JP5673766B2 - Feedforward amount adjustment support device and feedforward amount adjustment support program - Google Patents

Description

本発明は、フィードフォワード制御における操作量や目標値の補正量であるフィードフォワード量の調整を支援する装置およびプログラムに関する。   The present invention relates to an apparatus and a program for supporting adjustment of a feedforward amount that is a correction amount of an operation amount or a target value in feedforward control.

ＰＩＤ制御などによるフィードバック制御だけでは、例えば、予測可能な外乱が印加されたときには、それによって制御量が変化してからでないと操作量が調整されないために、応答の遅れは回避することはできず、制御量に乱れが生じることになる。   With only feedback control such as PID control, for example, when a predictable disturbance is applied, the manipulated variable is not adjusted unless the controlled variable is changed by that, so a delay in response cannot be avoided. Therefore, the control amount is disturbed.

このため、所望の制御応答を得られるように、フィードフォワード制御を追加する場合がある。（例えば、特許文献１参照）。   For this reason, feedforward control may be added so as to obtain a desired control response. (For example, refer to Patent Document 1).

特開２０００−２２７８０１号公報JP 2000-227801 A

かかるフィードフォワード制御においては、制御部からの操作量に、上記予測可能な外乱の影響をキャンセルするように、フィードフォワード量である補正操作量を加えるようにしているが、この補正操作量と制御量との関係が、直感的でないために、補正操作量の調整は、容易ではなく、特に高精度な制御では、補正操作量が時間関数となるために、調整要素が多くなり、調整が一層困難となる。   In such feedforward control, a correction operation amount that is a feedforward amount is added to the operation amount from the control unit so as to cancel the influence of the predictable disturbance. Since the relationship with the amount is not intuitive, adjustment of the correction operation amount is not easy. Especially in high-accuracy control, the correction operation amount becomes a time function. It becomes difficult.

また、補正操作量を調整するために、実際の装置を繰り返し動作させると、調整に時間がかかるとともに、材料などを消費してしまうので、実際の装置を動作させる回数は、できる限り少なくする必要がある。   Also, if the actual device is operated repeatedly to adjust the correction operation amount, it takes time to adjust and consumes materials, etc., so the number of times that the actual device is operated needs to be reduced as much as possible. There is.

本発明は、上述のような点に鑑みて為されたものであって、容易にフィードフォワード量を調整できるようにすることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to easily adjust the feedforward amount.

（１）本発明のフィードフォワード量調整支援装置は、制御対象からの制御量と目標値との偏差に基づいて、前記制御対象に対する操作量を出力する制御部を備え、前記目標値および前記操作量の少なくとも一方を、フィードフォワード量によって補正する制御装置における前記フィードフォワード量の調整を支援する装置であって、前記フィードフォワード量または前記制御量の調整に応じて、前記制御対象モデルおよび前記制御装置モデルを用いて制御量またはフィードフォワード量の波形をシミュレーション演算するシミュレーション演算部と、前記フィードフォワード量または前記制御量の調整波形を表示するとともに、シミュレーション演算された制御量またはフィードフォワード量のシミュレーション波形を表示する表示部とを備えている。   (1) The feedforward amount adjustment support device of the present invention includes a control unit that outputs an operation amount for the control target based on a deviation between the control amount from the control target and the target value, and includes the target value and the operation A device that supports the adjustment of the feedforward amount in a control device that corrects at least one of the amounts by a feedforward amount, wherein the control target model and the control are controlled according to the adjustment of the feedforward amount or the control amount. A simulation calculation unit that performs a simulation calculation of a waveform of a control amount or a feedforward amount using a device model, and displays a control waveform of the control amount or the feedforward amount calculated by simulation while displaying an adjustment waveform of the feedforward amount or the control amount. The display unit that displays the waveform Eteiru.

シミュレーション演算部では、フィードフォワード量の調整に応じて、制御対象モデルおよび制御装置モデルを用いて制御量の波形をシミュレーション演算し、また、制御量の調整に応じて、制御対象モデルおよび制御装置モデルを用いてフィードフォワード量の波形をシミュレーション演算する。   The simulation calculation unit performs a simulation calculation of the control amount waveform using the control target model and the control device model according to the adjustment of the feedforward amount, and the control target model and the control device model according to the control amount adjustment. Is used to perform a simulation calculation on the waveform of the feedforward amount.

本発明のフィードフォワード量調整支援装置によると、フィードフォワード量の調整に応じて制御量がどのように変化するか、あるいは、制御量の調整に応じてフィードフォワード量がどのように変化するかが、シミュレーション演算されて表示部に表示されるので、所望の制御応答が得られるように、フィードフォワード量を調整するのが容易となる。しかも、シミュレーション演算によってフィードフォワード量を調整するので、フィードフォワード量の調整のために実際に制御装置を動作させる必要はなく、制御対象モデルなどを生成するのに必要にデータを収集するために動作させればよい。   According to the feedforward adjustment support device of the present invention, how the control amount changes according to the adjustment of the feedforward amount, or how the feedforward amount changes according to the adjustment of the control amount. Since the simulation is calculated and displayed on the display unit, it is easy to adjust the feedforward amount so that a desired control response can be obtained. Moreover, since the feedforward amount is adjusted by simulation calculation, it is not necessary to actually operate the control device to adjust the feedforward amount, and it is necessary to collect data necessary to generate the control target model etc. You can do it.

（２）本発明のフィードフォワード量調整支援装置の一つの実施形態では、前記フィードフォワード量または前記制御量の調整量を、手動で設定する設定部を備えている。設定部では、フィードフォワード量または制御量を、複数の区間に分けて複数のレベルで調整できるのが好ましい。   (2) In one embodiment of the feedforward amount adjustment support device of the present invention, the feedforward amount adjustment support device includes a setting unit that manually sets the feedforward amount or the adjustment amount of the control amount. In the setting unit, it is preferable that the feedforward amount or the control amount can be adjusted at a plurality of levels divided into a plurality of sections.

この実施形態によると、フィードフォワード量または制御量の調整量を設定することにより、その調整量に応じた制御量またはフィードフォワード量のシミュレーション波形が表示されるので、所望の制御応答が得られる調整量の設定が容易となる。   According to this embodiment, by setting an adjustment amount of the feedforward amount or the control amount, a simulation waveform of the control amount or the feedforward amount corresponding to the adjustment amount is displayed, so that an adjustment that obtains a desired control response is obtained. The amount can be set easily.

（３）本発明のフィードフォワード量調整支援装置の他の実施形態では、前記制御量の制御応答の評価指標を選択する選択部を備え、前記シミュレーション演算部は、選択された評価指標に対応する前記制御量の調整量に応じて、前記制御対象モデルおよび前記制御装置モデルを用いて前記フィードフォワード量の波形をシミュレーション演算する。   (3) In another embodiment of the feedforward amount adjustment support device of the present invention, the feedforward amount adjustment support device includes a selection unit that selects an evaluation index of the control response of the control amount, and the simulation calculation unit corresponds to the selected evaluation index. According to the adjustment amount of the control amount, a simulation calculation is performed on the waveform of the feedforward amount using the control target model and the control device model.

制御量の制御応答の評価指標としては、例えば、制御量のオーバーシュート量、制御量の目標値への復帰時間、制御量の目標値への到達時間、目標値と制御量とで囲まれた領域の面積などを用いることができる。   The evaluation index of the control response of the control amount is, for example, surrounded by the overshoot amount of the control amount, the return time of the control amount to the target value, the arrival time of the control amount to the target value, the target value and the control amount The area of the region can be used.

この実施形態によると、手動で調整量を設定しなくても、評価指標を選択して制御量の制御応答を指定することによって、選択された制御応答になるように制御量が調整され、それに応じたフィードフォワード量のシミュレーション波形が得られることになる。   According to this embodiment, the control amount is adjusted to be the selected control response by selecting the evaluation index and specifying the control response of the control amount without manually setting the adjustment amount. A simulation waveform with a corresponding feed forward amount is obtained.

（４）本発明のフィードフォワード量調整支援装置は、前記シミュレーション演算部は、前記制御対象によって間接的に制御される間接制御対象モデルを有し、前記フィードフォワード量の調整に応じて、前記制御対象モデル、前記制御装置モデルおよび間接制御対象モデルを用いて制御量または前記間接制御対象の間接制御量の波形をシミュレーション演算し、前記表示部は、前記フィードフォワード量の調整波形を表示するとともに、シミュレーション演算された前記制御量または前記間接制御量のシミュレーション波形を表示する。   (4) In the feedforward amount adjustment support device of the present invention, the simulation calculation unit includes an indirect control target model that is indirectly controlled by the control target, and the control is performed according to the adjustment of the feedforward amount. The target model, the control device model and the indirectly controlled object model are used to perform a simulation calculation of the waveform of the controlled variable or the indirectly controlled variable of the indirectly controlled object, and the display unit displays the adjustment waveform of the feedforward amount, A simulation waveform of the control amount or the indirect control amount calculated by simulation is displayed.

この実施形態では、制御対象の制御量、例えば、熱板の温度のみではなく、制御対象によって間接的に制御される間接制御対象、例えば、熱板によって加熱処理されるウェハなどのワークの温度をシミュレーション演算するので、ワークなどの間接制御対象の制御量が所望の応答になるようにフィードフォワード量を調整することができる。   In this embodiment, not only the control amount of the controlled object, for example, the temperature of the hot plate, but also the temperature of the workpiece such as a wafer to be heated by the hot plate, for example, an indirectly controlled object that is indirectly controlled by the controlled object. Since the simulation calculation is performed, the feedforward amount can be adjusted so that the control amount of the indirect control target such as the workpiece has a desired response.

（５）本発明のフィードフォワード量調整支援プログラムは、制御対象からの制御量と目標値との偏差に基づいて、前記制御対象に対する操作量を出力する制御部を備え、前記目標値および前記操作量の少なくとも一方を、フィードフォワード量によって補正する制御装置における前記フィードフォワード量の調整を支援するプログラムであって、前記フィードフォワード量または前記制御量の調整に応じて、前記制御対象モデルおよび前記制御装置モデルを用いて制御量またはフィードフォワード量の波形をシミュレーション演算する演算ステップと、前記フィードフォワード量または前記制御量の調整波形を表示するとともに、シミュレーション演算された制御量またはフィードフォワード量のシミュレーション波形を表示する表示ステップとをコンピュータに実行させるものである。
このフィードフォワード量調整支援プログラムは、光ディスク、フレキシブルディスク、ハードディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ＲＯＭ等の記録媒体に記録してもよい。 (5) The feedforward amount adjustment support program of the present invention includes a control unit that outputs an operation amount for the control target based on a deviation between the control amount from the control target and the target value, and includes the target value and the operation A program for supporting adjustment of the feedforward amount in a control device that corrects at least one of the amounts by a feedforward amount, wherein the control target model and the control are controlled according to the adjustment of the feedforward amount or the control amount. A calculation step for performing a simulation calculation of a waveform of a control amount or a feedforward amount using an apparatus model, and a simulation waveform of the control amount or the feedforward amount calculated by simulation while displaying the adjustment waveform of the feedforward amount or the control amount. Is displayed. It is intended to execute the up to the computer.
The feedforward amount adjustment support program may be recorded on a recording medium such as an optical disk, a flexible disk, a hard disk, a magneto-optical disk, a CD-ROM, a magnetic tape, a nonvolatile memory card, or a ROM.

本発明のフィードフォワード量調整支援プログラムを、コンピュータに実行させることにより、フィードフォワード量の調整に応じて制御量がどのように変化するか、あるいは、制御量の調整に応じてフィードフォワード量がどのように変化するかが、シミュレーション演算されて表示部に表示されるので、所望の制御応答が得られるようにフィードフォワード量を調整するのが容易となる。しかも、シミュレーション演算によってフィードフォワード量を調整するので、フィードフォワード量の調整のために実際に制御装置を動作させる必要はない。   By causing the computer to execute the feedforward amount adjustment support program of the present invention, how the control amount changes according to the adjustment of the feedforward amount, or what the feedforward amount corresponds to the adjustment of the control amount Since the simulation is calculated and displayed on the display unit, it is easy to adjust the feedforward amount so as to obtain a desired control response. In addition, since the feedforward amount is adjusted by simulation calculation, it is not necessary to actually operate the control device for adjusting the feedforward amount.

本発明によれば、フィードフォワード量の調整に応じて制御量がどのように変化するか、あるいは、制御量の調整に応じてフィードフォワード量がどのように変化するかが、シミュレーション演算されて表示部に表示されるので所望の制御応答が得られるようにフィードフォワード量を調整するのが容易となる。   According to the present invention, how the control amount changes in accordance with the adjustment of the feedforward amount, or how the feedforward amount changes in accordance with the adjustment of the control amount is calculated and displayed. It is easy to adjust the feedforward amount so that a desired control response can be obtained.

しかも、シミュレーション演算によってフィードフォワード量を調整するので、フィードフォワード量の調整のために実際に制御装置を動作させる必要はなく、これによって、フィードフォワード量の調整時間を短縮できるとともに、材料などを消費することもない。   Moreover, since the feedforward amount is adjusted by simulation calculation, it is not necessary to actually operate the control device to adjust the feedforward amount, which can shorten the adjustment time of the feedforward amount and consume materials and the like. I don't have to.

本発明の実施形態に係るフィードフォワード量調整支援装置および温度調節器を備えるシステムの構成図である。1 is a configuration diagram of a system including a feedforward amount adjustment support device and a temperature controller according to an embodiment of the present invention. 図１の実施形態のシミュレーションの操作画面を示す図である。It is a figure which shows the operation screen of the simulation of embodiment of FIG. 図１の実施形態の動作説明に供するフローチャートである。It is a flowchart with which it uses for operation | movement description of embodiment of FIG. 本発明の他の実施形態のシミュレーションの操作画面を示す図である。It is a figure which shows the operation screen of the simulation of other embodiment of this invention. 図４の実施形態の動作説明に供するフローチャートである。It is a flowchart with which it uses for operation | movement description of embodiment of FIG. 本発明の他の実施形態の図１に対応する構成図である。It is a block diagram corresponding to FIG. 1 of other embodiment of this invention. 図６の実施形態のシミュレーションの操作画面を示す図である。It is a figure which shows the operation screen of the simulation of embodiment of FIG. 本発明の更に他の実施形態の図１に対応する構成図である。It is a block diagram corresponding to FIG. 1 of further another embodiment of this invention. 図８の実施形態のシミュレーションの操作画面を示す図である。It is a figure which shows the operation screen of the simulation of embodiment of FIG. 本発明の他の実施形態の図８に対応する構成図である。It is a block diagram corresponding to FIG. 8 of other embodiment of this invention. 図１０のシミュレーションの操作画面を示す図である。It is a figure which shows the operation screen of the simulation of FIG.

以下、図面によって本発明の実施の形態について詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態に係るフィードフォワード量調整支援装置およびこのフィードフォワード量調整支援装置によってフィードフォワード量が調整される温度調節器を含むシステムの構成図である。 (Embodiment 1)
FIG. 1 is a configuration diagram of a system including a feedforward amount adjustment support device according to an embodiment of the present invention and a temperature controller in which the feedforward amount is adjusted by the feedforward amount adjustment support device.

温度調節器１は、予測可能な定型の外乱が印加される制御対象２の温度を制御するものであり、制御対象２としては、例えば、ウェハを熱処理する熱板を想定し、定型の外乱としては、定期的に熱板に載置されて熱板の熱を奪う前記ウェハを想定することができる。   The temperature controller 1 controls the temperature of the controlled object 2 to which a predictable fixed disturbance is applied. As the controlled object 2, for example, a hot plate for heat-treating the wafer is assumed, and the fixed disturbance is used. Can be assumed to be the wafer that is periodically placed on the hot plate and takes the heat of the hot plate.

温度調節器１は、制御対象２からの制御量ＰＶと設定された目標値ＳＰとの偏差に基づいて、ＰＩＤ演算等を行って操作量を出力する制御部３と、この制御部３からの操作量に、フィードフォワード量調整支援装置４によって、後述のようにして調整されたフィードフォワード量である補正操作量（ＦＦＭＶ）を、外乱の印加のタイミングに応じて生成して加算する操作量補正部５とを備えており、この加算された操作量ＭＶに基づいて、制御対象２の温度を制御するものであり、前記補正操作量によって、外乱の影響をキャンセルするようにしている。   The temperature controller 1 includes a control unit 3 that performs a PID calculation and the like based on a deviation between the control amount PV from the control target 2 and the set target value SP, and outputs an operation amount from the control unit 3. Operation amount correction for generating and adding a correction operation amount (FFMV), which is a feed forward amount adjusted as described later, by the feed forward amount adjustment support device 4 to the operation amount according to the timing of applying the disturbance. The control unit 2 controls the temperature of the control target 2 based on the added operation amount MV, and the influence of the disturbance is canceled by the correction operation amount.

この実施形態のフィードフォワード量調整支援装置４は、外乱の影響をキャンセルするためのフィードフォワード量である補正操作量ＦＦＭＶの調整を支援するものである。   The feedforward amount adjustment support device 4 of this embodiment supports adjustment of the correction operation amount FFMV that is a feedforward amount for canceling the influence of disturbance.

このフィードフォワード量調整支援装置４は、例えば、パーソナルコンピュータで構成されており、予め、目標値（ＳＰ）、操作量（ＭＶ）、制御量（ＰＶ）、外乱信号などのデータを収集するデータ収集部６と、収集したデータを格納するデータ記憶部７と、制御対象２のモデル、制御部３のモデルおよび操作量補正部５のモデルを有してシミュレーション演算を行うシミュレーション演算部８と、ユーザの調整操作に応じて制御量（ＰＶ）の変更を行うＰＶ変更部９と、それに応じた表示を行うＰＶ表示部１０と、ユーザの調整操作に応じて目標値（ＳＰ）の変更を行うＳＰ変更部１１と、それに応じた表示を行うＳＰ表示部１２と、ユーザの調整操作に応じてフィードフォワード量である補正操作量（ＦＦＭＶ）の変更を行うＦＦＭＶ変更部１３と、それに応じた表示を行うＦＦＭＶ表示部１４と、所望の制御応答を得るための最適計算の評価指標を選択する評価指標選択部１５と、評価指標の計算結果と順番を表示する表示部１６と、評価指標の計算部１７と、表示するデータの選択部１８と、シミュレーションによって得られたフィードフォワード量である補正操作量（ＦＦＭＶ）の生成用データを温度調節器１に対して送信するデータ送信部１９とを備えている。   The feedforward amount adjustment support device 4 is configured by, for example, a personal computer, and collects data such as target value (SP), operation amount (MV), control amount (PV), disturbance signal, and the like in advance. Unit 6, data storage unit 7 for storing collected data, simulation calculation unit 8 having a model of control object 2, a model of control unit 3 and a model of operation amount correction unit 5, and a user The PV changing unit 9 that changes the control amount (PV) according to the adjustment operation, the PV display unit 10 that performs display according to the adjustment amount, and the SP that changes the target value (SP) according to the user's adjusting operation The change unit 11, the SP display unit 12 that performs display corresponding to the change unit 11, and the FFMV that changes the correction operation amount (FFMV) that is the feedforward amount according to the user's adjustment operation Further, an FFMV display unit 14 that performs display according to the change unit 13, an evaluation index selection unit 15 that selects an evaluation index for optimal calculation for obtaining a desired control response, and a calculation result and order of the evaluation index are displayed. The display unit 16, the evaluation index calculation unit 17, the data selection unit 18 to be displayed, and the correction operation amount (FFMV) generation data that is the feedforward amount obtained by the simulation are supplied to the temperature controller 1. And a data transmission unit 19 for transmission.

シミュレーション演算部８における制御対象２のモデルは、数学モデルとして、例えば、「一次遅れ＋無駄時間」などの伝達関数を想定して、制御対象２へ与えられる操作量ＭＶの時系列データと、それに応じて制御対象２から出力される制御量ＰＶの時系列データとを使って、その伝達関数の持つパラメータを同定することで、制御対象モデルを生成し、これを、定型外乱が印加されている状態において、予め、データ収集部６で収集した制御データを使って実施する。   The model of the control target 2 in the simulation calculation unit 8 is a mathematical model, for example, assuming a transfer function such as “first order delay + dead time”, time series data of the operation amount MV given to the control target 2, and Accordingly, the control object model is generated by identifying the parameters of the transfer function using the time series data of the control amount PV output from the control object 2, and this is applied with a fixed disturbance. In the state, the control data collected in advance by the data collecting unit 6 is used.

また、制御部３のモデルおよび操作量補正部５のモデルは、温度調節器１によって構造は決まっており、温度調節器１から通信で読み出すことで、モデルを生成することができる。   Further, the structure of the model of the control unit 3 and the model of the operation amount correction unit 5 are determined by the temperature regulator 1, and the model can be generated by reading from the temperature regulator 1 by communication.

このシミュレーション演算部８は、後述のように、補正操作量（ＦＦＭＶ）を調整することによって、その補正操作量に対応する制御量（ＰＶ）をシミュレーション演算するものであり、具体的には、勾配法やＧＡ遺伝的アルゴリズムなどの最適化手法を用いて、選択した評価指標に対応した目的関数を最小（または最大）にするような補正操作量（ＦＦＭＶ）の生成用データを算出する。   As will be described later, the simulation calculation unit 8 adjusts a correction operation amount (FFMV) to perform a simulation calculation of a control amount (PV) corresponding to the correction operation amount. By using an optimization method such as a method or a GA genetic algorithm, data for generating a correction manipulated variable (FFMV) that minimizes (or maximizes) the objective function corresponding to the selected evaluation index is calculated.

また、このシミュレーション演算部８は、逆に、制御量ＰＶを調整することによって、その制御量に対応する補正操作量（ＦＦＭＶ）をシミュレーション演算することもでき、具体的には、勾配法やＧＡ遺伝的アルゴリズムなどの最適化手法を用いて、入力された希望の制御量（ＰＶ）を満足するような補正操作量（ＦＦＭＶ）の生成用データを算出する。   In contrast, the simulation operation unit 8 can also perform a simulation operation of a correction operation amount (FFMV) corresponding to the control amount by adjusting the control amount PV. Using an optimization method such as a genetic algorithm, data for generating a corrected manipulated variable (FFMV) that satisfies the input desired controlled variable (PV) is calculated.

このシミュレーション演算部８では、制御部３のモデルや操作量補正部５のモデル、制御対象２のモデルを利用して、実機で行われることと同様のことをシミュレーションする。その際、補正操作量（ＦＦＭＶ）の生成用データを、操作量補正部５のモデルに設定して、補正操作量（ＦＦＭＶ）と制御量（ＰＶ）とを演算する。   In the simulation calculation unit 8, the same thing as that performed in the actual machine is simulated using the model of the control unit 3, the model of the operation amount correction unit 5, and the model of the control target 2. At that time, the data for generating the corrected manipulated variable (FFMV) is set in the model of the manipulated variable corrector 5, and the corrected manipulated variable (FFMV) and the controlled variable (PV) are calculated.

図２は、この実施形態のシミュレーションの操作画面例を示すものであり、この例は、フィードフォワード量である補正操作量（ＦＦＭＶ）の手動調整によって、制御量（ＰＶ）がどのように変化するかをシミュレーションする場合の画面例である。   FIG. 2 shows an example of the operation screen of the simulation of this embodiment. This example shows how the control amount (PV) changes by manual adjustment of the correction operation amount (FFMV) that is the feedforward amount. It is an example of a screen when simulating.

下段の矩形の第１の波形表示領域２０には、ユーザが手動で調整する補正操作量（ＦＦＭＶ）が表示され、上段の矩形の第２の波形表示領域２１には、補正操作量の調整によって変化する制御量（ＰＶ）のシミュレーション波形が、目標値（ＳＰ）と共に表示される。   The lower rectangular first waveform display area 20 displays a correction operation amount (FFMV) manually adjusted by the user, and the upper rectangular second waveform display area 21 is displayed by adjusting the correction operation amount. A simulation waveform of the changing control amount (PV) is displayed together with the target value (SP).

第１の波形表示領域２０の左方には、補正操作量のレベルを、４つの各区間で調整するための第１〜第４のレベル調整用スライダバー２２〜２５が表示され、第１の波形表示領域２０の下方には、補正操作量の調整区間を規定する開始時間調整用スライダバー２６および終了時間調整用スライダバー２７が表示される。   Displayed on the left side of the first waveform display area 20 are first to fourth level adjustment slider bars 22 to 25 for adjusting the level of the correction operation amount in each of the four sections. Below the waveform display area 20 are displayed a start time adjustment slider bar 26 and an end time adjustment slider bar 27 that define an adjustment interval of the correction operation amount.

この実施形態では、ユーザは、各スライダバー２２〜２７を操作することによって、第１の波形表示領域２０に表示されるフィードフォワード量である補正操作量を、４つの区間および４つのレベルで調整することができ、調整した補正操作量によって、制御量がどのように変化するかのシミュレーション波形が、第２の波形表示領域２１に表示される。   In this embodiment, the user operates the slider bars 22 to 27 to adjust the correction operation amount that is the feedforward amount displayed in the first waveform display area 20 in four sections and four levels. A simulation waveform indicating how the control amount changes according to the adjusted correction operation amount can be displayed in the second waveform display area 21.

なお、この実施形態では、補正操作量を、４つの区間および４つのレベルで調整したけれども、４つでなくてもよく、また、矩形状に限らず、三角形状やその他の形状であってもよい。   In this embodiment, the correction operation amount is adjusted in four sections and four levels. However, the correction operation amount is not limited to four, and is not limited to a rectangular shape but may be a triangular shape or other shapes. Good.

ユーザは、第２の波形表示領域２１に表示される制御量のシミュレーション波形の、例えば、制御量のオーバーシュート量、制御量の目標値への復帰時間などを目視確認しながら所望の応答波形が得られるように、補正操作量を調整する。   The user can obtain a desired response waveform while visually confirming, for example, the overshoot amount of the control amount, the return time of the control amount to the target value, etc. of the simulation waveform of the control amount displayed in the second waveform display area 21. The correction operation amount is adjusted so as to be obtained.

なお、調整した補正操作量では、操作量が飽和して動作限界を越えるような場合には、シミュレーション波形の表示色を、例えば、赤色に変えて表示したり、警告音などによってユーザに知らせる。   When the adjusted operation amount is saturated and the operation limit is exceeded, the simulation waveform display color is changed to, for example, red, or the user is notified by a warning sound or the like.

以上は、手動で調整する場合の例であるが、自動で補正操作量を調整することもできる。   The above is an example of manual adjustment, but the correction operation amount can be automatically adjusted.

すなわち、ユーザが、所望の応答特性を、評価指標、例えば、オーバーシュート量、目標値への復帰時間、目標値と制御量とで囲まれた領域の面積などの評価指標を、キーボード等に入力手段で選択することにより、最適となる補正操作量を決定するとともに、制御量の波形を表示するものである。   That is, the user inputs a desired response characteristic into an evaluation index, for example, an evaluation index such as an overshoot amount, a return time to a target value, an area of a region surrounded by the target value and the control amount, etc. By selecting by means, the optimum correction operation amount is determined and the waveform of the control amount is displayed.

また、補正操作量と制御量のデータを保存し、制御応答の良い順、すなわち、評価指標が良好な順にソートして表示することもできる。   It is also possible to store data of the correction operation amount and the control amount and sort and display them in the order of good control response, that is, the evaluation index is good.

図３は、以上の処理の手順を説明するためのフローチャートである。   FIG. 3 is a flowchart for explaining the procedure of the above processing.

先ず、データ収集部６で、温度調節器１で実際に制御を行って、目標値、操作量、制御量、外乱信号などの制御データを取得し（ステップｎ１）、制御対象２、制御部３および補正量操作部５のモデルを生成する（ステップｎ２）。   First, the data collector 6 actually controls the temperature controller 1 to acquire control data such as a target value, an operation amount, a control amount, a disturbance signal, and the like (step n1). Then, a model of the correction amount operation unit 5 is generated (step n2).

次に、ユーザによって手動調整または自動調整のいずれが選択されたかを判断し（ステップｎ３）、手動調整が選択された場合には、ユーザが、上述の図２のスライダバー２２〜２７を操作して補正操作量（ＦＦＭＶ）を調整変更する（ステップｎ４）。また、ステップｎ３で、自動調整が選択されたときには、ユーザが、所望の応答特性に対応する評価指標を選択し（ステップｎ５）、選択された評価指標に対応する補正操作量（ＦＦＭＶ）を算出する（ステップｎ６）。   Next, it is determined whether manual adjustment or automatic adjustment is selected by the user (step n3). When manual adjustment is selected, the user operates the slider bars 22 to 27 in FIG. Then, the correction operation amount (FFMV) is adjusted and changed (step n4). When automatic adjustment is selected in step n3, the user selects an evaluation index corresponding to a desired response characteristic (step n5), and calculates a correction operation amount (FFMV) corresponding to the selected evaluation index. (Step n6).

次に、補正操作量に基づいて、シミュレーション演算を実行し（ステップｎ７）、操作量が飽和している区間を計算し（ステップｎ８）、評価指標を計算し（ステップｎ９）、評価指標の計算値と記憶済みのシミュレーション結果から制御応答の順番を計算し（ステップｎ１０）、シミュレーション結果を記憶し（ステップｎ１１）、シミュレーション結果を表示する（ステップｎ１２）。 Then, based on the correction manipulated variable, run the simulation calculation (step n 7), calculates a section operation amount is saturated (step n8), the evaluation index calculated (step n9), the evaluation index the order of the control response from the calculated values and the simulation result of the already stored only calculated (step n10), and stores the simulation result (step n11), and displays the simulation result (step n12).

次に、記憶済みのシミュレーション結果を表示するか否かを判断し（ステップｎ１３）、表示するデータを選択し（ステップｎ１４）、選択したシミュレーション結果を表示し（ステップｎ１５）、確定の指示があったか否かを判断し（ステップｎ１６）、あったときには、決定した補正操作量を温度調節器１に設定して終了する（ステップｎ１７）。 Next, it is determined whether or not to display the stored simulation results (Step n 13), select the data to be displayed (step n14), and displays the simulation result of the selection (step n15), the instruction of the confirmation It is determined whether or not there is (step n16). If there is, the determined correction operation amount is set in the temperature controller 1 and the process is terminated (step n17).

この実施形態では、補正操作量を調整し、補正操作量に応じた制御量のシミュレーション波形を表示したけれども、本発明の他の実施形態として、制御量を所望の応答が得られるように調整し、補正操作量のシミュレーション波形を表示してもよい。   In this embodiment, the correction operation amount is adjusted and the simulation waveform of the control amount corresponding to the correction operation amount is displayed. However, as another embodiment of the present invention, the control amount is adjusted to obtain a desired response. A simulation waveform of the correction operation amount may be displayed.

図４は、この場合のシミュレーションの操作画面例を示すものであり、上述の図２に対応する図である。制御量（ＰＶ）が表示される矩形の第２の波形表示領域２１の左方には、オーバーシュートの最大幅を調整するオーバーシュート調整用のスライダバー２８が表示され、第２の波形表示領域２１の上方には、制御量が目標値に復帰して安定するまでの時間を調整する時間調整用スライダバー２９が表示される。   FIG. 4 shows an example of a simulation operation screen in this case, and corresponds to FIG. 2 described above. On the left side of the rectangular second waveform display area 21 where the control amount (PV) is displayed, an overshoot adjustment slider bar 28 for adjusting the maximum overshoot width is displayed, and the second waveform display area is displayed. Above 21, a time adjustment slider bar 29 for adjusting the time until the controlled variable returns to the target value and stabilizes is displayed.

ユーザは、これらスライダバー２８，２９を操作して制御量の応答波形が所望の応答になるように調整し、これによって、第１の波形表示領域２０には、調整された制御量の応答が得られる補正操作量のシミュレーション波形が表示される。   The user operates these slider bars 28 and 29 to adjust the response waveform of the control amount so that it becomes a desired response, whereby the response of the adjusted control amount is displayed in the first waveform display area 20. A simulation waveform of the obtained correction operation amount is displayed.

図５は、この場合の処理の手順を説明するためのフローチャートであり、上述の図３に対応するフローチャートである。   FIG. 5 is a flowchart for explaining the processing procedure in this case, and is a flowchart corresponding to FIG. 3 described above.

ステップｎ３において、上述のようにスライダバー２８，２９を操作して制御量を調整変更し、ステップｎ４において、補正操作量を算出する以外は、上述の図３と同様である。   In step n3, the control amount is adjusted and changed by operating the slider bars 28 and 29 as described above, and the same as in FIG. 3 described above except that the correction operation amount is calculated in step n4.

（実施形態２）
図６は、本発明の他の実施形態のフィードフォワード量調整支援装置４−１を備えるシステムの構成図であり、図１に対応する部分には、同一の参照符号を付す。 (Embodiment 2)
FIG. 6 is a configuration diagram of a system including a feedforward amount adjustment support device 4-1 according to another embodiment of the present invention, and parts corresponding to those in FIG.

上述の実施形態１では、制御対象２の制御量、例えば、熱板の温度の外乱応答を所望の応答にするために補正操作量を調整したけれども、この実施形態では、更に、制御対象２によって処理される被処理物、例えば、熱板によって熱処理されるウェハ等のワークを間接的な間接制御対象３０とし、この間接制御対象３０の制御量（ワーク温度）の応答を所望の応答にするように補正操作量を調整するものである。   In the above-described first embodiment, the control operation amount is adjusted in order to make the control amount of the control target 2, for example, the disturbance response of the temperature of the hot plate a desired response. An object to be processed, for example, a workpiece such as a wafer to be heat-treated by a hot plate is set as an indirect indirect control target 30, and a response of a control amount (work temperature) of the indirect control target 30 is set to a desired response. The correction operation amount is adjusted.

この実施形態のフィードフォワード量調整支援装置４−１のシミュレーション演算部８−１は、この間接制御対象のモデルを有しており、また、フィードフォワード量調整支援装置４−１は、間接制御対象３０であるワークの制御量（ＷＰＶ）を調整変更するＷＰＶ変更部３１と、それに応じた表示を行うＷＰＶ表示部３２とを備えており、データ収集部６では、上述の目標値、操作量、制御量、外乱信号などのデータに加えて、間接制御対象３０の制御量であるワークの温度（ＷＰＶ）のデータを収集する。このワークの温度は、ワークに温度センサを取り付けて計測することにより、収集する。その他の構成は、上述の実施形態１と同様である。   The simulation calculation unit 8-1 of the feedforward amount adjustment support device 4-1 of this embodiment has the model of the indirect control target, and the feedforward amount adjustment support device 4-1 30 includes a WPV changing unit 31 that adjusts and changes the control amount (WPV) of the workpiece, and a WPV display unit 32 that performs display corresponding thereto. In the data collection unit 6, the above-described target value, operation amount, In addition to data such as control amounts and disturbance signals, data on the workpiece temperature (WPV), which is the control amount of the indirect control target 30, is collected. The temperature of this work is collected by attaching a temperature sensor to the work and measuring it. Other configurations are the same as those in the first embodiment.

図７は、この実施形態のシミュレーションの操作画面例を示すものであり、上述の図２に対応する図である。   FIG. 7 shows an example of a simulation operation screen according to this embodiment, and corresponds to FIG. 2 described above.

制御対象２の制御量（ＰＶ）のシミュレーション波形が表示される第２の波形表示領域２１の上方には、矩形の第３の波形表示領域３３が設けられ、第１の波形表示領域２０に表示される補正操作量の調整に応じた間接制御対象３０の制御量（ＷＰＶ）のシミュレーション波形が表示される。   A rectangular third waveform display area 33 is provided above the second waveform display area 21 where the simulation waveform of the control amount (PV) of the control target 2 is displayed, and is displayed in the first waveform display area 20. The simulation waveform of the control amount (WPV) of the indirectly controlled object 30 corresponding to the adjustment of the corrected operation amount is displayed.

したがって、ユーザは、各スライダバー２２〜２７を操作して調整した補正操作量によって、制御対象２の制御量および間接制御対象３０の制御量がどのように変化するかを把握することができ、所望の応答波形が得られるように、補正操作量を調整することができる。   Therefore, the user can grasp how the control amount of the control target 2 and the control amount of the indirect control target 30 change according to the correction operation amount adjusted by operating the slider bars 22 to 27. The correction operation amount can be adjusted so that a desired response waveform can be obtained.

その他の構成は、上述の実施形態１と同様である。   Other configurations are the same as those in the first embodiment.

（実施形態３）
上述の各実施形態では、外乱応答に適用したけれども、本発明の他の実施形態として、図８に示すように、目標値応答にも適用であるものである。 (Embodiment 3)
In each of the above-described embodiments, the present invention is applied to a disturbance response. However, as another embodiment of the present invention, it is also applicable to a target value response as shown in FIG.

図８は、フィードフォワード量調整支援装置４−２およびこのフィードフォワード量調整支援装置４−２によってフィードフォワード量である補正目標値が調整される温度調節器１−２を含むシステムの構成図である。   FIG. 8 is a configuration diagram of a system including a feedforward amount adjustment support device 4-2 and a temperature regulator 1-2 in which a correction target value that is a feedforward amount is adjusted by the feedforward amount adjustment support device 4-2. is there.

この温度調節器１−２は、設定された目標値（ＳＰ）と、目標値補正部３４で生成したフィードフォワード量調整支援装置４−２によって調整された補正目標値（ＦＦＳＰ）とを加算し、加算した目標値と、制御対象２からの制御量ＰＶとの偏差に基づいて、ＰＩＤ演算等を行って操作量を出力する制御部３を備えている。   The temperature regulator 1-2 adds the set target value (SP) and the corrected target value (FFSP) adjusted by the feedforward amount adjustment support device 4-2 generated by the target value correction unit 34. The control unit 3 that performs a PID calculation or the like and outputs an operation amount based on a deviation between the added target value and the control amount PV from the control target 2 is provided.

この実施形態のフィードフォワード量調整支援装置４−２は、フィードフォワード量である補正目標値ＦＦＳＰの調整を支援するものであり、シミュレーション演算部８−２は、目標値補正部３４のモデルを有しており、また、このフィードフォワード量調整支援装置４−２は、補正目標値（ＦＦＳＰ）を調整変更するＦＦＳＰ変更部３５と、それに応じた表示を行うＦＦＳＰ表示部３６とを備えている。その他の構成は、上述の実施形態１と同様である。   The feedforward amount adjustment support device 4-2 of this embodiment supports adjustment of the correction target value FFSP that is the feedforward amount, and the simulation calculation unit 8-2 has a model of the target value correction unit 34. The feedforward amount adjustment support device 4-2 includes an FFSP changing unit 35 that adjusts and changes the correction target value (FFSP), and an FFSP display unit 36 that performs display corresponding to the FFSP changing unit 35. Other configurations are the same as those in the first embodiment.

図９は、この実施形態のシミュレーションの操作画面例を示すものであり、この例は、フィードフォワード量である補正目標値（ＦＦＳＰ）の手動調整によって、制御量（ＰＶ）がどのように変化するかをシミュレーションする場合の画面例である。   FIG. 9 shows an example of the operation screen of the simulation of this embodiment. This example shows how the control amount (PV) changes by manual adjustment of the correction target value (FFSP) that is the feedforward amount. It is an example of a screen when simulating.

下段の矩形の第１の波形表示領域３７には、ユーザが手動で調整する補正目標値（ＦＦＳＰ）が表示され、上段の矩形の第２の波形表示領域３８には、補正目標値の調整によって変化する制御量（ＰＶ）のシミュレーション波形が、目標値（ＳＰ）と共に表示される。   The lower rectangular first waveform display area 37 displays a correction target value (FFSP) manually adjusted by the user, and the upper rectangular second waveform display area 38 is displayed by adjusting the correction target value. A simulation waveform of the changing control amount (PV) is displayed together with the target value (SP).

第１の波形表示領域３７の左方には、補正目標値のレベルを、４つの各区間で調整するための第１〜第４のレベル調整用スライダバー３９〜４２が表示され、第１の波形表示領域３７の下方には、補正目標値の調整区間を規定する開始時間調整用スライダバー４３および終了時間調整用スライダバー４４が表示される。   On the left side of the first waveform display area 37, first to fourth level adjustment slider bars 39 to 42 for adjusting the level of the correction target value in each of the four sections are displayed. Below the waveform display area 37, a start time adjustment slider bar 43 and an end time adjustment slider bar 44 that define an adjustment interval of the correction target value are displayed.

この実施形態では、ユーザは、各スライダバー３９〜４４を操作することによって、第１の波形表示領域３７に表示されるフィードフォワード量である補正目標値を、４つの区間および４つのレベルで調整することができ、調整した補正目標値によって、制御量がどのように変化するかのシミュレーション波形が、第２の波形表示領域３８に表示される。   In this embodiment, the user operates the slider bars 39 to 44 to adjust the correction target value, which is the feedforward amount displayed in the first waveform display area 37, in four sections and four levels. The simulation waveform of how the control amount changes according to the adjusted correction target value can be displayed in the second waveform display area 38.

したがって、ユーザは、第２の波形表示領域３８に表示される制御量のシミュレーション波形の、例えば、制御量のオーバーシュート量、制御量の目標値への到達時間などを目視確認しながら所望の応答波形が得られるように、補正目標値を調整する。   Therefore, the user can make a desired response while visually confirming, for example, the overshoot amount of the control amount, the arrival time of the control amount to the target value, etc. of the simulation waveform of the control amount displayed in the second waveform display area 38. The correction target value is adjusted so that a waveform is obtained.

その他は、上述の実施形態１と同様である。   Others are the same as those of the first embodiment.

（実施形態４）
図１０は、本発明の他の実施形態のフィードフォワード量調整支援装置４−３を備えるシステムの構成図であり、図８に対応する部分には、同一の参照符号を付す。 (Embodiment 4)
FIG. 10 is a configuration diagram of a system including a feedforward amount adjustment support device 4-3 according to another embodiment of the present invention, and parts corresponding to those in FIG.

上述の実施形態３では、制御対象２の制御量、例えば、熱板の温度が所望の応答にするために補正目標値を調整したけれども、この実施形態では、更に、制御対象２によって処理される被処理物、例えば、熱板によって熱処理されるウェハ等のワークを間接的な間接制御対象３０とし、この間接制御対象３０の制御量（ワーク温度）の応答を所望の応答にするように補正目標値を調整するものである。   In the above-described third embodiment, the control target value is adjusted so that the control amount of the control target 2, for example, the temperature of the hot plate has a desired response. In this embodiment, the control target 2 is further processed. A workpiece such as a wafer to be heat-treated by a hot plate is used as an indirect indirect control target 30, and a correction target is set so that the control amount (work temperature) response of the indirect control target 30 becomes a desired response. The value is adjusted.

この実施形態のフィードフォワード量調整支援装置４−３のシミュレーション演算部８−３は、この間接制御対象３０のモデルを有しており、また、フィードフォワード量調整支援装置４−３は、間接制御対象３０であるワークの制御量（ＷＰＶ）を調整変更するＷＰＶ変更部３１と、それに応じた表示を行うＷＰＶ表示部３２とを備えており、データ収集部６では、上述の目標値、操作量、制御量などのデータに加えて、間接制御対象３０の制御量のデータを収集する。   The simulation calculation unit 8-3 of the feedforward amount adjustment support device 4-3 of this embodiment has a model of the indirect control target 30, and the feedforward amount adjustment support device 4-3 has indirect control. A WPV changing unit 31 that adjusts and changes the control amount (WPV) of the workpiece that is the object 30 and a WPV display unit 32 that performs display corresponding thereto are provided. In the data collection unit 6, the above-described target value and operation amount are provided. In addition to the control amount data, the control amount data of the indirectly controlled object 30 is collected.

図１１は、この実施形態のシミュレーションの操作画面例を示すものであり、上述の図９に対応する図である。   FIG. 11 shows an example of a simulation operation screen according to this embodiment, and corresponds to FIG. 9 described above.

制御対象２の制御量（ＰＶ）のシミュレーション波形が表示される第２の波形表示領域３８の上方には、矩形の第３の波形表示領域４５が設けられ、第１の波形表示領域３７に表示される補正目標値の調整に応じた間接制御対象３０の制御量（ＷＰＶ）のシミュレーション波形が表示される。   A rectangular third waveform display area 45 is provided above the second waveform display area 38 where the simulation waveform of the controlled variable (PV) of the controlled object 2 is displayed, and is displayed in the first waveform display area 37. The simulation waveform of the controlled variable (WPV) of the indirectly controlled object 30 corresponding to the adjustment of the corrected target value is displayed.

したがって、ユーザは、各スライダバー３９〜４４を操作して調整した補正目標値によって、制御対象２の制御量および間接制御対象３０の制御量がどのように変化するかを把握することができ、所望の応答波形が得られるように、補正目標値を調整することができる。   Therefore, the user can grasp how the control amount of the control target 2 and the control amount of the indirect control target 30 change according to the correction target values adjusted by operating the slider bars 39 to 44. The correction target value can be adjusted so as to obtain a desired response waveform.

その他の構成は、上述の実施形態３と同様である。   Other configurations are the same as those of the third embodiment.

本発明は、制御装置のフィードフォワード量の調整に有用である。   The present invention is useful for adjusting the feedforward amount of the control device.

１，１−２ 温度調節器
２ 制御対象
４，４−１，４−２，４−３ フィードフォワード量調整支援装置
３ 制御部
８，８−１，８−２ シミュレーション演算部
２０，３７ 第１の波形表示領域
２１，３８ 第２の波形表示領域
３０ 間接制御対象
３３，４５ 第３の波形表示領域 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,1-2 Temperature controller 2 Control object 4,4-1,4-2,4-3 Feedforward amount adjustment assistance apparatus 3 Control part 8,8-1,8-2 Simulation calculating part 20,37 1st Waveform display area 21, 38 Second waveform display area 30 Indirect control object 33, 45 Third waveform display area

Claims (7)

制御対象からの制御量と目標値との偏差に基づいて、前記制御対象に対する操作量を出力する制御部を備え、前記目標値および前記操作量の少なくとも一方を、フィードフォワード量によって補正する制御装置における前記フィードフォワード量の調整を支援する装置であって、
前記フィードフォワード量または前記制御量の調整に応じて、制御対象モデルおよび制御装置モデルを用いて制御量またはフィードフォワード量の波形をシミュレーション演算するシミュレーション演算部と、
前記フィードフォワード量または前記制御量の調整波形を表示するとともに、シミュレーション演算された制御量またはフィードフォワード量のシミュレーション波形を表示する表示部と、
前記フィードフォワード量または前記制御量の調整量を、手動で設定する設定部とを備え、
前記設定部は、複数の異なる時間の区間についてそれぞれ前記フィードフォワード量の調整レベルを調整するレベル調整部を有し、
前記表示部は、前記区間について調整されたフィードフォワード量に応じて変化する前記制御量のシミュレーション波形が前記目標値と共に表示される、
ことを特徴とするフィードフォワード量調整支援装置。 A control device that includes a control unit that outputs an operation amount for the control object based on a deviation between a control amount from the control object and a target value, and that corrects at least one of the target value and the operation amount by a feedforward amount A device for supporting the adjustment of the feedforward amount in
In accordance with the adjustment of the feedforward amount or the control amount, a simulation calculation unit that performs a simulation calculation of the waveform of the control amount or the feedforward amount using the control target model and the control device model;
A display unit that displays the adjustment waveform of the feedforward amount or the control amount, and displays a simulation waveform of the control amount or the feedforward amount calculated by simulation,
A setting unit for manually setting the feedforward amount or the adjustment amount of the control amount;
The setting unit includes a level adjustment unit that adjusts the adjustment level of the feedforward amount for each of a plurality of different time intervals,
The display unit displays a simulation waveform of the control amount that changes in accordance with the feedforward amount adjusted for the section, together with the target value.
A feedforward amount adjustment support device characterized by that. 前記表示部は、前記時間の区間ごとの前記調整レベルを示す波形と前記シミュレーション波形とを時間を対応させて表示する、
請求項１に記載のフィードフォワード量調整支援装置。 The display unit displays the waveform indicating the adjustment level for each section of the time and the simulation waveform in association with time;
The feedforward amount adjustment support apparatus according to claim 1. 前記設定部はさらに、前記フィードフォワード量の調整の開始時間を規定する開始時間調整部および、終了時間を規定する終了時間調整部とを有する、
請求項１または２に記載のフィードフォワード量調整支援装置。 The setting unit further includes a start time adjusting unit that defines a start time for adjusting the feedforward amount, and an end time adjusting unit that defines an end time.
The feedforward amount adjustment support device according to claim 1 or 2. 前記シミュレーション演算部は、前記制御対象によって間接的に制御される間接制御対象モデルを有し、前記フィードフォワード量の調整に応じて、前記制御対象モデル、前記制御装置モデルおよび間接制御対象モデルを用いて制御量または前記間接制御対象の間接制御量の波形をシミュレーション演算し、
前記表示部は、前記フィードフォワード量の調整波形を表示するとともに、シミュレーション演算された前記制御量または前記間接制御量のシミュレーション波形を表示する請求項１から３に記載のフィードフォワード量調整支援装置。 The simulation calculation unit has an indirect control target model that is indirectly controlled by the control target, and uses the control target model, the control device model, and the indirect control target model according to the adjustment of the feedforward amount. Calculating the control amount or the waveform of the indirectly controlled variable of the indirect control target,
The feedforward amount adjustment support device according to claim 1, wherein the display unit displays the adjustment waveform of the feedforward amount, and also displays the simulation waveform of the control amount or the indirect control amount that is calculated by simulation. 制御対象からの制御量と目標値との偏差に基づいて、前記制御対象に対する操作量を出力する制御部を備え、前記目標値および前記操作量の少なくとも一方を、フィードフォワード量によって補正する制御装置における前記フィードフォワード量の調整を支援するプログラムであって、
前記フィードフォワード量または前記制御量の調整に応じて、制御対象モデルおよび制御装置モデルを用いて制御量またはフィードフォワード量の波形をシミュレーション演算する演算ステップと、
前記フィードフォワード量または前記制御量の調整波形を表示するとともに、シミュレーション演算された制御量またはフィードフォワード量のシミュレーション波形を表示する表示ステップと、
前記フィードフォワード量または前記制御量の調整量を、手動で設定する設定ステップとをコンピュータに実行させ、
前記設定ステップは、複数の異なる時間の区間についてそれぞれ前記フィードフォワード量の調整レベルを調整し、
前記表示ステップは、前記フィードフォワード量の調整によって変化する前記制御量のシミュレーション波形を前記目標値と共に表示する、
ことを特徴とするフィードフォワード量調整支援プログラム。 A control device that includes a control unit that outputs an operation amount for the control object based on a deviation between a control amount from the control object and a target value, and that corrects at least one of the target value and the operation amount by a feedforward amount A program for supporting adjustment of the feedforward amount in
A calculating step according to the adjustment of the feedforward amount or the control amount, the simulation operation of the control amount or feed forward amount of waveform using a controlled object model and control device model,
A display step of displaying the adjustment waveform of the feedforward amount or the control amount, and displaying a simulation waveform of the control amount or the feedforward amount calculated by the simulation;
Causing the computer to execute a setting step of manually setting the feedforward amount or the adjustment amount of the control amount;
The setting step adjusts the adjustment level of the feedforward amount for each of a plurality of different time intervals,
The display step displays a simulation waveform of the control amount that changes by adjusting the feedforward amount together with the target value.
A feedforward amount adjustment support program characterized by that. 前記表示ステップは、前記時間の区間ごとの前記調整レベルを示す波形と前記シミュレーション波形とを時間を対応させて表示する、
請求項５に記載のフィードフォワード量調整支援プログラム。 The display step displays a waveform indicating the adjustment level for each section of the time and the simulation waveform in association with time.
The feedforward amount adjustment support program according to claim 5 . 前記設定ステップはさらに、前記フィードフォワード量の調整する時間の区間を開始時間調整および終了時間調整で規定する、
請求項５または６に記載のフィードフォワード量調整支援プログラム。 The setting step further defines a time interval for adjusting the feedforward amount by a start time adjustment and an end time adjustment.
The feedforward amount adjustment support program according to claim 5 or 6 .

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