JP5667862B2 - 2層光導波路及びその製造方法と実装構造 - Google Patents
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Description
12…コア層、
14…V字状の溝(傾斜面)、
16…金属膜(ミラー)、
18…クラッド層、
21,25…光デバイス(発光素子、受光素子)、
22…光出射面、
26…光入射面、
40,40a…実装構造。
Claims (5)
- 第1の面及び前記第1の面と反対側の第2の面を有するコア層と、
前記コア層の第1の面及び前記コア層の長さ方向の終端の両側面を覆うようにして、前記コア層の第1の面に積層されたクラッド層との2層のみから形成され、
前記コア層の第2の面は、前記コア層の側面を覆っている前記クラッド層の面と同一面となって露出しており、
前記コア層の第1の面側の少なくとも2箇所に、前記コア層内を伝搬する光信号を前記第2の面側に指向させるミラー構造が設けられており、
前記ミラー構造は、前記コア層の第1の面に形成された傾斜面を備えた溝と、前記溝の傾斜面に形成された金属膜とを含み、前記溝は前記クラッド層で埋め込まれていることを特徴とする2層光導波路。 - 請求項1に記載の2層光導波路と、
前記2層光導波路のクラッド層側の面に接着された電気配線基板と、
前記電気配線基板に電気的に接続されて実装され、前記2層光導波路のミラー構造に光結合された光デバイスと、
前記光デバイスと前記電気配線基板との間に充填されたアンダーフィル樹脂とを有し、
前記コア層の第2の面の一部が露出していることを特徴とする実装構造。 - ベース板の上面にコア層を接触させた状態でパターニング形成する工程と、
前記コア層の少なくとも2箇所に、前記コア層内を伝搬する光信号を前記ベース板側に指向させるミラー構造を形成する工程であって、前記ミラー構造は、前記コア層の上面に形成された傾斜面を備えた溝と、前記溝の傾斜面に形成された金属膜とから構築される工程と、
前記コア層の上面及び前記コア層の長さ方向の終端の両側面を覆うように、前記コア層及び前記ベース板の上にクラッド層を積層して、前記コア層の下面と前記コア層の側面を覆っている前記クラッド層の面とを同一面に配置し、かつ、前記ミラー構造の溝を前記クラッド層で埋め込む工程と、
前記ベース板を除去する工程とを含むことを特徴とする2層光導波路の製造方法。 - 前記ミラー構造を形成する工程は、
前記コア層の第1の面側の少なくとも2箇所に、V字状の前記傾斜面を備えた溝を形成する工程と、
前記傾斜面が形成されたコア層上に、前記傾斜面に対応する部分を露出させてマスクを配置する工程と、
前記コア層の、前記マスクから露出している前記傾斜面上に、前記金属膜を形成する工程とを含むことを特徴とする請求項3に記載の2層光導波路の製造方法。 - 前記コア層及び前記クラッド層は、紫外線硬化型の樹脂を使用して形成することを特徴とする請求項3又は4に記載の2層光導波路の製造方法。
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