JP5727278B2 - 酸化物超電導薄膜線材の製造方法 - Google Patents
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Description
請求項1に記載の発明は、
金属基板上に、中間層、酸化物超電導層、銀保護層、銅安定化層が積層されている酸化物超電薄膜線材の製造方法であって、
幅広の金属基板上に、中間層、酸化物超電導層、第1銀保護層を順に形成して複合線材を製造する複合線材製造工程と、
前記複合線材を酸素雰囲気下で加熱処理して、前記酸化物超電導層に酸素を導入する酸素導入工程と、
前記複合線材を所定の幅に切断して細線加工する細線加工工程と、
細線加工された前記複合線材の周囲に、蒸着法を用いて前記酸化物超電導層および前記中間層に応力を発生させずに第2銀保護層を形成する第2銀保護層形成工程と、
前記第2銀保護層が形成された複合線材の周囲に、電気めっき法により銅安定化層を形成する銅安定化層形成工程
とが設けられていることを特徴とする酸化物超電導薄膜線材の製造方法である。
前記第2銀保護層形成工程と、前記銅安定化層形成工程との間に、
前記第2銀保護層が形成された前記複合線材を酸素雰囲気下で加熱処理して、前記酸化物超電導層に酸素を導入する酸素導入工程が設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載の酸化物超電導薄膜線材の製造方法である。
金属基板上に、中間層、酸化物超電導層、銀保護層、銅安定化層が積層されている酸化物超電薄膜線材の製造方法であって、
幅広の金属基板上に、中間層、酸化物超電導層、第1銀保護層を順に形成して複合線材を製造する複合線材製造工程と、
前記複合線材を所定の幅に切断して細線加工する細線加工工程と、
細線加工された前記複合線材の周囲に、蒸着法を用いて前記酸化物超電導層および前記中間層に応力を発生させずに第2銀保護層を形成する第2銀保護層形成工程と、
前記第2銀保護層が形成された複合線材を酸素雰囲気下で加熱処理して、前記酸化物超電導層に酸素を導入する酸素導入工程と、
前記第2銀保護層が形成された複合線材の周囲に、電気めっき法により銅安定化層を形成する銅安定化層形成工程
とが設けられていることを特徴とする酸化物超電導薄膜線材の製造方法。
金属基板上に、中間層、酸化物超電導層、銀保護層、銅安定化層が積層されている酸化物超電薄膜線材の製造方法であって、
幅広の金属基板上に、中間層、酸化物超電導層を順に形成して複合線材を製造する複合線材製造工程と、
前記複合線材を所定の幅に切断して細線加工する細線加工工程と、
細線加工された複合線材の周囲に、蒸着法を用いて前記酸化物超電導層および前記中間層に応力を発生させずに銀保護層を形成する銀保護層形成工程と、
前記銀保護層が形成された前記複合線材を酸素雰囲気下で加熱処理して、前記酸化物超電導層に酸素を導入する酸素導入工程と、
前記酸化物超電導層に酸素が導入された前記複合線材の周囲に、電気めっき法により銅安定化層を形成する銅安定化層形成工程
とが設けられていることを特徴とする酸化物超電導薄膜線材の製造方法である。
前記蒸着法が、DCスパッタ法、熱蒸着法、電子ビーム蒸着法のいずれかの蒸着法であることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の酸化物超電導薄膜線材の製造方法である。
前記細線加工工程が、機械スリットを用いた細線加工であることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の酸化物超電導薄膜線材の製造方法である。
本実施の形態においては、第2銀保護層を形成した後に銅安定化層を形成している。図1は本実施の形態における酸化物超電導薄膜線材の製造手順を説明する図であり、図4は酸化物超電導薄膜線材の構成を模式的に示す断面図である。図4において、1は酸化物超電導薄膜線材、11は金属基板、12は3層からなる中間層、13は酸化物超電導層、14は第1銀保護層、15は銅安定化層である。
(1)配向金属基板
酸化物超電導体をc軸配向してエピタキシャル成長させるため、金属基板11としては配向金属基板を用いることが好ましい。具体的な配向金属基板としては、IBAD基板、Ni−W合金基板、SUS等をベース金属としたクラッドタイプの金属基板を挙げることができる。
金属基板11上に、RFスパッタ法等を用いて、所定の厚みで、セラミックからなる中間層12を形成する。中間層12は前記したように、通常は複数の層からなる中間層膜として形成され、図4においては、金属基板11側から順に、CeO2層12c、YSZ層12b、CeO2層12aの3層構造で構成されている。
次に、中間層12上に、PLD法等を用いて、所定の厚みのRE123系超電導体からなる酸化物超電導層13を形成する。具体的なRE123系超電導体としては、GdBa2Cu3Ox超電導体等を挙げることができる。
次に、酸化物超電導層13上に、DCスパッタ法などの蒸着法を用いて、所定の厚みの第1銀保護層14を形成する。
次に、酸素雰囲気下で加熱処理する酸素アニールを行い(酸素導入工程)、酸化物超電導層に酸素を導入する。
次に、作製した複合線材をスリッタを用いて、所定の幅に切断し、切断されて細線化された各複合線材を巻取る。
次に、細線加工を施した複合線材の切断面に、第1銀保護層の形成と同様に、蒸着法により所定の厚みで第2銀保護層を形成する。これにより、細線加工により破壊されて生じた超電導層や中間層の隙間が塞がれると共に、第1銀保護層14と金属基板11とが第2銀保護層を介して繋がる。
次に、第2銀保護層が形成された複合線材の周囲に、電気めっき法により、所定の厚みで銅安定化層を形成して、酸化物超電導薄膜線材の製造を完了する。このとき、銀保護層と配向金属基板とは繋がっているため、銅メッキ層の応力による銀保護層の剥離を抑制することができる。
最後に、作製した酸化物超電導薄膜線材の臨界電流Icを所定の検査方法により測定し、所定の超電導特性を有していることを確認する。
図2は、第二の実施の形態における酸化物超電導薄膜線材の製造手順を説明する図である。図2に示すように、本実施の形態においては、第2銀保護層を形成した後に、第2の酸素導入工程(酸素アニール)を設け、その後、銅安定化層を形成している。
図3は、第三の実施の形態における酸化物超電導薄膜線材の製造手順を説明する図である。図3に示すように、本実施の形態においては、複合線材製造の過程において第1銀保護層を形成しないままスリットを行い、その後、銀保護層の形成を行い、さらに酸素アニールを行っている。
11 金属基板
12 中間層
12a CeO2層
12b YSZ層
12c CeO2層
13 酸化物超電導層
14 第1銀保護層
15 銅安定化層
Claims (6)
- 金属基板上に、中間層、酸化物超電導層、銀保護層、銅安定化層が積層されている酸化物超電薄膜線材の製造方法であって、
幅広の金属基板上に、中間層、酸化物超電導層、第1銀保護層を順に形成して複合線材を製造する複合線材製造工程と、
前記複合線材を酸素雰囲気下で加熱処理して、前記酸化物超電導層に酸素を導入する酸素導入工程と、
前記複合線材を所定の幅に切断して細線加工する細線加工工程と、
細線加工された前記複合線材の周囲に、蒸着法を用いて前記酸化物超電導層および前記中間層に応力を発生させずに第2銀保護層を形成する第2銀保護層形成工程と、
前記第2銀保護層が形成された複合線材の周囲に、電気めっき法により銅安定化層を形成する銅安定化層形成工程
とが設けられていることを特徴とする酸化物超電導薄膜線材の製造方法。 - 前記第2銀保護層形成工程と、前記銅安定化層形成工程との間に、
前記第2銀保護層が形成された前記複合線材を酸素雰囲気下で加熱処理して、前記酸化物超電導層に酸素を導入する酸素導入工程が設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載の酸化物超電導薄膜線材の製造方法。 - 金属基板上に、中間層、酸化物超電導層、銀保護層、銅安定化層が積層されている酸化物超電薄膜線材の製造方法であって、
幅広の金属基板上に、中間層、酸化物超電導層、第1銀保護層を順に形成して複合線材を製造する複合線材製造工程と、
前記複合線材を所定の幅に切断して細線加工する細線加工工程と、
細線加工された前記複合線材の周囲に、蒸着法を用いて前記酸化物超電導層および前記中間層に応力を発生させずに第2銀保護層を形成する第2銀保護層形成工程と、
前記第2銀保護層が形成された複合線材を酸素雰囲気下で加熱処理して、前記酸化物超電導層に酸素を導入する酸素導入工程と、
前記第2銀保護層が形成された複合線材の周囲に、電気めっき法により銅安定化層を形成する銅安定化層形成工程
とが設けられていることを特徴とする酸化物超電導薄膜線材の製造方法。 - 金属基板上に、中間層、酸化物超電導層、銀保護層、銅安定化層が積層されている酸化物超電薄膜線材の製造方法であって、
幅広の金属基板上に、中間層、酸化物超電導層を順に形成して複合線材を製造する複合線材製造工程と、
前記複合線材を所定の幅に切断して細線加工する細線加工工程と、
細線加工された複合線材の周囲に、蒸着法を用いて前記酸化物超電導層および前記中間層に応力を発生させずに銀保護層を形成する銀保護層形成工程と、
前記銀保護層が形成された前記複合線材を酸素雰囲気下で加熱処理して、前記酸化物超電導層に酸素を導入する酸素導入工程と、
前記酸化物超電導層に酸素が導入された前記複合線材の周囲に、電気めっき法により銅安定化層を形成する銅安定化層形成工程
とが設けられていることを特徴とする酸化物超電導薄膜線材の製造方法。 - 前記蒸着法が、DCスパッタ法、熱蒸着法、電子ビーム蒸着法のいずれかの蒸着法であることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の酸化物超電導薄膜線材の製造方法。
- 前記細線加工工程が、機械スリットを用いた細線加工であることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の酸化物超電導薄膜線材の製造方法。
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