JP5703114B2 - 原料の気化供給装置 - Google Patents
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Description
また、恒温加熱部6の作動により、ソースタンク用の自動圧力調整装置15の演算制御部16を除いた部分が約150℃の高温度に加熱保持される。
原料の流量X:混合ガス供給流量(A+X)=ソースタンク内原料蒸気圧PMo:ソースタンク内内圧Ptank、即ち、
X×Ptank=(A+X)×PMo・・・・(1)
(1)式より、原料の流量Xは、X=A×PMo/(Ptank−PMo)・・・(2)
となる。
即ち、TEOSの流量8.8(sccm)、キャリアガス(Arガス)流量X=10(sccm)、全流量(A+X)=18.8(sccm)となり、チャンバ11へ供給される混合ガスGoの流量Q(全流量A+X)とキャリアガス流量Aとは異なった値となり、熱式質量流量制御装置3でもって混合ガスGoの流量を直接制御することができない。
先ず、第1の問題は、高価な熱式質量流量制御装置3を使用しているため、原料の気化供給装置の製造コストの引下げを計り難いだけでなく、キャリアガス源1から熱式質量流量制御装置3へ供給するキャリアガスの供給圧を高精度で制御する必要があり、減圧装置2の設備費が増加するという点である。
また、熱式質量流量制御装置3でもって混合ガスGoの流量を直接的に制御できないという問題がある。
即ち、バブリング方式とは異なって、ソースタンク内の原料の加熱によってソースタンク内の原料蒸気の蒸気圧PMoを設定温度下に於ける飽和蒸気に保持すると共に、ソースタンクの内部上方空間部の全圧力Ptankを自動圧力調整装置によって設定値に制御するようにしているため、混合ガスGo内の原料流量Xが原料蒸気圧PMoとタンク内部の圧力Ptankとの比に正比例することともあいまって、原料流量Xを容易に、高精度で且つ安定して制御することができる。
図1は、本発明の実施形態に係る原料の気化供給装置の構成系統図であり、当該原料の気化供給装置は、キャリアガス供給源1、原料4を収容するソースタンク5、ソースタンク5の内部圧力を制御する自動圧力調整装置15、プロセスチャンバ11へ供給する混合ガスGoの供給流量を調整する流量制御装置19、自動圧力調整装置15及び流量制御装置19の流通路やソースタンク5等を加温する恒温加熱部6等から構成されている。
前記圧力検出器Po及び温度検出器Toからの検出値はディジタル信号に変換されて温度補正回路16aへ入力され、ここで検出圧力Poが検出圧力Ptに補正されたあと、比較回路16bへ入力される。また、設定圧力の入力信号Psが端子17から入力され、入出力回路16cでディジタル値に変換されたあと比較回路16bへ入力され、ここで前記温度補正回路16aからの温度補正をした検出圧力Ptと比較される。そして、設定圧力入力信号Psが温度補正をした検出圧力Ptより大きい場合には、コントロール弁CV1の駆動部へ制御信号Pdが出力される。これにより、コントロール弁CV1が開弁方向へ駆動され、設定圧力入力信号Psと温度補正した検出圧力Ptとの差(Ps−Pt)が零となるまで開弁方向へ駆動される。
その結果、混合ガスGoの全供給流量Q=A+X=10(sccm)、TEOS流量X=4.7(sccm)、キャリアガス(Ar)G1の流量A=5.3(sccm)となる。
また、ピエゾ素子駆動部の格納ケースを孔開きシャーシとし、ピエゾ素子駆動部等を空冷可能な構造とすることにより、ピエゾバルブの各構成パーツの熱膨張の低減を図ると共に、コントロール弁CV 1 、CV 2 のボディ部にカートリッジヒータ又はマントルヒータを取り付け、バルブ本体を所定温度(最高250℃)に加熱するようにしている。
尚、自動圧力調整装置15及び流量制御装置19そのものは、特許第4605790号等により公知であるため、ここではその詳細な説明を省略する。
同様に、本発明に係る自動圧力調整装置は、MOCVD法に用いる原料の気化供給装置用だけでなく、一次側の流体供給源の自動圧力調整装置として、半導体製造装置や化学品製造装置等の流体供給回路へ広く適用できるものである。
2は減圧装置
3は質量流量制御装置
4は原料
5はソースタンク(容器)
5aはソースタンクの内部上方空間
6は高温加熱部
7は入口バルブ
9は出口バルブ
10はバルブ
11はプロセスチャンバ(結晶成長炉)
12はヒータ
13は基板
14は真空ポンプ
15はソースタンク用自動圧力調整装置
16・20は演算制御部
16a・20aは温度補正回路
16b・20bは比較回路
16c・20cは入出力回路
16d・20dは出力回路
17・21は入力信号端子(設定入力信号)
18・22は出力信号端子(圧力出力信号)
19圧力式流量制御装置
21オリフィス
G1はキャリアガス
G4は原料の飽和蒸気
Goは混合ガス
G5は薄膜形成用ガス
L1・L2は流路
P・Poは圧力検出器
T・Toは温度検出器
CV1・CV2はコントロール弁
V1〜V5はバルブ
Psは設定圧力の入力信号
Ptは温度補正後の検出圧力値
Pdはコントロール弁駆動信号
Potは制御圧力の出力信号(キャリアガスG1の温度補正後の圧力検出信号)
Claims (4)
- キャリアガス供給源と、原料を貯留したソースタンクと、前記キャリアガス供給源からのキャリアガス(G1)を前記ソースタンクの内部上方空間部へ供給する流路(L1)と、当該流路(L1)に介設され、前記ソースタンクの内部上方空間部の圧力を設定圧力に制御する自動圧力調整装置と、前記ソースタンクの内部上方空間部から、原料より生成した原料蒸気とキャリアガス(G1)との混合体である混合ガス(G0)をプロセスチャンバへ供給する流路(L2)と、当該流路(L2)に介設され介設され、プロセスチャンバへ供給する混合ガス(G0)の流量を設定流量に自動調整す介設され、プロセスチャンバへ供給する混合ガス(G0)の流暢を設定流量に自動調整する流量制御装置と、前記ソースタンクと流路(L1)と流路(L2)と自動圧力調整装置と流量制御装置とを設定温度に加熱する恒温加熱部とから成り、
前記ソースタンクの内部上方空間部の内圧を設定圧力に、前記ソースタンクに貯留した原料の温度を設定温度に、前記混合ガス(G0)の流量を設定流量に夫々制御しつつプロセスチャンバへ混合ガス(G0)を供給するようにした原料の気化供給装置に於て、
前記自動圧力調整装置をコントロール弁(CV1)と、当該コントロール弁(CV 1 )の下流側に設けた温度検出器(T0)及び圧力検出器(P0)と、前記コントロール弁(CV1)を開閉制
御する制御信号を出力する第1の演算制御部と、前記キャリアガス(G1)が流れる流通路を所定温度に加熱するヒータとから構成すると共に、
前記流量制御装置をコントロール弁(CV2)と、前記コントロール弁(CV 2 )の下流側に設けた温度検出器(T)及び圧力検出器(P)と、前記圧力検出器(P)の下流側に設けたオリフィスと、前記コントロール弁(CV2)を開閉制御する制御信号を出力する第2の演算制御部と、前記混合ガス(G0)が流れる流通路を所定温度に加熱するヒータとから構成するようにした原料の
気化供給装置。 - 前記自動圧力調整装置の第1の演算制御部を、圧力検出器(P0)の検出値を温度検出器(T0)の検出値に基づいて温度補正を行って前記キャリアガス(G1)の圧力を演算すると共に、予め設定した圧力と前記演算圧力とを対比して両者の差が少なくなる方向にコントロール弁(CV1)を開閉制御する制御信号を出力する第1の演算制御部とした請求項1に記載の原料の気化供給装置。
- 前記流量制御装置の第2の演算制御部を、前記圧直検出器(P)の検出値を用いて演算した前記混合ガス(G0)の流量を温度検出器(T)の検出値に基づいて温度補正をすると共に、予め設定した混合ガス流量と前記補正後の混合ガス流量とを対比して両者の差が少なくなる方向にコントロール弁(CV1)を開閉制御する制御信号を出力する第2の演算制御部とした請求項1に記載の原料の気化供給装置。
- 原料を液体又は多孔性担持体に担持させた固体原料とするようにした請求項1に記載の原料の気化供給装置。
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US10947621B2 (en) * | 2017-10-23 | 2021-03-16 | Applied Materials, Inc. | Low vapor pressure chemical delivery |
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US11661653B2 (en) | 2019-12-18 | 2023-05-30 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Vapor delivery systems for solid and liquid materials |
JP7158443B2 (ja) * | 2020-09-17 | 2022-10-21 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラム、および、基板処理方法 |
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