JP5663326B2 - Deposit removal device - Google Patents

Description

本発明は、ノズル本体のノズル孔の内周面に付着した付着物を除去するための付着物除去装置に関するものである。   The present invention relates to a deposit removing device for removing deposits attached to an inner peripheral surface of a nozzle hole of a nozzle body.

従来より、ディスペンサ装置から供給される半田や銀ペーストが塗布された基板上に、ＩＣチップ等の電子部品を搭載するマウンタと呼ばれる部品搭載装置が知られている。   2. Description of the Related Art Conventionally, a component mounting device called a mounter for mounting an electronic component such as an IC chip on a substrate coated with solder or silver paste supplied from a dispenser device is known.

このマウンタは、装置の前後左右方向及び上下方向に可動するマウンタヘッドを備えている。マウンタヘッドには、電子部品を吸着保持するマウンタノズルが取り付けられている（例えば、特許文献１参照）。   This mounter includes a mounter head that is movable in the front-rear, left-right, and up-down directions of the apparatus. A mounter nozzle that sucks and holds electronic components is attached to the mounter head (see, for example, Patent Document 1).

ところで、このマウンタノズルは、負圧によって電子部品を吸着保持している。そのため、吸着動作を行う際に埃や半田を吸い込むことがあり、マウンタノズルのノズル孔が目詰まりし、電子部品を吸着する吸着力が低下してしまうという問題がある。   By the way, this mounter nozzle adsorbs and holds electronic components by negative pressure. For this reason, dust and solder may be sucked when performing the suction operation, and the nozzle hole of the mounter nozzle is clogged, resulting in a problem that the suction force for sucking the electronic component is reduced.

一方、ディスペンサ装置には、半田や銀ペーストを供給するためのディスペンサノズルが取り付けられている。このディスペンサノズルでは、ノズル孔の内周面に半田や銀ペーストが付着して目詰まりし、基板に塗布する半田や銀ペーストの供給量にバラツキが生じてしまうという問題がある。   On the other hand, a dispenser nozzle for supplying solder or silver paste is attached to the dispenser device. In this dispenser nozzle, there is a problem that solder or silver paste adheres to the inner peripheral surface of the nozzle hole and becomes clogged, resulting in variations in the supply amount of solder or silver paste applied to the substrate.

そこで、マウンタノズルやディスペンサノズルでは、定期的に装置から取り外して洗浄し、ノズル孔の内周面に付着した付着物を除去する必要がある。例えば、特許文献２に従来例（図５参照）として記載されているような超音波洗浄技術を用いて洗浄を行っている。   Therefore, the mounter nozzle and dispenser nozzle need to be periodically removed from the apparatus and cleaned to remove deposits attached to the inner peripheral surface of the nozzle hole. For example, cleaning is performed using an ultrasonic cleaning technique as described in Patent Document 2 as a conventional example (see FIG. 5).

具体的に、この超音波洗浄装置では、洗浄槽の底板裏面に超音波振動子を取り付けておき、洗浄槽内に洗浄液を満たし、超音波振動子を振動させて洗浄槽を介して洗浄液を振動させることで、洗浄液中に小さな気泡を発生させ、この気泡が基板に当たって壊れるときの衝撃波で、マウンタノズルやディスペンサノズルに付着した付着物を引き剥がすようにしている。   Specifically, in this ultrasonic cleaning apparatus, an ultrasonic vibrator is attached to the bottom surface of the bottom plate of the cleaning tank, the cleaning tank is filled with the cleaning liquid, and the ultrasonic vibrator is vibrated to vibrate the cleaning liquid through the cleaning tank. As a result, small bubbles are generated in the cleaning liquid, and the adhered matter attached to the mounter nozzle and the dispenser nozzle is peeled off by a shock wave generated when the bubbles hit the substrate and break.

特開平５−３４３８９２号公報JP-A-5-343892 特開２０００−１０７７１２号公報JP 2000-107712 A

しかしながら、従来の超音波洗浄装置では、洗浄液中に小さな気泡を発生させて付着物を引き剥がすようにしているため、ノズル孔の孔径が小さい場合には、気泡がノズル孔内に入り込むことができず、ノズル孔の内周面に付着した付着物を十分に除去できないという問題があった。   However, in the conventional ultrasonic cleaning apparatus, small bubbles are generated in the cleaning liquid so as to peel off the deposits, so that when the nozzle hole diameter is small, the bubbles can enter the nozzle hole. Therefore, there is a problem that the deposits adhering to the inner peripheral surface of the nozzle hole cannot be sufficiently removed.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ノズル本体のノズル孔の内周面に付着した付着物を確実に除去できるようにすることにある。   This invention is made | formed in view of this point, The objective is to make it possible to remove reliably the deposit | attachment adhering to the internal peripheral surface of the nozzle hole of a nozzle main body.

本発明は、ノズル本体の軸方向に貫通するノズル孔の内周面に付着した付着物を除去するための付着物除去装置を対象とし、次のような解決手段を講じた。   The present invention is directed to a deposit removing device for removing deposits attached to the inner peripheral surface of a nozzle hole penetrating in the axial direction of the nozzle body, and has taken the following solution.

すなわち、第１の発明は、振動伝達媒体としての液媒体を貯留する貯留槽と、
前記ノズル本体の先端部を前記液媒体に浸漬させ、且つ該ノズル本体の先端部が前記貯留槽の底面と所定の間隙を存して対向するように該ノズル本体を保持するノズル保持部と、
前記貯留槽に取り付けられ、前記液媒体を介して前記ノズル本体に振動を与える超音波振動子と、
前記超音波振動子によって前記ノズル本体を振動させている間に、該ノズル本体のノズル孔を介して前記液媒体を吸引することで、該ノズル本体を伝搬する振動と、該ノズル孔内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動によって、該ノズル孔の内周面に付着した付着物を剥離させて除去する吸引部とを備えたことを特徴とするものである。 That is, the first invention is a storage tank for storing a liquid medium as a vibration transmission medium;
A nozzle holding portion for holding the nozzle body so that the tip of the nozzle body is immersed in the liquid medium, and the tip of the nozzle body is opposed to the bottom surface of the storage tank with a predetermined gap;
An ultrasonic vibrator attached to the storage tank and vibrating the nozzle body via the liquid medium;
While the nozzle body is vibrated by the ultrasonic vibrator, the liquid medium is sucked through the nozzle hole of the nozzle body, so that the vibration propagated through the nozzle body and the liquid in the nozzle hole And a suction part that peels off and removes the adhering matter adhering to the inner peripheral surface of the nozzle hole by an amplitude fluctuation due to a propagation speed difference from the vibration propagating through the medium .

第２の発明は、ノズル本体の軸方向に貫通するノズル孔の内周面に付着した付着物を除去するための付着物除去装置を対象とし、次のような解決手段を講じた。   The second invention is directed to a deposit removing device for removing deposits attached to the inner peripheral surface of a nozzle hole penetrating in the axial direction of the nozzle body, and has taken the following solution.

すなわち、第２の発明は、振動伝達媒体としての液媒体を貯留する貯留槽と、
前記ノズル本体の先端部を前記液媒体に浸漬させ、且つ該ノズル本体の先端部が前記貯留槽の底面と所定の間隙を存して対向するように該ノズル本体を保持するノズル保持部と、
前記ノズル保持部に取り付けられ、前記ノズル本体に振動を与える超音波振動子と、
前記超音波振動子によって前記ノズル本体を振動させている間に、該ノズル本体のノズル孔を介して前記液媒体を吸引することで、該ノズル本体を伝搬する振動と、該ノズル孔内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動によって、該ノズル孔の内周面に付着した付着物を剥離させて除去する吸引部とを備えたことを特徴とするものである。 That is, the second invention is a storage tank for storing a liquid medium as a vibration transmission medium,
A nozzle holding portion for holding the nozzle body so that the tip of the nozzle body is immersed in the liquid medium, and the tip of the nozzle body is opposed to the bottom surface of the storage tank with a predetermined gap;
An ultrasonic vibrator that is attached to the nozzle holding unit and that vibrates the nozzle body;
While the nozzle body is vibrated by the ultrasonic vibrator, the liquid medium is sucked through the nozzle hole of the nozzle body, so that the vibration propagated through the nozzle body and the liquid in the nozzle hole And a suction part that peels off and removes the adhering matter adhering to the inner peripheral surface of the nozzle hole by an amplitude fluctuation due to a propagation speed difference from the vibration propagating through the medium .

第３の発明は、第１の発明において、
前記超音波振動子は、前記ノズル保持部にも取り付けられ、前記ノズル本体に振動を与えるように構成されていることを特徴とするものである。 According to a third invention, in the first invention,
The ultrasonic transducer is also attached to the nozzle holding portion, and is configured to apply vibration to the nozzle body.

第４の発明は、第１の発明において、
前記貯留槽の底面から前記ノズル本体の先端までの距離は、前記超音波振動子の振動周波数の１／４波長以下に設定されていることを特徴とするものである。 According to a fourth invention, in the first invention,
The distance from the bottom surface of the storage tank to the tip of the nozzle body is set to ¼ wavelength or less of the vibration frequency of the ultrasonic transducer.

第５の発明は、第１乃至第４の発明のうち何れか１つにおいて、
前記吸引部は、前記ノズル本体のノズル孔を介して前記液媒体を吸引する吸引動作と、吸引動作を停止する停止動作とを、所定の周期で切り換えるように構成されていることを特徴とするものである。 According to a fifth invention, in any one of the first to fourth inventions,
The suction unit is configured to switch between a suction operation of sucking the liquid medium through a nozzle hole of the nozzle body and a stop operation of stopping the suction operation at a predetermined cycle. Is.

第６の発明は、第１乃至第５の発明のうち何れか１つにおいて、
前記ノズル本体の基端部には、前記ノズル孔よりも大径の凹部が形成され、
前記ノズル保持部には、前記ノズル本体を保持する際に前記凹部に嵌合される筒状の嵌合部材が設けられていることを特徴とするものである。 A sixth invention is any one of the first to fifth inventions,
A recess having a larger diameter than the nozzle hole is formed at the base end of the nozzle body,
The nozzle holding portion is provided with a cylindrical fitting member that is fitted into the recess when holding the nozzle body.

第７の発明は、第１乃至第６の発明のうち何れか１つにおいて、
前記吸引部は、付着物の除去が完了した前記ノズル本体のノズル孔内に残存する前記液媒体を吸引除去して該ノズル孔を乾燥させる乾燥動作を行うように構成されていることを特徴とするものである。 In a seventh aspect based on any one of the first to sixth aspects,
The suction unit is configured to perform a drying operation of sucking and removing the liquid medium remaining in the nozzle hole of the nozzle body after removal of deposits and drying the nozzle hole. To do.

第１の発明によれば、超音波振動子によって液媒体を介してノズル本体を振動させている間に、ノズル本体のノズル孔を介して液媒体を吸引するようにしたから、ノズル本体を伝搬する振動と、ノズル孔内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動によって、ノズル孔の内周面に付着した付着物を剥離させて除去することができる。   According to the first aspect of the invention, the liquid medium is sucked through the nozzle hole of the nozzle body while the nozzle body is vibrated through the liquid medium by the ultrasonic vibrator. Due to the amplitude variation due to the difference in propagation speed between the vibration that propagates and the vibration that propagates through the liquid medium in the nozzle hole, the deposits attached to the inner peripheral surface of the nozzle hole can be peeled off and removed.

さらに、例えば、銀ペーストが付着したノズル本体に対して本発明を適用すれば、ノズル本体から剥離させた銀成分を回収して再利用することもできる。   Furthermore, for example, if the present invention is applied to a nozzle body to which a silver paste is adhered, the silver component peeled off from the nozzle body can be recovered and reused.

第２の発明によれば、超音波振動子によってノズル本体を振動させている間に、ノズル本体のノズル孔を介して液媒体を吸引するようにしたから、ノズル本体を伝搬する振動と、ノズル孔内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動によって、ノズル孔の内周面に付着した付着物を剥離させて除去することができる。   According to the second invention, since the liquid medium is sucked through the nozzle hole of the nozzle body while the nozzle body is vibrated by the ultrasonic vibrator, the vibration propagating through the nozzle body and the nozzle Due to the amplitude fluctuation due to the propagation speed difference from the vibration propagating through the liquid medium in the hole, the deposits attached to the inner peripheral surface of the nozzle hole can be peeled off and removed.

第３の発明によれば、貯留槽とノズル保持部とにそれぞれ取り付けられた超音波振動子によってノズル本体を振動させることができ、ノズル本体を伝搬する振動と、ノズル孔内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動をさらに大きくして、ノズル孔の内周面に付着した付着物を剥離させて除去することができる。   According to the third invention, the nozzle body can be vibrated by the ultrasonic vibrators respectively attached to the storage tank and the nozzle holding part, and the vibration propagating through the nozzle body and the liquid medium in the nozzle hole are propagated. The amplitude fluctuation due to the difference in propagation speed with the vibration to be generated can be further increased, and the adhered matter adhering to the inner peripheral surface of the nozzle hole can be peeled off and removed.

第４の発明によれば、貯留槽の底面からノズル本体の先端までの距離を、超音波振動子の振動周波数の１／４波長以下となるように設定したから、振動のプラスとなる強い振動波のみをノズル本体の先端に伝達させることが可能となり、ノズル本体の振動効率をさらに高めることができて、ノズル孔から付着物を効率的に剥離することができる。   According to the fourth invention, since the distance from the bottom surface of the storage tank to the tip of the nozzle body is set to be equal to or less than ¼ wavelength of the vibration frequency of the ultrasonic vibrator, strong vibration that is positive for vibration Only the wave can be transmitted to the tip of the nozzle body, the vibration efficiency of the nozzle body can be further increased, and the deposits can be efficiently peeled from the nozzle holes.

第５の発明によれば、ノズル本体のノズル孔を介して液媒体を吸引する吸引動作と、吸引動作を停止する停止動作とを、所定の周期で切り換えるようにしたから、常に吸引動作を行う場合に比べて、ノズル孔の内周面に付着した付着物の剥離効果が向上し、付着物を確実に除去することができる。   According to the fifth aspect of the invention, the suction operation for sucking the liquid medium through the nozzle hole of the nozzle body and the stop operation for stopping the suction operation are switched at a predetermined cycle, so that the suction operation is always performed. Compared with the case, the peeling effect of the deposit | attachment adhering to the internal peripheral surface of a nozzle hole improves, and an deposit | attachment can be removed reliably.

第６の発明によれば、ノズル本体の基端部に形成された凹部に液媒体が残存するのを抑制することができる。具体的に、ノズル本体の基端部には、マウンタヘッドに取り付けるための接続口としての凹部が開口している。この凹部は、ノズル孔よりも大径であるため、凹部とノズル孔との間には段差部が形成されることとなる。そして、吸引部によってノズル本体の基端側から液媒体を吸引すると、この段差部に液媒体が残存するおそれがある。   According to the sixth aspect of the invention, it is possible to suppress the liquid medium from remaining in the recess formed in the base end portion of the nozzle body. Specifically, a recess serving as a connection port for attachment to the mounter head is opened at the base end of the nozzle body. Since the recess has a larger diameter than the nozzle hole, a stepped portion is formed between the recess and the nozzle hole. When the liquid medium is sucked from the base end side of the nozzle body by the suction part, the liquid medium may remain in the stepped part.

これに対し、本発明では、ノズル本体の凹部に筒状の嵌合部材を嵌合するようにしたから、ノズル孔から吸引された液媒体は、段差部を通ることなく嵌合部材の内部を通過することとなり、ノズル孔と凹部との段差部に液媒体が残存するのを抑制することができる。   On the other hand, in the present invention, since the cylindrical fitting member is fitted into the recess of the nozzle body, the liquid medium sucked from the nozzle hole passes through the inside of the fitting member without passing through the stepped portion. It will pass, and it can suppress that a liquid medium remains in the level | step-difference part of a nozzle hole and a recessed part.

第７の発明によれば、付着物の除去が完了した後、引き続き吸引部を作動させることで、ノズル本体のノズル孔内に残存する液媒体を吸引除去してノズル孔を乾燥させることができる。これにより、１つの吸引部で、付着物の除去作業とノズル本体の乾燥作業とを行うことができる。   According to the seventh invention, after the removal of the deposit is completed, the liquid medium remaining in the nozzle hole of the nozzle main body can be sucked and removed by continuing to operate the suction part to dry the nozzle hole. . Thereby, the removal operation | work of a deposit | attachment and the drying operation | work of a nozzle main body can be performed with one suction part.

本発明の実施形態に係る付着物除去装置の構成を示す正面図である。It is a front view which shows the structure of the deposit | attachment removal apparatus which concerns on embodiment of this invention. 付着物除去装置の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of a deposit removal apparatus. 貯留槽の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of a storage tank. 貯留槽の構成を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of a storage tank. ノズル保持部及び吸引部の構成を示す正面断面図である。It is front sectional drawing which shows the structure of a nozzle holding | maintenance part and a suction part. ノズル本体をノズル保持部に保持する手順を説明する図である。It is a figure explaining the procedure which hold | maintains a nozzle main body in a nozzle holding part. ノズル本体の凹部に嵌合チューブを嵌合する手順を説明する図である。It is a figure explaining the procedure which fits a fitting tube in the recessed part of a nozzle main body. 本変形例に係る付着物除去装置の構成を示す正面図である。It is a front view which shows the structure of the deposit removal apparatus which concerns on this modification.

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The following embodiments are essentially preferable examples, and are not intended to limit the scope of the present invention, its application, or its use.

《全体構成》
図１は、本発明の実施形態に係る付着物除去装置の構成を示す正面図、図２は平面図である。図１及び図２に示すように、付着物除去装置１０は、本体架台１１を備え、本体架台１１の上部には、貯留槽２０、ノズル保持部３０、及び吸引部４０が配設されている。 "overall structure"
FIG. 1 is a front view showing a configuration of an attached matter removing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view. As shown in FIGS. 1 and 2, the deposit removing device 10 includes a main body base 11, and a storage tank 20, a nozzle holding part 30, and a suction part 40 are disposed on the upper part of the main body base 11. .

本体架台１１内の下部には、電源ＯＮ／ＯＦＦや各種設定を行うための複数のスイッチ等が設けられた制御ボックス１２が収容されている。また、本体架台１１の下面の４隅には、本体架台１１を支持する支持脚１３が取り付けられている。本体架台１１の奥側（図２における上側）には、振動伝達媒体としての液媒体を貯留する回収タンク１５が配設されている。本実施形態では、液媒体として強アルカリ水や電解水を用いている。   A control box 12 provided with a plurality of switches and the like for power ON / OFF and various settings is housed in the lower part of the main body base 11. Support legs 13 that support the main body base 11 are attached to the four corners of the lower surface of the main body base 11. A recovery tank 15 for storing a liquid medium as a vibration transmission medium is disposed on the back side (upper side in FIG. 2) of the main body base 11. In the present embodiment, strong alkaline water or electrolyzed water is used as the liquid medium.

回収タンク１５には、吸引ポンプ２４と、給水ポンプ２５とが接続されている。具体的に、吸引ポンプ２４は、ポンプ配管２４ａを介して回収タンク１５に接続され、回収タンク１５内の空気を吸引することで、回収タンク１５内を負圧とする。その結果、後述する排水管２７及び吸引管４４を介して回収タンク１５内に液媒体が回収される。給水ポンプ２５は、給水管２６を介して回収タンク１５に接続され、回収タンク１５から汲み上げた液媒体を貯留槽２０に供給する。   A suction pump 24 and a water supply pump 25 are connected to the recovery tank 15. Specifically, the suction pump 24 is connected to the recovery tank 15 through a pump pipe 24a, and sucks air in the recovery tank 15 to make the inside of the recovery tank 15 have a negative pressure. As a result, the liquid medium is recovered in the recovery tank 15 via the drain pipe 27 and the suction pipe 44 described later. The water supply pump 25 is connected to the recovery tank 15 through the water supply pipe 26 and supplies the liquid medium pumped up from the recovery tank 15 to the storage tank 20.

図３は、貯留槽の構成を示す平面図、図４は側面図である。図３及び図４に示すように、貯留槽２０は、回収タンク１５から供給された液媒体を貯留するものであり、その底板裏面の中央位置には、超音波振動子２１が取り付けられている。超音波振動子２１は、貯留槽２０の底板を振動させることで、液媒体に振動を与える。なお、本実施形態では１個の超音波振動子２１を用いた構成について説明しているが、個数は特に限定するものではなく、貯留槽２０の大きさ等に応じて適宜設定可能である。   FIG. 3 is a plan view showing the configuration of the storage tank, and FIG. 4 is a side view. As shown in FIGS. 3 and 4, the storage tank 20 stores the liquid medium supplied from the recovery tank 15, and an ultrasonic transducer 21 is attached to the center position of the bottom plate back surface. . The ultrasonic vibrator 21 vibrates the liquid medium by vibrating the bottom plate of the storage tank 20. In the present embodiment, a configuration using one ultrasonic transducer 21 is described, but the number is not particularly limited, and can be set as appropriate according to the size of the storage tank 20 and the like.

貯留槽２０には、給水孔２１ａ、排水孔２１ｂ、及びオーバーフロー孔２１ｃが形成されている。給水孔２１ａと回収タンク１５とは、給水管２６を介して接続されている。給水ポンプ２５（図２参照）によって回収タンク１５から汲み上げられた液媒体は、給水管２６及び給水孔２１ａを介して貯留槽２０に供給される。   In the storage tank 20, a water supply hole 21a, a drain hole 21b, and an overflow hole 21c are formed. The water supply hole 21 a and the recovery tank 15 are connected via a water supply pipe 26. The liquid medium pumped up from the collection tank 15 by the water supply pump 25 (see FIG. 2) is supplied to the storage tank 20 through the water supply pipe 26 and the water supply hole 21a.

貯留槽２０内における給水孔２１ａの上方には、遮蔽板２２が配設されている。遮蔽板２２は、給水孔２１ａから貯留槽２０内に供給される液媒体が勢いよく吹き出した際に、液媒体が貯留槽２０外にこぼれないように給水孔２１ａの上方を覆っている。   A shielding plate 22 is disposed above the water supply hole 21 a in the storage tank 20. The shielding plate 22 covers the upper side of the water supply hole 21a so that the liquid medium does not spill out of the storage tank 20 when the liquid medium supplied into the storage tank 20 from the water supply hole 21a is blown out vigorously.

排水孔２１ｂと回収タンク１５とは、排水管２７を介して接続されている。ここで、貯留槽２０内に給水される液媒体の給水量と、排水管２７から排水される液媒体の排水量とは、略同じ流量となるように設定されている。これにより、貯留槽２０における液媒体の液深を一定に保つとともに、貯留槽２０内において給水孔２１ａから排水孔２１ｂに向かう液媒体の循環流路を形成することができる。   The drain hole 21 b and the recovery tank 15 are connected via a drain pipe 27. Here, the water supply amount of the liquid medium supplied into the storage tank 20 and the drainage amount of the liquid medium drained from the drain pipe 27 are set to be substantially the same flow rate. Thereby, while keeping the liquid depth of the liquid medium in the storage tank 20 constant, the circulation path of the liquid medium which goes to the drain hole 21b from the water supply hole 21a in the storage tank 20 can be formed.

オーバーフロー孔２１ｃと回収タンク１５とは、排水管２７を介して接続されている。オーバーフロー孔２１ｃには、貯留槽２０内で上方に延びる筒状部材２３が取り付けられている。筒状部材２３は、貯留槽２０から液媒体がオーバーフローするのを防止するためのものであり、液媒体の水位が筒状部材２３の上端よりも高くなったときに、筒状部材２３及びオーバーフロー孔２１ｃを介して液媒体が排水されるようになっている。   The overflow hole 21 c and the recovery tank 15 are connected via a drain pipe 27. A cylindrical member 23 extending upward in the storage tank 20 is attached to the overflow hole 21c. The cylindrical member 23 is for preventing the liquid medium from overflowing from the storage tank 20. When the water level of the liquid medium becomes higher than the upper end of the cylindrical member 23, the cylindrical member 23 and the overflow are formed. The liquid medium is drained through the hole 21c.

図５は、ノズル保持部及び吸引部の構成を示す正面断面図である。図５に示すように、ノズル本体５０は、基板上にＩＣチップ等の電子部品を搭載するマウンタ装置に取り付けられ、電子部品を吸着保持するマウンタノズルである。なお、ノズル本体５０は、半田や銀ペーストを供給するディスペンサ装置に取り付けられるディスペンサノズルであってもよい。   FIG. 5 is a front sectional view showing the configuration of the nozzle holding part and the suction part. As shown in FIG. 5, the nozzle body 50 is a mounter nozzle that is attached to a mounter device that mounts an electronic component such as an IC chip on a substrate and sucks and holds the electronic component. The nozzle body 50 may be a dispenser nozzle attached to a dispenser device that supplies solder or silver paste.

ノズル本体５０には、軸方向に貫通するノズル孔５０ａが形成されている。ノズル本体５０の基端部（図５で上側）には、マウンタ装置に取り付けるための接続口として、ノズル孔５０ａよりも大径の凹部５０ｂが形成されている。ノズル本体５０の軸方向の中央位置には、径方向に拡がるフランジ部５１が設けられている。本実施形態に係る付着物除去装置１０では、このノズル孔５０ａの内周面に付着した半田や銀ペースト等の付着物を除去することを目的としている。   The nozzle body 50 is formed with a nozzle hole 50a penetrating in the axial direction. A recess 50b having a diameter larger than that of the nozzle hole 50a is formed at the base end portion (upper side in FIG. 5) of the nozzle body 50 as a connection port for attachment to the mounter device. At the center position in the axial direction of the nozzle body 50, a flange portion 51 extending in the radial direction is provided. The object removal device 10 according to the present embodiment aims to remove the object such as solder and silver paste attached to the inner peripheral surface of the nozzle hole 50a.

ノズル保持部３０は、ノズル本体５０のフランジ部５１を挟み込んで保持する一対のベース板３１及び保持板３２を備えている。図６にも示すように、ベース板３１には、ノズル本体５０のフランジ部５１を収容する複数の収容凹部３１ａが形成されている。具体的に、収容凹部３１ａは、左右方向に間隔をあけて４つ形成された列が、奥行方向（図２で上下方向）に間隔をあけて５列形成され、合計２０個のノズル本体５０を収容できるようになっている。なお、収容凹部３１ａの個数や配置はあくまでも一例であり、この形態に限定するものではない。   The nozzle holding unit 30 includes a pair of a base plate 31 and a holding plate 32 that sandwich and hold the flange portion 51 of the nozzle body 50. As shown in FIG. 6, the base plate 31 is formed with a plurality of receiving recesses 31 a for receiving the flange portions 51 of the nozzle body 50. Specifically, the accommodating recesses 31a have four rows formed at intervals in the left-right direction, and five rows are formed at intervals in the depth direction (vertical direction in FIG. 2), for a total of 20 nozzle bodies 50. Can be accommodated. In addition, the number and arrangement | positioning of the accommodation recessed part 31a are an example to the last, and are not limited to this form.

収容凹部３１ａの中央位置には、挿通孔３１ｂが形成されている。ノズル本体５０の先端部を挿通孔３１ｂに挿通させることで、ベース板３１の下面からノズル本体５０の先端部が突出した状態となる。   An insertion hole 31b is formed at the central position of the housing recess 31a. By inserting the tip of the nozzle body 50 through the insertion hole 31b, the tip of the nozzle body 50 protrudes from the lower surface of the base plate 31.

保持板３２には、ノズル本体５０の基端部に嵌合する嵌合孔３２ａが形成されている。嵌合孔３２ａの上下両端部は、テーパー状に形成されている。ノズル本体５０は、そのフランジ部５１がベース板３１と保持板３２とに挟まれて保持される。   The holding plate 32 is formed with a fitting hole 32 a that fits into the proximal end portion of the nozzle body 50. The upper and lower ends of the fitting hole 32a are tapered. The nozzle body 50 is held with its flange portion 51 sandwiched between the base plate 31 and the holding plate 32.

保持板３２の上部には、チューブ保持板３３が取り付けられる。チューブ保持板３３には、ベース板３１に形成された複数の収容凹部３１ａの配置（つまり、ノズル本体５０の配置）に対応して、複数の嵌合チューブ３５（嵌合部材）が埋め込まれている。具体的に、保持板３２には、左右方向に間隔をあけて４つ形成された列が、奥行方向（図２で上下方向）に間隔をあけて５列形成され、合計２０個の嵌合チューブ３５が設けられている。嵌合チューブ３５の下端部は、ノズル本体５０の凹部５０ｂ内に嵌合されている。   A tube holding plate 33 is attached to the upper portion of the holding plate 32. A plurality of fitting tubes 35 (fitting members) are embedded in the tube holding plate 33 corresponding to the arrangement of the plurality of receiving recesses 31 a formed in the base plate 31 (that is, the arrangement of the nozzle body 50). Yes. Specifically, on the holding plate 32, four rows formed at intervals in the left-right direction are formed in five rows at intervals in the depth direction (vertical direction in FIG. 2), for a total of 20 fittings. A tube 35 is provided. The lower end portion of the fitting tube 35 is fitted in the recess 50 b of the nozzle body 50.

チューブ保持板３３は、吸引部４０の下部に取り付けられている。このとき、ノズル保持部３０に保持されたノズル本体５０の先端部は、貯留槽２０に貯留された液媒体に浸漬されている。これにより、超音波振動子２１から液媒体に与えられた振動は、液媒体を介してノズル本体５０に伝達され、ノズル本体５０が振動するようになっている。   The tube holding plate 33 is attached to the lower part of the suction part 40. At this time, the tip of the nozzle body 50 held by the nozzle holding unit 30 is immersed in the liquid medium stored in the storage tank 20. Thereby, the vibration given to the liquid medium from the ultrasonic transducer 21 is transmitted to the nozzle body 50 via the liquid medium, so that the nozzle body 50 vibrates.

ノズル本体５０の先端部は、貯留槽２０の底面と所定の間隙を存して対向している。具体的に、貯留槽２０の底面からノズル本体５０の先端までの距離は、超音波振動子２１の振動周波数の１／４波長以下となるように設定されている。このようにすれば、振動のプラスとなる強い振動波のみをノズル本体５０の先端に伝達させることが可能となり、ノズル本体５０の振動効率をさらに高めることができて、ノズル孔５０ａの内周面に付着した付着物を効率的に剥離することができる。   The tip of the nozzle body 50 faces the bottom surface of the storage tank 20 with a predetermined gap. Specifically, the distance from the bottom surface of the storage tank 20 to the tip of the nozzle body 50 is set to be ¼ wavelength or less of the vibration frequency of the ultrasonic transducer 21. In this way, it is possible to transmit only a strong vibration wave that is positive for vibration to the tip of the nozzle body 50, further increasing the vibration efficiency of the nozzle body 50, and the inner peripheral surface of the nozzle hole 50a. It is possible to efficiently peel off deposits attached to the surface.

吸引部４０は、内部に負圧室４５を有する吸引タンク４１と、吸引ポンプ２４（図２参照）とを備えている。吸引タンク４１は、上方が開口した箱状に形成された本体部４３と、本体部４３の上方開口を覆う透明板４６とを備えている。本体部４３の上方開口の周縁には、フランジ面４３ａが形成されている。フランジ面４３ａと透明板４６との間にはシール材４８が挟み込まれてシールされている。透明板４６は、取付板４７によって本体部４３のフランジ面４３ａに取り付けられている。具体的に、取付板４７は、透明板４６の４辺にそれぞれ沿って延びる４枚の板状部材で構成され、締結ボルト（図示省略）で締結されている。このように、吸引タンク４１の上部に透明板４６を取り付けることで、負圧室４５内の様子を透明板４６から視認することができる。   The suction unit 40 includes a suction tank 41 having a negative pressure chamber 45 therein, and a suction pump 24 (see FIG. 2). The suction tank 41 includes a main body portion 43 formed in a box shape having an upper opening, and a transparent plate 46 that covers the upper opening of the main body portion 43. A flange surface 43 a is formed on the periphery of the upper opening of the main body 43. A sealing material 48 is sandwiched between the flange surface 43a and the transparent plate 46 and sealed. The transparent plate 46 is attached to the flange surface 43 a of the main body 43 by an attachment plate 47. Specifically, the mounting plate 47 is composed of four plate-like members extending along the four sides of the transparent plate 46 and fastened by fastening bolts (not shown). Thus, by attaching the transparent plate 46 to the upper part of the suction tank 41, the state in the negative pressure chamber 45 can be visually recognized from the transparent plate 46.

吸引タンク４１の底板には、矩形状の開口孔４１ａと、吸引孔４１ｂとが形成されている。開口孔４１ａは、チューブ保持板３３によって塞がれている。チューブ保持板３３と開口孔４１ａの周縁との間にはシール材４８が挟み込まれてシールされている。   A rectangular opening hole 41 a and a suction hole 41 b are formed in the bottom plate of the suction tank 41. The opening hole 41 a is closed by the tube holding plate 33. A sealing material 48 is sandwiched and sealed between the tube holding plate 33 and the periphery of the opening hole 41a.

吸引孔４１ｂと回収タンク１５とは、吸引管４４を介して接続されている。回収タンク１５内は、吸引ポンプ２４によって負圧とされている。そのため、吸引タンク４１の負圧室４５内の空気が回収タンク１５内に吸引され、負圧室４５内が負圧とされる。   The suction hole 41 b and the collection tank 15 are connected via a suction pipe 44. The inside of the collection tank 15 is set to a negative pressure by the suction pump 24. Therefore, the air in the negative pressure chamber 45 of the suction tank 41 is sucked into the recovery tank 15 and the negative pressure chamber 45 is set to a negative pressure.

ここで、ノズル保持部３０で保持されたノズル本体５０の先端部は、貯留槽２０の液媒体に浸漬している。また、ノズル本体５０は、超音波振動子２１で発生させた超音波振動により、液媒体を介して振動している。つまり、吸引タンク４１の負圧室４５内には、ノズル本体５０が振動している間に、ノズル本体５０のノズル孔５０ａ及び嵌合チューブ３５を介して貯留槽２０内の液媒体が吸引される。このようにすれば、ノズル本体５０を伝搬する振動と、ノズル孔５０ａ内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動によって、ノズル孔５０ａの内周面に付着した付着物が剥離して除去される。   Here, the tip of the nozzle body 50 held by the nozzle holder 30 is immersed in the liquid medium of the storage tank 20. The nozzle body 50 is vibrated via the liquid medium by the ultrasonic vibration generated by the ultrasonic vibrator 21. That is, the liquid medium in the storage tank 20 is sucked into the negative pressure chamber 45 of the suction tank 41 through the nozzle hole 50 a and the fitting tube 35 of the nozzle body 50 while the nozzle body 50 is vibrating. The In this way, the adhering matter attached to the inner peripheral surface of the nozzle hole 50a is peeled off by the amplitude fluctuation due to the difference in propagation speed between the vibration propagating through the nozzle body 50 and the vibration propagating through the liquid medium in the nozzle hole 50a. To be removed.

吸引タンク４１の負圧室４５内に吸引された液媒体及び付着物は、吸引孔４１ｂ及び吸引管４４を介して回収タンク１５内に回収される。なお、ノズル本体５０の内周面に付着する付着物が銀ペーストであれば、ノズル本体５０から剥離させた銀成分を回収タンク１５内に堆積させて回収して、銀成分を再利用することもできる。   The liquid medium and deposits sucked into the negative pressure chamber 45 of the suction tank 41 are collected in the collection tank 15 through the suction holes 41b and the suction pipe 44. In addition, if the deposit | attachment adhering to the internal peripheral surface of the nozzle main body 50 is a silver paste, the silver component peeled from the nozzle main body 50 will be accumulated in the collection tank 15, and will be collect | recovered, and a silver component may be reused. You can also.

−付着物除去動作−
次に、ノズル本体５０のノズル孔５０ａの内周面に付着した付着物を付着物除去装置１０で除去するための動作手順について説明する。 -Deposit removal operation-
Next, an operation procedure for removing deposits attached to the inner peripheral surface of the nozzle hole 50a of the nozzle body 50 with the deposit removal device 10 will be described.

まず、図６に示すように、ノズル本体５０の先端部をベース板３１の挿通孔３１ｂに挿通させるとともに、ノズル本体５０のフランジ部５１をベース板３１の収容凹部３１ａに嵌め込む。そして、ノズル本体５０の基端部を保持板３２の嵌合孔３２ａに嵌合させ、ノズル本体５０のフランジ部５１をベース板３１と保持板３２とで挟み込んで保持する。   First, as shown in FIG. 6, the distal end portion of the nozzle body 50 is inserted into the insertion hole 31 b of the base plate 31, and the flange portion 51 of the nozzle body 50 is fitted into the housing recess 31 a of the base plate 31. Then, the base end portion of the nozzle body 50 is fitted into the fitting hole 32 a of the holding plate 32, and the flange portion 51 of the nozzle body 50 is sandwiched and held between the base plate 31 and the holding plate 32.

次に、図７に示すように、吸引部４０の吸引タンク４１の下部にノズル保持部３０を取り付ける。このとき、ノズル本体５０の凹部５０ｂ内に、チューブ保持板３３に埋め込まれた嵌合チューブ３５を嵌合する。   Next, as shown in FIG. 7, the nozzle holding unit 30 is attached to the lower part of the suction tank 41 of the suction unit 40. At this time, the fitting tube 35 embedded in the tube holding plate 33 is fitted into the recess 50 b of the nozzle body 50.

このように、ノズル本体５０の凹部５０ｂに嵌合チューブ３５を嵌合すれば、凹部５０ｂ内に液媒体が残存するのを抑制することができる。具体的に、凹部５０ｂは、ノズル孔５０ａよりも大径であるため、凹部５０ｂとノズル孔５０ａとの間には段差部が形成されることとなる。そして、吸引部４０によってノズル本体５０の基端側から液媒体を吸引すると、この段差部に液媒体が残存するおそれがある。   Thus, if the fitting tube 35 is fitted into the recess 50b of the nozzle body 50, the liquid medium can be prevented from remaining in the recess 50b. Specifically, since the recess 50b has a larger diameter than the nozzle hole 50a, a stepped portion is formed between the recess 50b and the nozzle hole 50a. When the liquid medium is sucked from the base end side of the nozzle body 50 by the suction portion 40, the liquid medium may remain in the stepped portion.

これに対し、本実施形態では、ノズル本体５０の凹部５０ｂに嵌合チューブ３５を嵌合するようにしたから、ノズル孔５０ａから吸引された液媒体は、段差部を通ることなく嵌合チューブ３５の内部を通過することとなり、ノズル孔５０ａと凹部５０ｂとの段差部に液媒体が残存するのを抑制することができる。   On the other hand, in this embodiment, since the fitting tube 35 is fitted into the recess 50b of the nozzle body 50, the liquid medium sucked from the nozzle hole 50a does not pass through the stepped portion. It is possible to prevent the liquid medium from remaining in the step portion between the nozzle hole 50a and the recess 50b.

そして、図１及び図２に示すように、給水ポンプ２５を作動させ、回収タンク１５内の液媒体を給水管２６を介して貯留槽２０内に供給する。貯留槽２０内に液媒体が貯留されると、ノズル保持部３０で保持されているノズル本体５０の先端部が液媒体に浸漬される。   Then, as shown in FIGS. 1 and 2, the water supply pump 25 is operated to supply the liquid medium in the recovery tank 15 into the storage tank 20 via the water supply pipe 26. When the liquid medium is stored in the storage tank 20, the tip of the nozzle main body 50 held by the nozzle holding unit 30 is immersed in the liquid medium.

貯留槽２０に液媒体が貯留された後、貯留槽２０の底板裏面に取り付けられた超音波振動子２１を作動させ、貯留槽２０の底板を厚さ方向に振動させる。このとき、超音波振動子２１で発生させた振動が液媒体を介してノズル本体５０に向かって伝達され、ノズル本体５０が超音波振動する。   After the liquid medium is stored in the storage tank 20, the ultrasonic vibrator 21 attached to the back surface of the bottom plate of the storage tank 20 is operated to vibrate the bottom plate of the storage tank 20 in the thickness direction. At this time, the vibration generated by the ultrasonic transducer 21 is transmitted toward the nozzle body 50 via the liquid medium, and the nozzle body 50 is ultrasonically vibrated.

そして、ノズル本体５０を振動させている間に、吸引ポンプ２４を作動させることで、吸引部４０の負圧室４５内を負圧にする。これにより、ノズル本体５０のノズル孔５０ａを介して貯留槽２０の液媒体が負圧室４５内に吸引される。このようにすれば、ノズル本体５０を伝搬する振動と、ノズル孔５０ａ内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動によって、ノズル孔５０ａの内周面に付着した半田や埃等の付着物が剥離される。   Then, while the nozzle body 50 is vibrated, the suction pump 24 is operated to make the negative pressure chamber 45 of the suction unit 40 have a negative pressure. Thereby, the liquid medium in the storage tank 20 is sucked into the negative pressure chamber 45 through the nozzle hole 50 a of the nozzle body 50. In this case, solder or dust adhered to the inner peripheral surface of the nozzle hole 50a due to amplitude fluctuation due to a difference in propagation speed between the vibration propagating through the nozzle body 50 and the vibration propagating through the liquid medium in the nozzle hole 50a. The deposits are peeled off.

ここで、吸引ポンプ２４は、その作動又は停止を所定の周期で繰り返すように制御される。つまり、ノズル本体５０のノズル孔５０ａを介して液媒体を吸引する吸引動作と、吸引動作を停止する停止動作とを、所定の周期で切り換えるようにしている。このようにすれば、常に吸引動作を行う場合に比べて、ノズル孔５０ａの内周面に付着した付着物の剥離効果が向上し、付着物を確実に除去することができる。   Here, the suction pump 24 is controlled to repeat its operation or stop at a predetermined cycle. That is, the suction operation for sucking the liquid medium through the nozzle hole 50a of the nozzle body 50 and the stop operation for stopping the suction operation are switched at a predetermined cycle. In this way, compared to the case where the suction operation is always performed, the effect of removing the adhered matter adhered to the inner peripheral surface of the nozzle hole 50a is improved, and the adhered matter can be reliably removed.

そして、ノズル孔５０ａの内周面から剥離された付着物は、液媒体とともに吸引タンク４１の負圧室４５内に吸引される。負圧室４５内に吸引された液媒体及び付着物は、吸引孔４１ｂ及び吸引管４４を介して回収タンク１５に回収される。付着物は、回収タンク１５の底面に堆積して分離される。液媒体は、給水ポンプ２５によって汲み上げられて再び貯留槽２０に供給される。   And the deposit | attachment peeled from the internal peripheral surface of the nozzle hole 50a is attracted | sucked in the negative pressure chamber 45 of the suction tank 41 with a liquid medium. The liquid medium and deposits sucked into the negative pressure chamber 45 are collected in the collection tank 15 via the suction holes 41b and the suction pipe 44. The deposits are deposited and separated on the bottom surface of the recovery tank 15. The liquid medium is pumped up by the water supply pump 25 and supplied to the storage tank 20 again.

このような処理を繰り返すことにより、ノズル孔５０ａの内周面に付着する付着物の除去が完了する。そして、付着物の除去が完了した後、給水ポンプ２５を停止させることで、貯留槽２０内の液媒体を排水する。   By repeating such a process, the removal of the deposits adhering to the inner peripheral surface of the nozzle hole 50a is completed. Then, after the removal of the adhering matter is completed, the liquid medium in the storage tank 20 is drained by stopping the water supply pump 25.

そして、吸引ポンプ２４を引き続き作動させたままとすることで、ノズル本体５０の乾燥動作を行う。具体的に、貯留槽２０に液媒体が貯留されていない状態で、吸引ポンプ２４によってノズル本体５０のノズル孔５０ａを介して空気を吸引する。これにより、ノズル孔５０ａ内に残存する液媒体を吸引除去して、ノズル孔５０ａを乾燥させることができる。なお、この乾燥動作を行う際にも、吸引ポンプ２４の作動又は停止を所定の周期で繰り返すように制御してもよい。   Then, the nozzle body 50 is dried by keeping the suction pump 24 continuously operated. Specifically, air is sucked through the nozzle hole 50 a of the nozzle body 50 by the suction pump 24 in a state where the liquid medium is not stored in the storage tank 20. Thereby, the liquid medium remaining in the nozzle hole 50a can be sucked and removed, and the nozzle hole 50a can be dried. In addition, when performing this drying operation | movement, you may control so that the action | operation or stop of the suction pump 24 may be repeated with a predetermined period.

以上のように、本実施形態に係る付着物除去装置１０によれば、超音波振動子２１によって液媒体を介してノズル本体５０を振動させている間に、ノズル本体５０のノズル孔５０ａを介して液媒体を吸引するようにしたから、ノズル本体５０を伝搬する振動と、ノズル孔５０ａ内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動によって、ノズル孔５０ａの内周面に付着した付着物を剥離させて除去することができる。   As described above, according to the deposit removing apparatus 10 according to the present embodiment, while the nozzle body 50 is vibrated through the liquid medium by the ultrasonic vibrator 21, the nozzle body 50 is passed through the nozzle hole 50a. Since the liquid medium is suctioned, the liquid medium adheres to the inner peripheral surface of the nozzle hole 50a due to the amplitude fluctuation due to the difference in propagation speed between the vibration propagating through the nozzle body 50 and the vibration propagating through the liquid medium in the nozzle hole 50a. The attached deposits can be peeled off and removed.

《変形例》
図８は、本変形例に係る付着物除去装置の構成を示す図である。図８に示すように、本変形例では、ノズル保持部３０にも超音波振動子２１が取り付けられている。そして、貯留槽２０とノズル保持部３０とにそれぞれ取り付けられた超音波振動子２１によってノズル本体５０を振動させている間に、ノズル本体５０のノズル孔５０ａを介して液媒体を吸引するようにしている。 <Modification>
FIG. 8 is a diagram showing the configuration of the deposit removal device according to this modification. As shown in FIG. 8, in this modification, the ultrasonic vibrator 21 is also attached to the nozzle holding unit 30. The liquid medium is sucked through the nozzle holes 50a of the nozzle body 50 while the nozzle body 50 is vibrated by the ultrasonic vibrators 21 attached to the storage tank 20 and the nozzle holding unit 30, respectively. ing.

このような構成とすれば、ノズル本体５０を伝搬する振動と、ノズル孔５０ａ内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動をさらに大きくして、ノズル孔５０ａの内周面に付着した付着物を剥離させて除去することができる。   With such a configuration, the amplitude fluctuation due to the difference in propagation speed between the vibration propagating through the nozzle body 50 and the vibration propagating through the liquid medium in the nozzle hole 50a is further increased, and the inner peripheral surface of the nozzle hole 50a is increased. The attached deposit can be removed by peeling.

なお、本変形例では、貯留槽２０とノズル保持部３０とにそれぞれ超音波振動子２１を取り付けた構成について説明したが、例えば、ノズル保持部３０にのみ超音波振動子２１を取り付け、貯留槽２０に超音波振動子２１を取り付けない構成としてもよい。   In addition, in this modification, although the structure which attached the ultrasonic transducer | vibrator 21 to the storage tank 20 and the nozzle holding part 30, respectively was demonstrated, for example, the ultrasonic vibrator 21 was attached only to the nozzle holding part 30, and a storage tank 20 may be configured such that the ultrasonic transducer 21 is not attached.

以上説明したように、本発明は、ノズル本体のノズル孔の内周面に付着した付着物を確実に除去できるという実用性の高い効果が得られることから、きわめて有用で産業上の利用可能性は高い。   As described above, the present invention is extremely useful and industrially applicable because it has a highly practical effect of reliably removing deposits adhering to the inner peripheral surface of the nozzle hole of the nozzle body. Is expensive.

１０ 付着物除去装置
２０ 貯留槽
２１ 超音波振動子
３０ ノズル保持部
３５ 嵌合チューブ（嵌合部材）
４０ 吸引部
５０ ノズル本体
５０ａ ノズル孔
５０ｂ 凹部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Adhering substance removal apparatus 20 Reservoir 21 Ultrasonic vibrator 30 Nozzle holding part 35 Fitting tube (fitting member)
40 Suction part 50 Nozzle body 50a Nozzle hole 50b Recess

Claims (7)

ノズル本体の軸方向に貫通するノズル孔の内周面に付着した付着物を除去するための付着物除去装置であって、
振動伝達媒体としての液媒体を貯留する貯留槽と、
前記ノズル本体の先端部を前記液媒体に浸漬させ、且つ該ノズル本体の先端部が前記貯留槽の底面と所定の間隙を存して対向するように該ノズル本体を保持するノズル保持部と、
前記貯留槽に取り付けられ、前記液媒体を介して前記ノズル本体に振動を与える超音波振動子と、
前記超音波振動子によって前記ノズル本体を振動させている間に、該ノズル本体のノズル孔を介して前記液媒体を吸引することで、該ノズル本体を伝搬する振動と、該ノズル孔内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動によって、該ノズル孔の内周面に付着した付着物を剥離させて除去する吸引部とを備えたことを特徴とする付着物除去装置。 A deposit removing device for removing deposits attached to the inner peripheral surface of the nozzle hole penetrating in the axial direction of the nozzle body,
A storage tank for storing a liquid medium as a vibration transmission medium;
A nozzle holding portion for holding the nozzle body so that the tip of the nozzle body is immersed in the liquid medium, and the tip of the nozzle body is opposed to the bottom surface of the storage tank with a predetermined gap;
An ultrasonic vibrator attached to the storage tank and vibrating the nozzle body via the liquid medium;
While the nozzle body is vibrated by the ultrasonic vibrator, the liquid medium is sucked through the nozzle hole of the nozzle body, so that the vibration propagated through the nozzle body and the liquid in the nozzle hole An adhering matter removing apparatus comprising: a suction unit that peels and removes adhering matter adhering to the inner peripheral surface of the nozzle hole by an amplitude fluctuation due to a propagation speed difference from vibration propagating through a medium . ノズル本体の軸方向に貫通するノズル孔の内周面に付着した付着物を除去するための付着物除去装置であって、
振動伝達媒体としての液媒体を貯留する貯留槽と、
前記ノズル本体の先端部を前記液媒体に浸漬させ、且つ該ノズル本体の先端部が前記貯留槽の底面と所定の間隙を存して対向するように該ノズル本体を保持するノズル保持部と、
前記ノズル保持部に取り付けられ、前記ノズル本体に振動を与える超音波振動子と、
前記超音波振動子によって前記ノズル本体を振動させている間に、該ノズル本体のノズル孔を介して前記液媒体を吸引することで、該ノズル本体を伝搬する振動と、該ノズル孔内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動によって、該ノズル孔の内周面に付着した付着物を剥離させて除去する吸引部とを備えたことを特徴とする付着物除去装置。 A deposit removing device for removing deposits attached to the inner peripheral surface of the nozzle hole penetrating in the axial direction of the nozzle body,
A storage tank for storing a liquid medium as a vibration transmission medium;
A nozzle holding portion for holding the nozzle body so that the tip of the nozzle body is immersed in the liquid medium, and the tip of the nozzle body is opposed to the bottom surface of the storage tank with a predetermined gap;
An ultrasonic vibrator that is attached to the nozzle holding unit and that vibrates the nozzle body;
While the nozzle body is vibrated by the ultrasonic vibrator, the liquid medium is sucked through the nozzle hole of the nozzle body, so that the vibration propagated through the nozzle body and the liquid in the nozzle hole An adhering matter removing apparatus comprising: a suction unit that peels and removes adhering matter adhering to the inner peripheral surface of the nozzle hole by an amplitude fluctuation due to a propagation speed difference from vibration propagating through a medium . 請求項１において、
前記超音波振動子は、前記ノズル保持部にも取り付けられ、前記ノズル本体に振動を与えるように構成されていることを特徴とする付着物除去装置。 In claim 1,
The ultrasonic wave vibrator is attached to the nozzle holding part and configured to apply vibration to the nozzle body. 請求項１において、
前記貯留槽の底面から前記ノズル本体の先端までの距離は、前記超音波振動子の振動周波数の１／４波長以下に設定されていることを特徴とする付着物除去装置。 In claim 1,
The distance from the bottom surface of the storage tank to the tip of the nozzle body is set to ¼ wavelength or less of the vibration frequency of the ultrasonic transducer. 請求項１乃至４のうち何れか１つにおいて、
前記吸引部は、前記ノズル本体のノズル孔を介して前記液媒体を吸引する吸引動作と、吸引動作を停止する停止動作とを、所定の周期で切り換えるように構成されていることを特徴とする付着物除去装置。 In any one of claims 1 to 4,
The suction unit is configured to switch between a suction operation of sucking the liquid medium through a nozzle hole of the nozzle body and a stop operation of stopping the suction operation at a predetermined cycle. Deposit removal device. 請求項１乃至５のうち何れか１つにおいて、
前記ノズル本体の基端部には、前記ノズル孔よりも大径の凹部が形成され、
前記ノズル保持部には、前記ノズル本体を保持する際に前記凹部に嵌合される筒状の嵌合部材が設けられていることを特徴とする付着物除去装置。 In any one of claims 1 to 5,
A recess having a larger diameter than the nozzle hole is formed at the base end of the nozzle body,
The deposit removing device, wherein the nozzle holding portion is provided with a cylindrical fitting member that is fitted into the recess when holding the nozzle body. 請求項１乃至６のうち何れか１つにおいて、
前記吸引部は、付着物の除去が完了した前記ノズル本体のノズル孔内に残存する前記液媒体を吸引除去して該ノズル孔を乾燥させる乾燥動作を行うように構成されていることを特徴とする付着物除去装置。 In any one of claims 1 to 6,
The suction unit is configured to perform a drying operation of sucking and removing the liquid medium remaining in the nozzle hole of the nozzle body after removal of deposits and drying the nozzle hole. A deposit removal device.

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