JP5719523B2 - Liquid jet recording head, liquid jet recording apparatus, and method of manufacturing liquid jet head - Google Patents

Description

本発明は、液体噴射孔より液体を噴射して被記録媒体に画像や文字を記録する液体噴射ヘッドの製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method of manufacturing a liquid ejecting head that ejects liquid from a liquid ejecting hole to record images and characters on a recording medium.

一般に、液体噴射記録装置は被記録媒体を搬送する搬送装置と、インクなどの液体を噴射する液体噴射ヘッドを備えている。そして複数のノズルからインクを吐出させるインクジェットヘッドを用いて、被記録媒体に文字や画像を記録するインクジェット記録装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。インクジェット記録装置のインクジェットヘッドのヘッドチップは、複数の溝を有する圧電セラミックスプレートとカバープレートを貼り合せることにより構成している。 In general, a liquid jet recording apparatus includes a transport device that transports a recording medium and a liquid jet head that jets a liquid such as ink. An inkjet recording apparatus that records characters and images on a recording medium using an inkjet head that ejects ink from a plurality of nozzles is known (for example, see Patent Document 1). The head chip of the ink jet head of the ink jet recording apparatus is configured by bonding a piezoelectric ceramic plate having a plurality of grooves and a cover plate.

カバープレートにはカバープレートの一端面から他端面に貫通する開口部が設けられており、この開口部が圧電セラミックスプレートの溝と連通することにより、開口部を介して溝へインクを供給している。この圧電セラミックスプレートとカバープレートにより、相互に独立した複数のインク流路を備えている。各インク流路の両側壁には、長手方向に沿って一対の電極が配置され、これら電極に加える電位によって側壁を弾性変形させ、ポンプ効果によってインク流路内のインクをノズルから射出することができるようになっている。これらの電極は、インクに対する耐薬品性を有する樹脂製の保護膜によって被覆されている。この保護膜により、インクに起因する電極の導通や腐食を防止している。 The cover plate is provided with an opening penetrating from one end surface of the cover plate to the other end surface, and this opening communicates with the groove of the piezoelectric ceramic plate to supply ink to the groove through the opening. Yes. The piezoelectric ceramic plate and the cover plate are provided with a plurality of independent ink flow paths. A pair of electrodes are arranged along the longitudinal direction on both side walls of each ink flow path, and the side walls are elastically deformed by a potential applied to these electrodes, and ink in the ink flow path is ejected from the nozzles by a pump effect. It can be done. These electrodes are covered with a resin protective film having chemical resistance to ink. This protective film prevents conduction and corrosion of the electrode due to the ink.

特開２００１−２３９６６４号公報JP 2001-239664 A

しかしながら、従来は上述した方式を採用したインクジェットヘッドの製造工程において、樹脂製の保護膜を形成すべき電極以外の部分も保護膜により覆われてしまうため、アッシング工程により不要な保護膜を除去する必要がある。これに関連してアッシング工程では、電極の保護膜まで除去してしまわないように、アッシング工程中において上述したカバープレートの開口部を一時的に塞ぐ必要がある。そのため、アッシング工程において開口部を閉塞する冶具を開口部に乗せる作業が必要となり生産性を低下させる要因になっている。   However, conventionally, in the manufacturing process of the inkjet head employing the above-described method, portions other than the electrode on which the resin protective film is to be formed are also covered with the protective film, and therefore the unnecessary protective film is removed by the ashing process. There is a need. In this connection, in the ashing process, it is necessary to temporarily close the opening of the cover plate described above during the ashing process so that the protective film of the electrode is not removed. Therefore, in the ashing process, an operation for placing a jig for closing the opening on the opening is required, which is a factor of reducing productivity.

また、冶具は硬質なセラミックなどで構成されているため、使用中に割れや欠けができ易い。さらにカバープレートも硬質なセラミックで構成されているため、カバープレートの開口部を作製する際の加工公差により冶具を開口部に乗せた時に開口部を完全に閉塞できないことがある。これにより、開口部の両端部に隙間ができるという問題があり、アッシング工程により該隙間を介して、電極を導通や腐食から保護する保護膜を破壊してしまう虞がある。そのため従来の加工方法は加工品質や製造コストの面で問題がある。   Further, since the jig is made of hard ceramic or the like, it is easy to crack or chip during use. Further, since the cover plate is also made of a hard ceramic, the opening may not be completely closed when a jig is placed on the opening due to processing tolerances when the opening of the cover plate is produced. Accordingly, there is a problem that a gap is formed at both ends of the opening, and the protective film that protects the electrode from conduction and corrosion may be destroyed through the gap by the ashing process. Therefore, the conventional processing method has problems in terms of processing quality and manufacturing cost.

そこで本発明は、上述の事情を鑑みてなされたものであり、歩留まりと生産性を向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is that it provides a method of manufacturing a liquid ejecting head that can improve yield and productivity.

本発明は、前記課題を解決するために以下の手段を提供する。   The present invention provides the following means in order to solve the above problems.

本発明に係る液体噴射記録ヘッドの第一の態様は、液体を噴射する噴射孔に連通する複数の溝を有するアクチュエータプレートと、溝のそれぞれに液体を供給する液体導入孔が形成されたカバープレートと、を備えた液体噴射記録ヘッドであって、液体導入孔は、カバープレートの一端面に設ける第一液体導入部と、カバープレートの他端面に設けるとともに第一液体導入部に連通する第二液体導入部によって形成されることを特徴としている。この態様により、アッシング工程において電極の保護膜を破壊することを効果的に防止することができる。   A first aspect of the liquid jet recording head according to the present invention is an actuator plate having a plurality of grooves communicating with jetting holes for jetting liquid, and a cover plate having a liquid introduction hole for supplying liquid to each of the grooves. And a liquid introduction hole provided on one end surface of the cover plate, and a second liquid introduction hole provided on the other end surface of the cover plate and communicating with the first liquid introduction portion. It is characterized by being formed by a liquid introduction part. According to this aspect, it is possible to effectively prevent destruction of the protective film of the electrode in the ashing process.

本発明に係る液体噴射記録ヘッドの第二の態様は、ヘッドの第一の態様において、第一液体導入部と第二液体導入部のカバープレートの厚みに対する深さは、互いにカバープレートの厚みの半分の深さであることを特徴としている。この態様により、第一液体導入部と第二液体導入部をカバープレートに形成する際に同じ加工工程を用いることができるので、製造コストの低下を図ることができる。   According to a second aspect of the liquid jet recording head of the present invention, in the first aspect of the head, the depth of the first liquid introduction portion and the second liquid introduction portion with respect to the thickness of the cover plate is equal to the thickness of the cover plate. It is characterized by being half the depth. According to this aspect, since the same processing steps can be used when forming the first liquid introduction portion and the second liquid introduction portion on the cover plate, the manufacturing cost can be reduced.

本発明に係る液体噴射記録ヘッドの第三の態様は、ヘッドの第一または第二の態様において、第一液体導入部は一端面からカバープレートの厚み方向に徐々に深くなっていることを特徴としている。この態様により、第一液体導入部と第二液体導入部が連通する部分を小さくすることにより、アッシング工程において電極の保護膜を破壊することを効果的に防止することができる。   A third aspect of the liquid jet recording head according to the present invention is characterized in that, in the first or second aspect of the head, the first liquid introducing portion is gradually deepened in the thickness direction of the cover plate from one end face. It is said. According to this aspect, it is possible to effectively prevent the protective film of the electrode from being destroyed in the ashing process by reducing the portion where the first liquid introducing portion and the second liquid introducing portion communicate with each other.

本発明に係る液体噴射記録ヘッドの第四の態様は、ヘッドの第一乃至第三のいずれかの態様において、第二液体導入部は他端面からカバープレートの厚み方向に徐々に深くなっていることを特徴としている。この態様により、第一液体導入部と第二液体導入部が連通する部分を小さくすることにより、アッシング工程において電極の保護膜を破壊することを効果的に防止することができる。   In a fourth aspect of the liquid jet recording head according to the present invention, in any one of the first to third aspects of the head, the second liquid introduction portion is gradually deepened in the thickness direction of the cover plate from the other end surface. It is characterized by that. According to this aspect, it is possible to effectively prevent the protective film of the electrode from being destroyed in the ashing process by reducing the portion where the first liquid introducing portion and the second liquid introducing portion communicate with each other.

本発明に係る液体噴射記録ヘッドの第五の態様は、ヘッドの第一乃至第四のいずれかの態様において、第一液体導入部と第二液体導入部は、互いに対向する位置に設けることを特徴としている。この態様により、第一液体導入部と第二液体導入部を形成する一端面と他端面で対向しているので、加工平面における加工位置が同じになるので、製造コストの低下を図ることができる。   According to a fifth aspect of the liquid jet recording head of the present invention, in any one of the first to fourth aspects of the head, the first liquid introduction portion and the second liquid introduction portion are provided at positions facing each other. It is a feature. According to this aspect, since the one end surface and the other end surface that form the first liquid introducing portion and the second liquid introducing portion are opposed to each other, the processing position on the processing plane becomes the same, so that the manufacturing cost can be reduced. .

本発明に係る液体噴射記録ヘッドの第六の態様は、ヘッドの第一乃至第四のいずれかの態様において、第一液体導入部と第二液体導入部は、互いに対向する位置から所定距離異なる位置に設けることを特徴としている。この態様により、第一液体導入部と第二液体導入部が連通する部分を対向する位置に設けないことができるので、カバープレートの開口部から溝の電極が露出せず、アッシング工程において電極の保護膜を破壊することを効果的に防止することができる。   According to a sixth aspect of the liquid jet recording head according to the present invention, in any one of the first to fourth aspects of the head, the first liquid introduction portion and the second liquid introduction portion are different from each other by a predetermined distance. It is characterized by being provided at a position. According to this aspect, since the portion where the first liquid introducing portion and the second liquid introducing portion communicate with each other can be not provided at the opposing positions, the electrode of the groove is not exposed from the opening portion of the cover plate, and the electrode in the ashing process is not exposed. It is possible to effectively prevent destruction of the protective film.

本発明に係る液体噴射記録ヘッドの第七の態様は、ヘッドの第一乃至第六のいずれかの態様において、第一液体導入部と第二液体導入部は、互いにカバープレートの厚みに対して最も深い位置で連通することを特徴としている。この態様により、第一液体導入部と第二液体導入部が連通する部分を小さくするとともに、第一液体導入部と第二液体導入部をカバープレートに形成する際に同じ加工工程を用いることができるので、製造コストの低下を図ることができる。   A seventh aspect of the liquid jet recording head according to the present invention is the liquid jet recording head according to any one of the first to sixth aspects of the head, wherein the first liquid introduction portion and the second liquid introduction portion are relative to the thickness of the cover plate. It is characterized by communicating at the deepest position. According to this aspect, the portion where the first liquid introduction portion and the second liquid introduction portion communicate with each other can be reduced, and the same processing step can be used when forming the first liquid introduction portion and the second liquid introduction portion on the cover plate. Therefore, the manufacturing cost can be reduced.

本発明に係る液体噴射記録装置の態様は、ヘッドの第一乃至第七のいずれかの態様において記載した液体噴射ヘッドと、液体噴射ヘッドへ液体を液体貯留部から供給する液体供給路と、を有することを特徴としている。   An aspect of the liquid jet recording apparatus according to the present invention includes the liquid jet head described in any one of the first to seventh aspects of the head, and a liquid supply path that supplies liquid from the liquid reservoir to the liquid jet head. It is characterized by having.

本発明に係る液体噴射記録ヘッドの製造方法の第一の態様は、液体を噴射する噴射孔に連通する複数の溝を有するアクチュエータプレートと、溝のそれぞれに液体を供給する液体導入孔が形成されたカバープレートと、を備えたヘッドチップと、を製造する液体噴射ヘッドの製造方法であって、液体導入孔を形成する工程は、カバープレートの一端面に第一液体導入部を加工する第一加工工程と、カバープレートの他端面に第二液体導入部を加工する第二加工工程からなることを特徴としている。   According to a first aspect of the method for manufacturing a liquid jet recording head according to the present invention, an actuator plate having a plurality of grooves communicating with the jet holes for jetting the liquid, and a liquid introduction hole for supplying the liquid to each of the grooves are formed. A liquid jet head manufacturing method for manufacturing a head chip including a cover plate, wherein the step of forming a liquid introduction hole is a first process of processing a first liquid introduction portion on one end surface of the cover plate. It is characterized by comprising a processing step and a second processing step of processing the second liquid introduction portion on the other end face of the cover plate.

本発明に係る液体噴射記録ヘッドの製造方法の第二の態様は、製造方法の第一の態様において、第一加工工程と第二加工工程が形成する第一液体導入部と第二液体導入部のカバープレートの厚みに対する深さは、互いにカバープレートの厚みの半分の深さであることを特徴としている。   According to a second aspect of the manufacturing method of the liquid jet recording head according to the present invention, in the first aspect of the manufacturing method, the first liquid introducing portion and the second liquid introducing portion formed by the first processing step and the second processing step. The depth of the cover plate with respect to the thickness of the cover plate is a half of the thickness of the cover plate.

本発明に係る液体噴射記録ヘッドの製造方法の第三の態様は、製造方法の第一または第二の態様において、第一加工工程において形成する第一液体導入部は一端面からカバープレートの厚み方向に徐々に深く形成することを特徴としている。   According to a third aspect of the manufacturing method of the liquid jet recording head according to the present invention, in the first or second aspect of the manufacturing method, the first liquid introduction part formed in the first processing step is the thickness of the cover plate from one end surface. It is characterized by gradually forming deeper in the direction.

本発明に係る液体噴射記録ヘッドの製造方法の第四の態様は、製造方法の第一乃至第三のいずれかの態様において、第二加工工程において形成する第二液体導入部は他端面からカバープレートの厚み方向に徐々に深く形成することを特徴としている。   According to a fourth aspect of the manufacturing method of the liquid jet recording head according to the present invention, in any one of the first to third aspects of the manufacturing method, the second liquid introduction portion formed in the second processing step covers from the other end surface. It is characterized by being formed gradually deeper in the thickness direction of the plate.

本発明に係る液体噴射記録ヘッドの製造方法の第五の態様は、製造方法の第一乃至第四のいずれかの態様において、第一加工工程と第二加工工程が形成する第一液体導入部と第二液体導入部は、互いに対向する位置に設けることを特徴としている。   A fifth aspect of the method for manufacturing a liquid jet recording head according to the present invention is the first liquid introduction part formed by the first processing step and the second processing step in any one of the first to fourth aspects of the manufacturing method. And the second liquid introducing portion are provided at positions facing each other.

本発明に係る液体噴射記録ヘッドの製造方法の第六の態様は、製造方法の第一乃至第四のいずれかの態様において、第一加工工程と第二加工工程が形成する第一液体導入部と第二液体導入部は、互いに対向する位置から所定距離異なる位置に設けることを特徴としている。   A sixth aspect of the method for manufacturing a liquid jet recording head according to the present invention is the first liquid introduction part formed by the first processing step and the second processing step in any one of the first to fourth aspects of the manufacturing method. The second liquid introduction part is provided at a position different from the position facing each other by a predetermined distance.

本発明に係る液体噴射記録ヘッドの製造方法の第七の態様は、製造方法の第一乃至第六のいずれかの態様において、第一加工工程と第二加工工程が形成する第一液体導入部と第二液体導入部は、互いにカバープレートの厚みに対して最も深い位置で連通することを特徴としている。   A seventh aspect of the method for manufacturing a liquid jet recording head according to the present invention is the first liquid introduction part formed by the first processing step and the second processing step in any one of the first to sixth aspects of the manufacturing method. And the second liquid introduction part communicate with each other at the deepest position with respect to the thickness of the cover plate.

本発明に係る液体噴射記録ヘッドの製造方法の第八の態様は、製造方法の第一乃至第七のいずれかの態様において、第一加工工程と第二加工工程が形成する第一液体導入部と第二液体導入部は、サンドブラスト加工にて形成することを特徴としている。   An eighth aspect of the method for manufacturing a liquid jet recording head according to the present invention is the first liquid introduction part formed by the first processing step and the second processing step in any one of the first to seventh aspects of the manufacturing method. And the second liquid introduction part is formed by sandblasting.

本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法においては、第一液体導入孔と第二液体導入孔との間を連通する導入孔をサンドブラスト加工で形成するため、新規にアッシング用冶具を作製する必要が無くなり作業時間を抑制することができる。したがって、液体噴射ヘッドの組立工程における生産性を向上することができる。   In the method for manufacturing a liquid jet head according to the present invention, since the introduction hole communicating between the first liquid introduction hole and the second liquid introduction hole is formed by sandblasting, it is necessary to newly produce an ashing jig. This eliminates work time. Therefore, productivity in the assembly process of the liquid ejecting head can be improved.

本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法においては、各プレートに形成する導入孔の加工精度を向上することができる。また、プレートの導入孔に精度不良などの不具合が生じた場合には、そのプレートのみ交換することで製造することができる。したがって、液体噴射ヘッドの組立工程における無駄の発生を抑制することができ、歩留まりを向上することができる。   In the method for manufacturing a liquid jet head according to the present invention, the processing accuracy of the introduction holes formed in each plate can be improved. In addition, when a defect such as an inaccuracy occurs in the introduction hole of the plate, it can be manufactured by exchanging only the plate. Therefore, it is possible to suppress the generation of waste in the assembly process of the liquid ejecting head and to improve the yield.

本発明に係る液体噴射ヘッドの製造工程においては、第一溝を加工するための位置決め用の合わせマークをフォトリソ工程で精度良く形成することができる。したがって、第一溝を所望の位置に高精度に形成することができるため、液体噴射ヘッドの組立工程における歩留まりを向上することができる。   In the manufacturing process of the liquid jet head according to the present invention, a positioning alignment mark for processing the first groove can be accurately formed by a photolithography process. Therefore, since the first groove can be formed at a desired position with high accuracy, the yield in the assembly process of the liquid ejecting head can be improved.

本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法によれば、カバープレートに第一液体導入孔と第二液体導入孔を形成するため、カバープレートの開口部からアクチュエータプレートの溝に形成された電極が露出することを積極的に防止することができる。したがって、アッシング工程で開口部を塞ぐためのアッシング冶具を設置する必要が無くなる。そのため液体噴射ヘッドのアッシング工程で保護膜がアッシングされずに保護されるため、アッシング工程におけるヘッドの歩留まりと生産性を向上することができる。   According to the method for manufacturing a liquid jet head according to the present invention, the first liquid introduction hole and the second liquid introduction hole are formed in the cover plate, so that the electrode formed in the groove of the actuator plate is exposed from the opening of the cover plate. Can be actively prevented. Therefore, it is not necessary to install an ashing jig for closing the opening in the ashing process. Therefore, since the protective film is protected without ashing in the ashing process of the liquid jet head, the head yield and productivity in the ashing process can be improved.

本発明の第一実施形態におけるインクジェットプリンタの斜視図である。1 is a perspective view of an ink jet printer according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第一実施形態におけるインクジェットヘッドの斜視図である。It is a perspective view of the ink jet head in a first embodiment of the present invention. 本発明の第一実施形態におけるインクジェットヘッドの概略構成断面図である。It is a schematic structure sectional view of the ink jet head in a first embodiment of the present invention. 本発明の第一実施形態におけるヘッドチップの斜視図である。It is a perspective view of the head chip in a first embodiment of the present invention. 本発明の第一実施形態におけるヘッドチップの拡大図である。It is an enlarged view of the head chip in a first embodiment of the present invention. 本発明の第一実施形態におけるヘッドチップの断面図である。It is sectional drawing of the head chip in 1st embodiment of this invention. 本発明の実施形態におけるヘッドチップの製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the head chip in embodiment of this invention. 本発明の第二実施形態におけるヘッドチップの断面図である。It is sectional drawing of the head chip in 2nd embodiment of this invention. 本発明の第三実施形態におけるヘッドチップの断面図である。It is sectional drawing of the head chip in 3rd embodiment of this invention.

（第一実施形態）
本発明に係る液体噴射ヘッドの第一実施形態を、図１〜図７を用いて説明する。なお、本発明では、液体噴射ヘッドの一例として、インクＷ（液体）を吐出可能なインクジェットヘッドを例に挙げて、そのインクジェットヘッドを搭載したインクジェットプリンタ（液体噴射記録装置）について説明する。 (First embodiment)
A first embodiment of a liquid jet head according to the present invention will be described with reference to FIGS. In the present invention, as an example of the liquid jet head, an ink jet head capable of ejecting ink W (liquid) is taken as an example, and an ink jet printer (liquid jet recording apparatus) equipped with the ink jet head will be described.

図１に示すように、本実施形態のインクジェットプリンタ１は、インクＷを吐出する複数のインクジェットヘッド（液体噴射記録ヘッド）２と、記録紙（被記録媒体）Ｐを予め決められた搬送方向Ｌ１に搬送する搬送手段３と、この搬送方向Ｌ１に直交する直交方向Ｌ２に複数のインクジェットヘッド２を往復移動させる移動手段４とを、備えている。   As shown in FIG. 1, an inkjet printer 1 according to this embodiment includes a plurality of inkjet heads (liquid jet recording heads) 2 that eject ink W and recording paper (recording medium) P in a predetermined transport direction L1. And a moving means 4 for reciprocally moving the plurality of inkjet heads 2 in an orthogonal direction L2 orthogonal to the conveying direction L1.

つまり、このインクジェットプリンタ１は、記録紙Ｐを搬送方向Ｌ１に搬送しながら、該搬送方向Ｌ１に直交する直交方向Ｌ２にインクジェットヘッド２を移動させて、記録紙Ｐに文字や画像を記録するシャトルタイプのプリンタである。なお、本実施形態では、それぞれ異なる色（例えば、ブラック、シアン、マゼンタおよびイエロー）のインクＷを吐出する４つのインクジェットヘッド２を備えている場合を例にしている。なお、これら４つのインクジェットヘッド２は、同一構成とされている。これら４つのインクジェットヘッド２は、略直方体形状の筐体５内に組み込まれたキャリッジ６に搭載されている。   That is, the ink jet printer 1 moves the ink jet head 2 in the orthogonal direction L2 orthogonal to the transport direction L1 while transporting the recording paper P in the transport direction L1, thereby recording characters and images on the recording paper P. Type of printer. In the present embodiment, an example in which four inkjet heads 2 that eject inks W of different colors (for example, black, cyan, magenta, and yellow) are provided is illustrated. These four inkjet heads 2 have the same configuration. These four inkjet heads 2 are mounted on a carriage 6 incorporated in a substantially rectangular parallelepiped housing 5.

キャリッジ６は、複数のインクジェットヘッド２を載置する平板状の基台６ａと、該基台６ａから垂直に立ち上げられた壁部６ｂと、で構成されており、直交方向Ｌ２に沿って配置された一対のガイドレール７，７によって往復移動可能に支持されている。また、キャリッジ６は、ガイドレール７，７に支持された状態で、一対のプーリ８，８に巻回された搬送ベルト９に連結されている。一対のプーリ８，８のうち一方のプーリ８ａは、モータ１０の出力軸に連結されており、モータ１０からの回転駆動力を受けて回転するようになっている。これにより、キャリッジ６は、直交方向Ｌ２に向けて往復移動できるようになっている。すなわち、これら一対のガイドレール７，７、一対のプーリ８，８、搬送ベルト９およびモータ１０は、上記移動手段４として機能する。   The carriage 6 includes a flat base 6a on which a plurality of inkjet heads 2 are placed, and a wall portion 6b that rises vertically from the base 6a, and is arranged along the orthogonal direction L2. The pair of guide rails 7 and 7 are supported so as to be reciprocally movable. In addition, the carriage 6 is connected to a conveyor belt 9 wound around a pair of pulleys 8 and 8 while being supported by guide rails 7 and 7. One pulley 8 a of the pair of pulleys 8, 8 is connected to the output shaft of the motor 10 and is rotated by receiving a rotational driving force from the motor 10. As a result, the carriage 6 can reciprocate in the orthogonal direction L2. That is, the pair of guide rails 7 and 7, the pair of pulleys 8 and 8, the transport belt 9 and the motor 10 function as the moving unit 4.

また、筐体５には、一対のガイドレール７，７と同じ直交方向Ｌ２に沿って一対の搬入ローラ１５と、一対の搬送ローラ１６とが間隔を空けて並設されている。一対の搬入ローラ１５は、筐体５の背面側に設けられ、一対の搬送ローラ１６は筐体５の前面側に設けられている。そして、これら一対の搬入ローラ１５および一対の搬送ローラ１６は、図示しないモータによって記録紙Ｐを間に挟んだ状態で回転するようになっている。これにより、筐体５の背面側から前面側に向かう搬送方向Ｌ１に沿って記録紙Ｐを搬送することができるようになっている。すなわち、これら一対の搬入ローラ１５および一対の搬送ローラ１６は、上記搬送手段３として機能する。   In addition, a pair of carry-in rollers 15 and a pair of transport rollers 16 are arranged in parallel in the housing 5 along the same orthogonal direction L2 as the pair of guide rails 7 and 7. The pair of carry-in rollers 15 are provided on the back side of the housing 5, and the pair of transport rollers 16 are provided on the front side of the housing 5. The pair of carry-in rollers 15 and the pair of transport rollers 16 are rotated with the recording paper P sandwiched between them by a motor (not shown). As a result, the recording paper P can be transported along the transport direction L1 from the back side to the front side of the housing 5. That is, the pair of carry-in rollers 15 and the pair of transport rollers 16 function as the transport unit 3.

また、インクジェットヘッド２には供給チューブ（液体供給路）６０が接続されており、この供給チューブ６０は、筐体５内に組み込まれたインクタンク（液体貯留部）４１に連結されている。これにより、インクタンク４１に貯留されている色の異なるインクＷが、４つのインクジェットヘッド２にそれぞれ供給されるようになっている。このインクタンク４１は、各色のインクが充填されており、キャリッジ６のＬ２方向の移動や、記録紙Ｐの移動の邪魔にならない位置で、かつインクジェットヘッド２内に負圧を与えるように、インクジェットヘッド２のノズル開口よりも所定量低い位置に設けられている。   Further, a supply tube (liquid supply path) 60 is connected to the inkjet head 2, and the supply tube 60 is connected to an ink tank (liquid storage unit) 41 incorporated in the housing 5. As a result, different colors of ink W stored in the ink tank 41 are supplied to the four inkjet heads 2, respectively. The ink tank 41 is filled with ink of each color, and the ink tank 41 is placed at a position that does not obstruct the movement of the carriage 6 in the L2 direction and the movement of the recording paper P, and applies a negative pressure to the ink jet head 2. It is provided at a position lower than the nozzle opening of the head 2 by a predetermined amount.

さらに、インクジェットプリンタ１には、インクジェットヘッド２のクリーニング動作を行うサービスステーション１１が搭載されている。このサービスステーション１１では、初めてインクジェットヘッド２を取付けたときにインクジェットヘッド２内にインクＷを充填する、いわゆる初期充填動作が行われる。また、起動時、印刷開始前などの所定のタイミング、あるいは任意のタイミングで、インクジェットヘッド２の表面に付着したゴミやインク滴などの除去や、ノズル詰まりを回復する、いわゆるクリーニング動作が行われる。   Further, the ink jet printer 1 is equipped with a service station 11 that performs a cleaning operation of the ink jet head 2. In the service station 11, when the inkjet head 2 is attached for the first time, a so-called initial filling operation is performed in which the inkjet head 2 is filled with the ink W. Also, a so-called cleaning operation for removing dust and ink droplets adhering to the surface of the inkjet head 2 and recovering nozzle clogging is performed at a predetermined timing such as at the start and before the start of printing, or at an arbitrary timing.

次に、インクジェットヘッド２について説明する。
図２、図３に示すように、各インクジェットヘッド２は、キャリッジ６の基台６ａに図示しないネジを介して取り付けられる矩形状の固定板２０と、固定板２０の上面に固定されたヘッドチップ２１と、ヘッドチップ２１の後述するインク導入孔３１ａ（図３参照）にインクＷを供給する供給手段２２と、後述する駆動電極３７（図５参照）に駆動電圧を印加する制御手段２３と、を主に備えている。 Next, the inkjet head 2 will be described.
As shown in FIGS. 2 and 3, each inkjet head 2 includes a rectangular fixed plate 20 attached to a base 6 a of the carriage 6 via screws (not shown), and a head chip fixed to the upper surface of the fixed plate 20. 21, supply means 22 for supplying ink W to an ink introduction hole 31a (see FIG. 3) described later of the head chip 21, control means 23 for applying a drive voltage to a drive electrode 37 (see FIG. 5) described later, It is mainly equipped with.

また、固定板２０の上面には、アルミニウムなどで形成された矩形状のベースプレート２４が垂直に立ち上がった状態で固定されているとともに、ヘッドチップ２１の液体導入孔である第一インク導入孔３１ａ（第一液体導入部）及び第二インク導入孔３１ｂ（第二液体導入部）にインクＷを供給する流路２２ｅが形成された流路部材２２ａが固定されている。この流路部材２２ａの上方には、インクＷを貯留する貯留室２２ｄを内部に有する圧力緩衝器２２ｂがベースプレート２４に支持された状態で配置されている。この圧力緩衝器２２ｂと流路部材２２ａとは、インク連結管２２ｃを介して連結されている。また、圧力緩衝器２２ｂの上部には、インクＷが供給されてくる供給チューブ６０が取り付けられている。   A rectangular base plate 24 made of aluminum or the like is fixed to the upper surface of the fixing plate 20 in a vertically rising state, and a first ink introduction hole 31a (a liquid introduction hole of the head chip 21). A flow path member 22a in which a flow path 22e for supplying ink W is formed is fixed to the first liquid introduction part) and the second ink introduction hole 31b (second liquid introduction part). Above the flow path member 22a, a pressure buffer 22b having a storage chamber 22d for storing the ink W therein is disposed in a state of being supported by the base plate 24. The pressure buffer 22b and the flow path member 22a are connected via an ink connecting tube 22c. A supply tube 60 to which the ink W is supplied is attached to the upper part of the pressure buffer 22b.

このように構成されたインクジェットヘッド２は、供給チューブ６０を介して圧力緩衝器２２ｂにインクＷが供給されると、該インクＷは圧力緩衝器２２ｂ内の貯留室２２ｄに一旦貯留される。そして、圧力緩衝器２２ｂは、貯留されたインクＷのうち、所定量のインクＷをインク連結管２２ｃ及び流路２２ｅを介してヘッドチップ２１の第一インク導入孔３１ａ及び第二インク導入孔３１ｂに供給するようになっている。すなわち、流路部材２２ａ、圧力緩衝器２２ｂおよびインク連結管２２ｃは、上記供給手段２２として機能する。   When the ink W is supplied to the pressure buffer 22b through the supply tube 60, the ink jet head 2 configured as described above is temporarily stored in the storage chamber 22d in the pressure buffer 22b. Then, the pressure buffer 22b applies a predetermined amount of the ink W out of the stored ink W via the ink connection pipe 22c and the flow path 22e to the first ink introduction hole 31a and the second ink introduction hole 31b of the head chip 21. To supply. That is, the flow path member 22a, the pressure buffer 22b, and the ink connecting tube 22c function as the supply unit 22.

また、ベースプレート２４には、ヘッドチップ２１を駆動するための集積回路などの駆動回路２５が搭載されたＩＣ基板２６が固定されている。この駆動回路２５と、ヘッドチップ２１の駆動電極３７とは、複数の引き出し電極２７ａがプリント配線されたフレキシブル基板２７を介して電気的に接続されている。そして、駆動回路２５は、フレキシブル基板２７を介して後述する駆動電極３７に駆動電圧を印加して、インクＷの吐出を行わせている。すなわち、駆動回路２５及びフレキシブル基板２７は、上記制御手段２３として機能する。   An IC substrate 26 on which a drive circuit 25 such as an integrated circuit for driving the head chip 21 is mounted is fixed to the base plate 24. The drive circuit 25 and the drive electrode 37 of the head chip 21 are electrically connected via a flexible substrate 27 on which a plurality of lead electrodes 27a are printed. Then, the drive circuit 25 applies a drive voltage to a drive electrode 37 (described later) via the flexible substrate 27 to cause the ink W to be ejected. That is, the drive circuit 25 and the flexible substrate 27 function as the control unit 23.

次に、ヘッドチップ２１について説明する。
ヘッドチップ２１は、図４に示すように、アクチュエータプレート３０、カバープレート３１、支持プレート３２、ノズルプレート３３とで主に構成されている。それぞれのプレート部材は、不図示の接着剤によって接着固定されている。 Next, the head chip 21 will be described.
As shown in FIG. 4, the head chip 21 mainly includes an actuator plate 30, a cover plate 31, a support plate 32, and a nozzle plate 33. Each plate member is bonded and fixed with an adhesive (not shown).

アクチュエータプレート３０は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）などの圧電材料から形成された平面視矩形のプレートである。本実施形態では、アクチュエータプレート３０が設けられている。アクチュエータプレート３０の表面には、長さ方向（矢印Ｘ方向）に伸びる溝部（溝）３５が横幅方向（矢印Ｙ方向）に一定間隔を空けた状態で複数形成されている。すなわち、複数の溝部３５は、側壁３６（図５参照）によってそれぞれ区分けされた状態となっている。また、それぞれに形成された溝部３５は横幅方向（矢印Ｙ方向）に向けて直線状に配列形成されている（図５参照）。   The actuator plate 30 is a rectangular plate in a plan view formed from a piezoelectric material such as PZT (lead zirconate titanate). In the present embodiment, an actuator plate 30 is provided. A plurality of grooves (grooves) 35 extending in the length direction (arrow X direction) are formed on the surface of the actuator plate 30 with a certain interval in the width direction (arrow Y direction). That is, the plurality of groove portions 35 are separated from each other by the side walls 36 (see FIG. 5). Further, the groove portions 35 formed in each are arranged in a straight line in the lateral width direction (arrow Y direction) (see FIG. 5).

図５に示すように、複数の溝部３５は、アクチュエータプレート３０の前端面側に開口するように形成されているとともに、後端面に向かうにしたがって漸次深さが浅くなるように形成されている。なお、溝部３５の後端面側は、図示しない封止手段によって封止されている。これら複数の溝部３５は、インクＷが充填されるチャネルとして機能する。   As shown in FIG. 5, the plurality of groove portions 35 are formed so as to open to the front end face side of the actuator plate 30 and are formed so that the depth gradually decreases toward the rear end face. The rear end surface side of the groove 35 is sealed by a sealing means (not shown). The plurality of grooves 35 function as channels filled with the ink W.

図５、図６に示すように、側壁３６の側面には、長さ方向に亘って駆動電極３７がアルミニウムなどを蒸着することにより形成されている。この駆動電極３７は、各溝部３５内において深さが浅くなるアクチュエータプレート３０の後端面側まで延設されており、図２に示す制御手段２３から駆動電圧を個別に印加される。ここで、本実施形態ではアクチュエータプレート３０の駆動電極３７にはフレキシブル基板２７の引き出し電極２７ａが、深さが浅くなった各溝部３５に嵌り込む形で電気的に接続されている。   As shown in FIGS. 5 and 6, the drive electrode 37 is formed on the side surface of the side wall 36 by evaporating aluminum or the like over the length direction. The drive electrode 37 extends to the rear end face side of the actuator plate 30 where the depth becomes shallow in each groove portion 35, and a drive voltage is individually applied from the control means 23 shown in FIG. Here, in the present embodiment, the lead electrode 27a of the flexible substrate 27 is electrically connected to the drive electrode 37 of the actuator plate 30 so as to be fitted into each groove portion 35 having a shallow depth.

そして、駆動電極３７は、駆動電圧が印加されたときに、側壁３６を圧電厚み滑り効果により変形させることで溝部３５内の圧力を高め、充填されたインクＷを溝部３５内から吐出させる働きをしている。   The drive electrode 37 functions to increase the pressure in the groove 35 by deforming the side wall 36 by the piezoelectric thickness slip effect when a drive voltage is applied, and to discharge the filled ink W from the groove 35. doing.

また、図６に示すように本実施形態における第一インク導入孔３１ａ及び第二インク導入孔３１ｂのカバープレートの厚みに対する深さは、互いにカバープレートの厚みの半分の深さＬとした。これにより、第一インク導入孔３１ａと第二インク導入孔３１ｂをそれぞれ形成する工程を同じ工程とすることができるため、作業の簡略化を図ることができる。
図６について詳細に説明すると、図６は図３におけるＡ−Ａ’断面のアクチュエータプレート３０とカバープレート３１を示す図であり、この断面に位置しない第一インク導入孔３１ａは図内において点線で示している。 Further, as shown in FIG. 6, the depth of the first ink introduction hole 31a and the second ink introduction hole 31b in the present embodiment with respect to the thickness of the cover plate is a depth L that is half the thickness of the cover plate. Thereby, since the process of forming the 1st ink introduction hole 31a and the 2nd ink introduction hole 31b can be made into the same process, an operation | work can be simplified.
6 will be described in detail. FIG. 6 is a diagram showing the actuator plate 30 and the cover plate 31 in the AA ′ section in FIG. 3, and the first ink introduction hole 31a not located in this section is indicated by a dotted line in FIG. Show.

さらに、図３〜６に示すように、本実施形態における第一インク導入孔３１ａ又は第二インク導入孔３１ｂはカバープレートの厚み方向に徐々に深くなっている形状である。これは、加工工程上で生じるテーパであり、下記で詳しく説明するサンドブラスト工程によって形成されている。そして第一インク導入孔３１ａ及び第二インク導入孔３１ｂの底部にて導入孔３９が形成され、第一インク導入孔３１ａと第二インク導入孔３１ｂが連通する。   Further, as shown in FIGS. 3 to 6, the first ink introduction hole 31 a or the second ink introduction hole 31 b in the present embodiment has a shape that gradually becomes deeper in the thickness direction of the cover plate. This is a taper generated in the processing process, and is formed by a sand blast process described in detail below. An introduction hole 39 is formed at the bottom of the first ink introduction hole 31a and the second ink introduction hole 31b, and the first ink introduction hole 31a and the second ink introduction hole 31b communicate with each other.

なお第一実施形態では、第一インク導入孔３１ａと第二インク導入孔３１ｂが互いに対向する位置から所定距離ずれた位置に設けられている。そして、第一インク導入孔３１ａと第二インク導入孔３１ｂの深さ方向の最下層で互いに連通している。   In the first embodiment, the first ink introduction hole 31a and the second ink introduction hole 31b are provided at a position shifted by a predetermined distance from the position facing each other. The first ink introduction hole 31a and the second ink introduction hole 31b communicate with each other in the lowest layer in the depth direction.

図４に戻り、カバープレート３１は、アクチュエータプレート３０の上面にそれぞれ重ね合わされている。また、カバープレート３１には、インクＷが供給されてくる一端面に第一インク導入孔３１ａ及び他端面に第二インク導入孔３１ｂが横幅方向に亘って形成されている。このように構成することで、複数の溝部３５にインクＷを充填できるようになっている。また、第一インク導入孔３１ａと第二インク導入孔３１ｂとの間を連通する導入孔３９が、カバープレート３１に形成されている。このように構成することで、供給手段２２からインク導入孔３１ａに供給されたインクＷが導入孔３９を通過してインク導入孔３１ｂに供給される。なお、アクチュエータプレート３０とカバープレート３１とでヘッドチップ２１を構成している。   Returning to FIG. 4, the cover plate 31 is overlaid on the upper surface of the actuator plate 30. Further, the cover plate 31 is formed with a first ink introduction hole 31a on one end surface to which the ink W is supplied and a second ink introduction hole 31b on the other end surface in the lateral width direction. With this configuration, the plurality of groove portions 35 can be filled with ink W. An introduction hole 39 that communicates between the first ink introduction hole 31 a and the second ink introduction hole 31 b is formed in the cover plate 31. With this configuration, the ink W supplied from the supply means 22 to the ink introduction hole 31a passes through the introduction hole 39 and is supplied to the ink introduction hole 31b. The actuator chip 30 and the cover plate 31 constitute the head chip 21.

支持プレート３２は、重ね合わされたアクチュエータプレート３０およびカバープレート３１を支持しているとともに、ノズルプレート３３を同時に支持している。支持プレート３２には、横幅方向に亘って嵌合孔３２ａが形成されており、重ね合わされたアクチュエータプレート３０およびカバープレート３１をこの嵌合孔３２ａ内に嵌め込んだ状態で各プレート３０，３１を支持している。この際、支持プレート３２の端面は、両プレート３０，３１の前端面と面一となるように組み合わされている。   The support plate 32 supports the actuator plate 30 and the cover plate 31 that are superimposed, and simultaneously supports the nozzle plate 33. A fitting hole 32a is formed in the support plate 32 in the lateral width direction, and the plates 30 and 31 are inserted into the fitting hole 32a with the actuator plate 30 and the cover plate 31 overlapped. I support it. At this time, the end surface of the support plate 32 is combined with the front end surfaces of the plates 30 and 31 so as to be flush with each other.

そして、これら支持プレート３２の端面、両プレート３０，３１の前端面に、ノズルプレート３３が接着剤（不図示）により接着固定されている。   The nozzle plate 33 is bonded and fixed to the end surfaces of the support plate 32 and the front end surfaces of both plates 30 and 31 with an adhesive (not shown).

ノズルプレート３３は、例えば、厚みが５０μｍ程度のポリイミドなどのフィルム材からなるシート状のプレートである。そして、ノズルプレート３３は、一方の面がアクチュエータプレート３０、カバープレート３１および支持プレート３２に接着される接着面となっており、他方の面が記録紙Ｐに対向する対向面（表面３３ｂ）となっている。なお、表面３３ｂには、インクＷの付着などを防止するための撥水性を有する撥水膜がコーティングされている。   The nozzle plate 33 is a sheet-like plate made of a film material such as polyimide having a thickness of about 50 μm, for example. The nozzle plate 33 has one surface that is an adhesive surface that is bonded to the actuator plate 30, the cover plate 31, and the support plate 32, and the other surface that is opposed to the recording paper P (surface 33b). It has become. The surface 33b is coated with a water-repellent film having water repellency for preventing adhesion of the ink W and the like.

また、このノズルプレート３３には、横幅方向（Ｙ方向）に複数の溝部３５のピッチと同じ間隔で複数のノズル孔３３ａ（噴射孔）が形成されている。つまり、ノズル孔３３ａは、アクチュエータプレート３０に形成された溝部３５に対応して形成されている。
より具体的に説明すると、複数のノズル孔３３ａは、横幅方向に向けて直線状に配列形成されている。つまり、ノズル孔列が一列形成されている。しかも、各ノズル孔３３ａは、各溝部３５の横幅中心軸上にその中心が位置するように形成されている。 The nozzle plate 33 is formed with a plurality of nozzle holes 33a (injection holes) at the same interval as the pitch of the plurality of groove portions 35 in the lateral width direction (Y direction). That is, the nozzle hole 33 a is formed corresponding to the groove portion 35 formed in the actuator plate 30.
More specifically, the plurality of nozzle holes 33a are linearly arranged in the lateral width direction. That is, one row of nozzle holes is formed. In addition, each nozzle hole 33 a is formed so that its center is located on the horizontal center axis of each groove 35.

また、各ノズル孔３３ａは、外形輪郭線が円形を描くように円状に形成されている。しかも、図４に示すように、接着面側の入口径Ｄ１（ノズル孔３３ａの外形輪郭線の直径）が表面３３ｂ側の出口径Ｄ２よりも大きい、断面テーパ状に形成されている。なお、ノズル孔３３ａは、エキシマレーザ装置などを用いて形成されている。   Moreover, each nozzle hole 33a is formed in a circular shape so that the outer contour line draws a circle. In addition, as shown in FIG. 4, the inlet diameter D1 on the bonding surface side (the diameter of the outer contour line of the nozzle hole 33a) is larger than the outlet diameter D2 on the surface 33b side, and has a tapered section. The nozzle hole 33a is formed using an excimer laser device or the like.

（ヘッドチップの製造方法）
次に、本実施形態のヘッドチップ２１の製造方法について図７のフローチャートを用いて説明する。
初めに、カバープレート作製工程を行ってカバープレート３１を作製する（Ｓ１０）。具体的には、まずカバープレート用のウエハにレジストラミネートを行う（Ｓ１１）。続いて、レジストラミネートに対して露光、現像を行い、導入孔３９、第一インク導入孔３１ａ，第二インク導入孔３１ｂに相当する箇所のレジストを除去する（Ｓ１２）。そして、アライメントマークを用いて位置合わせをしたウエハに対してサンドブラスト加工を行い、導入孔３９および第一インク導入孔３１ａ，第二インク導入孔３１ｂを形成して、ウエハにカバープレート３１を作製する（Ｓ１３）。 (Head chip manufacturing method)
Next, a method for manufacturing the head chip 21 of the present embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG.
First, the cover plate 31 is manufactured by performing a cover plate manufacturing process (S10). Specifically, resist lamination is first performed on a cover plate wafer (S11). Subsequently, the resist laminate is exposed and developed, and the resist corresponding to the introduction hole 39, the first ink introduction hole 31a, and the second ink introduction hole 31b is removed (S12). Then, sandblasting is performed on the wafer aligned using the alignment mark to form the introduction hole 39, the first ink introduction hole 31a, and the second ink introduction hole 31b, and the cover plate 31 is produced on the wafer. (S13).

なお、ウエハは複数のカバープレート３１が形成される大きさを有している。また、カバープレート３１がそれぞれ形成されたウエハは同時に作製してもよいし、別々に作製してもよい。また、サンドブラスト加工の条件としては、例えば、圧力０．２ＭＰａとし、砥粒にアルミナの６００番を用いて行う。また、導入孔３９は第一インク導入孔３１ａ，第二インク導入孔３１ｂを形成する際に形成される。すなわち、一方のインク導入孔を形成して、他方のインク導入孔を形成する場合に、サンドブラスト加工によって互いのインク導入孔が連通することによって、導入孔３９が形成される。   The wafer has such a size that a plurality of cover plates 31 are formed. In addition, the wafers on which the cover plates 31 are formed may be manufactured simultaneously or separately. Moreover, as conditions for sandblasting, for example, the pressure is set to 0.2 MPa, and the number 600 of alumina is used for the abrasive grains. The introduction hole 39 is formed when the first ink introduction hole 31a and the second ink introduction hole 31b are formed. That is, when one ink introduction hole is formed and the other ink introduction hole is formed, the introduction holes 39 are formed by the mutual ink introduction holes communicating by sandblasting.

次に、アクチュエータプレート作製工程を行ってアクチュエータプレート３０を作製する（Ｓ２０）。具体的には、まずアクチュエータプレート用のウエハにレジストラミネートを行う（Ｓ２１）。続いて、レジストラミネートに対して露光、現像を行い（Ｓ２２）、次工程の溝加工を行う際のアライメントマークと駆動電極３７に相当する箇所（溝部３５）のレジストを除去して電極パターンを形成する。   Next, an actuator plate 30 is manufactured by performing an actuator plate manufacturing process (S20). Specifically, first, resist lamination is performed on the actuator plate wafer (S21). Subsequently, exposure and development are performed on the resist laminate (S22), and the alignment mark and the resist corresponding to the drive electrode 37 (groove part 35) are removed to form an electrode pattern in the next process of groove processing. To do.

電極パターンが形成されたら、アライメントマークを用いて位置合わせをしたウエハに対して、ダイシングソーを用いて溝部３５を形成する（Ｓ２３）。溝部３５が形成された後、溝部３５が形成されたウエハの表面に対して所定の斜め方向からアルミニウムを蒸着して、駆動電極３７をそれぞれ形成する（Ｓ２４）。そして、ウエハの表面に残っているレジストをリフトオフして、ウエハにアクチュエータプレート３０を作製する（Ｓ２５）。なお、ウエハは複数のアクチュエータプレートが形成される大きさを有している（Ｓ２３）。   After the electrode pattern is formed, a groove 35 is formed using a dicing saw on the wafer aligned using the alignment mark (S23). After the grooves 35 are formed, aluminum is vapor-deposited from a predetermined oblique direction on the surface of the wafer on which the grooves 35 are formed, thereby forming the drive electrodes 37 (S24). Then, the resist remaining on the surface of the wafer is lifted off to produce the actuator plate 30 on the wafer (S25). The wafer has such a size that a plurality of actuator plates are formed (S23).

各ウエハにカバープレート３１およびアクチュエータプレート３０がそれぞれ形成された後、次に各ウエハを貼り合わせる。まず、カバープレート３１が形成されたウエハとアクチュエータプレート３０が形成されたウエハとを貼り合わせてヘッドチップ２１が複数形成されるようにする（Ｓ３０）。   After the cover plate 31 and the actuator plate 30 are formed on each wafer, the wafers are then bonded together. First, a plurality of head chips 21 are formed by bonding the wafer on which the cover plate 31 is formed and the wafer on which the actuator plate 30 is formed (S30).

各ウエハの貼り合わせが完了した後、ウエハを切断して、ヘッドチップ２１ごとに個片化する（Ｓ４０）。個片化されたヘッドチップ２１に対してパリレン（パラキシリレン系ポリマー）をヘッドチップの内部も外部も全体的に蒸着して、保護膜を形成する（Ｓ５０）。そして、最後にアッシングによってヘッドチップ２１の内部以外のパリレン膜を除去して、電極３７の保護膜を残してヘッドチップ２１が作製される（Ｓ６０）。   After the bonding of the wafers is completed, the wafer is cut and separated into individual head chips 21 (S40). Parylene (paraxylylene polymer) is vapor deposited on both the inside and outside of the head chip 21 to form a protective film (S50). Finally, the parylene film other than the inside of the head chip 21 is removed by ashing, and the head chip 21 is manufactured leaving the protective film of the electrode 37 (S60).

このステップ６０における加工時に上述した第一実施形態で説明したカバープレート３１の構成とすることによって、電極３７のパリレンによる保護膜をアッシングすることなく、アッシング工程を実施することができる。アッシングの工程は、上述の通り、アクチュエータプレート３０とカバープレート３１を貼り合わせた後に実施する。   By using the configuration of the cover plate 31 described in the first embodiment at the time of processing in step 60, the ashing process can be performed without ashing the protective film of parylene on the electrode 37. As described above, the ashing process is performed after the actuator plate 30 and the cover plate 31 are bonded together.

カバープレート３１に対してアッシングする場合、第一インク導入孔３１ａと第二インク導入孔３１ｂが互いに対向する位置から所定距離ずれた位置に設けられているので、カバープレート３１の図５におけるＺ方向、図６におけるＬ２方向から電極３７が露出しない構成となっている。そのため、電極３７がアッシングの対象とならず、電極３７のパリレンによる保護膜をアッシングすることなく、形成することができる。   When the ashing is performed on the cover plate 31, the first ink introduction hole 31a and the second ink introduction hole 31b are provided at a position shifted by a predetermined distance from the position facing each other. The electrode 37 is not exposed from the L2 direction in FIG. Therefore, the electrode 37 is not subject to ashing, and the electrode 37 can be formed without ashing the protective film of parylene.

本実施形態によれば、複数のノズル孔を有するインクジェットヘッド２のヘッドチップ２１を製造する際に、一方の第一インク導入孔３１ａに供給されたインクＷを他方の第二インク導入孔３１ｂに導くための導入孔３９をサンドブラスト加工で形成したため、導入孔３９の加工精度を向上することができるため、インクＷを一方の第一インク導入孔３１ａから他方の第二インク導入孔３１ｂへ確実に流通させることができ、インクＷの吐出不良の発生を抑制することができる。   According to this embodiment, when manufacturing the head chip 21 of the inkjet head 2 having a plurality of nozzle holes, the ink W supplied to one first ink introduction hole 31a is transferred to the other second ink introduction hole 31b. Since the introduction hole 39 for guiding is formed by sandblasting, the processing accuracy of the introduction hole 39 can be improved, so that the ink W is reliably transferred from one first ink introduction hole 31a to the other second ink introduction hole 31b. It is possible to circulate, and it is possible to suppress the occurrence of defective ejection of the ink W.

なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。   The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

（変形例）
また、上記実施形態では、アクチュエータプレートとカバープレートとで構成されるヘッドチップを１組用いて、ノズル孔列が１列形成されたインクジェットヘッドの場合について説明したが、ノズル孔列が２列以上形成されたインクジェットヘッドであっても、上記製造方法にてヘッドチップを製造すれば同様の作用効果を得ることができる。 (Modification)
In the above-described embodiment, the case of an inkjet head in which one set of head chips formed of an actuator plate and a cover plate is used and one nozzle hole array is formed has been described. Even if it is the formed inkjet head, the same effect can be acquired if a head chip is manufactured with the said manufacturing method.

具体的に、本実施例でのノズル孔３３ａは、隣り合うノズル孔３３ａに対して横幅方向に直交するノズルプレート３３の縦幅方向（Ｚ方向）に所定距離だけずれた状態で配列形成されている。複数のノズル孔３３ａは、横幅方向に向けて直線状に配列形成されており、縦幅方向に所定距離だけ間を空けて平行に一列並んだ状態となっている。このように構成することで、高解像度印刷に対応したインクジェットヘッド２を構成することができる。   Specifically, the nozzle holes 33a in this embodiment are arrayed in a state of being shifted by a predetermined distance in the vertical width direction (Z direction) of the nozzle plate 33 orthogonal to the horizontal width direction with respect to the adjacent nozzle holes 33a. Yes. The plurality of nozzle holes 33a are linearly arranged in the horizontal width direction, and are arranged in a line in parallel with a predetermined distance in the vertical width direction. By configuring in this way, it is possible to configure the inkjet head 2 compatible with high resolution printing.

さらに、２列以上のノズル孔列を用いる形態として、ノズル孔列のノズル孔がＹ方向において交互に千鳥状の位置に形成されていても構わない。   Furthermore, as a form using two or more nozzle hole rows, the nozzle holes of the nozzle hole rows may be alternately formed at staggered positions in the Y direction.

また、上記実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェット記録装置１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機などであっても構わない。   In the above embodiment, the ink jet recording apparatus 1 has been described as an example of the liquid jet recording apparatus, but is not limited to a printer. For example, it may be a fax machine or an on-demand printing machine.

また、上記実施形態では、インクＷの初期充填動作に関し、図１に示すサービスステーション１１を用いた吸引充填方法を示したが、その他の充填方法である、供給チューブ６０上に加圧ポンプを配置し、インクタンク４１側からインクジェットヘッド２側へ向けてインクＷを加圧する加圧充填方式を採用しても構わない。   In the above embodiment, the suction filling method using the service station 11 shown in FIG. 1 has been shown for the initial filling operation of the ink W, but a pressure pump is disposed on the supply tube 60 as another filling method. However, a pressure filling method in which the ink W is pressurized from the ink tank 41 side toward the inkjet head 2 side may be employed.

また、上記実施形態では、インクＷを吐出するアクチュエータとして、電極が設けられたアクチュエータプレート３０を備えるようにしたが、この形態に限られるものではない。例えば、電気熱変換素子を用いて、インクＷが充填されている室内に気泡を生じさせ、その圧力によって、インクＷを吐出する機構としても構わない。   In the above embodiment, the actuator plate 30 provided with electrodes is provided as the actuator for ejecting the ink W. However, the present invention is not limited to this configuration. For example, an electrothermal conversion element may be used to generate bubbles in a chamber filled with the ink W, and the ink W may be ejected by the pressure.

（第二実施形態）
また、上記実施形態では、第一インク導入孔３１ａ，第二インク導入孔３１ｂが各溝部３５の併設方向に亘って形成され、インクＷは第一インク導入孔３１ａ，第二インク導入孔３１ｂから各溝部３５へ充填されるようにしたが、この形態に限られるものではない。 (Second embodiment)
Further, in the above embodiment, the first ink introduction hole 31a and the second ink introduction hole 31b are formed in the direction in which the groove portions 35 are provided, and the ink W is supplied from the first ink introduction hole 31a and the second ink introduction hole 31b. Although each groove part 35 is filled, it is not restricted to this form.

本発明の第二実施形態を図８に示す。図８を示して具体的に説明するように、上述の実施形態と同様に第一インク導入孔３１ａを設け、カバープレート３１にスリット形状の溝を設け、そのスリット３１ｃが溝部３５の併設ピッチの２倍となるように形成されていてもよい。このスリット３１ｃの形成方法は特に限定しないが、上述したサンドブラスト加工でも構わないし、溝部３５を形成した方法と同様にダイシングソーを用いて加工しても構わない。   A second embodiment of the present invention is shown in FIG. As shown in FIG. 8 and specifically described, the first ink introduction hole 31a is provided in the same manner as in the above-described embodiment, a slit-shaped groove is provided in the cover plate 31, and the slit 31c has a pitch of the groove portion 35. You may form so that it may become 2 times. The method for forming the slit 31c is not particularly limited, but may be the sand blast processing described above, or may be processed using a dicing saw in the same manner as the method for forming the groove portion 35.

このように構成した第一インク導入孔３１ａとスリット３１ｃは、第一実施形態の第一インク導入孔３１ａと第二インク導入孔３１ｂの連通と同様に、導入孔３９によって連通する。より具体的に説明すると、第一インク導入孔３１ａは上述と同様に形成し、スリット３１ｃはインクを供給する溝部３５に対応する位置に形成する。第一インク導入孔３１ａとスリット３１ｃの形成する順番は特に問わないが、どちらかが連通するまで、つまり導入孔３９が形成されるまで加工すればよい。   The first ink introduction hole 31a and the slit 31c configured as described above communicate with each other through the introduction hole 39 in the same manner as the communication between the first ink introduction hole 31a and the second ink introduction hole 31b in the first embodiment. More specifically, the first ink introduction hole 31a is formed in the same manner as described above, and the slit 31c is formed at a position corresponding to the groove portion 35 for supplying ink. The order in which the first ink introduction hole 31a and the slit 31c are formed is not particularly limited, but may be processed until one of them communicates, that is, until the introduction hole 39 is formed.

すなわち、スリット３１ｃが溝部３５の一つ置きに対応し、インクＷがスリット３１ｃに対応する溝部３５のみに充填される形式にしても構わない。この形態を採用することで、導電性のインクＷを用いたとしても、電極がインクＷを介して短絡することがなく、多種多様なインクＷを採用し、印刷を実施することができる。   That is, the slit 31c may correspond to every other groove portion 35, and the ink W may be filled only in the groove portion 35 corresponding to the slit 31c. By adopting this form, even if the conductive ink W is used, the electrodes are not short-circuited via the ink W, and a wide variety of inks W can be used for printing.

（第三実施形態）
本発明の第三実施形態を図９に示す。第一実施形態では、第一インク導入孔３１ａと第二インク導入孔３１ｂが互いに対向する位置から所定距離ずれた位置に設けられているが、本発明はこの構成に限られるものではない。すなわち、図９に示すように第一インク導入孔と第二インク導入孔が互いに対向する位置であってもよい。 (Third embodiment)
A third embodiment of the present invention is shown in FIG. In the first embodiment, the first ink introduction hole 31a and the second ink introduction hole 31b are provided at a position shifted by a predetermined distance from the position facing each other. However, the present invention is not limited to this configuration. That is, as shown in FIG. 9, the first ink introduction hole and the second ink introduction hole may be at positions facing each other.

図９は図３において説明したアクチュエータプレートとカバープレートを抜き出して簡略的に第三実施形態を示すものである。アクチュエータプレート３０は第一実施形態と同一の構成であり、第三実施形態はカバープレート３１０に特徴がある。すなわち、第一インク導入孔３１０ａと第二インク導入孔３１０ｂが互いに対向する位置に設けられており、第一インク導入孔３１０ａの最も深い位置と第二インク導入孔３１０ｂの最も深い位置で連通し、その連通する部分が導入孔３９０となり、インクＷを供給することができる。   FIG. 9 shows a third embodiment in a simplified manner by extracting the actuator plate and the cover plate described in FIG. The actuator plate 30 has the same configuration as that of the first embodiment, and the third embodiment is characterized by the cover plate 310. That is, the first ink introduction hole 310a and the second ink introduction hole 310b are provided at positions facing each other, and communicate with each other at the deepest position of the first ink introduction hole 310a and the deepest position of the second ink introduction hole 310b. The communicating portion becomes the introduction hole 390, and the ink W can be supplied.

つまり、図９はカバープレート３１０の一端面から厚み方向に第一インク導入孔３１０ａを加工し、他端面から厚み方向に第二インク導入孔３１０ｂを形成する際に、第一インク導入孔３１０ａと第二インク導入孔３１０ｂが対向する位置に設けられている。そして、第一インク導入孔３１０ａと第二インク導入孔３１０ｂの深さ方向の最下層で互いに連通している。この構成により、連通部である導入孔３９０が形成される。   That is, in FIG. 9, when the first ink introduction hole 310a is processed in the thickness direction from one end face of the cover plate 310 and the second ink introduction hole 310b is formed in the thickness direction from the other end face, The second ink introduction hole 310b is provided at a facing position. The first ink introduction hole 310a and the second ink introduction hole 310b communicate with each other in the lowest layer in the depth direction. With this configuration, an introduction hole 390 that is a communication portion is formed.

なお、第一実施形態で示したように、第一インク導入孔３１０ａと第二インク導入孔３１０ｂのカバープレートの厚みに対する深さは、互いにカバープレートの厚みの半分の深さＬとした。これにより、第一インク導入孔３１０ａと第二インク導入孔３１０ｂをそれぞれ形成する工程を同じ工程とすることができるため、作業の簡略化を図ることができる。   As shown in the first embodiment, the depth of the first ink introduction hole 310a and the second ink introduction hole 310b with respect to the thickness of the cover plate is a depth L that is half the thickness of the cover plate. Thereby, since the process of forming the first ink introduction hole 310a and the second ink introduction hole 310b can be the same process, the operation can be simplified.

なお、上述したステップ６０における加工時に第三実施形態で説明したカバープレート３１０の構成とすることによって、電極３７のパリレンによる保護膜をアッシングすることなく、形成することができる。   In addition, by using the structure of the cover plate 310 described in the third embodiment at the time of processing in step 60 described above, the protective film of parylene for the electrode 37 can be formed without ashing.

カバープレート３１０に対してアッシングする場合、第一インク導入孔３１０ａと第二インク導入孔３１０ｂが互いに対向する位置に設けられ、かつ導入孔３９０を微小孔として形成することにより、カバープレート３１の図９におけるＺ方向から電極３７がほとんど露出しない構成となっている。そのため、電極３７がアッシングの対象とならず、電極３７のパリレンによる保護膜をアッシングすることなく、形成することができる。   When ashing the cover plate 310, the first ink introduction hole 310a and the second ink introduction hole 310b are provided at positions facing each other, and the introduction hole 390 is formed as a minute hole. 9, the electrode 37 is hardly exposed from the Z direction. Therefore, the electrode 37 is not subject to ashing, and the electrode 37 can be formed without ashing the protective film of parylene.

なお、第三実施形態の変更例として、図示しないが例えばインク導入孔を一端面のみから形成し、溝部３５に連通する部分を第二インク導入孔とする構成も、本発明の主旨に含む構成である。つまり、この形状では、一端面から形成されるインク導入孔の広口部で流路２２ｅと連通し、該インク導入孔の深さ方向最下層が溝部３５と直接連通する第二インク導入孔となっている。   In addition, as a modification of the third embodiment, although not shown, for example, a configuration in which the ink introduction hole is formed only from one end surface and the portion communicating with the groove 35 is the second ink introduction hole is also included in the gist of the present invention. It is. That is, in this shape, the ink inlet hole formed from one end surface communicates with the flow path 22e, and the bottom layer in the depth direction of the ink inlet hole is a second ink inlet hole that directly communicates with the groove portion 35. ing.

また、ここでは一端面のみからインク導入孔を形成した構成を説明したが、他端面のみからインク導入孔を形成し、流路２２ｅに連通する部分を第二インク導入孔とする構成も、本発明の主旨に含む構成である。つまり、この形状では、他端面から形成されるインク導入孔の広口部で溝部３５と連通し、深さ方向最下層が流路２２ｅと直接連通する第二インク導入孔となっている。   Further, here, the configuration in which the ink introduction hole is formed only from one end surface has been described, but the configuration in which the ink introduction hole is formed only from the other end surface and the portion communicating with the flow path 22e is the second ink introduction hole is also possible. This is a configuration included in the gist of the invention. That is, in this shape, the ink inlet hole formed from the other end face communicates with the groove 35, and the bottom layer in the depth direction is a second ink inlet hole that directly communicates with the flow path 22e.

２１…ヘッドチップ ３０…アクチュエータプレート ３１…カバープレート ３１ａ…インク導入孔（第一液体導入孔） ３１ｂ…インク導入孔（第二液体導入孔） ３５…溝部 ３３ａ…ノズル孔（噴射孔） ３９…導入孔 Ｗ…インク（液体）
DESCRIPTION OF SYMBOLS 21 ... Head chip 30 ... Actuator plate 31 ... Cover plate 31a ... Ink introduction hole (first liquid introduction hole) 31b ... Ink introduction hole (second liquid introduction hole) 35 ... Groove 33a ... Nozzle hole (ejection hole) 39 ... Introduction Hole W ... Ink (liquid)

Claims (10)

液体を噴射する噴射孔に連通する複数の溝を有するアクチュエータプレートと、前記溝のそれぞれに液体を供給する液体導入孔が形成されたカバープレートと、を備えた液体噴射記録ヘッドであって、
前記液体導入孔は、前記カバープレートの一端面に設ける第一液体導入部と、前記カバープレートの他端面に設けるとともに前記第一液体導入部に連通する第二液体導入部によって形成され、
前記第一液体導入部と前記第二液体導入部は前記カバープレートの厚み方向で互いに対向しない位置に形成され、前記第一液体導入部の底部と前記第二液体導入部の底部とが前記カバープレートの厚み方向に間隙を介して重なっており、当該間隙によって前記第一液体導入部と前記第二液体導入部とが連通していることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。 A liquid ejection recording head comprising: an actuator plate having a plurality of grooves communicating with ejection holes for ejecting liquid; and a cover plate having a liquid introduction hole for supplying liquid to each of the grooves,
The liquid introduction hole is formed by a first liquid introduction portion provided on one end surface of the cover plate and a second liquid introduction portion provided on the other end surface of the cover plate and communicating with the first liquid introduction portion,
The first liquid introduction portion and the second liquid introduction portion are formed at positions that do not face each other in the thickness direction of the cover plate, and the bottom portion of the first liquid introduction portion and the bottom portion of the second liquid introduction portion are the cover. A liquid jet recording head, wherein the liquid jet recording head overlaps with a gap in a thickness direction of the plate, and the first liquid introduction section and the second liquid introduction section communicate with each other through the gap. 前記第一液体導入部は前記一端面から前記カバープレートの厚み方向に徐々に深くなっていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射記録ヘッド。 2. The liquid jet recording head according to claim 1 , wherein the first liquid introduction portion gradually becomes deeper in the thickness direction of the cover plate from the one end surface. 前記第二液体導入部は前記他端面から前記カバープレートの厚み方向に徐々に深くなっていることを特徴とする請求項１または２に記載の液体噴射記録ヘッド。 3. The liquid jet recording head according to claim 1, wherein the second liquid introduction portion is gradually deepened in the thickness direction of the cover plate from the other end surface. 前記第一液体導入部と前記第二液体導入部は、互いに前記カバープレートの厚みに対して最も深い位置で連通することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射記録ヘッド。 4. The liquid ejection according to claim 1 , wherein the first liquid introduction part and the second liquid introduction part communicate with each other at a deepest position with respect to the thickness of the cover plate. Recording head. 請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射記録ヘッドと、
前記液体噴射記録ヘッドへ液体を液体貯留部から供給する液体供給路と、を有することを特徴とする液体噴射記録装置。 A liquid jet recording head according to any one of claims 1 to 4 ,
A liquid jet recording apparatus, comprising: a liquid supply path that supplies liquid from the liquid reservoir to the liquid jet recording head. 液体を噴射する噴射孔に連通する複数の溝を有するアクチュエータプレートと、前記溝のそれぞれに液体を供給する液体導入孔が形成されたカバープレートと、を備えたヘッドチップと、を製造する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記液体導入孔を形成する工程は、前記カバープレートの一端面に第一液体導入部を加工する第一加工工程と、前記カバープレートの他端面に第二液体導入部を加工する第二加工工程からなり、
前記第一加工工程と前記第二加工工程で前記第一液体導入部と前記第二液体導入部は前記カバープレートの厚み方向で互いに対向しない位置に形成され、前記第一液体導入部の底部と前記第二液体導入部の底部とが前記カバープレートの厚み方向に間隙を介して重なっており、当該間隙によって前記第一液体導入部と前記第二液体導入部とが連通していることを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。 Liquid ejection for manufacturing a head chip comprising: an actuator plate having a plurality of grooves communicating with ejection holes for ejecting liquid; and a cover plate having a liquid introduction hole for supplying liquid to each of the grooves. A method of manufacturing a head,
The step of forming the liquid introduction hole includes a first processing step of processing a first liquid introduction portion on one end surface of the cover plate, and a second processing step of processing a second liquid introduction portion on the other end surface of the cover plate. Consists of
In the first processing step and the second processing step, the first liquid introduction portion and the second liquid introduction portion are formed at positions that do not face each other in the thickness direction of the cover plate, and the bottom portion of the first liquid introduction portion The bottom portion of the second liquid introduction portion overlaps with a gap in the thickness direction of the cover plate, and the first liquid introduction portion and the second liquid introduction portion communicate with each other through the gap. A method for manufacturing a liquid jet recording head. 前記第一加工工程において形成する前記第一液体導入部は前記一端面から前記カバープレートの厚み方向に徐々に深く形成することを特徴とする請求項６に記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。 The method of manufacturing a liquid jet recording head according to claim 6 , wherein the first liquid introduction portion formed in the first processing step is gradually formed deeper in the thickness direction of the cover plate from the one end surface. 前記第二加工工程において形成する前記第二液体導入部は前記他端面から前記カバープレートの厚み方向に徐々に深く形成することを特徴とする請求項６または７に記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。 8. The liquid jet recording head according to claim 6, wherein the second liquid introduction portion formed in the second processing step is gradually formed deeper in the thickness direction of the cover plate from the other end surface. Method. 前記第一加工工程と前記第二加工工程が形成する前記第一液体導入部と前記第二液体導入部は、互いに前記カバープレートの厚みに対して最も深い位置で連通することを特徴とする請求項６〜８の何れか一項に記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。 The first liquid introduction portion and the second liquid introduction portion formed by the first processing step and the second processing step communicate with each other at a deepest position with respect to the thickness of the cover plate. Item 9. A method for manufacturing a liquid jet recording head according to any one of Items 6 to 8 . 前記第一加工工程と前記第二加工工程が形成する前記第一液体導入部と前記第二液体導入部は、サンドブラスト加工にて形成することを特徴とする請求項６〜９の何れか一項に記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。 The said 1st liquid introduction part and said 2nd liquid introduction part which a said 1st process process and a said 2nd process process form are formed by sandblasting, The any one of Claims 6-9 characterized by the above-mentioned. A manufacturing method of a liquid jet recording head described in 1.

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