the speed controller 5 is referred to as an air supply state T0. The state exhausted by the relief valve 61 and the needle valve 7 is defined as a first exhaust state T1. The state where the relief valve 61 is closed and the needle valve 7 is exhausted is referred to as a second exhaust state T2.

＜エアオペレイトバルブに対する給気＞
図４のソレノイドバルブ４から給排気調整装置３を介してエアオペレイトバルブ２に対してエアを供給する。図１に示すように、ソレノイドバルブ４から供給されたエアは、第１ポート３１から第２ポート３２へと流れる。給気時のエア圧力は、図５の実線Ｘで示すように、給気状態Ｔ０において一定の５００ＫＰａである。図１に示すように、第１ポート３１から流出したエアは、パッキン５１０を図１中、上方向から押圧する。パッキン５１０は外周方向に傘状に広がるため、エアは変形部５１２を弾性変形させ主流路３３１を挿通した状態とする。そのため、エアは主流路３３１を大量に流れることができる。
また、本実施形態においては、ニードル弁７は、弁座５１ａから僅かに離間した状態にある。そのため、上記主流路３３１以外にニードル弁孔５８のうち小径孔５８ａからエアが僅かに流出し、主流路３３１に流出している。 <Air supply to the air operated valve>
Air is supplied to the air operated valve 2 from the solenoid valve 4 of FIG. As shown in FIG. 1, the air supplied from the solenoid valve 4 flows from the first port 31 to the second port 32. The air pressure during supply is a constant 500 KPa in the supply state T0 as indicated by the solid line X in FIG. As shown in FIG. 1, the air that has flowed out of the first port 31 presses the packing 510 from above in FIG. Since the packing 510 spreads in an umbrella shape in the outer peripheral direction, the air elastically deforms the deforming portion 512 and is in a state of being inserted through the main flow path 331. Therefore, a large amount of air can flow through the main channel 331.
In the present embodiment, the needle valve 7 is slightly separated from the valve seat 51a. Therefore, in addition to the main flow path 331, air slightly flows out of the small diameter hole 58 a of the needle valve hole 58 and flows out into the main flow path 331.

他方、図１に示す状態においては、エアの圧力は５００ＫＰａと高い。そして、圧力の高いエアは流路３３の全てに行き渡っているため、流路３３内の圧力は一定である。したがって、弾性部材６２の付勢力は通常通り働くため、リリーフ弁６１は第２収納孔弁座３７に当接され第２収納孔弁座３７は弁閉した状態となる。バイパス流路３３２は閉鎖された状態となり、エアはバイパス流路３３２から流れることはない。
したがって、エアオペレイトバルブ２に対して給気する場合は図１に示すように、第１ポート３１から流出したエアは主流路３３１を挿通し、第２ポート３２へ流れる流体に限られる。給気時には、パッキン５１０を弾性変形させ主流路３３１に容積の大きい流路が形成されるため、エアを十分に供給することができる。図５に示すように、給気状態Ｔ０においては、エアオペレイトバルブ２のバルブストロークは実線Ｙで示すように全開状態にある。また、操作圧力（排気圧力）は実線Ｘに示すように一定の高い値となっている。 On the other hand, in the state shown in FIG. 1, the air pressure is as high as 500 KPa. And since the air with a high pressure has spread to all the flow paths 33, the pressure in the flow path 33 is constant. Therefore, since the urging force of the elastic member 62 works normally, the relief valve 61 comes into contact with the second storage hole valve seat 37 and the second storage hole valve seat 37 is closed. The bypass channel 332 is closed, and air does not flow from the bypass channel 332.
Therefore, when supplying air to the air operated valve 2, as shown in FIG. 1, the air flowing out from the first port 31 is limited to the fluid flowing through the main flow path 331 and flowing into the second port 32. When supplying air, the packing 510 is elastically deformed to form a large volume flow path in the main flow path 331, so that air can be sufficiently supplied. As shown in FIG. 5, in the air supply state T <b> 0, the valve stroke of the air operated valve 2 is fully opened as indicated by the solid line Y. Further, the operation pressure (exhaust pressure) is a constant high value as indicated by the solid line X.

＜エアオペレイトバルブからの排気＞
（第１排気状態）
始めに、図２及び図５を用いて給排気調整装置３のエア排気時（第１排気状態）の説明をする。
図４のエアオペレイトバルブ２から給排気調整装置３を介してソレノイドバルブ４に対してエアを排気する。
第１に、第１ポート３１からのエアの供給が止まる。エアの供給が止まることにより、エアにより弾性変形していたパッキン５１０の傘部が広がり主流路３３１を閉鎖した状態とする。主流路３３１はパッキン５１０により閉鎖され、さらに、バイパス流路３３２はリリーフ弁６１により閉鎖されているため、第１ポート３１側のエアは流れ、第１ポート３１側の圧力は低下する。 <Exhaust from the air operated valve>
(First exhaust state)
First, the air supply / exhaust adjustment device 3 during air exhaust (first exhaust state) will be described with reference to FIGS. 2 and 5.
Air is exhausted from the air operated valve 2 of FIG. 4 to the solenoid valve 4 via the air supply / exhaust adjustment device 3.
First, the supply of air from the first port 31 is stopped. By stopping the supply of air, the umbrella portion of the packing 510 that has been elastically deformed by the air spreads, and the main flow path 331 is closed. Since the main flow path 331 is closed by the packing 510 and the bypass flow path 332 is closed by the relief valve 61, the air on the first port 31 side flows and the pressure on the first port 31 side decreases.

第２に、第２ポート３２側には５００ＫＰａの高い操作圧力（排気圧力）のエアがそのまま保持された状態にある。その理由は、主流路３３１はパッキン５１０により閉鎖され、さらに、バイパス流路３３２はリリーフ弁６１により閉鎖されているため、第２ポート３２側の流路内には給気状態の際に給気された操作圧力（排気圧力）の高いエアが保持されるためである。第２ポート３２側の流路が圧力の高いエアで満たされ、第１ポート３１側の流路の圧力が低下することにより、そこには圧力差が生じる。そこで、リリーフ弁６１は第２ポート３２側のエアの圧力により図２中、上方向へ押圧される。リリーフ弁６１を上方向へ押圧するエアの圧力は、弾性部材６２の付勢力より大きいため、図２に示すように、リリーフ弁６１は上昇した状態となり、リリーフバルブ本体６は弁開した状態となる。リリーフバルブ本体６が弁開状態にあるとき、エアは連通内部流路６１９から内部流路６１８を介し、バイパス流路連通孔６１６を通りバイパス流路３３２へと流出する。したがって、第２ポート３２から排気されたエアはリリーフバルブ本体６を介してバイパス流路３３２を挿通し、第１ポート３１へと排気される。   Secondly, air at a high operating pressure (exhaust pressure) of 500 KPa is held on the second port 32 side as it is. The reason is that the main flow path 331 is closed by the packing 510, and further, the bypass flow path 332 is closed by the relief valve 61. This is because air with a high operating pressure (exhaust pressure) is retained. When the flow path on the second port 32 side is filled with high-pressure air and the pressure on the flow path on the first port 31 side is reduced, a pressure difference is generated there. Therefore, the relief valve 61 is pressed upward in FIG. 2 by the air pressure on the second port 32 side. Since the pressure of the air that presses the relief valve 61 upward is larger than the urging force of the elastic member 62, the relief valve 61 is raised and the relief valve body 6 is opened as shown in FIG. Become. When the relief valve main body 6 is in the valve open state, air flows out from the communication internal flow path 619 through the internal flow path 618 to the bypass flow path communication hole 616 to the bypass flow path 332. Therefore, the air exhausted from the second port 32 passes through the bypass flow path 332 via the relief valve body 6 and is exhausted to the first port 31.

他方、本実施形態においては、ニードル弁７は、弁座５１ａから僅かに離間した状態にある。そのため、ニードル弁孔５８のうち小径孔５８ａからエアが僅かに流出し、主流路３３１を介し、第１ポート３１へ流出する。なお、ニードル弁７から流出するエアは僅かであり、第１ポート３１側と第２ポート３２側の流路のエアの圧力差に影響を与えるようなものではない。   On the other hand, in this embodiment, the needle valve 7 is in a state slightly separated from the valve seat 51a. Therefore, air slightly flows out from the small diameter hole 58 a in the needle valve hole 58 and flows out to the first port 31 via the main flow path 331. Note that the amount of air flowing out from the needle valve 7 is very small and does not affect the pressure difference between the air in the flow path on the first port 31 side and the second port 32 side.

第３に、第２ポート３２側にある一定量の図５に示す実線Ｘに示す圧力Ｘ１の５００ＫＰａの排気圧力がリリーフバルブ本体６を介して第１ポート３１へと排気される。それにより、第２ポート３２側の流路の圧力が圧力Ｘ２の値になる。他方、第１ポート３１側の流路は流れてきた圧力Ｘ３の排気圧力により圧力が高くなる。その結果、第１ポート３１側の流路の圧力と第２ポート３２側の流路の圧力がともに圧力Ｘ３となる。そのため、給排気調整装置３内の圧力差がなくなりリリーフ弁６１は、弾性部材６２の付勢力より図３中、下方向へ押圧される。リリーフ弁６１が第２収納孔弁座３７と当接することでバイパス流路３３２を閉鎖する。したがって、バイパス流路３３２を大量のエアが流出できなくなる。   Third, a certain amount of exhaust pressure of 500 KPa, which is the pressure X1 indicated by the solid line X shown in FIG. 5, on the second port 32 side is exhausted to the first port 31 via the relief valve body 6. Thereby, the pressure of the flow path on the second port 32 side becomes the value of the pressure X2. On the other hand, the pressure on the flow path on the first port 31 side is increased by the exhaust pressure of the pressure X3 that has flowed. As a result, the pressure in the flow path on the first port 31 side and the pressure in the flow path on the second port 32 side both become the pressure X3. Therefore, the pressure difference in the air supply / exhaust adjustment device 3 disappears, and the relief valve 61 is pressed downward in FIG. 3 by the urging force of the elastic member 62. The relief valve 61 contacts the second storage hole valve seat 37 to close the bypass flow path 332. Accordingly, a large amount of air cannot flow out of the bypass channel 332.

上記第３の場合においても、ニードル弁７は、弁座５１ａから僅かに離間した状態にある。そのため、ニードル弁孔５８のうち小径孔５８ａからエアが僅かに流出し、主流路３３１を介し、第１ポート３１へ流出している。   Also in the third case, the needle valve 7 is slightly separated from the valve seat 51a. Therefore, air slightly flows out from the small diameter hole 58 a of the needle valve hole 58 and flows out to the first port 31 via the main flow path 331.

第１排気状態においては、リリーフバルブ本体６内のバイパス流路３３２に容積が大きい流路が形成されるため、エアを十分に排気することができる。したがって、速くエアを排気することができる。そのため、図５に示す実線ＹのストロークＹ１からＹ２にかけてバルブストロークを急激に下げることができる。   In the first exhaust state, a flow path having a large volume is formed in the bypass flow path 332 in the relief valve body 6, so that air can be exhausted sufficiently. Therefore, air can be exhausted quickly. Therefore, the valve stroke can be sharply lowered from the stroke Y1 to Y2 of the solid line Y shown in FIG.

また、本実施形態においては、第１排気状態Ｔ１の始まりは、図５に示す実線Ｘが下がり始める圧力Ｘ１からであり、第１排気状態Ｔ１の終わりは実線Ｘが約２５０ＫＰａを超えて圧力がなだらかになる圧力Ｘ２までである。操作圧力（排気圧力）が圧力Ｘ２を超えるまでの時間は１００ｍｓｅｃである。圧力Ｘ２を超えると、第１ポート３１側の流路と第２ポート３２側の流路の圧力差が小さくなり、リリーフ弁６１は弁閉するため、実線Ｘは圧力Ｘ２以降なだらかになるのである。したがって、リリーフ弁６１が１００ｍｓｅｃの短い時間で急激に弁開弁閉をするため、図５に示すようにエアオペレイトバルブ２のバルブストロークをストロークＹ１からＹ２まで直に移動することができる。ストロークＹ２は弁開状態から弁開状態へ向けて約半分動作した状態である。弁閉時間を短くすることで、半導体製造装置において半導体を従来よりも多く生産することができるため生産性を向上させることができる。   Further, in the present embodiment, the start of the first exhaust state T1 starts from the pressure X1 at which the solid line X shown in FIG. 5 starts to decrease, and the end of the first exhaust state T1 is the pressure at which the solid line X exceeds about 250 KPa. Up to a gentle pressure X2. The time until the operating pressure (exhaust pressure) exceeds the pressure X2 is 100 msec. When the pressure X2 is exceeded, the pressure difference between the flow path on the first port 31 side and the flow path on the second port 32 side becomes small, and the relief valve 61 closes, so the solid line X becomes gentle after the pressure X2. . Therefore, since the relief valve 61 opens and closes abruptly in a short time of 100 msec, the valve stroke of the air operated valve 2 can be moved directly from the stroke Y1 to Y2 as shown in FIG. Stroke Y2 is a state in which about half of the operation is performed from the valve open state to the valve open state. By shortening the valve closing time, more semiconductors can be produced in the semiconductor manufacturing apparatus than in the past, so that productivity can be improved.

（第２排気状態）
続いて、給排気調整装置３のエア排気時（第２排気状態）の説明をする。
第４に、エアはバイパス流路３３２から流出できなくなる。そのため、エアが流出するのはニードル弁孔５８のうち小径孔５８ａ、外周連通流路５８ｄを介して主流路３３１に流出し、第１ポート３１へ流出するだけとなる。
したがって、操作圧力（排気圧力）は少なくなるため図５の実線Ｙに示すようにバルブストロークは第２排気状態Ｔ２以降のストロークＹ２からＹ３までは時間が掛かり遅くなる。本実施形態においては、第２排気状態Ｔ２以降のストロークＹ２からＹ３までは１００ｍｓｅｃ〜２００ｍｓｅｃ掛かる。そのため、エアオペレイトバルブ２の主弁体が主弁座に当接するまで時間が遅くなる。エアオペレイトバルブ２の主弁体が主弁座に当接するまでのバルブストロークをゆっくりすることができるため、主弁体と主弁座が衝突（急激に当接）する際に生じるウォータハンマを抑制することができる。 (Second exhaust state)
Subsequently, a description will be given of the air supply / exhaust adjustment device 3 during air exhaust (second exhaust state).
Fourth, air cannot flow out of the bypass flow path 332. Therefore, the air flows out to the main flow path 331 through the small diameter hole 58 a and the outer peripheral communication flow path 58 d of the needle valve hole 58, and only flows out to the first port 31.
Therefore, since the operation pressure (exhaust pressure) is reduced, the valve stroke is slow and slow from the stroke Y2 to Y3 after the second exhaust state T2 as shown by the solid line Y in FIG. In the present embodiment, the strokes Y2 to Y3 after the second exhaust state T2 take 100 msec to 200 msec. Therefore, the time is delayed until the main valve body of the air operated valve 2 comes into contact with the main valve seat. Since the valve stroke until the main valve body of the air operated valve 2 comes into contact with the main valve seat can be slowed, the water hammer generated when the main valve body and the main valve seat collide (rapidly contact) is reduced. Can be suppressed.

すなわち、エアオペレイトバルブ２の操作圧力（排気圧力）を急激に低下させるのではなく、ニードル弁７を用いてエアを僅かずつに流すことで、急激な操作圧力（排気圧力）の減少によるウォータハンマを抑制することができる。ウォータハンマを抑制することができることにより、パーティクルの低減を図ることができる。また、エアオペレイトバルブ２の急激な弁閉を防止することができるため、エアオペレイトバルブ２の耐久性を向上させることができる。   That is, instead of abruptly reducing the operating pressure (exhaust pressure) of the air operated valve 2, the water is caused by a rapid decrease in the operating pressure (exhaust pressure) by flowing the air little by little using the needle valve 7. Hammer can be suppressed. By reducing the water hammer, particles can be reduced. Moreover, since the sudden closing of the air operated valve 2 can be prevented, the durability of the air operated valve 2 can be improved.

本実施形態によれば、図１乃至図３に示すニードル弁７は、操作部５５を回転させることにより、軸心方向に移動することができる。すなわち、操作部５５の雌ネジ５５ａと回転部５２の雄ネジ５２ａが螺合し、さらに回転部５２の雌ネジ５５ｂとニードル弁７の雄ネジ７４が螺合することで差動ネジとして機能する。差動ネジとして機能することによりニードル弁７の軸心方向の調整を行うことができる。ニードル弁７の軸心方向の調整を行えることにより、第２排気状態における主流路３３１を流れる排気流量を調整することができる。そのため、第２排気状態における排気時間を調整することができる。第２排気状態における排気時間を調整することができることにより、エアオペレイトバルブ２をウォータハンマが起きることなく素早く弁閉することができる。   According to the present embodiment, the needle valve 7 shown in FIGS. 1 to 3 can be moved in the axial direction by rotating the operation portion 55. That is, the female screw 55a of the operation unit 55 and the male screw 52a of the rotating unit 52 are screwed together, and the female screw 55b of the rotating unit 52 and the male screw 74 of the needle valve 7 are screwed together to function as a differential screw. . By functioning as a differential screw, the axial direction of the needle valve 7 can be adjusted. By adjusting the axial direction of the needle valve 7, the exhaust flow rate flowing through the main flow path 331 in the second exhaust state can be adjusted. Therefore, the exhaust time in the second exhaust state can be adjusted. Since the exhaust time in the second exhaust state can be adjusted, the air operated valve 2 can be quickly closed without causing water hammer.

また、本実施形態によれば、図１乃至図３に示すリリーフ弁６１は、ハンドル６５を回転させることにより、軸心方向に移動することができる。すなわち、ハンドル６５を回転させることにより位置決め部材６３の雄ネジ６３２がリリーフ弁固定体６４の雌ネジ６４２と螺合し軸心方向に移動することができる。位置決め部材６３が軸心方向に移動することにより、リリーフ弁６１の位置を移動することができる。そのため、第１排気状態におけるバイパス流路３３２を流れる排気を調整することができる。第１排気状態における排気時間を調整することができることにより、エアオペレイトバルブ２を素早く弁閉することができる。そのため、半導体製造装置において半導体を従来よりも多く生産することができ生産性を向上させることができる。   Further, according to this embodiment, the relief valve 61 shown in FIGS. 1 to 3 can move in the axial direction by rotating the handle 65. That is, by rotating the handle 65, the male screw 632 of the positioning member 63 can be screwed with the female screw 642 of the relief valve fixing body 64 and moved in the axial direction. When the positioning member 63 moves in the axial direction, the position of the relief valve 61 can be moved. Therefore, the exhaust flowing through the bypass channel 332 in the first exhaust state can be adjusted. Since the exhaust time in the first exhaust state can be adjusted, the air operated valve 2 can be quickly closed. Therefore, more semiconductors can be produced in the semiconductor manufacturing apparatus than before, and productivity can be improved.

また、本実施形態によれば、図１乃至図３に示すニードル弁７及びリリーフ弁６１を調整することができることにより、第１排気状態及び第２排気状態における操作圧力（排気圧力）を調整することができる。ニードル弁７及びリリーフ弁６１は、既存のエアオペレイトバルブに対して後付け可能な給排気調整装置３に装着されている。そのため、既存のエアオペレイトバルブを後から設置した給排気調整装置３により弁閉時間を調整することができるため、様々なエアオペレイトバルブに対応することができる。すなわち、エアオペレイトバルブの大きさが異なる場合や、現場によって複数の空気圧を用いるような条件が異なる場合においても、エアオペレイトバルブの弁閉時間を調整することができるため、様々な仕様に合わせ個別にエアオペレイトバルブを用意する必要がない。したがって、エアオペレイトバルブの個別設計に対するコストを削減することができる。   Further, according to the present embodiment, the needle valve 7 and the relief valve 61 shown in FIGS. 1 to 3 can be adjusted, thereby adjusting the operation pressure (exhaust pressure) in the first exhaust state and the second exhaust state. be able to. The needle valve 7 and the relief valve 61 are mounted on a supply / exhaust adjustment device 3 that can be retrofitted to an existing air operated valve. For this reason, the valve closing time can be adjusted by the air supply / exhaust adjustment device 3 in which the existing air operated valve is installed later, so that various air operated valves can be handled. In other words, even when the size of the air operated valve is different or when the conditions for using multiple air pressures vary depending on the site, the valve closing time of the air operated valve can be adjusted. There is no need to prepare individual air operated valves. Therefore, the cost for the individual design of the air operated valve can be reduced.

また、本実施形態によれば、第１排気状態Ｔ１及び第２排気状態Ｔ２を有することにより多段階的に排気することができる。すなわち、第１排気状態Ｔ１と第２排気状態Ｔ２で排気の流量が異なる。そのため、第１排気状態Ｔ１と第２排気状態Ｔ２とではエアオペレイトバルブ２の開閉速度を多段階的に変更することができる。または、エアシリンダの動作速度を多段階的に変更することができる。   Moreover, according to this embodiment, it can exhaust in multistage by having the 1st exhaust state T1 and the 2nd exhaust state T2. That is, the flow rate of exhaust differs between the first exhaust state T1 and the second exhaust state T2. Therefore, the opening / closing speed of the air operated valve 2 can be changed in multiple steps between the first exhaust state T1 and the second exhaust state T2. Alternatively, the operating speed of the air cylinder can be changed in multiple steps.

この実施形態によれば、以下に示す効果を得ることができる。
（１）主流路３３１を流れる操作圧力（排気圧力）を調整するニードル弁７と、主流路３３１に対して形成されたバイパス流路３３２を流れる操作圧力（排気圧力）を調整可能にするリリーフ弁６１とを有する。また、ニードル弁７とリリーフ弁６１はともに操作圧力（排気圧力）を調整することができるため、エアオペレイトバルブ２に対する操作圧力（排気圧力）を使用状況に応じて調整することができる。
操作圧力（排気圧力）を使用状況に応じて調整することができるため、エアオペレイトバルブ２の弁閉時間を短くすることができる。本実施形態においては、図５及び図６に示すように従来スピードコントローラのみを用いてエアオペレイトバルブ２を使用していた場合、排気状態Ｓ１において弁閉までに１４００ｍｓｅｃの時間が掛かっていた。その場合と比較して、第１排気状態Ｔ１及び第２排気状態Ｔ２を加えた３００ｍｓｅｃの時間で弁閉することができるようになった。すなわち、従来と比較してウォータハンマを抑制しながら約２１％の時間で弁閉できるようになった。弁閉時間を短くすることで、半導体製造装置において半導体を従来よりも多く生産することができ生産性を向上させることができる。さらに、弁閉時間を短くすることにより、過渡状態が短くなり正確な薬液等の供給ができるため半導体の品質を向上させることもできる。 According to this embodiment, the following effects can be obtained.
(1) A needle valve 7 that adjusts the operating pressure (exhaust pressure) that flows through the main flow path 331, and a relief valve that makes it possible to adjust the operating pressure (exhaust pressure) that flows through the bypass flow path 332 formed with respect to the main flow path 331. 61. Further, since both the needle valve 7 and the relief valve 61 can adjust the operating pressure (exhaust pressure), the operating pressure (exhaust pressure) for the air operated valve 2 can be adjusted according to the use situation.
Since the operating pressure (exhaust pressure) can be adjusted according to the use situation, the valve closing time of the air operated valve 2 can be shortened. In the present embodiment, as shown in FIGS. 5 and 6, when the air operated valve 2 is used using only the conventional speed controller, it takes 1400 msec to close the valve in the exhaust state S1. Compared to that case, the valve can be closed in 300 msec including the first exhaust state T1 and the second exhaust state T2. In other words, the valve can be closed in about 21% of the time while suppressing the water hammer as compared with the prior art. By shortening the valve closing time, more semiconductors can be produced in the semiconductor manufacturing apparatus than before, and the productivity can be improved. Furthermore, by shortening the valve closing time, the transient state is shortened, and an accurate chemical solution can be supplied, so that the quality of the semiconductor can be improved.

また、リリーフ弁６１及びニードル弁７を有するため、エアオペレイトバルブ２の大きさが異なる場合や、現場によって複数の空気圧を用いるような条件が異なる場合においても、エアオペレイトバルブ２の弁閉時間を調整し短くすることができる。そのため、エアオペレイトバルブ２について専用品を用意する必要がないためコストダウンをすることができる。
また、ウォータハンマを抑制することができるため、エアオペレイトバルブに生じる衝撃が抑えられるため、パーティクルの低減及びエアオペレイトバルブの耐久性を向上させることができる。
また、給排気調整装置３は、リリーフ弁６１及びスピードコントローラ２が固設されマニホールド化されているため、従来に比べてスペースが少ないところでも設置することができる。 Further, since the relief valve 61 and the needle valve 7 are provided, the air operated valve 2 is closed even when the size of the air operated valve 2 is different or when the conditions for using a plurality of air pressures are different depending on the site. Time can be adjusted and shortened. For this reason, it is not necessary to prepare a dedicated product for the air operated valve 2, so that the cost can be reduced.
Further, since the water hammer can be suppressed, the impact generated in the air operated valve can be suppressed, so that the particles can be reduced and the durability of the air operated valve can be improved.
In addition, since the relief valve 61 and the speed controller 2 are fixedly installed and manifolded, the air supply / exhaust adjustment device 3 can be installed even in a space that is smaller than the conventional one.

（２）リリーフ弁６１及びニードル弁７を用いて第１排気状態Ｔ１で排気することにより、排気エアを多量とすることができる。そのため、図５に示すように、エアオペレイトバルブ２に給排気調整装置３を用いた場合には、主弁体を弁閉状態へ向けて約半分動作したところまで１００ｍｓｅｃで移動させることができる。また、リリーフ弁６１を弁閉し、ニードル弁７を用いて第２排気状態Ｔ２で排気することにより、排気エアを少量とすることができる。そのため、エアオペレイトバルブ２の主弁体と主弁座が当接する手前から主弁体の移動速度が遅くなり、主弁体を主弁座に対して１００ｍｓｅｃから２００ｍｓｅｃの時間でゆっくり弁閉させることができる。 (2) Exhaust air can be increased by exhausting in the first exhaust state T1 using the relief valve 61 and the needle valve 7. Therefore, as shown in FIG. 5, when the air supply / exhaust adjustment device 3 is used for the air operated valve 2, the main valve body can be moved in about 100 msec to a position where the main valve body is operated approximately half toward the valve closed state. . Further, by closing the relief valve 61 and using the needle valve 7 to exhaust in the second exhaust state T2, the amount of exhaust air can be reduced. For this reason, the moving speed of the main valve body is slowed before the main valve body of the air operated valve 2 comes into contact with the main valve seat, and the main valve body is slowly closed with respect to the main valve seat in a time of 100 msec to 200 msec. be able to.

すなわち、主弁体を速く閉じたい部分では第１排気状態Ｔ１となり排気エアを多量とすることができ、主弁体をゆっくり閉じたい部分では第２排気状態Ｔ２となり排気エアを少量とすることができる。
また、第１排気状態Ｔ１において排気エアを多量としたい場合には、リリーフ弁６１を調整し、操作圧力（排気圧力）を多くすることができる。リリーフ弁６１を調整し操作圧力（排気圧力）を多くすることにより、主弁体を主弁座方向に素早く移動させることができる。 That is, when the main valve body is desired to be closed quickly, the first exhaust state T1 can be obtained, and a large amount of exhaust air can be obtained. When the main valve body is desired to be closed slowly, the second exhaust state T2 can be obtained, and the exhaust air can be reduced. it can.
Further, when it is desired to increase the amount of exhaust air in the first exhaust state T1, the relief valve 61 can be adjusted to increase the operating pressure (exhaust pressure). By adjusting the relief valve 61 and increasing the operating pressure (exhaust pressure), the main valve body can be quickly moved in the main valve seat direction.

（３）リリーフ弁６１及びニードル弁７の弁開度を調整することができることにより、排気時間を調整することができる。すなわち、リリーフ弁６１及びニードル弁７の弁開度を調整し操作圧力（排気圧力）を調整することができため、主弁体と主弁座の当接するために係る時間を調整することができる。そのため、排気時間を調整することができる。排気時間を調整することができることにより、エアオペレイトバルブ２をウォータハンマが起きることなく素早く弁閉することができる。 (3) Since the valve opening degree of the relief valve 61 and the needle valve 7 can be adjusted, the exhaust time can be adjusted. That is, since the operating pressure (exhaust pressure) can be adjusted by adjusting the valve openings of the relief valve 61 and the needle valve 7, the time required for the main valve body and the main valve seat to contact each other can be adjusted. . Therefore, the exhaust time can be adjusted. Since the exhaust time can be adjusted, the air operated valve 2 can be quickly closed without causing water hammer.

尚、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で色々な応用が可能である。
例えば、本実施形態においては、給排気調整装置３は、ノーマルクローズタイプのものとしたが、給気口と排気口を逆に繋ぐことでノーマルオープンタイプとすることができる。一つの給排気調整装置３がノーマルオープンタイプとノーマルクローズタイプの両方の機能を有することにより給排気調整装置３を在庫として持つときに両方持つ必要がないためコストの削減を図ることができる。 Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various applications are possible without departing from the spirit of the invention.
For example, in the present embodiment, the air supply / exhaust adjustment device 3 is of a normally closed type, but can be of a normally open type by connecting the air supply port and the exhaust port in reverse. Since one air supply / exhaust adjustment device 3 has both functions of a normal open type and a normal close type, it is not necessary to have both of the air supply / exhaust adjustment devices 3 as stock, so that the cost can be reduced.

例えば、本実施形態においては図４に示す給排気調整装置の接続方法を示したが、図４に示す給排気調整装置の接続方法以外にも様々な接続方法ができる。   For example, in the present embodiment, the connection method of the air supply / exhaust adjustment device shown in FIG. 4 is shown, but various connection methods other than the connection method of the air supply / exhaust adjustment device shown in FIG.

例えば、本実施形態においては給排気調整装置をエアオペレイトバルブに使用することとしたが、エアオペレイトバルブをエアシリンダに変更することもできる。エアシリンダに対して本給排気調整装置を用いることにより、エアシリンダが閉まる際に生じる衝撃の吸収及びウォータハンマを抑制することができる。   For example, in the present embodiment, the air supply / exhaust adjustment device is used for the air operated valve, but the air operated valve can be changed to an air cylinder. By using this air supply / exhaust adjustment device for the air cylinder, it is possible to suppress the absorption of shock and water hammer that occur when the air cylinder is closed.

例えば、本実施形態においては給排気調整装置をエアオペレイトバルブと別途設けることとしたが、エアオペレイトバルブと一体化した構造とすることもできる。エアオペレイトバルブと一体化することによりエアオペレイトバルブの第１排気状態及び第２排気状態における弁閉時間を調整することができる。また、省スペース化を図ることができる。   For example, in the present embodiment, the air supply / exhaust adjustment device is provided separately from the air operated valve, but a structure integrated with the air operated valve may be employed. By integrating with the air operated valve, the valve closing time of the air operated valve in the first exhaust state and the second exhaust state can be adjusted. Moreover, space saving can be achieved.

例えば、本実施形態においては給排気調整装置をソレノイドバルブと別途設けることとしたが、ソレノイドバルブと一体化した構造とすることもできる。一体化することにより省スペース化を図ることができる。   For example, in the present embodiment, the air supply / exhaust adjustment device is provided separately from the solenoid valve. However, a structure integrated with the solenoid valve may be employed. Space integration can be achieved by integrating them.

例えば、本実施形態の変形例１に係る図７に給排気調整システム１０の全体構成図を示す。
給排気調整システム１０は、エアオペレイトバルブ２を開閉させるためのシステムである。図７に示すように、給排気調整システム１０は、エアオペレイトバルブ２、２つの給排気調整装置３Ａ、３Ｂ、及び、ソレノイドバルブ４を有する。エアオペレイトバルブ２とソレノイドバルブ４は流路で連結されており、２つの給排気調整装置３Ａ、３Ｂは流路に接続されている。給排気調整装置３Ａ、３Ｂは流路に対して直列的に接続されている。
２つの給排気調整装置３Ａ、３Ｂが接続されていることにより、エアオペレイトバルブ２を多段階的に動作可変することができる。すなわち、給排気調整装置３Ｂが給排気調整装置３Ａへの流体の供給量を調整することができ、さらに給排気調整装置３Ａがエアオペレイトバルブ２への流体の供給量を調整することができるため、多段階的に動作可変することができる。
本変形例においては、給排気調整装置を２つとしたが、２つ以上とすることによりさらに多段階的に動作可変することができる。 For example, an overall configuration diagram of the air supply / exhaust adjustment system 10 is shown in FIG. 7 according to the first modification of the present embodiment.
The air supply / exhaust adjustment system 10 is a system for opening and closing the air operated valve 2. As shown in FIG. 7, the supply / exhaust adjustment system 10 includes an air operated valve 2, two supply / exhaust adjustment devices 3 </ b> A, 3 </ b> B, and a solenoid valve 4. The air operated valve 2 and the solenoid valve 4 are connected by a flow path, and the two air supply / exhaust adjustment devices 3A and 3B are connected to the flow path. The supply / exhaust adjustment devices 3A and 3B are connected in series to the flow path.
Since the two air supply / exhaust adjustment devices 3A and 3B are connected, the operation of the air operated valve 2 can be varied in multiple stages. That is, the supply / exhaust adjustment device 3B can adjust the amount of fluid supplied to the supply / exhaust adjustment device 3A, and the supply / exhaust adjustment device 3A can adjust the supply amount of fluid to the air operated valve 2. Therefore, the operation can be varied in multiple steps.
In this modification, the number of the air supply / exhaust adjustment devices is two. However, by using two or more, the operation can be varied in multiple steps.

例えば、本実施形態の変形例２に係る図８に給排気調整システム２０の全体構成図を示す。
変形例１においては、２つの給排気調整装置を直列的に接続したが、変形例２においては図８に示すように２つの給排気調整装置３Ｄ、３Ｅを並列的に接続したものである。変形例２においては、給排気調整装置３Ｄ、３Ｅを並列的に接続した以外の構成は変形例１となんら変わるところがない。また、作用効果についても変わるところがないため詳細な説明を割愛する。
なお、本変形例においては、給排気調整装置を２つとしたが、２つ以上とすることによりさらに多段階的に動作可変することができる。 For example, an overall configuration diagram of the air supply / exhaust adjustment system 20 is shown in FIG. 8 according to the second modification of the present embodiment.
In the first modification, two air supply / exhaust adjustment devices are connected in series, but in the second modification, as shown in FIG. 8, two air supply / exhaust adjustment devices 3D and 3E are connected in parallel. In the second modification, the configuration other than the connection of the air supply / exhaust adjustment devices 3D and 3E in parallel is the same as that in the first modification. In addition, since there is no change in the operational effects, a detailed description is omitted.
In this modification, the number of the air supply / exhaust adjustment devices is two, but the operation can be varied in more stages by using two or more.

例えば、本実施形態においては、給気口から排気口へと排気する旨記載したが、排気口から給気口へと排気されてもよい。図４に示す、エアオペレイトバルブ２からソレノイドバルブ４へと排気することもでき、また、ソレノイドバルブ４からエアオペレイトバルブ２へと排気することもできる。   For example, in the present embodiment, it is described that the exhaust is performed from the air supply port to the exhaust port. However, the air may be exhausted from the exhaust port to the air supply port. The air operated valve 2 shown in FIG. 4 can be exhausted to the solenoid valve 4, and the solenoid valve 4 can be exhausted to the air operated valve 2.

例えば、本実施形態においてはエアオペレイトバルブの弁閉時の速度を遅くすることとしたが、弁開時の速度を遅くすることもできる。そのためには、エアオペレイトバルブへの給気口と排気口を入れ替えることにより変更することができる。
その他、排気の流れを本実施形態と変更し逆にしたとしても使用することができる。 For example, in the present embodiment, the speed when the air operated valve is closed is decreased, but the speed when the valve is opened can also be decreased. For that purpose, it can be changed by replacing the air supply port and the exhaust port to the air operated valve.
In addition, it can be used even if the flow of the exhaust gas is changed from that of the present embodiment and reversed.

３ 給排気調整装置
３０ 本体部
３１ 第１ポート
３２ 第２ポート
３３１ 主流路
３３２ バイパス流路
５ スピードコントローラ
６ リリーフ弁
７ ニードル弁 3 Supply / Exhaust Adjustment Device 30 Body 31 First Port 32 Second Port 331 Main Flow Path 332 Bypass Flow Path 5 Speed Controller 6 Relief Valve 7 Needle Valve

Claims (5)

第１ポート及び第２ポートを連通する主流路が形成された本体部と、前記本体部の前記主流路内を流れる流体の排気量をニードル弁により調整可能にするスピードコントローラを備える給排気調整装置において、
前記主流路に対してバイパス流路が形成されていること、
前記バイパス流路を流れる排気を調整可能にするリリーフ弁を有すること、
前記スピードコントローラのボディの内部に前記ニードル弁が形成され、前記ボディの外周には、パッキンが固定されており、前記パッキンは、径方向外方に傘状に広がり弾性変形可能な変形部が形成されていること、
前記第１ポートから前記流体が前記主流路に流れ込んだ場合、前記変形部が閉じるように弾性変形し、前記主流路が連通すること、
前記リリーフ弁自体の外周には、凸状の外周円設部が形成されており、前記外周円設部は、前記バイパス流路と前記リリーフ弁の先端に形成される弁体部が当接する弁座との間に位置し、前記外周円設部が排気圧力を受けること、
を特徴とする給排気調整装置。 A main body part in which a main flow path communicating with the first port and the second port is formed, and a supply / exhaust adjustment device comprising a speed controller that can adjust an exhaust amount of fluid flowing in the main flow path of the main body part by a needle valve In
A bypass channel is formed with respect to the main channel;
Having a relief valve that allows adjustment of the exhaust flowing through the bypass flow path;
The needle valve is formed inside the body of the speed controller, and a packing is fixed to the outer periphery of the body, and the packing spreads radially outward and forms an elastically deformable deformable portion. is being done,
When the fluid flows from the first port into the main flow path, the deformation portion is elastically deformed so as to be closed, and the main flow path is communicated;
Outside circumference of the relief valve itself, convex peripheral circle portion is formed, the outer circumference portion is, the valve body portion formed at the distal end of the bypass flow path and the relief valve is in contact Located between the valve seat and the outer peripheral circular portion receiving exhaust pressure ;
An air supply / exhaust adjustment device characterized by the above. 請求項１に記載する給排気調整装置において、
前記リリーフ弁は、円筒部を有すること、
を特徴とする給排気調整装置。 In the air supply and exhaust adjustment device according to claim 1,
The relief valve has a cylindrical portion;
An air supply / exhaust adjustment device characterized by the above. 請求項１又は請求項２に記載する給排気調整装置において、
前記スピードコントローラには操作部が形成されていること、
前記リリーフ弁にはハンドルが形成されていること、
前記操作部と前記ハンドルは同一方向から操作できること、
を特徴とする給排気調整装置。 In the air supply and exhaust adjustment apparatus according to claim 1 or 2,
The speed controller is formed with an operation unit,
A handle is formed on the relief valve;
The operation portion and the handle can be operated from the same direction;
An air supply / exhaust adjustment device characterized by the above. 請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載する給排気調整装置において、
ウォータハンマを抑制することができること、
を特徴とする給排気調整装置。 In the air supply and exhaust adjustment device according to any one of claims 1 to 3,
Being able to suppress water hammer,
An air supply / exhaust adjustment device characterized by the above. 請求項１乃至請求項４のいずれか一つに記載する給排気調整装置を有する給排気調整システムにおいて、
前記給排気調整装置が複数個備えられていること、
前記複数の給排気調整装置が直列的又は並列的に配置されていること、
を特徴とする給排気調整システム。 A supply / exhaust adjustment system comprising the supply / exhaust adjustment device according to any one of claims 1 to 4,
A plurality of the air supply and exhaust adjustment devices are provided;
The plurality of air supply and exhaust adjustment devices are arranged in series or in parallel;
Supply and exhaust adjustment system characterized by.
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