JP5714968B2 - X線タルボ干渉計用回折格子及びその製造方法、並びにx線タルボ干渉計 - Google Patents
X線タルボ干渉計用回折格子及びその製造方法、並びにx線タルボ干渉計 Download PDFInfo
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Description
このようなX線タルボ干渉計1000として、図9に示すように、第1の回折格子1010および第2の回折格子1020と、X線画像検出器30とを備えた構成が知られている(特許文献1参照)。第1の回折格子1010および第2の回折格子1020は、図10に示すように、金属板の一方向に所定間隔で溝1010a、1020aを形成し、溝からX線を透過させる一方、隣接する溝の間の畝部1010bではX線の位相をπ/2だけシフトして透過させ、畝部1020bでX線を遮蔽(吸収)するようになっている。回折格子の材料としては、通常、X線吸収能の高い金(Au)を用いている。
一方、振幅型回折格子として機能するためには、回折格子の溝部1020aのX線透過率が高く、畝部1020bのX線透過率が低いと良い。このため、金を用いても溝の深さを10〜100μm程度に深掘りすることが要求される。従って、回折格子の(溝の深さ)/(溝の幅)で表されるアスペクト比が非常に大きくなり、回折格子の製造が困難となる。
又、シリコン基板表面の感光性樹脂をリソグラフィー法でパターニングして除去し、次にICPプラズマエッチング法で感光性樹脂が除去されたシリコン基板をエッチングしてスリット溝を形成した後、スリット溝に絶縁物を堆積し、さらに残った感光性樹脂及びシリコン基板をICPプラズマエッチング法でエッチングして第2のスリット溝を形成し、第2のスリット溝に電鋳法によってX線吸収金属部を形成する技術が開示されている(特許文献3参照)。
従って、本発明の目的は、溝のアスペクト比の高い回折格子を容易かつ高精度で製造することができるX線タルボ干渉計用回折格子及びその製造方法、並びにX線タルボ干渉計を提供することにある。
このように基板上にして形成した溝部の周期や深さは、切削加工機の分解能および安定性に依存する。従って、nmレベルの加工分解能や安定性を実現できる超精密ナノ加工機を用いれば、X線回折格子の回折性能も向上する。また超精密ナノ加工機はX線リソグラフィで使う設備と比べると安価でX線マスクも不要であり、X線回折格子の製造コストを下げられる。
又、切削加工で形成した溝部の側壁の凹凸、及び溝部側壁と底面の角の丸み径(以降、「切削隅部の曲率半径」で表記)は、切削に使用する刃具の形状に依存する。単結晶ダイヤモンド製の刃具を用いると、切れ刃の凹凸や角の丸み径(曲率半径)を0.1μm以下とすることができ、結果としてX線回折格子の回折性能も向上する。
さらに、(溝の深さ)/(溝の幅)で表されるアスペクト比は、好ましくは3以上であるが、硬度の高い単結晶ダイヤモンドの刃具を使用して加工を行えば、高いアスペクト比のX線回折格子を作製することができる。
なお、従来、軟らかくて絶縁物であるレジストの畝を形成してからX線吸収部を電鋳で形成していた。このため、レジストが倒れたり互いに接触してX線吸収部を精密に形成することが難しいが、本発明では、ヤング率がレジストより1桁高くて導体である金属を切削してX線吸収部となる畝部を形成するため、X線吸収部を精密に形成することが可能になる。
一般に基板は金属膜より硬いので、基板を削ると切削刃具を消耗するが、金属膜と基板の間に中間層を形成することにより、金属膜厚分を確実に切削して深い溝部を形成できると共に、基板より柔らかい中間層の一部を切削することで、切削刃具の消耗を防止する。
またX線の吸収や位相シフトの量は金属膜の厚さに依存するため、溝部の底には金属膜の削り残しが存在しないことが好ましい。ところで多数の溝加工を行う場合の切削加工機の動きは、1回の溝彫りでは刃具を溝に沿った方向に動かすのみで、溝の深さ方向を一定にすることにより高速の加工を行えるようにしている。この場合、金属膜を削り残さないためには金属膜と中間層を含めた基板が平坦であることが好ましいが、各々の膜の膜厚、及び基板を切削加工機に装着したときのうねりは、それぞれ数ミクロン以下のばらつきがある。そこで金属膜と中間層を含めた基板の平坦度を好ましくは10μm以下にしながら、中間層をその平坦度以上の厚さに形成することにより、金属膜を削り残さず、刃具が基板を削って消耗することを防ぐことができる。硬度としてはビッカース硬度を採用することができる。
X線は波長が短く回折角が小さいため、有効な干渉を得るには、線源格子間距離を大きくし、回折格子の周期を小さくし、X線のエネルギーを低くして波長を長くする必要がある。溝部と畝部の幅をそれぞれ4μm以下とすると、実用的な線源格子間距離(3m以内)で実用的なX線のエネルギー(10〜40keV)で有効な干渉像を得られる。また溝部と畝部の幅は同じときに位相像は最も鮮明になる。
一般に基板は金属膜より硬いので、基板を削ると切削刃具を消耗するが、金属膜と基板の間に中間層を形成することにより、金属膜厚分を確実に切削して深い溝部を形成できると共に、基板より柔らかい中間層の一部を切削することで、切削刃具の消耗を防止する。
またX線の吸収や位相シフトの量は金属膜の厚さに依存するため、溝部の底には金属膜の削り残しが存在しないことが好ましい。ところで多数の溝加工を行う場合の切削加工機の動きは、1回の溝彫りでは刃具を溝に沿った方向に動かすのみで、溝の深さ方向を一定にすることにより高速の加工を行えるようにしている。この場合、金属膜を削り残さないためには金属膜と中間層を含めた基板が平坦であることが好ましいが、各々の膜の膜厚、及び基板を切削加工機に装着したときのうねりは、それぞれ数ミクロン以下のばらつきがある。そこで金属膜と中間層を含めた基板の平坦度を好ましくは10μm以下にしながら、中間層をその平坦度以上の厚さに形成することにより、金属膜を削り残さず、刃具が基板を削って消耗することを防ぐことができる。硬度としてはビッカース硬度を採用することができる。
基板として上記材料を用いることでX線透過率を高くすることができ、回折特性が向上する。
前記樹脂が、ポリイミド及び/又はパラキシレン系ポリマーを含むと、機械強度に優れ、特に位相イメージング時にX線に対する耐久性が高いので好ましい。
前記ポリイミドを真空注入法によって前記溝部に充填すると、溝部の深部までポリイミドが流入するので好ましい。
前記パラキシレン系ポリマーを真空蒸着法によって前記溝部に充填すると、溝部の深部までパラキシレン系ポリマーが流入するので好ましい。
第1の回折格子10および第2の回折格子20は、その平面に平行な一方向(図1ではy方向)に沿って延びつつ、互いに所定周期で離間する複数の溝部10a、20aが形成され(図2の溝部の断面図参照)、溝部10a、20aからX線を透過させる一方、隣接する溝部10aの間の短冊状の畝部10bでX線の位相をπ/2だけシフトして透過させ、畝部20bでX線を遮蔽(吸収)するようになっている。各溝部10a、20a及び畝部10b、20bは、図1のY方向に延びている。回折格子の材料としては、X線吸収能の高い金を用いると好ましい。なお、この実施形態では、畝部10bの幅(間隔)と溝部10aの幅(間隔)が等しく、畝部20bの幅(間隔)と溝部20aの幅(間隔)が等しい。
又、第1の回折格子10の後方(自己像の位置)に配置された第2の回折格子20は、第1の回折格子10により回折されたX線を回折して画像コントラストを形成し、第2の回折格子20の後方のX線画像検出器30で回折X線を検出する。画像コントラストを向上させるには、第2の回折格子20の溝部20aのX線透過率が高く、畝部20bのX線透過率が低いと良い。そのため、第2の回折格子20は第1の回折格子10より厚い振幅型回折格子であることが好ましい。
なお、モアレ縞の解析法の一つである縞走査法では、第1の回折格子10および第2の回折格子20をX方向に相対的にずらすことで、モアレ縞の位相が変化することに着目している。すなわちモアレ縞の位相を変化させて複数のタルボ干渉像を得た後、これを積分処理等して合成することにより、位相像(試料4とその内部構造)を得ることができる。
又、試料4を回転させて多数の投影方向から微分位相像を取得し、これを積分処理等して合成して試料4の断層像(CT像)を得ることも可能である。
一方、振幅型回折格子として機能するためには、回折格子の溝部のX線透過率を高くし、畝部のX線透過率を低くする必要がある。このため、金を用いても畝部の厚さ(溝の深さ)を10〜100μm程度に深くすることが要求される。従って、回折格子の(溝の深さ)/(溝の幅)で表されるアスペクト比が3以上(場合によっては10以上)と非常に大きくなる。
X線タルボ干渉計用回折格子20は、基板22と、基板上22に所定間隔で一方向に沿って複数形成された畝状で金属製のX線吸収部20bと、隣接するX線吸収部の間の溝部20aに介装された樹脂26とを有している。X線吸収部20bは、金属膜(後述)を切削して形成され、X線吸収部20bの側壁20sの凹凸、及び側壁20sと溝部の底との切削隅(角)部の曲率半径がそれぞれ0.1μm以下であると好ましい。なお、上記側壁の凹凸、直角度、真直度はほとんど刃具の形状に依存し、後述する超精密ナノ加工機の移動機構の精度は刃具の表面の凹凸より高い。
又、X線吸収部20bと基板22との間には、中間層24が介装されている。
基板22として上記材料を用いることでX線透過率を高くすることができ、良好な回折特性が得られる。またX線の吸収や位相シフトの量は金属膜の厚さに依存しているため、溝部の底に金属膜の削り残しが存在しないことが好ましい。ところで多数の溝加工を行う場合の切削加工機の動きは、1回の溝彫りでは刃具を溝に沿った方向に動かすのみで、溝の深さ方向を一定にすることにより高速の加工を行えるようにしている。この場合、金属膜を削り残さないためには金属膜と中間層を含めた基板が平坦であることが好ましいが、各々の膜の膜厚、及び基板を切削加工機に装着したときのうねりは、それぞれ数ミクロン以下のばらつきがある。そこで金属膜と中間層を含めた基板の平坦度を好ましくは10μm以下にしながら、中間層をその平坦度以上の厚さに形成することにより、金属膜を削り残さず、刃具が基板を削って消耗することを防ぐことができる。
中間層24としては、アルミニウム、又はアルミニウム層を含む多層膜とすることができる。但し、中間層24は必須の構成ではない。
図4は、単結晶ダイヤモンド切削刃具200を取り付けた工具本体(バイト)400を示す。単結晶ダイヤモンド切削刃具200は、略台形の台金300の先端に取り付けられて工具本体400を構成し、台金300の先端から単結晶ダイヤモンド切削刃具200の切れ刃(図5参照)が突出している。工具本体400は、図示しない切削加工機のホルダに固定され、後述するように、単結晶ダイヤモンド切削刃具200により被切削物に溝を彫ることができるようになっている。
第一逃げ面203、204又は前逃げ面205は、集束イオンビーム(FIB)のエッチングにより形成されている。FIBのエッチングは、複雑な形状の加工ができると共に、結晶面を選ばずに加工ができるという利点がある。従って、ダイヤモンドの一番固い結晶面である(111)面をも容易に加工ができる。これに対し、例えば砥石による研磨では、ダイヤモンドの(111)面の研磨ができない。
前切れ刃210の幅W1を4μm以下とすると、X線タルボ干渉計用の回折格子に適した微小な溝部を彫ることができるので好ましい。
なお、この実施形態では、前切れ刃210から後端に向かって幅W1で平行に延びた部分が第一切れ刃213、214を構成し、第一切れ刃213、214は前切れ刃210の近傍のみに形成されている。
まず、シリコンウェハー基板22上に必要に応じて中間層24を形成した後、中間層24の上に金属膜20bxを形成する(図8(a);金属膜形成工程)。中間層24はアルミニウム膜をイオンプレーティング又はスパッタ蒸着により形成する。中間層24を銅で形成する場合は、電気銅めっきで形成する。基板22と中間層24の間には、中間層の密着性を確保するために薄いクロム蒸着膜を付けても良い。金属膜20bxは金を電気めっきにより形成する。金属膜20bxの密着性を確保するために、中間層24の表面に金を薄く蒸着してから金を電気めっきしても良い。
次に、上記した単結晶ダイヤモンド切削刃具200を用い、金属膜20bxを一方向(図8の紙面に垂直な方向)に沿って所定間隔で切削して複数の溝部20aを彫り、隣接する溝部20aの間に畝状のX線吸収部20bを形成する(図8(b);切削工程)。切削の深さ方向の削り代を0.3〜1μm程度にして複数回行うことにより、所定の深さの溝部20aを彫る。
上記したように、未硬化樹脂26xとして、ポリイミド、パラキシレン系ポリマーの少なくとも1種を用いると好ましい。ポリイミドを用いる場合は、真空注入法によって溝部20aに充填すると、溝部20aの深部までポリイミドが流入するので好ましい。又、パラキシレン系ポリマーを用いる場合は、真空蒸着法によって溝部20aに充填すると、溝部20aの深部までパラキシレン系ポリマーで成膜できるので好ましい。
なお、真空注入法は真空に保った系に溝部20aを有する基板22を配置し、低分子量のポリイミドを系に導入して溝部20a内に流入させた後、紫外線照射や加熱によって架橋反応を起こして重合する方法である。
またパラキシレン系ポリマーの真空蒸着による充填は、真空内でパラキシレンの2量体を175℃程度に加熱して蒸発させる。パラキシレン2量体の蒸気はその後680℃程度に加熱されて熱分解物質となる。パラキシレンの熱分解物質は溝部20aやX線吸収部20bの表面に到達すると、熱分解物質同士が反応して安定な蒸着膜となる。
20 X線タルボ干渉計用回折格子
20a 溝部
20b X線吸収部(畝部)
20s X線吸収部の側壁
22 基板
24 中間層
26、26x 樹脂
100 X線タルボ干渉計
200 単結晶ダイヤモンド切削刃具
210 前切れ刃
213、214 第1切れ刃
Claims (11)
- 基板上に金属膜を切削して形成したX線吸収部が、一方向に沿って所定間隔で畝状に複数形成され、隣接する前記X線吸収部の間に溝部が形成され、
前記基板と前記金属膜との間に、前記基板より硬度が低く、かつ前記金属膜より有効原子番号が小さい元素を含む中間層が形成されているX線タルボ干渉計用回折格子。 - 前記X線吸収部の幅と前記溝部の幅とが一致し、かつそれぞれ4μm以下であり、
前記溝部の側壁の凹凸、及び前記溝部の側壁と底面との切削隅部の曲率半径がそれぞれ0.1μm以下である請求項1に記載のX線タルボ干渉計用回折格子。 - 前記溝部に樹脂が介装されている請求項1又は2に記載のX線タルボ干渉計用回折格子。
- 基板上に金属膜を形成する金属膜形成工程と、
前記金属膜を一方向に沿って所定周期で切削して複数の溝部を彫り、隣接する前記溝部の間に畝状の金属層を形成する切削工程と、
前記基板と前記金属膜との間に、前記基板より硬度が低く、かつ前記金属膜より有効原子番号が小さい元素を含む層を形成する中間層形成工程と、
を有するX線タルボ干渉計用回折格子の製造方法。 - 前記基板として、炭素かケイ素かアルミニウムのうちの少なくとも1つの元素を主成分とする材料を用いる請求項4に記載のX線タルボ干渉計用回折格子の製造方法。
- さらに、前記溝部に樹脂を充填する樹脂充填工程
を有する請求項4又は5に記載のX線タルボ干渉計用回折格子の製造方法。 - 前記樹脂が、ポリイミド及び/又はパラキシレン系ポリマーを含む請求項6に記載のX線タルボ干渉計用回折格子の製造方法。
- 前記ポリイミドを真空注入法によって前記溝部に充填する請求項7に記載のX線タルボ干渉計用回折格子の製造方法。
- 前記パラキシレン系ポリマーを真空蒸着法によって前記溝部に充填する請求項7に記載のX線タルボ干渉計用回折格子の製造方法。
- 前記切削工程において、単結晶ダイヤモンドからなる切れ刃を有する切削工具を用いる請求項4〜9のいずれか一項に記載のX線タルボ干渉計用回折格子の製造方法。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載のX線タルボ干渉計用回折格子を用いたX線タルボ干渉計。
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