JP5684856B2 - 測定装置 - Google Patents
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Description
ただし、試料920を静電容量Cxのコンデンサと抵抗値Rxの抵抗との並列回路とみなし、電流電圧変換回路940のコンデンサの静電容量をCfとし、抵抗の抵抗値をRfとし、jを虚数単位とし、ωを交流電圧の角周波数ω=2πfとし、fを周波数とする。
<Cxが10p[F]→11p[F]に変化した場合>
V1:0.666667[V]→0.6875[V]
V1変化量:0.020833[V]
<Cxが100p[F]→101p[F]に変化した場合>
V1:0.952381[V]→0.95283[V]
V1変化量:0.000449[V]
[第1実施形態]
本発明の第1実施形態を説明する。
図2に例示するように、本形態の測定装置100は、直流電圧源111、測定対象の回路素子である試料120が接続される端子112,113、シールドケーブル114、交流電圧印加回路130、電流電圧変換回路140、コンデンサ115、交流増幅回路150、直流変換回路160、直流増幅回路170、スイッチ116、および直流電圧計117を有する。
試料120の測定時、端子112が試料120の一端に接続され、試料120の他端が端子113に接続される。電流測定を行う場合には、スイッチ116の第1入力端子が出力端子に接続され、電流電圧変換回路140の出力側が直流電圧計117に接続される。一方、試料120の接続状態の検出を行う場合には、スイッチ116の第2入力端子が出力端子に接続され、直流増幅回路170の出力側が直流電圧計117に接続される。本技術は試料120の接続状態を検出するための動作に特徴があるため、以下では試料120の接続状態を検出する際の動作のみを説明する。
Vi=(V3−Vof)×R2/(R1+R2)+Vof (2)
演算増幅器171の差動利得が無限大であると仮定すると、演算増幅器171の仮想短絡によりV2=Viとなり、以下の関係が成り立つ。
V2=(V3−Vof)×R2/(R1+R2)+Vof (3)
式(3)を変形すると、以下の関係が成り立つ。
V3=(1+R1/R2)×V2−(R1/R2)×Vof (4)
よって、直流増幅回路170の出力側の検出電圧値V3は、入力端の直流電圧値V2を利得(1+R1/R2)で増幅した直流増幅電圧値(1+R1/R2)×V2から減算電圧値(R1/R2)×Vofを減じた電圧値となる。ここで、減算電圧値(R1/R2)×Vofは零を除く値であり((R1/R2)×Vof≠0)、(R1/R2)×Vofと(1+R1/R2)×V2の正負符号は同一である。
第2実施形態は第1実施形態の変形例であり、直流増幅回路が減算電圧値の大きさを変更するレベルシフト回路を含む点、および、直流電圧値V2を検出電圧値V3とするバッファ回路に切り替え可能な点で第1実施形態と相違する。以下では、第1実施形態との相違点を中心に説明し、第1実施形態と共通する事項についてはそれと同一の参照符号を用いて説明を省略する。
図4に例示するように、本形態の測定装置200は、直流電圧源111、測定対象の回路素子である試料120が接続される端子112,113、シールドケーブル114、交流電圧印加回路130、電流電圧変換回路140、コンデンサ115、交流増幅回路150、直流変換回路160、直流増幅回路270、スイッチ116、および直流電圧計117を有する。
第1実施形態で説明した事項に加え、さらに本形態では、スイッチ271〜274のオン・オフによって減算電圧値を変更したり、直流増幅回路270をバッファ回路に切り替えたりすることができる。例えば、スイッチ271をオンにし、スイッチ272〜274をオフにした場合には、減算電圧値が(R1/R2)×Vof1となり、V3=(1+R1/R2)×V2−(R1/R2)×Vof1となる。スイッチ272をオンにし、スイッチ271,273,274をオフにした場合には、減算電圧値が(R1/R2)×Vof2となり、V3=(1+R1/R2)×V2−(R1/R2)×Vof2となる。スイッチ273をオンにし、スイッチ271,272,274をオフにした場合には、減算電圧値が(R1/R2)×Vof3となり、V3=(1+R1/R2)×V2−(R1/R2)×Vof3となる。スイッチ274をオンにした場合には、演算増幅器171がバッファとして機能し、V3=V2となる。
本形態は第2実施形態の変形例であり、減算電圧値の大きさを交流増幅電圧値のピーク電圧値の大きさに対して広義単調増加(単調非減少)の関係にある大きさに自働的に調整する点で第2実施形態と相違する。以下では、第1,2実施形態との相違点を中心に説明し、第1,2実施形態と共通する事項についてはそれと同一の参照符号を用いて説明を省略する。
図6に例示するように、本形態の測定装置300は、直流電圧源111、測定対象の回路素子である試料120が接続される端子112,113、シールドケーブル114、交流電圧印加回路130、電流電圧変換回路140、コンデンサ115、交流増幅回路150、直流変換回路160、直流増幅回路370、ピーク検出回路380、スイッチ選択回路390、スイッチ116、直流電圧計117を有する。
第1,2実施形態で説明した事項に加え、さらに本形態では、交流増幅回路150の出力側の交流電圧値のレベルにより、Vof1,Vof2,Vof3の切り替えを自動で行う。すなわち、ピーク検出回路380が交流増幅回路150の出力側の交流電圧値のピーク値(振幅レベル)を得て、演算増幅器382の出力端子の電圧値とする。演算増幅器394,395,396は、それぞれ演算増幅器382の出力端子の電圧値と直流電圧源391,392,393の基準電圧との大小関係を比較し、出力端子の電圧をその比較結果を表す値とする。直流電圧源391,392,393の出力端子の電圧値に応じ、スイッチ371,372,373の何れか一つがオンとなり、その他がオフとなる。このようなスイッチ371〜374のオン・オフにより、上述の振幅レベルに応じて減算電圧値を自働的に変更することができる。例えば、0<Vof1<Vof2<Vof3とし、0≦振幅レベル<Th11の領域でVof1を使用して減算電圧値(R1/R2)×Vof1とし、Th11≦振幅レベル<Th12の領域でVof2を使用して減算電圧値(R1/R2)×Vof2とし、Th12≦振幅レベル<Th13の領域でVof3を使用して減算電圧値(R1/R2)×Vof3とすることができる。これにより、検出電圧値V3が直流電圧計117の測定可能範囲を超えてしまうことを自働的に抑制でき、さらにより広い範囲の静電容量Cxの試料120の接続状態を高精度で測定することが可能となる。
第1〜3実施形態の電流電圧変換回路140をシャント型の回路に置換することも可能である。図7は、第1実施形態の測定装置100の電流電圧変換回路140をシャント型回路440に置換した例である。図7に例示する測定装置400のシャント型回路440は、演算増幅器441、抵抗値Rfの抵抗442、および静電容量Cfのコンデンサ443を有する。図7の例では、コアトランス131の二次コイルaの他端が、演算増幅器441の非反転入力端子、抵抗442、およびコンデンサ443の一端に接続されている。抵抗442およびコンデンサ443の他端はグランドGNDに接地されている。演算増幅器441の反転入力端子は、演算増幅器441の出力端子、コアトランス131の二次コイルbの他端、およびスイッチ116の第1入力端子に接続されている。なお、第2,3実施形態の測定装置200,300の電流電圧変換回路140をシャント型回路440に置換した構成でもよい。
第1〜3実施形態の電流電圧変換回路140を、2個の演算増幅器を備える電流電圧変換回路に置換し、電流電圧変換回路での利得を調整可能な構成としてもよい。図8は、第1実施形態の測定装置100の電流電圧変換回路140を、このような回路に置換した例である。図8に例示する測定装置500は、測定装置100の電流電圧変換回路140が電流電圧変換回路540に置換され、さらに交流増幅回路として機能する演算増幅器511が付加されたものである。電流電圧変換回路540は、コンデンサ141、抵抗142,143,541、および演算増幅器144,544を有する。本形態では、コアトランス131の二次コイルaの他端が、演算増幅器544の非反転入力端子、コンデンサ115,141の一端、および抵抗142の一端に接続されている。演算増幅器544の反転入力端子は、演算増幅器544の出力端子、および抵抗143の一端に接続されている。演算増幅器544の出力端子は演算増幅器511の非反転入力端子に接続され、演算増幅器511の反転入力端子はその出力端子に接続され、演算増幅器511の出力端子はコアトランス131の二次コイルbの他端に接続されている。抵抗143の他端は、演算増幅器144の反転入力端子および抵抗541の一端に接続されている。演算増幅器144の出力端子は、抵抗142,541の他端、コンデンサ141の他端、およびスイッチ116の第1入力端子に接続され、演算増幅器144の非反転入力端子はグランドGNDに接地されている。なお、第2,3実施形態の測定装置200,300の電流電圧変換回路140が電流電圧変換回路540に置換され、さらに交流増幅回路として機能する演算増幅器511が付加された構成でもよい。
第1〜5実施形態において、交流電圧源を電流電圧変換回路に接続し、コアトランス131を用いない構成としてもよい。図9の測定装置600は、第5実施形態の測定装置500の交流電圧印加回路130および電流電圧変換回路540に代えて、交流電圧源642を備える電流電圧変換回路640を設けた例である。電流電圧変換回路640は、コンデンサ141、抵抗142,143,541,641、演算増幅器144,544、および交流電圧源642を有する。本形態では、シールドケーブル114の信号線が演算増幅器544の非反転入力端子に接続され、演算増幅器511の出力端子がシールドケーブル114のガードに接続されている。抵抗641の一端は抵抗143の他端、抵抗541の一端、および演算増幅器144の反転入力端子に接続され、抵抗641の他端はグランドGNDに接地された交流電圧源642に接続されている。このようにコアトランス131を用いないことで装置を小型化することができる。ただし、演算増幅器144,544は、交流電圧源642の交流信号を増幅できる十分な周波数帯域を持つ必要がある。
第1〜6実施形態において、直流変換回路160が第3実施形態で説明したピーク検出回路380に置換されてもよい。この場合、ピーク検出回路380の入力側の電圧が交流増幅電圧値となり、ピーク検出回路380の出力側の電圧が直流電圧値V2となる。直流電圧値V2の大きさは、交流増幅電圧値のピーク電圧値の大きさに対して広義単調増加の関係にある。図10は、第1実施形態の測定装置100の直流変換回路160をピーク検出回路380に置換した例である。図10に例示するように、ピーク検出回路380は、演算増幅器381,382、ダイオード383、ホールドコンデンサであるコンデンサ384、およびリセット回路であるスイッチ385を有する。本形態では、演算増幅器151の出力端子が演算増幅器381の非反転入力端子に接続されており、演算増幅器382の出力端子が演算増幅器171の非反転入力端子に接続されている。ピーク検出回路380は平均化を行わないため、本形態では測定レスポンスが早くなる。なお、第2〜6実施形態の測定装置200〜600の直流変換回路160がピーク検出回路380に置換した構成でもよい。
Claims (4)
- 測定対象の回路素子である試料の接続状態を検出する測定装置であって、
前記試料が接続される端子に交流電圧を印加する交流電圧印加回路と、
前記端子に接続された交流増幅回路と、
前記交流増幅回路の出力側に接続され、前記交流増幅回路の出力側の交流増幅電圧値を直流電圧値に変換する直流変換回路と、
前記直流変換回路の出力側に接続され、前記直流電圧値を増幅した直流増幅電圧値から或る減算電圧値を減じた検出電圧値を得る直流増幅回路と、
を有し、
前記直流増幅回路は、前記減算電圧値の大きさを、前記交流増幅電圧値のピーク電圧値の大きさに対して広義単調増加の関係にある大きさに調整するレベルシフト回路を含む、測定装置。 - 請求項1の測定装置であって、
前記直流増幅回路は、前記直流電圧値を前記検出電圧値とするバッファ回路に切り替え可能である、
ことを特徴とする測定装置。 - 請求項1または2の測定装置であって、
前記直流変換回路は、ピーク検出回路であり、
前記直流電圧値の大きさは、前記交流増幅電圧値のピーク電圧値の大きさに対して広義単調増加の関係にある、
ことを特徴とする測定装置。 - 請求項1から3の何れかの測定装置であって、
前記減算電圧値が零を除く値であり、前記直流増幅電圧値および前記減算電圧値の正負符号が同一である、
ことを特徴とする測定装置。
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