JP5666567B2 - 半導体装置およびそれを用いたrfidタグならびに表示装置 - Google Patents
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Description
本実施の形態1は、ボトムゲート/トップコンタクト型薄膜トランジスタに適用したものである。ここで、ボトムゲートとは、ゲート電極がチャネル層よりも下層に配置される構造を示し、トップコンタクトとは、ソース電極およびドレイン電極がチャネル層よりも上層に配置される構造を示している。以下、ボトムゲート/トップコンタクト型薄膜トランジスタの製造方法を工程順に説明する。
酸化物半導体層13内において、高濃度領域13dのIn濃度のピーク値と、他の領域のIn濃度との差を30原子%未満とした以外は、上記実施の形態1と同一の条件で薄膜トランジスタを作製した。
前記実施の形態1と同様の材料、プロセスを用い、高濃度領域(13d)の膜厚が(1)6nm以下、(2)20nm、(3)50nmである3種の薄膜トランジスタを作製し、高濃度領域の膜厚とサブスレッショルド係数との関係を調べた。ここでは、高濃度領域におけるIn濃度の極大値と、他の領域のIn濃度との差を40原子%以上とした。図9にその結果を示す。また、比較のために、In-Ga-Zn-O(IGZO)からなる酸化物半導体層の膜厚とサブスレッショルド係数との関係も図9に示した。
高濃度領域(13d)の有無による効果の比較検討を行うため、酸化物半導体層(13)内に高濃度領域を有する薄膜トランジスタ(サンプルA)、および酸化物半導体層内に高濃度領域を有しない薄膜トランジスタ(サンプルB)を作製した。サンプルAの酸化物半導体層はIn−Sn−Zn−Oで構成し、サンプルBの酸化物半導体層はIn−Ga−Zn−Oで構成した。また、酸化物半導体層以外は、前記実施の形態1と同様の材料、プロセスを用いた。
本実施の形態4は、トップゲート/ボトムコンタクト型薄膜トランジスタに適用したものである。ここで、トップゲートとは、ゲート電極がチャネル層よりも上層に配置される構造を示し、ボトムコンタクトとは、ソース電極およびドレイン電極がチャネル層よりも下層に配置される構造を示している。以下、トップゲート/ボトムコンタクト型薄膜トランジスタの製造方法を工程順に説明する。
酸化物半導体層13を構成する元素のうち、InをCd、SnおよびCeに代えた他は、前記実施の形態4と同一の材料、プロセスで薄膜トランジスタを作製した。この薄膜トランジスタの特性を調べたところ、サブスレッショルド係数は、100mV/decade程度であった。また、電界効果移動度は30〜50cm2/Vs程度を示し、オン電流は2×10−4Aを示した。
本実施の形態6は、ボトムゲート/ボトムコンタクト型薄膜トランジスタに適用したものである。ここで、ボトムゲートとは、ゲート電極がチャネル層よりも下層に配置される構造を示し、ボトムコンタクトとは、ソース電極およびドレイン電極がチャネル層よりも下層に配置される構造を示している。
本実施の形態7は、トップゲート/トップコンタクト型薄膜トランジスタに適用したものである。ここで、トップゲートとは、ゲート電極がチャネル層よりも上層に配置される構造を示し、トップコンタクトとは、ソース電極およびドレイン電極がチャネル層よりも上層に配置される構造を示している。
図21は、前記実施の形態1〜7のいずれかの薄膜トランジスタを使用してアンテナ共振回路21、整流器22、変調器23、デジタル回路24などを構成したRFIDタグ20の概略構成を示している。
図22は、本実施の形態9の半導体装置の構成を示す回路ブロック図である。本実施の形態9の半導体装置は、前記実施の形態1〜7のいずれかの薄膜トランジスタを含む素子を基板30上にアレイ状に配置した構成になっている。上記薄膜トランジスタをアレイ内の各素子のスイッチングトランジスタや駆動用トランジスタに用いることはもちろん、この薄膜トランジスタのゲート電極(11)と接続されるゲート配線31に信号を送るゲート線駆動回路32や、この薄膜トランジスタのソース電極(14s)およびドレイン電極(14d)と接続されるデータ配線33に信号を送るデータ線駆動回路34を構成するトランジスタに用いてもよい。この場合、各素子の薄膜トランジスタとゲート線駆動回路32あるいはデータ線駆動回路34内の薄膜トランジスタを並行して形成することができる。
Claims (3)
- 基板の主面上に形成されたゲート絶縁膜、ゲート電極、チャネル層、ソース電極、およびドレイン電極をそれぞれ有する第1および第2薄膜トランジスタを備えた半導体装置であって、
前記第1および第2薄膜トランジスタのそれぞれの前記チャネル層は、少なくともInと酸素とを含み、さらにZn、Cd、Al、Ga、Si、Sn、Ce、Geのうち、いずれか一種以上の元素を含む酸化物半導体からなり、
前記第1薄膜トランジスタの前記チャネル層のうち、前記ゲート電極に最も近接した領域には、酸素元素以外の構成元素で算出した場合において前記チャネル層の他の領域に比べて前記Inの濃度が30原子%以上高い極大値を持つ第1高濃度領域が20nm以下の膜厚にて設けられており、
前記第2薄膜トランジスタの前記チャネル層のうち、前記ゲート電極から最も離れた領域には、酸素元素以外の構成元素で算出した場合において前記チャネル層の他の領域に比べて前記Inの濃度が30原子%以上高い極大値を持つ第2高濃度領域が20nm以下の膜厚にて設けられていることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1および第2薄膜トランジスタのそれぞれの前記チャネル層の膜厚は、100nm以下であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記第1および第2高濃度領域の膜厚は、6nm以下であることを特徴とする請求項2記載の半導体装置。
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