JP5659707B2 - 固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器 - Google Patents
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Description
本発明は、上記固体撮像装置を備えたカメラなどの電子機器を提供するものである。
1.第1実施の形態(固体撮像装置の構成例とその製造方法例)
2.第2実施の形態(固体撮像装置の構成例とその製造方法例)
3.第3実施の形態(固体撮像装置の構成例とその製造方法例)
4.第4実施の形態(電子機器の構成例)
[固体撮像装置の構成例]
図1に、本発明に係る固体撮像装置の第1実施の形態を示す。本実施の形態は、CCD固体撮像装置に適用した場合である。図1は、受光部となる光電変換部(フォトダイオード)と、垂直転送レジスタを含む要部の概略断面構造を示す。第1実施の形態の固体撮像装置1は、例えばシリコンの半導体基板2に、複数の受光部となるフォトダイオードPDが2次元的に配列され、各受光部列に対応してフォトダイオードPDの信号電荷を読み出すCCD構造の垂直転送レジスタ3が形成されて成る。
図2〜図4に、第1実施の形態に係る固体撮像装置1の製造方法を示す。先ず、図2Aに示すように、半導体基板2に第1半導体ウェル領域6を形成し、第1半導体ウェル領域6にフォトダイオードPD、埋め込みチャネル領域7,第2半導体ウェル領域8、チャネルストップ領域9等を形成する。フォトダイオードPDは、第2導電型のn型の半導体領域11とその表面側の第1導電型のp型半導体12を有して形成する。次いで、半導体基板2の表面全面にゲート絶縁膜13を形成し、このゲート絶縁膜13上に垂直転送レジスタを構成する転送電極14を形成する。転送電極14は、例えばポリシリコン膜で形成することができる。
[固体撮像装置の構成例]
図5に、本発明に係る固体撮像装置の第2実施の形態を示す。本実施の形態は、CCD固体撮像装置に適用した場合である。図5は、受光部となる光電変換部(フォトダイオード)と、垂直転送レジスタを含む部分の断面構造を示す。第2実施の形態の固体撮像装置33は、前述と同様にフォトダイオードPD上及び転送電極14上を含む全面に第1シリコン酸化膜23及び第1シリコン窒化膜24の2層膜が形成される。さらに、フォトダイオードPDの主要領域の第1シリコン窒化膜24上に第2シリコン酸化膜25及び第2シリコン窒化膜26が形成される。
第2実施の形態の固体撮像装置33の製造方法は、第1実施の形態における図2A〜図3Fの工程を有し、図3Fの工程の後に、第3シリコン酸化膜27を全面に形成する工程を有する。それ以後は、図4G及び図4Hで示す遮光膜17の形成、平坦化膜18、カラーフィルタ19及びオンチップレンズ21を形成して、固体撮像装置33を得る。
[固体撮像装置の構成例]
図6に、本発明に係る固体撮像装置の第3実施の形態を示す。本実施の形態は、グローバルシャッタ機能を有するCMOS固体撮像装置に適用した場合である。図6は、光電変換部(フォトダイオード)と転送トランジスタ及び電荷保持部を含む部分の断面構造を示す。
本実施の形態の固体撮像装置37の製造方法、特にフォトダイオードPD上4層膜による反射防止膜16、及び遮光膜17下の第1シリコン酸化膜23及び第1シリコン窒化膜24による2層膜は、前述の図2C〜図4Gの工程を利用して形成することができる。
CMOS固体撮像装置においても、前述したように、図5の5層膜による反射防止膜、を適用することができる。
[電子機器の構成例]
上述の本発明に係る固体撮像装置は、例えばデジタルカメラやビデオカメラ等のカメラシステムや、撮像機能を有する携帯電話、あるいは撮像機能を備えた他の機器、などの電子機器に適用することができる。
Claims (11)
- 半導体基板に形成された光電変換部と、
前記光電変換部の信号電荷を読み出す読み出し手段と、
前記読み出し手段を構成するゲート絶縁膜及びその上の電極と、
前記電極を覆う遮光膜と、
前記光電変換部上に形成された4層以上の膜による反射防止膜と
を有し、
前記4層以上の膜は、前記ゲート絶縁膜および前記電極を覆って当該半導体基板上の全面に設けられた下層側の膜と、前記光電変換部の周端上を除く当該光電変換部の主要部において当該下層側の膜の上部に設けられた上層側の膜とで構成され、
前記下層側の膜は、前記上層側の膜のパターニングの際のストッパー膜を兼ねており、
前記遮光膜は、前記下層側の膜の上部において前記電極上から前記光電変換部の周端上に至る範囲を覆って設けられ、
前記下層側の膜の膜厚は、前記ゲート絶縁膜の膜厚より小さい
固体撮像装置。 - 前記反射防止膜が4層膜で形成され、
前記下層側の膜は、前記反射防止膜のうちの下層の2層膜である
請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記反射防止膜がシリコン酸化膜とシリコン窒化膜を交互に積層して形成され、
前記反射防止膜のうちの前記半導体基板側から2層目の膜がストッパー膜を兼ねたシリコン窒化膜である
請求項1又は2記載の固体撮像装置。 - 前記読み出し手段が、垂直転送レジスタであり、
前記電極が、前記垂直転送レジスタの転送電極である
請求項1乃至3のいずれかに記載の固体撮像装置。 - 前記読み出し手段が、画素を構成する転送トランジスタ及び電荷保持部であり、
前記電極が、前記転送トランジスタの転送ゲート電極及び前記電荷保持部のゲート電極である
請求項1乃至3のいずれかに記載の固体撮像装置。 - 半導体基板に光電変換部及び該光電変換部の信号電荷を読み出す読み出し手段を形成する工程と、
光電変換部上を除いて選択的に前記読み出し手段を構成するゲート絶縁膜及びその上の電極を形成する工程と、
前記光電変換部上及び前記電極上を覆って反射防止膜となる4層以上の膜を成膜する工程と、
前記4層以上の膜のうちの前記ゲート絶縁膜よりも膜厚が薄い下層側の膜を上層側の膜のストッパー膜として、前記電極上から前記光電変換部の周端上に至るまで当該上層側の膜を選択的に除去する工程と、
その後、前記電極上から前記光電変換部の周端上に至るように、前記下層側の膜の上部に遮光膜を形成する工程を有し、
前記光電変換部上に4層以上の膜による反射防止膜を形成する
固体撮像装置の製造方法。 - 前記反射防止膜を4層膜で形成し、
前記反射防止膜のうちの下層の2層膜を前記下層側の膜とする
請求項6記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記反射防止膜をシリコン酸化膜とシリコン窒化膜を交互に積層して形成し、
前記反射防止膜のうち前記半導体基板側から2層目の膜を、ストッパー膜を兼ねたシリコン窒化膜で形成する
請求項6又は7記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記読み出し手段が、垂直転送レジスタであり、
前記電極が、垂直転送レジスタの転送電極である
請求項6乃至8のいずれかに記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記読み出し手段が、画素を構成する転送トランジスタ及び電荷保持部であり、
前記電極が、前記転送トランジスタの転送ゲート電極及び前記電荷保持部のゲート電極である
請求項6乃至8のいずれかに記載の固体撮像装置の製造方法。 - 固体撮像装置と、
前記固体撮像装置の光電変換部に入射光を導く光学系と、
前記固体撮像装置の出力信号を処理する信号処理回路とを備え、
前記固体撮像装置は、請求項1乃至5のいずれかに記載の固体撮像装置で構成される
電子機器。
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