JP5709582B2 - ラマン振動の強度分布情報と質量分布情報とを位置合わせする方法 - Google Patents
ラマン振動の強度分布情報と質量分布情報とを位置合わせする方法 Download PDFInfo
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Description
本発明において、ラマン振動の強度分布情報とは、ラマン分光法を利用して取得される試料表面の成分の分布を示す情報である。また、質量分布情報とは、質量分析法を利用して取得される試料表面の成分の分布を示す情報である。
・飛行時間型二次イオン質量分析法(Time of Flight secondary ion mass spectrometry、以下「TOF−SIMS」と記載する。)
・マトリックス支援レーザ脱離イオン化法(Matrix assisted laser desorption ionization、以下「MALDI」と記載する。)
・脱離エレクトロスプレーイオン化法(Desorption electrospray ionization、以下「DESI」と記載する。)
実施形態1では、位置合わせ用のマーカの形状と、その位置合わせの方法を示す。基板上に異なる形状のマーカを設け、ラマン画像と質量画像を取得した模式図を図4に示す。マーカの材料には、重水素置換されたパルミチン酸が混合された樹脂を用いる。図4(a)はマーカを横から見た形状を示す。マーカの形状は、四角錐型17、半球型18、三角錐型19、円錐の変形型20の場合を示すが、これらの形状とは異なる三次元形状においても、同様の結果が得られることが推測される。試料は図示されていないが、マーカが設けられている基板上に存在しており、破線21は試料表面と等しい高さを示す。図4(b)はマーカを上からみた形状を示す。マーカはそれぞれ、四角錐型22、半球型23、三角錐型24、円錐の変形型25である。矢印26はラマン分光における基板に対するレーザ光の入射方向を示し、矢印27は質量分析における基板に対する一次ビームの入射方向を示す。矢印28は、基板表面に対して垂直方向から見た場合の、質量分析におけるマーカに対する一次ビームの入射方向を示す。
実施形態2では、ラマン分光におけるレーザ光の入射角度、レーザ光の収束角度及びマーカの形状が、ラマン信号に及ぼす効果を示す。また、質量分析における一次ビームの照射角度、一次ビームの集束角度及びマーカの形状が、質量信号に及ぼす効果を示す。
実施形態3では、生体試料とマーカの位置関係について検討した結果について説明する。図6(a)、(b)、(c)は基板上の試料とマーカを基板の上方向から見た図を示す。図6(a)に、基板49上に試料47を配置し、その外周部分に大きさの異なる四角錐のマーカ48が複数配置する場合を示す。図6(b)に、基板52上に試料50が配置し、基板全体に同じ大きさの四角錐のマーカ51を複数配置する場合を示す。図6(c)に、基板55上に試料53を配置し、その外周部分に変形した楕円のマーカ54が複数配置する。図6(d)では、基板58上に試料56を配置し、その外周部分にマーカ57を配置する場合を示す。マーカ57の高さは試料よりも高く、基板に対して傾斜した面が含まれている。これらのいずれの場合においても、ラマン分光法および質量分析法の両方において、試料にレーザ光および一次ビームの焦点があった状態で、試料表面とマーカの両方からの信号を得ることができ、ラマン画像と質量画像を精度良く重ねることができる。これらの中で、図6(b)や図6(d)の場合には、マーカからの信号が均一となり、重ね合わせが容易になり、質量分布情報とラマン震度の強度分布情報を精度良く関連させることができるので好ましい。
2,3 重ね合わせ用マーカ
4 基板
5 試料
6,7 重ね合わせ用マーカ
8 基板
10,11 重ね合わせ用マーカからのラマン信号が得られている領域
14,15 重ね合わせ用マーカからの質量信号が得られている領域
Claims (5)
- ラマン分光法によって得られるラマン振動の強度分布情報と質量分析法によって得られる質量分布情報とを位置合わせする方法であって、
基板上に、試料と、該試料の外周部に、高さが試料表面と同じか試料表面よりも高い三次元形状のマーカと、を配置した測定用試料を作製する工程と、
ラマン分光法で前記測定試料のラマン振動の強度分布情報を得る工程と、
質量分析法で前記測定用試料の質量分布情報を得る工程と、
前記質量分布情報における前記マーカの情報と、前記ラマン振動の強度分布情報における前記マーカの情報に基づいて前記質量分布情報と前記ラマン振動の強度分布情報を位置合わせする工程と、
を有し、前記三次元形状のマーカが、円錐形、四角錐、三角錐、多角錐又は半球体であることを特徴とする位置合わせをする方法。 - ラマン分光法によって得られるラマン振動の強度分布情報と質量分析法によって得られる質量分布情報とを位置合わせする方法であって、
基板上に、試料と、該試料の外周部に、高さが試料表面と同じか試料表面よりも高い三次元形状のマーカと、を配置した測定用試料を作製する工程と、
ラマン分光法で前記測定試料のラマン振動の強度分布情報を得る工程と、
質量分析法で前記測定用試料の質量分布情報を得る工程と、
前記質量分布情報における前記マーカの情報と、前記ラマン振動の強度分布情報における前記マーカの情報に基づいて前記質量分布情報と前記ラマン振動の強度分布情報を位置合わせする工程と、
を有し、前記三次元形状のマーカは、前記マーカを前記基板表面に対して平行な平面で切断した断面積が、前記基板表面からの距離が大きくなるにつれて小さくなる形状であることを特徴とする位置合わせをする方法。 - 前記ラマン振動の強度分布情報がラマン振動の強度分布画像であり、
前記質量分布情報が質量分布画像であり、
前記位置合わせをする方法が、前記ラマン振動の強度分布画像と前記質量分布情報との重ね合わせることであることを特徴とする請求項1または2に記載の位置合わせをする方法。
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