JP5716734B2 - Heat treatment furnace - Google Patents

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Description

本発明は、例えば、セラミック電子部品の製造工程などにおいて用いられる熱処理炉に関し、詳しくは、ガス供給管からガス（雰囲気ガス）を供給しながら、連続的に被熱処理物の熱処理を行う熱処理炉に関する。   The present invention relates to a heat treatment furnace used in, for example, a manufacturing process of a ceramic electronic component, and more particularly to a heat treatment furnace that continuously heats an object to be heat treated while supplying a gas (atmosphere gas) from a gas supply pipe. .

例えば、積層セラミックコンデンサなどのセラミック電子部品は、通常、未焼成のセラミック積層体（セラミック成形体）を熱処理してバインダーを除去する脱バインダー工程、その後に本焼成を行う焼成工程などを経て製造されており、上記脱バインダー工程や焼成工程は、雰囲気や温度などを制御することができるように構成された熱処理炉を用いて実施されている。   For example, a ceramic electronic component such as a multilayer ceramic capacitor is usually manufactured through a debinding step in which an unfired ceramic laminate (ceramic molded body) is heat-treated to remove the binder, followed by a firing step in which main firing is performed. The debinding step and the firing step are carried out using a heat treatment furnace configured to control the atmosphere and temperature.

そのような熱処理炉の１つに、図１３に示すような熱処理炉が提案されている。この熱処理炉は、炉体１０１の長さ方向に沿って多数のローラ１０３が列設され、これらローラ１０３の回転により焼成室１０２内を被焼成物Ｍが移送される焼成炉において、ローラ１０３が中空筒状で、その筒壁に多数の噴気孔１０５が形成され、これらローラ１０３の外部開放端１０３ａにガス供給源１０６が連通接続された構造を有している。   As one of such heat treatment furnaces, a heat treatment furnace as shown in FIG. 13 has been proposed. In this heat treatment furnace, a large number of rollers 103 are arranged along the length direction of the furnace body 101, and in the firing furnace in which the material to be fired M is transferred through the firing chamber 102 by the rotation of the rollers 103, the rollers 103 It is a hollow cylinder, and has a structure in which a large number of air holes 105 are formed in the cylinder wall, and a gas supply source 106 is connected to the external open ends 103 a of these rollers 103.

この熱処理炉においては、ローラ１０３の一方側の端部である外部解放端１０３ａ側から雰囲気ガスが供給されるため、外部解放端１０３ａに近い位置に存在する噴気孔１０５から供給されるガスと、外部解放端１０３ａから遠い位置に存在する噴気孔１０５から供給されるガスとでは、温度差が大きくなる。すなわち、外部解放端１０３ａに近い噴気孔１０５から供給されるガスは温度が低いが、ローラ１０３が燃焼室で加熱されるため、外部解放端１０３ａから遠い噴気孔１０５から供給されるガスは温度が高くなる。   In this heat treatment furnace, since the atmospheric gas is supplied from the external release end 103a side which is one end of the roller 103, the gas supplied from the fusible holes 105 located near the external release end 103a, A temperature difference becomes large with the gas supplied from the fusible hole 105 existing at a position far from the external release end 103a. That is, the gas supplied from the blow hole 105 near the external release end 103a has a low temperature, but since the roller 103 is heated in the combustion chamber, the gas supplied from the blow hole 105 far from the external release end 103a has a temperature. Get higher.

その結果、焼成室１０２内に温度分布が生じて、均一な焼成を行うことが困難になり、焼成状態にばらつきが発生するという問題点がある。   As a result, a temperature distribution is generated in the baking chamber 102, which makes it difficult to perform uniform baking, and causes variations in the baking state.

特開平６−３０７０号公報JP-A-6-3070

本発明は、上記課題を解決するものであり、ガス供給管からガスを供給しながら、連続的に被熱処理物の熱処理を行う熱処理炉において、熱処理領域における温度のばらつきが少なく、安定した焼成を行うことが可能な熱処理炉を提供することを目的とする。   The present invention solves the above problems, and in a heat treatment furnace that continuously heat-treats an object to be heat-treated while supplying gas from a gas supply pipe, there is little variation in temperature in the heat-treatment region, and stable firing is achieved. It aims at providing the heat processing furnace which can be performed.

上記課題を解決するために、本発明の熱処理炉は、
炉体内部の熱処理領域を、所定の搬送方向に搬送することにより被熱処理物を連続的に熱処理する熱処理炉であって、
前記搬送方向に沿う複数の位置に、前記搬送方向に直交するようにガス供給管が炉体内部に挿入されているとともに、
前記ガス供給管として、周壁の長手方向に沿う複数の位置に、ガスを前記炉体内部に噴出させるためのガス噴出口が設けられ、炉体外部に位置する解放端からガスが供給されるように構成されたガス供給管が用いられており、かつ、
複数の前記ガス供給管のうち、搬送方向において、互いに隣り合う一対のガス供給管についてみた場合に、一方の前記ガス供給管と他方の前記ガス供給管とが、互いに逆側から前記炉体内部に挿入されており、
前記一方のガス供給管の複数の前記ガス噴出口と、前記他方のガス供給管の複数の前記ガス噴出口が、前記搬送方向に沿う方向についてみた場合に互いに対応する、前記搬送方向に平行な同一線上の位置に設けられていること
を特徴としている。 In order to solve the above problems, the heat treatment furnace of the present invention comprises:
A heat treatment furnace for continuously heat-treating an object to be heat-treated by conveying a heat treatment region inside the furnace body in a predetermined conveyance direction,
A gas supply pipe is inserted into the furnace body so as to be orthogonal to the transport direction at a plurality of positions along the transport direction, and
As the gas supply pipes, gas outlets for injecting gas into the furnace body are provided at a plurality of positions along the longitudinal direction of the peripheral wall so that the gas is supplied from an open end located outside the furnace body. A gas supply pipe constructed in the above is used, and
When viewing a pair of gas supply pipes adjacent to each other in the transport direction among the plurality of gas supply pipes, one gas supply pipe and the other gas supply pipe are connected to each other inside the furnace body from the opposite sides. Inserted in the
The plurality of gas outlets of the one gas supply pipe and the plurality of gas outlets of the other gas supply pipe correspond to each other when viewed in the direction along the transport direction, and are parallel to the transport direction. It is characterized by being located on the same line .

なお、本発明において、被熱処理物の搬送方向に直交するようにガス供給管が炉体内部に挿入されているとは、文字どおり、搬送方向に直交するようにガス供給管が挿入されている場合に限らず、実装置において生じるような挿入方向のばらつきなどは許容する概念である。   In the present invention, that the gas supply pipe is inserted into the furnace body so as to be orthogonal to the transfer direction of the object to be heat treated is literally when the gas supply pipe is inserted so as to be orthogonal to the transfer direction. The concept is not limited to this, and variations in the insertion direction that occur in an actual apparatus are allowed.

また、本発明の他の熱処理炉は、
炉体内部の熱処理領域を、所定の搬送方向に搬送することにより被熱処理物を連続的に熱処理する熱処理炉であって、
前記搬送方向に沿う複数の位置に、前記搬送方向に直交するようにガス供給管が炉体内部に挿入されているとともに、
前記ガス供給管として、周壁の長手方向に沿う複数の位置に、ガスを前記炉体内部に噴出させるためのガス噴出口が設けられ、炉体外部に位置する解放端からガスが供給されるように構成されたガス供給管が用いられており、かつ、
複数の前記ガス供給管のうち、搬送方向において、互いに隣り合う一対のガス供給管についてみた場合に、一方の前記ガス供給管と他方の前記ガス供給管とが、互いに逆側から前記炉体内部に挿入されており、
前記一対のガス供給管の前記ガス噴出口が、前記ガス供給管の前記炉体内部に位置する領域のうち、搬送方向に直交する方向における前記炉体内部の中央より奥側に位置するガス供給管先端側領域にのみ配設されていること
を特徴としている。 In addition, the other heat treatment furnace of the present invention is
A heat treatment furnace for continuously heat-treating an object to be heat-treated by conveying a heat treatment region inside the furnace body in a predetermined conveyance direction,
A gas supply pipe is inserted into the furnace body so as to be orthogonal to the transport direction at a plurality of positions along the transport direction, and
As the gas supply pipes, gas outlets for injecting gas into the furnace body are provided at a plurality of positions along the longitudinal direction of the peripheral wall so that the gas is supplied from an open end located outside the furnace body. A gas supply pipe constructed in the above is used, and
When viewing a pair of gas supply pipes adjacent to each other in the transport direction among the plurality of gas supply pipes, one gas supply pipe and the other gas supply pipe are connected to each other inside the furnace body from the opposite sides. Inserted in the
Gas supply in which the gas outlets of the pair of gas supply pipes are located on the inner side of the furnace body in the direction orthogonal to the transport direction in the region of the gas supply pipe located in the furnace body. It is arranged only in the tube tip side area
It is characterized by.

また、本発明のさらに他の熱処理炉は、
炉体内部の熱処理領域を、所定の搬送方向に搬送することにより被熱処理物を連続的に熱処理する熱処理炉であって、
前記搬送方向に沿う複数の位置のそれぞれに、前記搬送方向に直交する同一線上に軸心が位置する２本のガス供給管が、互いに逆側から、先端が前記搬送方向に直交する方向における前記炉体内部の中央に達し、かつ、前記先端が互いに正対するような態様で挿入されているとともに、
前記ガス供給管として、周壁の長手方向に沿う複数の位置に、ガスを前記炉体内部に噴出させるためのガス噴出口が設けられており、炉体外部に位置する解放端からガスが供給されるように構成されたガス供給管が用いられていること
を特徴としている。 Further , still another heat treatment furnace of the present invention is:
A heat treatment furnace for continuously heat-treating an object to be heat-treated by conveying a heat treatment region inside the furnace body in a predetermined conveyance direction,
At each of the plurality of positions along the transport direction, two gas supply pipes whose axial centers are located on the same line perpendicular to the transport direction are arranged in the direction perpendicular to the transport direction from the opposite side. It reaches the center inside the furnace body and is inserted in such a manner that the tips face each other,
As the gas supply pipe, gas outlets for injecting gas into the furnace body are provided at a plurality of positions along the longitudinal direction of the peripheral wall, and the gas is supplied from an open end located outside the furnace body. It is characterized by the fact that a gas supply pipe configured as described above is used.

また、本発明のさらに他の熱処理炉は、
炉体内部の熱処理領域を、所定の搬送方向に搬送することにより被熱処理物を連続的に熱処理する熱処理炉であって、
前記搬送方向に沿う複数の位置のそれぞれから前記炉体内部に、前記搬送方向に直交し、かつ、前記炉体内部を貫通するようにガス供給管が挿入されているとともに、
前記ガス供給管として、両端が解放端となり、中央部で連通が遮断され、周壁の長手方向に沿う複数の位置に、ガスを前記炉体内部に噴出させるためのガス噴出口が設けられ、前記両端の解放端のそれぞれから供給されたガスが、前記ガス噴出口を経て、前記炉体内部に供給されるように構成されたガス供給管が用いられていること
を特徴としている。 Further, still another heat treatment furnace of the present invention is:
A heat treatment furnace for continuously heat-treating an object to be heat-treated by conveying a heat treatment region inside the furnace body in a predetermined conveyance direction,
A gas supply pipe is inserted from each of a plurality of positions along the transport direction into the furnace body so as to be orthogonal to the transport direction and penetrate the furnace body,
As the gas supply pipe, both ends are open ends, communication is cut off at the center, and gas outlets are provided at a plurality of positions along the longitudinal direction of the peripheral wall to jet gas into the furnace body, A gas supply pipe configured to supply the gas supplied from the open ends at both ends to the inside of the furnace body through the gas outlet is used.

本発明の熱処理炉は、上述のように、搬送方向に沿う複数の位置に、搬送方向に直交するようにガス供給管が炉体内部に挿入されており、ガス供給管として、周壁の長手方向に沿う複数の位置にガスを炉体内部に噴出させるためのガス噴出口が設けられ、炉体外部に位置する解放端からガスが供給されるように構成されたガス供給管を用い、炉体内部に挿入された複数のガス供給管のうち、搬送方向において、互いに隣り合う一対のガス供給管についてみた場合に、一方のガス供給管と他方のガス供給管とを、互いに逆側から炉体内部に挿入するようにしている。したがって、一方のガス供給管では、先端側に向かってガスの温度が徐々に上昇することになり、他方のガス供給管では、上記一方のガス供給管の場合とは逆側に位置する先端側に向かってガスの温度が徐々に上昇することになる。すなわち、一方のガス供給管と他方のガス供給管から供給されるガスの、被熱処理物の搬送方向に直交する方向における温度分布は、互いに対称の関係になるため、それらが混ざり合うことで、炉体内部の温度のばらつきが小さくなり、安定した雰囲気中で、良好な熱処理を行うことが可能になる。   In the heat treatment furnace of the present invention, as described above, the gas supply pipe is inserted into the furnace body at a plurality of positions along the transport direction so as to be orthogonal to the transport direction, and the longitudinal direction of the peripheral wall as the gas supply pipe A gas supply pipe configured to supply gas from an open end located outside the furnace body is provided with gas outlets for ejecting gas into the furnace body at a plurality of positions along the furnace body. When looking at a pair of gas supply pipes adjacent to each other in the transport direction among a plurality of gas supply pipes inserted inside, the furnace body from the opposite side to one gas supply pipe and the other gas supply pipe I try to insert it inside. Therefore, in one gas supply pipe, the temperature of the gas gradually increases toward the tip side, and in the other gas supply pipe, the tip side located on the opposite side to the case of the one gas supply pipe The gas temperature gradually rises toward. That is, the temperature distribution of the gas supplied from one gas supply pipe and the other gas supply pipe in the direction orthogonal to the transfer direction of the object to be heat-treated has a symmetric relationship with each other. Variations in temperature inside the furnace body are reduced, and good heat treatment can be performed in a stable atmosphere.

また、ガス噴出口が、搬送方向に沿う方向についてみた場合に、互いに対応する位置に設けられている（すなわち、搬送方向に平行な同一線上に位置している）ような構成としているので、ガス噴出口から噴き出すガスどうしが衝突することにより、炉体内部の雰囲気を攪拌して、炉体内部の温度のばらつきを抑えることが可能になる。  Further, since the gas outlets are provided at positions corresponding to each other when viewed in the direction along the transport direction (that is, located on the same line parallel to the transport direction), the gas By collision of the gases ejected from the ejection port, it is possible to agitate the atmosphere inside the furnace body and suppress the temperature variation inside the furnace body.

また、本発明の他の熱処理炉（本発明の第２の熱処理炉）においては、ガス噴出口が、ガス供給管の炉体内部に位置する領域のうち、搬送方向に直交する方向における炉体内部の中央より奥側のガス供給管先端側領域にのみ配設された構成とされているので、供給されたガスが、ガス供給管を通過して炉体内部の中央を超える領域に達するまでの過程で十分に加熱され、炉体内部に供給されるガスの温度が高くなるため、炉体内部の温度のばらつきを抑制、防止することが可能になる。  In another heat treatment furnace of the present invention (second heat treatment furnace of the present invention), a furnace body in a direction orthogonal to the transport direction in a region where the gas outlet is located inside the furnace body of the gas supply pipe Since it is configured to be arranged only in the gas supply pipe tip side region deeper than the inner center, the supplied gas passes through the gas supply pipe and reaches the region exceeding the center inside the furnace body In this process, the temperature of the gas sufficiently heated and supplied to the inside of the furnace body becomes high, so that it is possible to suppress and prevent variations in the temperature inside the furnace body.

また、本発明のさらに他の熱処理炉（本発明の第３の熱処理炉）では、搬送方向に沿う複数の位置のそれぞれに、搬送方向に直交する同一線上に軸心が位置する２本のガス供給管を、互いに逆側から、先端が前記搬送方向に直交する方向における前記炉体内部の中央に達し、かつ、前記先端が互いに正対するような態様で挿入するようにしている。したがって、一方側から挿入されるガス供給管のガス噴出口の位置と、他方側から挿入されるガス供給管のガス噴出口の位置とが、点対称の関係になるため、温度分布もほぼ対称の関係になる。そして、かかるガス噴出口から噴出するガスが混ざり合うことで、炉体内部の温度のばらつきが小さくなり、安定した雰囲気中で、良好な熱処理を行うことが可能になる。 In still another heat treatment furnace of the present invention ( third heat treatment furnace of the present invention), two gases whose axes are located on the same line perpendicular to the transport direction at each of a plurality of positions along the transport direction. The supply pipes are inserted from opposite sides in such a manner that the tips reach the center inside the furnace body in the direction perpendicular to the transport direction, and the tips face each other. Therefore, since the position of the gas outlet of the gas supply pipe inserted from one side and the position of the gas outlet of the gas supply pipe inserted from the other side are in a point-symmetric relationship, the temperature distribution is also almost symmetrical. It becomes a relationship. And by mixing the gas ejected from the gas ejection port, the temperature variation in the furnace body is reduced, and it is possible to perform a good heat treatment in a stable atmosphere.

また、本発明のさらに他の熱処理炉（本発明の第４の熱処理炉）では、搬送方向に沿う複数の位置のそれぞれから炉体内部に、搬送方向に直交し、かつ、炉体内部を貫通するように、両端が解放端となり、中央部で連通が遮断され、周壁の長手方向に沿う複数の位置にガスを炉体内部に噴出させるためのガス噴出口が設けられ、両端の解放端のそれぞれから供給されたガスが、ガス噴出口を経て、炉体内部に供給されるように構成されたガス供給管を挿入した構成としている。したがって、炉体内部を貫通するように挿入された一本のガス供給管により、両側から炉体内部にガスを供給することが可能になり、上述の本発明の第２の熱処理炉の場合に準じるような作用効果を得ることができる。 Further, in still another heat treatment furnace of the present invention ( fourth heat treatment furnace of the present invention), a plurality of positions along the transport direction are respectively entered into the furnace body, perpendicular to the transport direction, and penetrated through the furnace body. Thus, both ends become open ends, communication is cut off at the center, and gas outlets for injecting gas into the furnace body are provided at a plurality of positions along the longitudinal direction of the peripheral wall. A gas supply pipe configured to supply the gas supplied from each through the gas ejection port to the inside of the furnace body is inserted. Therefore, it becomes possible to supply gas into the furnace body from both sides by one gas supply pipe inserted so as to penetrate the inside of the furnace body. In the case of the second heat treatment furnace of the present invention described above, Similar effects can be obtained.

本発明の一実施形態（実施形態１）にかかる熱処理炉の構成を示す側面断面図である。It is side surface sectional drawing which shows the structure of the heat processing furnace concerning one Embodiment (Embodiment 1) of this invention. 本発明の実施形態１にかかる熱処理炉の構成を示す平面断面図である。It is a plane sectional view showing the composition of the heat treatment furnace concerning Embodiment 1 of the present invention. 本発明の実施形態１にかかる熱処理炉の構成を示す正面断面図である。It is front sectional drawing which shows the structure of the heat processing furnace concerning Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態１にかかる熱処理炉のガス供給管の配設態様を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the arrangement | positioning aspect of the gas supply pipe | tube of the heat processing furnace concerning Embodiment 1 of this invention. 比較用の熱処理炉におけるガス供給管の配設態様を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the arrangement | positioning aspect of the gas supply pipe | tube in the heat processing furnace for a comparison. 実施形態１および比較用の熱処理炉について調べた炉体内部の温度のばらつきを示す図である。It is a figure which shows the dispersion | variation in the temperature inside the furnace body investigated about Embodiment 1 and the heat processing furnace for a comparison. 本発明の実施形態２にかかる熱処理炉のガス供給管の配設態様を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the arrangement | positioning aspect of the gas supply pipe | tube of the heat processing furnace concerning Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施形態３にかかる熱処理炉のガス供給管の配設態様を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the arrangement | positioning aspect of the gas supply pipe | tube of the heat processing furnace concerning Embodiment 3 of this invention. 本発明の実施形態４にかかる熱処理炉のガス供給管の配設態様を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the arrangement | positioning aspect of the gas supply pipe | tube of the heat processing furnace concerning Embodiment 4 of this invention. 本発明の実施形態５にかかる熱処理炉のガス供給管の配設態様を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the arrangement | positioning aspect of the gas supply pipe | tube of the heat processing furnace concerning Embodiment 5 of this invention. 本発明の実施形態６にかかる熱処理炉のガス供給管の配設態様を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the arrangement | positioning aspect of the gas supply pipe | tube of the heat processing furnace concerning Embodiment 6 of this invention. 本発明の実施形態７にかかる熱処理炉のガス供給管の配設態様を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the arrangement | positioning aspect of the gas supply pipe | tube of the heat processing furnace concerning Embodiment 7 of this invention. 従来の熱処理炉の構成を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the conventional heat processing furnace typically.

以下、本発明の実施形態を示して、本発明をさらに詳しく説明する。
なお、以下の各実施形態では、セラミック電子部品を製造する場合に、未焼成のセラミック成形体を熱処理する際に用いられる熱処理炉を例にとって説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to embodiments of the present invention.
In the following embodiments, a heat treatment furnace used for heat treating an unfired ceramic molded body when manufacturing a ceramic electronic component will be described as an example.

［実施形態１］
図１は、本発明の一実施形態（実施形態１）にかかる熱処理炉１０の構成を示す側面断面図、図２はその平面断面図、図３は正面断面図である。 [Embodiment 1]
FIG. 1 is a side sectional view showing a configuration of a heat treatment furnace 10 according to one embodiment (first embodiment) of the present invention, FIG. 2 is a plan sectional view thereof, and FIG. 3 is a front sectional view thereof.

この熱処理炉１０は、図１，２，３に示すように、炉体１の内部（炉体内部）２に、加熱手段（ヒータ）３と、雰囲気を調整するためのガスを供給するガス供給管４と、被熱処理物（未焼成のセラミック成形体が収容された匣）１５を、所定の搬送方向（図１，２において矢印Ａで示す方向）に搬送するための、ローラ６などを備えた搬送機構７を備えている。   As shown in FIGS. 1, 2, and 3, the heat treatment furnace 10 supplies a heating means (heater) 3 and a gas supply for supplying a gas for adjusting the atmosphere to the inside (furnace body) 2 of the furnace body 1. A roller 6 and the like are provided for transporting the tube 4 and the object to be heat-treated (a container in which an unfired ceramic molded body is accommodated) 15 in a predetermined transport direction (direction indicated by an arrow A in FIGS. 1 and 2). The transport mechanism 7 is provided.

また、炉体内部２には、各領域でのガス量および温度を制御する機能を果たす堰８が設けられている。   The furnace body 2 is provided with a weir 8 that functions to control the gas amount and temperature in each region.

この熱処理炉１０は、複数の被熱処理物１５が、順次、炉体内部２の熱処理領域１２を通過する（矢印Ａ（図１，２）の方向に通過する）ことにより、連続的に熱処理が行われるように構成されている。   In this heat treatment furnace 10, a plurality of heat treatment objects 15 sequentially pass through the heat treatment region 12 in the furnace body 2 (pass in the direction of arrow A (FIGS. 1 and 2)), so that the heat treatment is continuously performed. Configured to be done.

そして、この実施形態１の熱処理炉１０においては、複数のガス供給管４が、図１，２，３に示すように、上記搬送方向Ａに沿う複数の位置に、搬送方向Ａに直交するように炉体内部２に挿入されている。   In the heat treatment furnace 10 of the first embodiment, the plurality of gas supply pipes 4 are orthogonal to the transport direction A at a plurality of positions along the transport direction A as shown in FIGS. Is inserted into the furnace body 2.

そして、炉体内部２に挿入された複数のガス供給管４のうち、搬送方向において、互いに隣り合う一対のガス供給管４（例えば、図２の４ａ，４ｂ）についてみた場合に、一方のガス供給管４（４ａ）と他方のガス供給管４（４ｂ）とが、互いに逆側から炉体内部２に挿入されている。   And when it sees about a pair of gas supply pipe | tubes 4 (for example, 4a, 4b of FIG. 2) adjacent to each other in the conveyance direction among the several gas supply pipe | tubes 4 inserted in the furnace body inside 2, one gas The supply pipe 4 (4a) and the other gas supply pipe 4 (4b) are inserted into the furnace body interior 2 from opposite sides.

そして、各ガス供給管４（４ａ，４ｂ）は、いずれか一方の炉壁側から炉体内部２に挿入され、先端側が他方の炉壁に支持されることにより、炉体１に安定して支持されるように構成されている。   Each gas supply pipe 4 (4a, 4b) is inserted into the furnace body inside 2 from one of the furnace wall sides, and the front end side is supported by the other furnace wall, so that the furnace body 1 is stable. It is configured to be supported.

なお、ガス供給管４としては、通常、例えばセラミックや耐熱金属などの耐熱性を備えた材料からなるものが用いられる。   The gas supply pipe 4 is usually made of a material having heat resistance such as ceramic or refractory metal.

また、発明の理解を容易にするため、図４に、一対のガス供給管４（４ａ，４ｂ）に着目した、ガス供給管の配設態様を模式的に示す。   In order to facilitate the understanding of the invention, FIG. 4 schematically shows the arrangement of the gas supply pipes focusing on the pair of gas supply pipes 4 (4a, 4b).

ガス供給管４（４ａ，４ｂ）は、図２、図３、図４などに示すように、炉体内部２に挿入された先端１４ａは封止され、図３、図４に示すように、周壁１４ｂの長手方向に沿う複数の位置には、ガスを炉体内部２に噴出させるためのガス噴出口２４が設けられ、先端１４ａとは逆側の炉体１の外部に位置する解放端１４ｃからガス供給管４に供給されたガスが、ガス噴出口２４から炉体内部２に供給されるように構成されている。   As shown in FIGS. 2, 3, 4, etc., the gas supply pipe 4 (4 a, 4 b) is sealed at the tip 14 a inserted into the furnace body 2, and as shown in FIGS. 3, 4, At a plurality of positions along the longitudinal direction of the peripheral wall 14b, gas outlets 24 for ejecting gas into the furnace body 2 are provided, and an open end 14c located outside the furnace body 1 on the opposite side to the tip 14a. The gas supplied to the gas supply pipe 4 from the gas outlet 24 is supplied to the furnace body 2 from the gas outlet 24.

なお、この実施形態１および以下の各実施形態において、ガス噴出口２４は、例えば、ガスが真下に向かって噴き出すように構成されていてもよく、また、前後や左右にある程度の角度をもって噴き出すように構成されていてもよい。
ガスの噴き出し方向を適切に制御することにより、雰囲気の制御を効率よく行うことが可能になる場合がある。 In the first embodiment and each of the following embodiments, the gas outlet 24 may be configured so that, for example, the gas is ejected directly downward, and is ejected at a certain angle in the front-rear and left-right directions. It may be configured.
It may be possible to efficiently control the atmosphere by appropriately controlling the gas ejection direction.

ただし、実施形態１および以下の各実施形態においては、ガス噴出口２４から真下に向かってガスを噴き出させるようにした場合を例にとって説明する。   However, in the first embodiment and each of the following embodiments, a case where gas is ejected from the gas ejection port 24 directly below will be described as an example.

また、この実施形態１では、ガス供給管４として、炉体内部２に位置する領域に、長手方向に沿って、約２０個のガス噴出口２４を備えたガス供給管４を用いている。ただし、ガス噴出口２４の配設個数になんら制約はなく、熱処理炉の実際の構造や寸法などの種々の条件を考慮して、配設個数を設定することができる。   Further, in the first embodiment, as the gas supply pipe 4, the gas supply pipe 4 provided with about 20 gas ejection ports 24 along the longitudinal direction is used in a region located inside the furnace body 2. However, there is no restriction on the number of gas outlets 24, and the number can be set in consideration of various conditions such as the actual structure and dimensions of the heat treatment furnace.

また、ガス供給管４の寸法や具体的な形状さらには配設ピッチや配設数などに関しても、特に制約はない。   There are no particular restrictions on the dimensions and specific shape of the gas supply pipe 4 as well as the arrangement pitch and number of arrangements.

また、この実施形態１では、一方のガス供給管４（４ａ）と他方のガス供給管４（４ｂ）において、ガス噴出口２４は、搬送方向Ａに沿う方向についてみた場合に、互いに対応する位置に形成されている（すなわち、搬送方向Ａに平行な同一線上に位置するように形成されている）。   In the first embodiment, in one gas supply pipe 4 (4a) and the other gas supply pipe 4 (4b), the gas outlets 24 correspond to each other when viewed in the direction along the transport direction A. (That is, formed on the same line parallel to the transport direction A).

このように構成された熱処理炉１０の場合、互いに隣り合う一対のガス供給管４（４ａ，４ｂ）において、一方のガス供給管４（４ａ）と、他方のガス供給管４（４ｂ）とが互いに逆側から炉体内部２に挿入されているので、一方側から炉体内部２に挿入された一方のガス供給管４（４ａ）では、先端側に向かってガスの温度が徐々に上昇することになり、逆側から炉体内部２に挿入された他方のガス供給管４（４ｂ）でも、上記一方のガス供給管４（４ａ）の場合とは逆側の先端側に向かってガスの温度が徐々に上昇することになる。その結果、一対のガス供給管４（４ａ，４ｂ）から供給されるガスの、搬送方向Ａに直交する方向における温度分布は、互いに対称の関係になるため、それらが混ざり合うことで、炉体内部２の温度のばらつきが小さくなり、安定した雰囲気中で良好な熱処理を行うことが可能になる。   In the case of the heat treatment furnace 10 configured as described above, in a pair of gas supply pipes 4 (4a, 4b) adjacent to each other, one gas supply pipe 4 (4a) and the other gas supply pipe 4 (4b) are provided. Since the gas is inserted into the furnace body 2 from opposite sides, the gas temperature gradually increases toward the tip side in one gas supply pipe 4 (4a) inserted into the furnace body 2 from one side. In other words, the other gas supply pipe 4 (4b) inserted into the furnace body 2 from the opposite side also has a gas flow toward the tip side opposite to the case of the one gas supply pipe 4 (4a). The temperature will rise gradually. As a result, the temperature distribution in the direction orthogonal to the transport direction A of the gas supplied from the pair of gas supply pipes 4 (4a, 4b) has a symmetric relationship with each other. The variation in the temperature of the inside 2 is reduced, and it is possible to perform a good heat treatment in a stable atmosphere.

なお、比較のため、図５に模式的に示すように、すべてのガス供給管を同一方向から炉体内部２に挿入した熱処理炉、すなわち、隣り合う一対のガス供給管４（４ａ，４ｂ）が同一方向から炉体内部２に挿入されている熱処理炉（比較用の熱処理炉）１０ａを作製し、上記実施形態１の熱処理炉１０とともに、炉体内部２の温度の位置的なばらつきの大きさを調べた。
なお、比較用の熱処理炉１０ａの、他の条件は上述の実施形態１の熱処理炉１０の場合と同様である。 For comparison, as schematically shown in FIG. 5, a heat treatment furnace in which all the gas supply pipes are inserted into the furnace body 2 from the same direction, that is, a pair of adjacent gas supply pipes 4 (4a, 4b). Is manufactured in the same direction from the heat treatment furnace (comparison heat treatment furnace) 10a, and together with the heat treatment furnace 10 of the first embodiment, the temperature variation in the furnace body 2 is large. I investigated.
The other conditions of the heat treatment furnace 10a for comparison are the same as those of the heat treatment furnace 10 of the first embodiment.

炉体内部２の温度の位置的なばらつきの大きさを調べるにあたっては、図４および図５に、符号１，２，３，４，５で示した５点の位置で、炉体内部２の温度を測定した。   In investigating the magnitude of the positional variation in the temperature inside the furnace body 2, at the five points indicated by reference numerals 1, 2, 3, 4, and 5 in FIGS. 4 and 5, The temperature was measured.

その結果、図６に示すように、ガス供給管４を同一方向から炉体内部２に挿入した比較用の熱処理炉１０ａの場合、炉体内部２の温度のばらつきが大きいのに対して、互いに隣り合う一対のガス供給管４（４ａ，４ｂ）の一方と他方とを、互いに逆側から炉体内部２に挿入するようにした実施形態１の熱処理炉１０の場合、炉体内部２の温度のばらつきが小さくなることが確認された。   As a result, as shown in FIG. 6, in the case of the comparative heat treatment furnace 10a in which the gas supply pipe 4 is inserted into the furnace body 2 from the same direction, the temperature variation in the furnace body 2 is large. In the case of the heat treatment furnace 10 of the first embodiment in which one and the other of a pair of adjacent gas supply pipes 4 (4a, 4b) are inserted into the furnace body 2 from opposite sides, the temperature inside the furnace body 2 It was confirmed that the variation in the size was small.

［実施形態２］
この実施形態２では、上記実施形態１の熱処理炉１０とは構成の異なる熱処理炉について説明する。 [Embodiment 2]
In the second embodiment, a heat treatment furnace having a configuration different from that of the heat treatment furnace 10 of the first embodiment will be described.

図７は、本発明の実施形態２にかかる熱処理炉１０の構成を模式的に示す図である。この実施形態２の熱処理炉１０においては、ガス供給管４として、互いに隣り合う一対のガス供給管４（４ａ，４ｂ）についてみた場合の、一方のガス供給管４（４ａ）および他方のガス供給管４（４ｂ）として、互いに逆側から炉体内部２の中央にまで達するような長さのガス供給管４（４ａ，４ｂ）が用いられている。   FIG. 7 is a diagram schematically showing a configuration of the heat treatment furnace 10 according to the second embodiment of the present invention. In the heat treatment furnace 10 of the second embodiment, as the gas supply pipe 4, one gas supply pipe 4 (4 a) and the other gas supply when viewed from a pair of adjacent gas supply pipes 4 (4 a, 4 b). As the pipe 4 (4b), a gas supply pipe 4 (4a, 4b) having such a length as to reach from the opposite side to the center of the furnace body 2 is used.

そして、一方のガス供給管４（４ａ）に形成されたガス噴出口２４と、他方のガス供給管４（４ｂ）に形成されたガス噴出口２４の位置は、点対称の関係になるように構成されている。   The positions of the gas outlet 24 formed in one gas supply pipe 4 (4a) and the gas outlet 24 formed in the other gas supply pipe 4 (4b) are in a point-symmetric relationship. It is configured.

したがって、この実施形態２の熱処理炉１０の場合も、一方のガス供給管と他方のガス供給管から供給されるガスの搬送方向Ａに直交する方向における温度分布は、互いに対称の関係になるため、それらが混ざり合うことで、炉体内部の温度分布が小さくなり、炉体内部の温度のばらつきを抑制することができる。   Therefore, also in the case of the heat treatment furnace 10 of the second embodiment, the temperature distribution in the direction orthogonal to the transport direction A of the gas supplied from one gas supply pipe and the other gas supply pipe is symmetrical to each other. By mixing them, the temperature distribution inside the furnace body becomes small, and the temperature variation inside the furnace body can be suppressed.

［実施形態３］
図８は、本発明のさらに他の実施形態（実施形態３）にかかる熱処理炉１０の構成を模式的に示す図である。この実施形態３では、ガス供給管４として、互いに隣り合う一対のガス供給管４（４ａ，４ｂ）についてみた場合の、一方のガス供給管４（４ａ）および他方のガス供給管４（４ｂ）として、上記実施形態２で用いたガス供給管４（４ａ，４ｂ）よりもさらに長さが短く、互いに逆側から炉体内部２に挿入した場合に、炉体内部２の中央にまで到達しないような長さのガス供給管４（４ａ，４ｂ）が用いられている。 [Embodiment 3]
FIG. 8 is a diagram schematically showing a configuration of a heat treatment furnace 10 according to still another embodiment (Embodiment 3) of the present invention. In the third embodiment, as the gas supply pipe 4, one gas supply pipe 4 (4 a) and the other gas supply pipe 4 (4 b) when viewed from a pair of adjacent gas supply pipes 4 (4 a, 4 b). As described above, when the gas supply pipes 4 (4a, 4b) used in the second embodiment are shorter than the gas supply pipes 4 (4a, 4b) and are inserted into the furnace body 2 from opposite sides, they do not reach the center of the furnace body 2 The gas supply pipe 4 (4a, 4b) having such a length is used.

ただし、この実施形態３においても、ガス供給管４ａに形成されたガス噴出口２４と、ガス供給管４ｂに形成されたガス噴出口２４の位置は、点対称の関係になるように構成されている。   However, also in the third embodiment, the positions of the gas outlet 24 formed in the gas supply pipe 4a and the gas outlet 24 formed in the gas supply pipe 4b are configured to have a point-symmetric relationship. Yes.

したがって、この実施形態３の熱処理炉１０の場合も、一方のガス供給管４（４ａ）と他方のガス供給管４（４ｂ）から供給されるガスの搬送方向Ａに直交する方向における温度分布は、互いに対称の関係になるため、それらが混ざり合うことで、炉体内部の温度分布が小さくなり、炉体内部の温度のばらつきを抑制することができる。   Therefore, also in the heat treatment furnace 10 of the third embodiment, the temperature distribution in the direction orthogonal to the conveyance direction A of the gas supplied from one gas supply pipe 4 (4a) and the other gas supply pipe 4 (4b) is Since they are in a symmetric relationship with each other, the temperature distribution inside the furnace body is reduced by mixing them, and the variation in temperature inside the furnace body can be suppressed.

［実施形態４］
図９は、本発明が関連する発明の実施形態（実施形態４）にかかる熱処理炉１０の構成を模式的に示す図である。この上記実施形態４では、ガス供給管４として、互いに隣り合う一対のガス供給管４（４ａ，４ｂ）についてみた場合の、一方のガス供給管４（４ａ）および他方のガス供給管４（４ｂ）として、上記実施形態１において用いられているガス供給管と同じく、炉体内部２の一方端部から他方端部に至る長さを有するが、ガス噴出口２４の位置関係が、実施形態１において用いられているガス供給管とは異なるガス供給管４（４ａ，４ｂ）が用いられている。 [Embodiment 4]
FIG. 9 is a diagram schematically showing a configuration of a heat treatment furnace 10 according to an embodiment (Embodiment 4) of the invention to which the present invention relates. In the fourth embodiment, as the gas supply pipe 4, when viewed with respect to a pair of gas supply pipes 4 (4a, 4b) adjacent to each other, one gas supply pipe 4 (4a) and the other gas supply pipe 4 (4b). As in the gas supply pipe used in the first embodiment, the length of the furnace body 2 extends from one end to the other end, but the positional relationship of the gas outlets 24 is the same as in the first embodiment. A gas supply pipe 4 (4a, 4b) different from the gas supply pipe used in FIG.

すなわち、実施形態４では、一方のガス供給管４（４ａ）と他方のガス供給管（４ｂ）において、ガス噴出口２４が、搬送方向Ａに沿う方向についてみた場合に、互いに対応しない位置に形成されている（すなわち、搬送方向Ａに平行な同一線上に位置しないように、千鳥状に配設されている）。   That is, in the fourth embodiment, in one gas supply pipe 4 (4a) and the other gas supply pipe (4b), the gas outlets 24 are formed at positions that do not correspond to each other when viewed in the direction along the transport direction A. (That is, they are arranged in a staggered manner so as not to be positioned on the same line parallel to the transport direction A).

この実施形態４の熱処理炉１０の場合、上記一対のガス供給管４（４ａ，４ｂ）において、ガス噴出口２４が、搬送方向Ａに沿う方向についてみた場合に、互いに対応しない位置に形成されているため、一方のガス供給管４（４ａ）のガス噴出口２４から噴出したガスと、他方のガス供給管４（４ｂ）のガス噴出口２４から噴出したガスが互いに干渉しないため、炉体内部２の温度のばらつきを抑制することが可能になる。   In the case of the heat treatment furnace 10 of the fourth embodiment, in the pair of gas supply pipes 4 (4a, 4b), the gas outlets 24 are formed at positions that do not correspond to each other when viewed in the direction along the transport direction A. Therefore, the gas ejected from the gas outlet 24 of one gas supply pipe 4 (4a) and the gas ejected from the gas outlet 24 of the other gas supply pipe 4 (4b) do not interfere with each other. 2 can be suppressed.

［実施形態５］
図１０は、本発明のさらに他の実施形態（実施形態５）にかかる熱処理炉１０の構成を模式的に示す図である。この上記実施形態５では、ガス供給管４として、互いに隣り合う一対のガス供給管４（４ａ，４ｂ）についてみた場合、一方のガス供給管４（４ａ）および他方のガス供給管４（４ｂ）として、上記実施形態１において用いられているガス供給管と同じく、炉体内部２の一方端部から他方端部に至る長さを有するが、ガス噴出口２４の位置関係が、実施形態１において用いられているガス供給管とは異なるガス供給管４（４ａ，４ｂ）が用いられている。 [Embodiment 5]
FIG. 10 is a diagram schematically showing a configuration of a heat treatment furnace 10 according to still another embodiment (Embodiment 5) of the present invention. In the fifth embodiment, when a pair of gas supply pipes 4 (4a, 4b) adjacent to each other is viewed as the gas supply pipe 4, one gas supply pipe 4 (4a) and the other gas supply pipe 4 (4b). As in the gas supply pipe used in the first embodiment, the length of the furnace body 2 extends from one end to the other end, but the positional relationship of the gas outlets 24 is the same as in the first embodiment. A gas supply pipe 4 (4a, 4b) different from the gas supply pipe used is used.

すなわち、実施形態５では、一方のガス供給管４（４ａ）と他方のガス供給管（４ｂ）のガス噴出口２４が、ガス供給管４（４ａ，４ｂ）の、炉体内部２に位置する領域のうち、搬送方向Ａに直交する方向における炉体内部２の中央より奥側のガス供給管先端側領域にのみ配設されている。   That is, in the fifth embodiment, the gas outlets 24 of the one gas supply pipe 4 (4a) and the other gas supply pipe (4b) are located inside the furnace body 2 of the gas supply pipe 4 (4a, 4b). Among the regions, the gas supply pipe is disposed only in the gas supply pipe tip side region on the back side of the center of the furnace body 2 in the direction orthogonal to the transport direction A.

このように構成された実施形態５の熱処理炉１０の場合、ガス噴出口２４が、ガス供給管４（４ａ，４ｂ）の炉体内部２に位置する領域のうち、炉体内部２の中央より奥側の領域にのみ配設されているため、供給されたガスが、ガス供給管４（４ａ，４ｂ）を通過して炉体内部２の中央を超える領域に達するまでの過程で十分に加熱され、中央より奥側の領域にのみ配設されたガス噴出口２４から、炉体内部２に、温度が十分に上昇したガスを供給することが可能になり、炉体内部２の温度のばらつきを確実に抑制、防止することができる。   In the case of the heat treatment furnace 10 according to the fifth embodiment configured as described above, from the center of the furnace body inside 2 in the region where the gas injection port 24 is located in the furnace body inside 2 of the gas supply pipe 4 (4a, 4b). Since it is disposed only in the region on the back side, the supplied gas passes through the gas supply pipes 4 (4a, 4b) and sufficiently heats up to reach the region exceeding the center of the furnace body interior 2. Then, it becomes possible to supply the gas whose temperature has been sufficiently raised to the furnace body 2 from the gas outlets 24 disposed only in the region deeper than the center, and the temperature variation in the furnace body 2 Can be reliably suppressed and prevented.

［実施形態６］
図１１は、本発明のさらに他の実施形態（実施形態６）にかかる熱処理炉１０の構成を模式的に示す図である。 [Embodiment 6]
FIG. 11 is a diagram schematically showing a configuration of a heat treatment furnace 10 according to still another embodiment (Embodiment 6) of the present invention.

この上記実施形態６の熱処理炉１０は、搬送方向Ａに沿う複数の位置のそれぞれに、搬送方向Ａに直交する同一軸線上に位置する２本（一対）のガス供給管４（４ｃ，４ｄ）が、互いに逆側から、先端１４ａが搬送方向Ａに直交する方向における炉体内部２の中央に達し、かつ、先端１４ａどうしが互いに正対するような態様で挿入されており、炉体外部に位置するガスが解放端１４ｃからガスが供給されるように構成されている。   The heat treatment furnace 10 of the sixth embodiment includes two (a pair) of gas supply pipes 4 (4c, 4d) located on the same axis perpendicular to the transport direction A at each of a plurality of positions along the transport direction A. However, from the opposite sides, the tip 14a reaches the center of the furnace body 2 in the direction orthogonal to the transport direction A, and the tips 14a are inserted in such a manner that they face each other, and are positioned outside the furnace body. The gas is supplied from the open end 14c.

このように構成された実施形態６の熱処理炉１０の場合、一方側から挿入されるガス供給管４（４ｃ）のガス噴出口２４の位置と、他方側から挿入されるガス供給管４（４ｄ）のガス噴出口２４の位置とが、対称の関係になるため、炉体内部２の温度分布も上述のように対称の関係となり、炉体内部２の温度のばらつきを抑制、防止することが可能になる。その結果、安定した雰囲気中で良好な熱処理を行うことが可能になる。   In the case of the heat treatment furnace 10 of Embodiment 6 configured as described above, the position of the gas outlet 24 of the gas supply pipe 4 (4c) inserted from one side and the gas supply pipe 4 (4d) inserted from the other side. ) And the position of the gas outlet 24 are symmetrical, so that the temperature distribution inside the furnace body 2 is also symmetrical as described above, and the variation in temperature inside the furnace body 2 can be suppressed and prevented. It becomes possible. As a result, good heat treatment can be performed in a stable atmosphere.

［実施形態７］
図１２は、本発明のさらに他の実施形態（実施形態７）にかかる熱処理炉１０の構成を模式的に示す図である。 [Embodiment 7]
FIG. 12 is a diagram schematically showing the configuration of a heat treatment furnace 10 according to still another embodiment (Embodiment 7) of the present invention.

この実施形態７では、搬送方向Ａに沿う複数の位置のそれぞれから炉体内部２に、搬送方向Ａに直交し、かつ、炉体内部２を貫通するようにガス供給管４４が挿入されている。そして、このガス供給管４４としては、両端が解放端４４ａとなり、中央部４４ｃで連通が遮断され、中央部４４ｃの両側の周壁４４ｂの長手方向に沿う複数の位置に、ガスを炉体内部２に噴出させるためのガス噴出口２４が設けられた構成のものが用いられている。
そして、ガス供給管４４の両端の解放端４４ａのそれぞれから供給されたガスが、ガス噴出口２４を経て、炉体内部２に供給されるように構成されている。 In the seventh embodiment, the gas supply pipe 44 is inserted from each of a plurality of positions along the transport direction A into the furnace body 2 so as to be orthogonal to the transport direction A and penetrate the furnace body 2. . And as this gas supply pipe | tube 44, both ends serve as the open end 44a, communication is interrupted | blocked by the center part 44c, and gas is sent to several positions along the longitudinal direction of the surrounding wall 44b of the both sides of the center part 44c inside the furnace body 2 The thing of the structure provided with the gas jet nozzle 24 for making it eject to is used.
The gas supplied from each of the open ends 44 a at both ends of the gas supply pipe 44 is configured to be supplied to the furnace body interior 2 through the gas outlet 24.

このように構成された実施形態７の熱処理炉１０の場合、炉体内部２を貫通するように挿入された一本のガス供給管４４により、両側の解放端４４ａから炉体内部２にガスを供給することが可能になり、実施形態６の熱処理炉の場合と同様の作用効果を得ることができる。   In the case of the heat treatment furnace 10 according to the seventh embodiment configured as described above, gas is supplied from the open ends 44a on both sides to the furnace body interior 2 by one gas supply pipe 44 inserted so as to penetrate the furnace body interior 2. It becomes possible to supply, and the same effect as the case of the heat treatment furnace of the sixth embodiment can be obtained.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、炉体内部の構造、搬送機構や加熱手段の具体的な構成などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。   The present invention is not limited to the above embodiment, and various applications and modifications can be made within the scope of the invention with respect to the internal structure of the furnace body, the specific configuration of the transport mechanism, and the heating means. Is possible.

１ 炉体
２ 炉体内部
３ 加熱手段（ヒータ）
４ ガス供給管
４ａ 一対のガス供給管のうちの一方のガス供給管
４ｂ 一対のガス供給管のうちの他方のガス供給管
４ｃ，４ｄ 同一軸線上に位置する２本のガス供給管
６ ローラ
７ 搬送機構
８ 堰
１０ 熱処理炉
１０ａ 比較用の熱処理炉
１２ 熱処理領域
１４ａ ガス供給管の先端
１４ｂ ガス供給管の周壁
１４ｃ ガス供給管の解放端
１５ 被熱処理物（未焼成のセラミック成形体が収容された匣）
２４ ガス噴出口
４４ 両端が解放端となっているガス供給管
４４ａ 両端が解放端となっているガス供給管の解放端
４４ｂ 両端が解放端となっているガス供給管の周壁
４４ｃ 両端が解放端となっているガス供給管の中央部
Ａ 搬送方向 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Furnace body 2 Furnace body inside 3 Heating means (heater)
4 Gas supply pipe 4a One gas supply pipe of the pair of gas supply pipes 4b Other gas supply pipes of the pair of gas supply pipes 4c, 4d Two gas supply pipes located on the same axis 6 Roller 7 Transport mechanism 8 Weir 10 Heat treatment furnace 10a Heat treatment furnace for comparison 12 Heat treatment region 14a Tip of gas supply pipe 14b Perimeter wall of gas supply pipe 14c Open end of gas supply pipe 15 Material to be heat treated (contained unfired ceramic compact)匣)
24 Gas ejection port 44 Gas supply pipe 44a with both ends being open ends 44a Gas supply pipe open end with both ends open ends 44b Gas supply pipe peripheral wall 44c with both ends open ends Both ends are open ends Central part of the gas supply pipe that is

Claims (4)

炉体内部の熱処理領域を、所定の搬送方向に搬送することにより被熱処理物を連続的に熱処理する熱処理炉であって、
前記搬送方向に沿う複数の位置に、前記搬送方向に直交するようにガス供給管が炉体内部に挿入されているとともに、
前記ガス供給管として、周壁の長手方向に沿う複数の位置に、ガスを前記炉体内部に噴出させるためのガス噴出口が設けられ、炉体外部に位置する解放端からガスが供給されるように構成されたガス供給管が用いられており、かつ、
複数の前記ガス供給管のうち、搬送方向において、互いに隣り合う一対のガス供給管についてみた場合に、一方の前記ガス供給管と他方の前記ガス供給管とが、互いに逆側から前記炉体内部に挿入されており、
前記一方のガス供給管の複数の前記ガス噴出口と、前記他方のガス供給管の複数の前記ガス噴出口が、前記搬送方向に沿う方向についてみた場合に互いに対応する、前記搬送方向に平行な同一線上の位置に設けられていること
を特徴とする熱処理炉。 A heat treatment furnace for continuously heat-treating an object to be heat-treated by conveying a heat treatment region inside the furnace body in a predetermined conveyance direction,
A gas supply pipe is inserted into the furnace body so as to be orthogonal to the transport direction at a plurality of positions along the transport direction, and
As the gas supply pipes, gas outlets for injecting gas into the furnace body are provided at a plurality of positions along the longitudinal direction of the peripheral wall so that the gas is supplied from an open end located outside the furnace body. A gas supply pipe constructed in the above is used, and
When viewing a pair of gas supply pipes adjacent to each other in the transport direction among the plurality of gas supply pipes, one gas supply pipe and the other gas supply pipe are connected to each other inside the furnace body from the opposite sides. Inserted in the
The plurality of gas outlets of the one gas supply pipe and the plurality of gas outlets of the other gas supply pipe correspond to each other when viewed in the direction along the transport direction, and are parallel to the transport direction. A heat treatment furnace characterized by being provided at a position on the same line . 炉体内部の熱処理領域を、所定の搬送方向に搬送することにより被熱処理物を連続的に熱処理する熱処理炉であって、
前記搬送方向に沿う複数の位置に、前記搬送方向に直交するようにガス供給管が炉体内部に挿入されているとともに、
前記ガス供給管として、周壁の長手方向に沿う複数の位置に、ガスを前記炉体内部に噴出させるためのガス噴出口が設けられ、炉体外部に位置する解放端からガスが供給されるように構成されたガス供給管が用いられており、かつ、
複数の前記ガス供給管のうち、搬送方向において、互いに隣り合う一対のガス供給管についてみた場合に、一方の前記ガス供給管と他方の前記ガス供給管とが、互いに逆側から前記炉体内部に挿入されており、
前記一対のガス供給管の前記ガス噴出口が、前記ガス供給管の前記炉体内部に位置する領域のうち、搬送方向に直交する方向における前記炉体内部の中央より奥側に位置するガス供給管先端側領域にのみ配設されていること
を特徴とする熱処理炉。 A heat treatment furnace for continuously heat-treating an object to be heat-treated by conveying a heat treatment region inside the furnace body in a predetermined conveyance direction,
A gas supply pipe is inserted into the furnace body so as to be orthogonal to the transport direction at a plurality of positions along the transport direction, and
As the gas supply pipes, gas outlets for injecting gas into the furnace body are provided at a plurality of positions along the longitudinal direction of the peripheral wall so that the gas is supplied from an open end located outside the furnace body. A gas supply pipe constructed in the above is used, and
When viewing a pair of gas supply pipes adjacent to each other in the transport direction among the plurality of gas supply pipes, one gas supply pipe and the other gas supply pipe are connected to each other inside the furnace body from the opposite sides. Inserted in the
Gas supply in which the gas outlets of the pair of gas supply pipes are located on the inner side of the furnace body in the direction orthogonal to the transport direction in the region of the gas supply pipe located in the furnace body. A heat treatment furnace characterized by being disposed only in a tube tip side region. 炉体内部の熱処理領域を、所定の搬送方向に搬送することにより被熱処理物を連続的に熱処理する熱処理炉であって、
前記搬送方向に沿う複数の位置のそれぞれに、前記搬送方向に直交する同一線上に軸心が位置する２本のガス供給管が、互いに逆側から、先端が前記搬送方向に直交する方向における前記炉体内部の中央に達し、かつ、前記先端が互いに正対するような態様で挿入されているとともに、
前記ガス供給管として、周壁の長手方向に沿う複数の位置に、ガスを前記炉体内部に噴出させるためのガス噴出口が設けられており、炉体外部に位置する解放端からガスが供給されるように構成されたガス供給管が用いられていること
を特徴とする熱処理炉。 A heat treatment furnace for continuously heat-treating an object to be heat-treated by conveying a heat treatment region inside the furnace body in a predetermined conveyance direction,
At each of the plurality of positions along the transport direction, two gas supply pipes whose axial centers are located on the same line perpendicular to the transport direction are arranged in the direction perpendicular to the transport direction from the opposite side. It reaches the center inside the furnace body and is inserted in such a manner that the tips face each other,
As the gas supply pipe, gas outlets for injecting gas into the furnace body are provided at a plurality of positions along the longitudinal direction of the peripheral wall, and the gas is supplied from an open end located outside the furnace body. A heat treatment furnace characterized in that a gas supply pipe configured so as to be used is used. 炉体内部の熱処理領域を、所定の搬送方向に搬送することにより被熱処理物を連続的に熱処理する熱処理炉であって、
前記搬送方向に沿う複数の位置のそれぞれから前記炉体内部に、前記搬送方向に直交し、かつ、前記炉体内部を貫通するようにガス供給管が挿入されているとともに、
前記ガス供給管として、両端が解放端となり、中央部で連通が遮断され、周壁の長手方向に沿う複数の位置に、ガスを前記炉体内部に噴出させるためのガス噴出口が設けられ、前記両端の解放端のそれぞれから供給されたガスが、前記ガス噴出口を経て、前記炉体内部に供給されるように構成されたガス供給管が用いられていること
を特徴とする熱処理炉。 A heat treatment furnace for continuously heat-treating an object to be heat-treated by conveying a heat treatment region inside the furnace body in a predetermined conveyance direction,
A gas supply pipe is inserted from each of a plurality of positions along the transport direction into the furnace body so as to be orthogonal to the transport direction and penetrate the furnace body,
As the gas supply pipe, both ends are open ends, communication is cut off at the center, and gas outlets are provided at a plurality of positions along the longitudinal direction of the peripheral wall to jet gas into the furnace body, A heat treatment furnace characterized in that a gas supply pipe configured to supply the gas supplied from the open ends at both ends to the inside of the furnace body through the gas outlet is used.
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