JP5710194B2 - 真空処理装置 - Google Patents
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Description
102 真空側ブロック
103 真空処理装置
104 真空搬送室
105 ロック装置
106 筐体
107 カセット台
108 真空搬送ロボット
109 真空搬送ロボット
110 大気搬送ロボット
111 真空搬送室
112 真空搬送中継室
120 バルブ
121 ドライポンプ
122 バルブ
123 配管
124 パージライン
125 未処理ウエハ
126 処理済みウエハ
201 アーム
202 アーム
Claims (4)
- 大気雰囲気中で被処理基板をロック室に搬送する大気搬送装置を収容した大気搬送室と、
第1の真空処理室と連結され、前記ロック室にある前記被処理基板を前記第1の真空処理室に搬入し、処理の終了した前記被処理基板を搬出する第1の真空搬送装置を内部に備えた第1の真空搬送室と、
第2の真空処理室と連結され、前記被処理基板を前記第2の真空処理室に搬入し、処理の終了した前記被処理基板を搬出する第2の真空搬送装置を内部に備えた第2の真空搬送室と、
前記第1の真空搬送室と前記第2の真空搬送室との間でこれらと連結されて配置され当該第1の真空搬送装置と第2の真空搬送装置との間で前記被処理基板を受け渡しするための載置台を備えた搬送中継室と、
前記第1および第2の真空搬送室にガスを供給するガス供給経路と、前記第1及び第2の真空処理室各々の内部を排気する排気ポンプを含む第1の排気経路と、前記搬送中継室の内部のガスを排気する第2の排気経路と、を備え、
前記第1および第2の真空搬送室の各々は、その内部の圧力が各々に連結された前記第1及び第2の真空処理室および搬送中継室よりも高く設定されると共に、その内部のガスが各々に連結された前記搬送中継室の前記第2の排気経路と前記第1の真空処理室または第2の真空処理室の前記第1の排気経路の一方または双方を通して排気される
ことを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1記載の真空処理装置において、
第1の真空搬送室が備える真空処理室の数は第2の真空搬送室が備える真空処理室の数よりも小であることを特徴とする真空処理装置。 - 大気雰囲気中で被処理基板をロック室に搬送する大気搬送装置を収容した大気搬送室と、
第1の真空処理室と連結され、前記ロック室にある前記被処理基板を前記第1の真空処理室に搬入し、処理の終了した前記被処理基板を搬出する第1の真空搬送装置を内部に備えた第1の真空搬送室と、
第2の真空処理室と連結され、前記被処理基板を前記第2の真空処理室に搬入し、処理の終了した前記被処理基板を搬出する第2の真空搬送装置を内部に備えた第2の真空搬送室と、
前記第1の真空搬送室と前記第2の真空搬送室との間でこれらと連結されて配置され当該第1の真空搬送装置と第2の搬送装置との間で前記被処理基板を受け渡しするための載置台を備えた搬送中継室と、
前記第1および第2の真空搬送室にガスを供給するガス供給経路と、前記第1及び第2の真空処理室各々の内部を排気する排気ポンプを含む第1の排気経路と、前記搬送中継室の内部のガスを排気する第2の排気経路と、装置全体を制御する制御装置を備えた真空処理装置の運転方法において、
前記制御装置は、前記第1および第2の真空搬送室各々の圧力を、各々に連結された前記第1及び第2の真空処理室および前記搬送中継室の内部の圧力よりも高く設定するとともに、
前記第1または第2の真空処理室の何れかとこれが連結された前記第1または第2の真空搬送室との間を区画するバルブを開放する前に、前記何れか1つの真空処理室と他の真空処理室とが連通しないように、それぞれの真空処理室のウエハが搬送される通路上に配置されたゲートを開閉するバルブの閉塞の確認を指令して、これが確認された後に前記何れか1つの真空処理室を密封しているバルブを開放するものであって、
第1および第2の真空処理室の各々は、その内部のガスが各々に連結された前記搬送中継室の前記第2の排気経路と前記第1の真空処理室または第2の真空処理室の前記第1の排気経路の一方または双方を通して排気される
ことを特徴とする真空処理装置の運転方法。 - 請求項3記載の真空処理装置において、
第1の真空搬送室が備える真空処理室の数は第2の真空搬送室が備える真空処理室の数よりも小であることを特徴とする真空処理装置の運転方法。
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JP2010217495A JP5710194B2 (ja) | 2010-09-28 | 2010-09-28 | 真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010217495A JP5710194B2 (ja) | 2010-09-28 | 2010-09-28 | 真空処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2012074496A JP2012074496A (ja) | 2012-04-12 |
JP5710194B2 true JP5710194B2 (ja) | 2015-04-30 |
Family
ID=46170375
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2010217495A Active JP5710194B2 (ja) | 2010-09-28 | 2010-09-28 | 真空処理装置 |
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