JP5689382B2 - 多結晶シリコンロッドの破砕方法 - Google Patents
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Description
図2に示したように、円柱状の多結晶シリコンロッド10を床に寝かせ、中心軸Cを通る垂線上であって、床からの高さが多結晶シリコンロッド10の直径Dの4分の3の点に、中心軸C方向にのみ力学成分を有する第1および第2の衝撃力(F1およびF2)をそれぞれ、一方端部および他方端部から加え、第1および第2の弾性波を発生させた。なお、これら第1および第2の衝撃力の大きさは等しく、単独では破砕が生じない強度とし、付与は同時に行った。
図3に示したように、円柱状の多結晶シリコンロッド10を床に寝かせ、中心軸Cを通る垂線上であって、床からの高さが多結晶シリコンロッド10の直径Dの2分の1の点に、中心軸C方向にのみ力学成分を有する第1および第2の衝撃力(F1およびF2)をそれぞれ、一方端部および他方端部から加え、第1および第2の弾性波を発生させた。なお、これら第1および第2の衝撃力の大きさは等しく、単独では破砕が生じない強度とし、付与は同時に行った。
図5に示したように、円柱状の多結晶シリコンロッド10を床に寝かせ、中心軸Cを通る垂線上であって、床からの高さが多結晶シリコンロッド10の直径Dの4分の3の点に、多結晶シリコンロッド10の中心軸Cの方向の力学成分(F1hおよびF2h)と、中心軸Cに垂直な方向の力学成分(F1vおよびF2v)が合成された第1および第2の衝撃力(F1およびF2)をそれぞれ、略左右対称に、一方端部および他方端部から加え、第1および第2の弾性波を発生させた。なお、これら第1および第2の衝撃力の大きさは等しく、単独では破砕が生じない強度とし、付与は同時に行った。
図7に示したように、長軸方向の長さが約2000mmの円柱状の多結晶シリコンロッド10を床に寝かせ、中心軸Cを通る垂線上であって、床からの高さが多結晶シリコンロッド10の直径Dの4分の3の点に、中心軸C方向にのみ力学成分を有する第1の衝撃力(F1)を一方端部から加え、さらに、第2の衝撃力(F2)を他方端部近傍の側面の稜に加え、第1および第2の弾性波を発生させた。なお、これら第1および第2の衝撃力の大きさは等しく、単独では破砕が生じない強度とし、付与は同時に行った。
図8に示したように、円柱状の多結晶シリコンロッド10を固定治具2の床上に寝かせ、多結晶シリコンロッド10の他方端部を、固定治具2に設けられた障壁に押し当てた状態で、中心軸Cを通る垂線上であって、床からの高さが多結晶シリコンロッド10の直径Dの4分の3の点に、中心軸C方向にのみ力学成分を有する第1の衝撃力(F1)を一方端部から加え、第1の弾性波を発生させた。
図9に示したように、円柱状の多結晶シリコンロッド10を床に寝かせ、中心軸Cを通る垂線上であって、床からの高さが多結晶シリコンロッド10の直径Dの4分の3の点に、中心軸C方向にのみ力学成分を有する第1の衝撃力(F1)を一方端部から加えて第1の弾性波を発生させた1秒後に、同じく、中心軸Cを通る垂線上であって、床からの高さが多結晶シリコンロッド10の直径Dの4分の3の点に、中心軸C方向にのみ力学成分を有する第2の衝撃力(F2)を他方端部から加えて第2の弾性波を発生させた。なお、これら第1および第2の衝撃力の大きさは等しく、単独では破砕が生じない強度とした。
2 固定治具
10 多結晶シリコンロッド
20 単結晶シリコンロッド
30 割れ
Claims (2)
- 柱状の多結晶シリコンロッドを破砕する方法であって、
前記多結晶シリコンロッドは長軸方向の長さが1500〜2500mmの範囲にあり、前記多結晶シリコンロッドの中心軸方向に力学成分を有する第1の衝撃力を前記多結晶シリコンロッドの一方端部に加えて第1の弾性波を発生させ、更に、前記第1の衝撃力の付与前または付与後の2秒未満の時間内に前記多結晶シリコンロッドに第2の衝撃力を付与して第2の弾性波を発生させ、該第2の弾性波と前記第1の弾性波の合成弾性波により前記多結晶シリコンロッドの中心軸を分断する破砕面を有する多結晶シリコン塊に破砕する、ことを特徴とする多結晶シリコンロッドの破砕方法。 - 前記第2の衝撃力は、前記多結晶シリコンロッドに前記第1の衝撃力が加えられた前記一方端部とは逆の端部である他方端部に付与される、請求項1に記載の多結晶シリコンロッドの破砕方法。
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