JP5714319B2 - 基板搭載用カセット - Google Patents

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Description

本発明は、基板搭載用カセットに関し、より詳細には、平面ディスプレイ装置用基板の引き入れまたは引き出し方向を選択的に変更できる基板搭載用カセットに関する。
一般に、液晶表示装置（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｄｅｖｉｃｅ：ＬＣＤ）、プラズマ表示装置（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ Ｄｅｖｉｃｅ：ＰＤＰ）などのような平面ディスプレイ装置は、共通的に固有の蛍光層または偏光層を隔てて一対の透明基板を対向して貼り合わせたさせた平面表示パネル（ｆｌａｔ ｄｉｓｐｌａｙ ｐａｎｅｌ）を必須な構成要素として備えている。このようなパネルは、所定物質の薄膜を形成する蒸着（ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）工程、フォトリソグラフィー（ｐｈｏｔｏｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）工程、エッチング（ｅｔｃｈｉｎｇ）工程を複数回繰り返して構成され、それ以外に、洗浄、貼り合わせ、切断などの様々な互いに異なる工程が伴われる。
そして、これらの各々の工程進行のために、基板は、当該工程を行う工程装置に運搬及び供給され、この過程中に基板の運搬及び保管にかかる時間と労力を低減しようとして、複数の基板を収納するカセット（ｃａｓｓｅｔｔｅ）が用いられる。現在、カセットは、平面表示装置の製造工程において基板保管及び運搬の最小単位をなしている。
図１は、一般的な基板収納用カセットに関する斜視図である。
同図に示すように、基板収納用カセット（以下、カセットとする：Ｃ）は、天井と底の役割の上下水平面をなす上下プレート１４、１６と、該上下プレート１４、１６の互いに対応する一端を接続することにより、開口した入口面１２と、内部の基板収納空間を形成するように、前方の入口面１２を基準として互いに向かい合う両側面１８、２０と、前記入口面１２と向かい合う後方の後面２２とに区分される。
このとき、両側面１８、２０と後面２２とは、所定間隔で配列された複数個のフレームバー３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３４ａ、３４ｂ、３４ｃとサポートフレームバー３６とからなる。前記フレームバー３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３４ａ、３４ｂ、３４ｃの内面には、互いに向かい合う方向に水平に突出した複数のサイドスロットピン４２が所定間隔で備えられる。前記カセットＣの後面２２のサポートフレームバー３６には、前記サイドスロットピン４２と同じ間隔をなす複数のサポートバー４６が入口面１２に向けて水平に突出する。このとき、前記サポートバー４６の一端には、基板との直接的な接触を防止するために、点接触されるようにピーク４４が形成される。
したがって、基板（図示せず）は、両側面に備えられて、互いに対応するサイドスロットピン４２によって両端が支持されるとともに、当該基板を横切って支えるサポートバー４６によって各層別に収納される。
このようなカセットＣに保管される基板の引き入れ及び引き出し過程を説明すれば、次のとおりである。まず、図２の（ａ）のように、前工程の移送ラインＬ１から移送される基板Ｇは、移載ロボットＲによってカセットＣの内側に収納される。このとき、図面に示すように、基板Ｇは、移送ラインＬ１の前方に向けた基板Ｇの端部をカセットＣの前方開口側に向けるようにして収納され、カセット搬送装置（図示せず）によって後工程に伝達される。
次いで、図２の（ｂ）のように、カセットＣに収納された基板Ｇは、移載ロボットＲによってカセットＣの前方開口部に引き出されて、後工程の移送ラインＬ２に伝達される。ところが、移載ロボットＲによってカセットＣから後工程の移送ラインＬ１に直接に移動する場合には、カセットＣの前方開口側に向けた基板Ｇの端部が後工程の移送ラインＬ２の後方に向くので、基板Ｇの前後方向が変わるようになる。
したがって、図面のように、カセットＣと後工程移送ラインＬ２との間に基板Ｇの方向を１８０℃回転させるターンテーブルＴを配置し、移載ロボットＲを用いてカセットＣから引き出した基板ＧをターンテーブルＴに載置した後、ターンテーブルＴを１８０℃回転させ、再度、移載ロボットＲを用いてターンテーブルＴから後工程移送ラインＬ２に伝達しなければならないため、工程数が増加するという問題がある。
また、工程ラインの作業者が基板Ｇをハンドリングして１８０℃回転させることも可能であるが、このような場合、基板の整列状態が不良になるとともに、基板が容易に損傷するという問題がある。
したがって、本発明の目的は、このような従来の問題点を解決するためのものであって、その目的は、基板の一端側中央部分を支持するセンターフレームをカセット本体の前方または後方側に選択的に設けることにより、基板の引き入れまたは引き出し方向を選択的に変更できる基板搭載用カセットを提供することにある。
また、本発明の目的は、基板の一端側中央部分を支持するセンターフレームのサポートバーを基板から離隔した状態で脱着させることにより、基板の損傷を防止できる基板搭載用カセットを提供することにある。
なお、本発明の目的は、センターフレームのサポートバーの水平を維持しつつ、回動してカセット本体の外部領域へと離脱させることにより、センターフレームの脱着過程で基板の損傷を防止できる基板搭載用カセットを提供することにある。
さらに、本発明の目的は、センターフレームとレバーとが固定方向に位置した状態で任意に固定解除されることを防止できる基板搭載用カセットを提供することにある。
そこで、上記の目的を達成するための本発明の基板搭載用カセットは、上下に離隔して配置される上部フレームと下部フレーム及び内側に基板を支持する複数の支持バーが形成されて、前記上部フレームと下部フレームの両側に垂直方向に配置されるサイドフレームによってボックス形状を形成し、内側に基板を収納するカセット本体と、内側に基板を支持する複数の支持バーが形成されて、前記上部フレームと下部フレームの後方に垂直方向に配置されるセンターフレームと、前記センターフレームとカセット本体との間に設けられて、前記センターフレームをカセット本体に脱着可能に接続する接続部材とを備えることを特徴とする。
ここで、前記接続部材が、カセット本体に固定される第１の固定部と、センターフレーム側に固定されて、前記第１の固定部に着脱可能に取り付けられる第２の固定部とからなり、前記第１の固定部が、カセット本体の前方と後方に各々設けられることが好ましい。
また、前記第１の固定部と第２の固定部とに、回動軸と回動軸挿入孔とが各々形成されて、相互が回動可能に組み立てられることが好ましい。
なお、前記センターフレームと接続部材との間に設けられて、前記センターフレームを垂直方向に昇降させる昇降部材をさらに備えることが好ましい。
さらに、前記昇降部材が、上部フレームと下部フレームとの間に垂直方向に配置される支持フレームと、該支持フレームに設けられて、前記センターフレームの昇降駆動を制御する操作部とを備えることが好ましい。
また、前記昇降部材が、前記支持フレーム上でセンターフレームの垂直方向移動を案内するガイド部材が前記支持フレームとセンターフレームとの間に設けられるものであることが好ましい。
なお、前記操作部が、前記支持フレームに回動可能に設けられるレバーと、該レバーの回動によって垂直方向に昇降する作用軸と、該作用軸とセンターフレームとを接続する接続ブラケットとからなることが好ましい。
また、前記レバーが、トグルクランプからなることが好ましい。
また、前記支持フレームが、レバーのロック位置を支持フレーム側に固定する第１のストッパを設けることが好ましい。
さらに、前記接続部材によってカセット本体に回動可能に接続される支持フレームが、支持フレームとカセット本体とを固定して支持フレームの任意回動を防止する第２のストッパを設けることが好ましい。
本発明によれば、基板の一側中央部分を支持するセンターフレームをカセット本体の前方または後方側に選択的に設けることにより、基板の引き入れまたは引き出し方向を選択的に変更できる基板搭載用カセットが提供される。
また、基板の一端側中央部分を支持するセンターフレームのサポートバーを基板から離隔した状態で脱着させることにより、基板の損傷を防止できる基板搭載用カセットが提供される。
なお、センターフレームのサポートバーをカセット本体から水平を維持しつつ、回動してカセット本体の外部領域へと離脱させることにより、センターフレームの脱着過程で基板の損傷を防止できる基板搭載用カセットが提供される。
さらに、センターフレームとレバーとが固定方向に位置した状態で任意に固定解除されることを防止できる基板搭載用カセットが提供される。
従来における一般的な基板収納用カセットに関する斜視図である。 従来における基板収納用カセットが工程ラインに設けられた状態を示した構成図である。 本発明における基板搭載用カセットの斜視図である。 本発明における基板搭載用カセットの分解斜視図である。 本発明における基板搭載用カセットの側断面図である。 図５の「Ａ」部分拡大断面図である。 本発明における基板搭載用カセットの正面図である。 本発明における基板搭載用カセットの平断面図である。 本発明における基板搭載用カセットのカセット本体からセンターフレームを分離する過程を示した作用図である。 本発明における基板搭載用カセットのカセット本体からセンターフレームを分離する過程を示した作用図である。 本発明における基板搭載用カセットのカセット本体からセンターフレームを分離する過程を示した作用図である。 本発明における基板搭載用カセットのカセット本体からセンターフレームを分離する過程を示した作用図である。 本発明における基板搭載用カセットのカセット本体からセンターフレームを分離する過程を示した作用図である。 本発明における基板搭載用カセットが工程ラインに設けられた状態を示した構成図である。
説明に先立って、種々の実施形態において、同じ構成を有する構成要素については、同じ符号を使用して代表的に第１の実施形態で説明し、それ以外の実施形態では、第１の実施形態と異なる構成について説明する。
以下、添付した図面を参照して本発明の第１の実施形態に係る基板搭載用カセットについて詳細に説明する。
添付図面のうち、図３は、本発明における基板搭載用カセットの斜視図であり、図４は、本発明における基板搭載用カセットの分解斜視図である。
上記の図面において示すような本発明における基板搭載用カセットは、カセット本体１１０と、センターフレーム１２０と、接続部材１３０と、昇降部材１４０とを備えて構成される。
前記カセット本体１１０は、内側に複数の基板Ｇが収納搭載されるものであって、互いに対向するように離隔配置された上部フレーム１１１及び下部フレーム１１２と、該上部フレーム１１１及び下部フレーム１１２の間の両側面に垂直方向に配置されるサイドフレーム１１３とから構成されて、前後方が各々開口した形態をなすようになる。前記サイドフレーム１１３は、内側面に基板Ｇを支持する複数の支持バー１１３ａが所定間隔で形成される。前記支持バー１１３ａは、基板Ｇが容易に搭載されるように、基板Ｇの両側を支持する役割を果たす。
前記センターフレーム１２０には、内側面に基板Ｇを支持する複数のサポートバー１２１が形成されて、前記カセット本体１１０の前方開口側または後方開口側のうち、いずれか１つに垂直方向に配置される。前記サポートバー１２１は、前記センターフレーム１２０の内側面でカセット本体１１０の引き入れまたは引き出し方向に向けて水平に延長される部材であって、大型基板Ｇを収納する場合、基板Ｇの撓みまたは垂れを阻止するために必須的に求められる。
前記接続部材１３０は、前記センターフレーム１２０とカセット本体１１０との間に設けられて、前記センターフレーム１２０をカセット本体１１０に脱着可能に接続する。前記接続部材１３０は、上部フレーム１１１及び下部フレーム１１２の前方と後方に各々設けられる第１の固定部１３１と、センターフレーム１２０側に設けられて、前記第１の固定部１３１に着脱可能に結合する第２の固定部１３２とからなる。また、前記第１の固定部１３１には、上側方向に向けて垂直方向に回動軸１３１ａが形成され、第２の固定部１３２には、前記回動軸１３１ａが挿入される挿入孔１３２ａが形成される。
前記昇降部材１４０は、前記センターフレーム１２０と接続部材１３０との間に設けられるものであって、上部フレーム１１１と下部フレーム１１２との間に垂直方向に配置される。前記昇降部材１４０は、上端部と下端部とがそれぞれ前記第２の固定部に固定される支持フレーム１４１と、該支持フレーム１４１に設けられて、前記センターフレーム１２０の昇降を制御する操作部１４２と、前記支持フレーム１４１とセンターフレーム１２０との間に配置されて、前記操作部１４２によって昇降する前記センターフレーム１２０の移動を案内するガイド部材１４３とで構成される。
前記操作部１４２は、前記支持フレーム１４１に回動可能に設けられるレバー１４２ａと、該レバー１４２ａと接続されてレバー１４２ａの回動によって垂直方向に昇降する作用軸１４２ｂと、該作用軸１４２ｂに固定される固定ブロック１４２ｃと、該固定ブロック１４２ｃとセンターフレーム１２０とを接続する接続ブラケット１４２ｄとで構成される。また、前記レバー１４２ａは、レバー１４２ａのロック方向への操作によって作用軸１４２ｂが上昇し、ロック解除方向への操作によって作用軸１４２ｂが下降するように設置し、レバー１４２ａのロック状態が任意に解除されることを防止するために、プッシュ・プル型トグルクランプを適用することが好ましい。
また、前記支持フレーム１４１は、支持フレーム１４１とカセット本体１１０とを固定して支持フレーム１４１の任意回動を防止する第１のストッパ１４４と、レバー１４２ａのロック位置を支持フレーム１４１側に固定する第２のストッパ１４５とを有する。本実施形態では、例えば、前記第１のストッパ１４４は、支持フレーム１４１を貫通してカセット本体１１０に選択的に固定されるロックボルトからなり、第２のストッパ１４５は、レバー１４２ａが上側方向に回動した状態でレバー１４２ａの端部を支持することにより、レバー１４２ａの位置を固定するものとして説明する。
また、前記ガイド部材１４３は、ガイドレール１４３ａと、該ガイドレール１４３ａに結合してガイドレール１４３ａの長さ方向に摺動するスライダ１４３ｂとからなるものであって、本実施形態では、前記ガイドレール１４３ａが支持フレーム１４１に固定され、前記スライダ１４３ｂがセンターフレーム１２０に固定されるものとして説明する。
一方、本実施形態では、大面積の基板Ｇを収納するために、バー（ｂａｒ）形態の支持バー１１３ａとサポートバー１２１が適用されるものと説明したが、小さい面積の基板Ｇを収納する場合には、サイドフレーム１１３とセンターフレーム１２０の内側面にそれぞれ形成されるスロットに、基板Ｇの端部が挿入支持されるようにすることも可能である。
次に、前述した基板搭載用カセットの第１の実施形態の組立構造について説明する。
添付図面のうち、図５は、本発明における基板搭載用カセットの側断面図であり、図６は、図５の「Ａ」部分拡大断面図であり、図７は、本発明における基板搭載用カセットの正面図であり、図８は、本発明における基板搭載用カセットの平断面図である。
前記図面において示すように、カセット本体１１０は、上下に対向するように配置された上部フレーム１１１と下部フレーム１１２との両側が、垂直配置された複数のサイドフレーム１１３で接続されて、前方と後方とが開口した四角ボックス形態をなす。カセット本体１１０内部に収納される基板Ｇは、両側中央部分が、前記サイドフレーム１１３の内側に突出形成された複数の支持バー１１３ａに、それぞれ支持される。
また、前記カセット本体１１０の後方中央部分に設けられるセンターフレーム１２０のサポートバー１２１が、カセット本体１１０内部に収納された基板Ｇの後端側中央部分を支持しつつ、基板Ｇの撓みが防止される。
このようなセンターフレーム１２０は、センターフレーム１２０とカセット本体１１０との間に設けられる接続部材１３０によって前記カセット本体１１０から脱着可能に組み立てられ、カセット本体１１０の前方と後方のうち、いずれか１つに選択的に設置できるようになる。
すなわち、前記カセット本体１１０に固定された第１の固定部１３１に前記センターフレーム１２０に固定された第２の固定部１３２が結合しつつ、カセット本体１１０にセンターフレーム１２０が着脱可能な状態で組み立てられるものであるが、上記のような第１の固定部１３１がカセット本体１１０の前方と後方に各々設置されているので、センターフレーム１２０をカセット本体１１０の前方または後方に選択的に設置することが可能となる。
特に、第１の固定部１３１の回動軸１３１ａに第２の固定部１３２の挿入孔１３２ａが挿入される構成からなり、前記カセット本体１１０からセンターフレーム１２０が回動可能な状態となる。
前記のような接続部材１３０は、カセット本体１１０とセンターフレーム１２０との上端部と下端部に各々配置されるので、センターフレーム１２０が安定的に回動できるようになる。
一方、前記接続部材１３０とセンターフレーム１２０との間には、センターフレーム１２０の垂直方向への移動を案内する昇降部材１４０が設けられて、センターフレーム１２０の着脱過程でサポートバー１２１が基板Ｇの底面から離隔した状態で着脱されるので、センターフレーム１２０の回動によって基板Ｇが損傷することが防止される。
すなわち、垂直方向に配置される支持フレーム１４１の上端部と下端部に前記接続部材１３０の第２の固定部１３２が各々設けられ、前記支持フレーム１４１の内側面にセンターフレーム１２０が設けられ、前記支持フレーム１４１とセンターフレーム１２０との間にガイド部材１４３が設けられてセンターフレーム１２０の昇降が案内される。
また、前記支持フレーム１４１の外側には、前記センターフレーム１２０を垂直方向に移動させる操作部１４２が設けられる。
前記操作部１４２を構成するレバー１４２ａは、所定の軸を中心として回動しつつ、レバー１４２ａの下部に配置された作用軸１４２ｂを昇降させるが、前記作用軸１４２ｂの下端部に固定された固定ブロック１４２ｃは、接続ブラケット１４２ｄを介してセンターフレーム１２０と接続されているので、前記レバー１４２ａの回動方向によって前記センターフレーム１２０が昇降するようになる。
以下では、上記のように組み立てられた本発明における基板搭載用カセットの第１の実施形態の作動について説明する。
添付図面のうち、図９〜図１３は、本発明における基板搭載用カセットのカセット本体からセンターフレームを分離する過程を示した作用図である。
まず、カセット本体１１０の後方側に設けられているセンターフレーム１２０を分離する場合を説明する。
図９に示すように、支持フレーム１４１を貫通してカセット本体１１０に固定されている第１のストッパ１４４を固定解除させると、支持フレーム１４１の固定が解除されて、支持フレーム１４１が接続部材１３０の回動軸１３１ａを中心として回動可能な状態となる。
また、図１０のように、上側方向に回動した状態にあるレバー１４２ａの位置を固定する第２のストッパ１４５を固定解除方向に移動させると、レバー１４２ａのロックが解除されて下側方向に回動可能な状態となる。
上記のように、レバー１４２ａのロックが解除された状態で、図１１のように、レバー１４２ａを下側方向に回動すると、レバー１４２ａと接続された作用軸１４２ｂと、作用軸１４２ｂに固定された固定ブロック１４２ｃとが垂直方向に下降する。また、前記固定ブロック１４２ｃに接続されたセンターフレーム１２０は、前記作用軸１４２の下降と連動して下降するようになり、このような作用によってセンターフレーム１２０のサポートバー１２１が基板Ｇの底面から所定間隔離隔する。このとき、前記センターフレーム１２０は、前記支持フレーム１４１との間に配置されたガイド部材１４３によって垂直方向への移動が案内される。
サポートバー１２１が基板Ｇの底面から離隔した状態で、接続部材１３０によってカセット本体１１０から回動可能な状態にある支持フレーム１４１を図１２に示すように、時計方向に回動させると、センターフレーム１２０のサポートバー１２１がカセット本体１１０の外部領域へと離脱するようになる。このとき、前記接続部材１３０が支持フレーム１４１の上端部と下端部にそれぞれ設けられているので、支持フレーム１４１が安定した状態で回動するようになる。また、前記センターフレーム１２０のサポートバー１２１が基板Ｇから離隔した状態で水平方向に回動するようになるので、サポートバー１２１の離脱過程で基板Ｇに接触することが防止される。
次いで、図１３のように、支持フレーム１４１を上側方向に持ち上げると、支持フレーム１４１に固定された第２の固定部１３２の挿入孔１３２ａがカセット本体１１０に固定された第１の固定部１３１の回動軸１３１ａから離脱しつつ、支持フレーム１４１がカセット本体１１０から分離される。
前述したように、センターフレーム１２０をカセット本体１１０の前方または後方から分離させた後には、カセット本体１１０の対向側端部に設けられた接続部材１３０の第１の固定部１３１に再度結合することができる。
添付図面のうち、図１４は、本発明における基板搭載用カセットが工程ラインに設けられた状態を示した構成図である。図１４の（ａ）のように、移載ロボットＲを用いて前工程の移送ラインＬ１から供給される基板Ｇをカセット本体１１０の前方開口を介してカセット本体１１０の内側に収納する。
次いで、基板Ｇの収納が完了した状態では、図１４の（ｂ）のように、カセット本体１１０の後方開口１１０ｂ側の接続部材１３０に組み立てられたセンターフレーム１２０を上述したような過程を介して分離した後、前方開口１１０ａ側の接続部材１３０に結合して分離の逆順に組み立てる。続いて、後工程移送ラインＬ２とカセット本体１１０との間に配置された移載ロボットＲによってカセット本体１１０の後方開口１１０ｂを介してカセット本体１１０内部に保管された基板Ｇを引き出し、後工程移送ラインＬ２に伝達する。
上記のように、カセット本体１１０の前方開口１１０ａ側に基板Ｇを挿入した後、カセット本体１１０の後方側１１０ｂで基板Ｇを引き出すと、従来のように、基板Ｇの前後方向が変わることがないので、工程の流れが単純になるという利点がある。
一方、本実施形態では、カセット本体１１０の内側にディスプレイ用グラス基板Ｇが収納されるものと説明したが、半導体工程のウエハなどが収納積層されることも可能である。また、接続部材１３０を介したセンターフレーム１２０の脱着過程が手動でなされるものと説明したが、カセット本体１１０の前方と後方にセンターフレーム１２０をそれぞれ配置し、別途の駆動手段を用いてセンターフレーム１２０を回動及び昇降させてカセット本体１１０の前方または後方を開口することにより、工程の自動化を実現することも可能である。
本発明の権利範囲は上述した実施形態及び変形例に限定されるものではなく、添付した特許請求の範囲内で様々な形態の実施形態によって実現できる。特許請求の範囲で請求する本発明の要旨を逸脱することなく、当該発明の属する技術分野における通常の知識を有した者であれば誰でも変形可能な多様な範囲まで本発明の請求の範囲の記載の範囲内にあるものとみなす。
１１０…カセット本体
１１１…上部フレーム
１１２…下部フレーム
１１３…サイドフレーム
１１３ａ…支持バー
１２０…センターフレーム
１２１…サポートバー
１３０…接続部材
１３１…第１の固定部
１３１ａ…回動軸
１３２…第２の固定部
１３２ｂ…挿入孔
１４０…昇降部材
１４１…支持フレーム
１４２…操作部
１４２ａ…レバー
１４２ｂ…作用軸
１４２ｃ…固定ブロック
１４２ｄ…接続ブラケット
１４３…ガイド部材
１４３ａ…ガイドレール
１４３ｂ…スライダ
１４４…第１のストッパ
１４５…第２のストッパ

Claims (9)

  1. 上下に離隔して配置される上部フレームと下部フレーム及び内側に基板を支持する複数の第１支持バーが形成されて、前記上部フレームと下部フレームの両側に垂直方向に配置されるサイドフレームによってボックスを形成し、内側に基板を収納するカセット本体と、
    内側に基板を支持する複数の第２支持バーが形成されて、前記上部フレームと下部フレームの前方または後方に垂直方向に配置されるセンターフレームと、
    該センターフレームと前記カセット本体との間に設けられて、前記センターフレームを前記カセット本体に脱着可能に接続する接続部材と、
    前記センターフレームと前記接続部材との間に設けられて、前記センターフレームを垂直方向に昇降させる昇降部材と、
    を備えることを特徴とする基板搭載用カセット。
  2. 前記接続部材が、カセット本体に固定される第１の固定部と、センターフレーム側に固定されて、前記第１の固定部に着脱可能に取付けられる第２の固定部とからなり、前記第１の固定部が、カセット本体の前方と後方に各々設けられることを特徴とする請求項１に記載の基板搭載用カセット。
  3. 前記第１の固定部と第２の固定部とに、垂直方向の回動軸と垂直方向の回動軸挿入孔とが各々形成されて、前記垂直方向の回動軸を軸に相互が回動可能に組み立てられることを特徴とする請求項２に記載の基板搭載用カセット。
  4. 前記昇降部材が、前記上部フレームと前記下部フレームとの間に垂直方向に配置される支持フレームと、該支持フレームに設けられて、前記センターフレームの昇降駆動を制御する操作部とを備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板搭載用カセット。
  5. 前記支持フレーム上で前記センターフレームの垂直方向移動を案内するガイド部材が前記支持フレームと前記センターフレームとの間に設けられることを特徴とする請求項４に記載の基板搭載用カセット。
  6. 前記操作部が、前記支持フレームに回動可能に設けられるレバーと、該レバーの回動によって垂直方向に昇降する作用軸と、該作用軸とセンターフレームとを接続する接続ブラケットとからなることを特徴とする請求項４または５に記載の基板搭載用カセット。
  7. 前記レバーが、トグルクランプからなることを特徴とする請求項６に記載の基板搭載用カセット。
  8. 前記支持フレームが、前記レバーのロック位置を前記支持フレーム側に固定する第１のストッパを設けることを特徴とする請求項７に記載の基板搭載用カセット。
  9. 前記接続部材によって前記カセット本体に回動可能に接続される前記支持フレームに、前記支持フレームと前記カセット本体とを固定して前記支持フレームの任意回動を防止する第２のストッパを設けることを特徴とする請求項８に記載の基板搭載用カセット。
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