JP5657948B2 - 真空処理装置及び基板移載方法 - Google Patents
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Description
前記プロセスチャンバに連結され、複数の基板を重力方向に対して基板面の法線が交差する垂直姿勢で収納する基板収納部が内部に設けられた基板移載チャンバと、
前記プロセスチャンバ及び前記基板移載チャンバの内部を貫通して設けられた基板搬送路と、
少なくとも2枚の基板を前記垂直姿勢で搭載した状態で、前記基板搬送路に沿って搬送される複数のキャリアと、
前記基板移載チャンバ内の前記基板搬送路の所定位置に設定された基板移載位置に停止した状態の前記キャリアに対して、前記基板収納部に収納された基板を移載する基板移載ロボットと、を備えた真空処理装置であって、
前記基板移載ロボットは、
駆動軸と、
該駆動軸に連結された第一アームと、
該第一アームに回動可能に連結された第二アームと、
該第二アームに回動可能に配設されたエンドエフェクターと、を備え、
前記エンドエフェクターは、少なくとも2枚の基板を一方向に向けて保持する保持部を2つ以上有してなる第一保持群と、少なくとも2枚の基板を逆方向に向けて保持する保持部を2つ以上有してなる第二保持群とを備え、
前記第一保持群および前記第二保持群はいずれも、基板に形成されたセンタ穴に差し込まれた状態で、前記垂直姿勢で基板を保持するものであり、
前記基板移載位置に停止した状態の前記キャリアに前記第一保持群の保持部が対向したときに、前記第二保持群の保持部は前記基板収納部に収容された基板のセンタ穴に向くように設けられていることを特徴とする。
予め基板が収納された前記基板収納部から、前記第一保持群の前記保持部に2枚ずつの基板を保持する第一ステップと、
前記基板移載位置に停止させた前記キャリアに、前記第一保持群の前記保持部に保持した基板が対向するように前記エンドエフェクターを回転する第二ステップと、
前記第一保持群の各前記保持部に保持した基板のうち1枚ずつを、前記基板移載位置に停止させた前記キャリアに移載する第三ステップと、
前記第二保持群の各前記保持部に前記基板収納部から2枚ずつの基板を保持する第四ステップと、
基板を移載した前記キャリアを、真空処理を行うプロセスチャンバに向けて搬送するとともに、基板を搭載していない第2のキャリアを前記基板移載位置に停止させる第五ステップと、
前記第2のキャリアに、前記第一保持群の前記保持部に保持した基板のうち残りの1枚ずつを移載させた後に、前記第一保持群の前記保持部が前記基板収納部に対向するように前記エンドエフェクターを回転する第六ステップと、を有することを特徴とする。
Claims (6)
- 真空処理が行われるプロセスチャンバと、
前記プロセスチャンバに連結され、複数の基板を重力方向に対して基板面の法線が交差する垂直姿勢で収納する基板収納部が内部に設けられた基板移載チャンバと、
前記プロセスチャンバ及び前記基板移載チャンバの内部を貫通して設けられた基板搬送路と、
少なくとも2枚の基板を前記垂直姿勢で搭載した状態で、前記基板搬送路に沿って搬送される複数のキャリアと、
前記基板移載チャンバ内の前記基板搬送路の所定位置に設定された基板移載位置に停止した状態の前記キャリアに対して、前記基板収納部に収納された基板を移載する基板移載ロボットと、を備えた真空処理装置であって、
前記基板移載ロボットは、
駆動軸と、
該駆動軸に連結された第一アームと、
該第一アームに回動可能に連結された第二アームと、
該第二アームに回動可能に配設されたエンドエフェクターと、を備え、
前記エンドエフェクターは、少なくとも2枚の基板を一方向に向けて保持する保持部を2つ以上有してなる第一保持群と、少なくとも2枚の基板を逆方向に向けて保持する保持部を2つ以上有してなる第二保持群とを備え、
前記第一保持群および前記第二保持群はいずれも、基板に形成されたセンタ穴に差し込まれた状態で、前記垂直姿勢で基板を保持するものであり、
前記基板移載位置に停止した状態の前記キャリアに前記第一保持群の保持部が対向したときに、前記第二保持群の保持部は前記基板収納部に収容された基板のセンタ穴に向くように設けられていることを特徴とする真空処理装置。 - 前記第一保持群および前記第二保持群はいずれも、2枚の基板を同時に保持可能な保持部を2つ有して構成されていることを特徴とする請求項1に記載の真空処理装置。
- 前記基板移載ロボットは、前記エンドエフェクターの重力方向の位置を下降位置と上昇位置の2段階で制御する上下動手段をさらに備え、
前記上下動手段は、前記第一保持群の各保持部に保持した基板のうち1枚ずつを、前記基板移載位置に停止させた前記キャリアに移載するよう前記エンドエフェクターの重力方向の位置を制御し、
前記上下動手段は、前記第二保持群の各保持部に前記基板収納部から2枚ずつの基板を保持するよう前記エンドエフェクターの重力方向の位置を制御する
ことを特徴とする請求項1又は2項に記載の真空処理装置。 - 請求項1に記載の真空処理装置を用いた基板移載方法であって、
予め基板が収納された前記基板収納部から、前記第一保持群の前記保持部に2枚ずつの基板を保持する第一ステップと、
前記基板移載位置に停止させた前記キャリアに、前記第一保持群の前記保持部に保持した基板が対向するように前記エンドエフェクターを回転する第二ステップと、
前記第一保持群の各前記保持部に保持した基板のうち1枚ずつを、前記基板移載位置に停止させた前記キャリアに移載する第三ステップと、
前記第二保持群の各前記保持部に前記基板収納部から2枚ずつの基板を保持する第四ステップと、
基板を移載した前記キャリアを、真空処理を行うプロセスチャンバに向けて搬送するとともに、基板を搭載していない第2のキャリアを前記基板移載位置に停止させる第五ステップと、
前記第2のキャリアに、前記第一保持群の前記保持部に保持した基板のうち残りの1枚ずつを移載させた後に、前記第一保持群の前記保持部が前記基板収納部に対向するように前記エンドエフェクターを回転する第六ステップと、
を有することを特徴とする基板移載方法。 - 前記第四ステップと前記第五ステップは、並行して行うことを特徴とする請求項4に記載の基板移載方法。
- 前記基板収納部が基板を奇数列に分けて収納するものであるとき、前記基板収納部から基板を保持する前記第一ステップ及び前記第四ステップを行う動作のうち、任意の1動作だけが奇数枚の基板を各前記保持部に保持するものであることを特徴とする請求項5に記載の基板移載方法。
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