JP5652651B2 - 静電潜像計測方法および静電潜像計測装置 - Google Patents
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Description
により求め、差分総和Sと測定範囲の幅Lとにより、測定範囲における光束の平均結像位置ずれ量D’を式D’=S/Lにより求め、平均結像位置ずれ量D’が所定の範囲内となるように、感光体の位置を調整することを最も主要な特徴とする。
θ01=λ・fa/Va
偏向角をΔθだけ変化させるためには、基本周波数faを音響波周波数変調Δfa分だけシフトさせると良い。この場合、Δθは以下の式で表される。
Δθ=λ・Δfa/Va
θ01=655×10−9×50×106/650=50.38(mrad)
となる。
Tres=D/Va
具体的には、Dが5mm、Vaが650m/sの場合、
Tres=5/650=7.7(μs)
となる。
D/Va<1/fv
とすれば良い。即ち、ポリゴンミラーの回転数(rpm)をRm、ポリゴンミラーの面数をNとすれば、ポリゴンスキャナの走査周波数fvは、
fv=Rm/60×N
と表すことができ、Vaは
Va>D×fv
でなければならない。具体的には、D=7mm、fv=6kHzの場合、
Va>42m/s
となる特性を有する音響光学偏向素子を用いる必要がある。
x=a1y2
f(y)=a 1 y 2
g(y)=(y−b)/a2
とすると、像面上所定範囲でのx座標の差分平均、即ち、結像位置ずれ量の測定範囲平均
D’は、以下の式で表される。
D’=S/L
また、Sは、y1<y3、y3<y4、y4<y2とすると、以下の数1式で表される。
x=−2.4y2
これより、f(y)=−2.4y2、g(y)=y−bと置き換えられる。また、y1とy2の関係は、以下の数2式で示される。
θ=0.063×ΔZ
θ=0.47×ΔVvco
この場合、ΔVvco=0.13である。
10 荷電粒子照射部
11 電子銃
12 引き出し電極(エキストラクタ)
13 加速電極
14 静電レンズ(コンデンサレンズ)
15 ビームブランキング電極(ビームブランカ)
16 仕切り板
17 可動絞り
18 非点補正(スティングメータ)
19 走査レンズ(偏向電極)
20 静電対物レンズ
21 ビーム射出開口部
22 露光光学系
23 感光体試料
24 検出器
25 LED
GND 試料設置部
Claims (2)
- 感光体の表面に形成される静電潜像を計測する静電潜像計測方法であって、
前記感光体の表面に荷電粒子ビームを照射し感光体を帯電させる帯電工程と、
音響光学偏向素子に向けて光束を照射する光束照射工程と、
前記音響光学偏向素子により前記光束を一方向に回折する回折工程と、
回折された前記光束を前記一方向に対し直交する方向に偏向して感光体表面を走査し露光する露光工程と、
前記回折工程と前記露光工程により2次元露光された前記感光体に向けて荷電粒子ビームを照射し、前記感光体から発生する2次電子を検出する検出工程と、
を備え、
前記感光体の表面上における測定範囲の下限、上限をそれぞれ(x1,y1)、(x2,y2)とし、
像面湾曲特性を表す式
f(y)=a1y2
と、試料像面を表す式
g(y)=(y−b)/a2(ただし、a1、a2、bは定数)
の交点を(x3,y3)、(x4,y4)とし、
前記y1、y2、y3、y4は、y1<y3、y3<y4、y4<y2の関係であり、
前記測定範囲のx座標の差分総和Sを式
により求め、
前記差分総和Sと前記測定範囲の幅Lとにより、前記測定範囲における前記光束の平均結像位置ずれ量D’を式
D’=S/L
により求め、
前記平均結像位置ずれ量D’が所定の範囲内となるように、前記感光体の位置を調整することを特徴とする静電潜像計測方法。 - 感光体の表面に形成される静電潜像を計測する静電潜像計測方法であって、
前記感光体の表面に荷電粒子ビームを照射し感光体を帯電させる帯電工程と、
音響光学偏向素子に向けて光束を照射する光束照射工程と、
前記音響光学偏向素子により前記光束を一方向に回折する回折工程と、
回折された前記光束を前記一方向に対し直交する方向に偏向して感光体表面を走査し露光する露光工程と、
前記回折工程と前記露光工程により2次元露光された前記感光体に向けて荷電粒子ビームを照射し、前記感光体から発生する2次電子を検出する検出工程と、
を備え、
前記感光体の表面上における測定範囲の下限、上限をそれぞれ(x1,y1)、(x2,y2)とし、
像面湾曲特性を表す式
f(y)=a1y2
と、試料像面を表す式
g(y)=(y−b)/a2(ただし、a1、a2、bは定数)
の交点を(x3,y3)、(x4,y4)とし、
前記y1、y2、y3、y4は、y1<y3、y3<y4、y4<y2の関係であり、
前記測定範囲のx座標の差分総和Sを式
により求め、
前記差分総和Sと前記測定範囲の幅Lとにより、前記測定範囲における前記光束の平均結像位置ずれ量D’を式
D’=S/Lにより求め、
前記平均結像位置ずれ量D’が所定の範囲内となるように、前記感光体に対する前記光束の入射角を変更することを特徴とする静電潜像測定方法。
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