JP5651398B2 - Processing head of fiber laser processing machine - Google Patents

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本発明は、ファイバレーザ加工機の加工ヘッドに関するものである。   The present invention relates to a processing head of a fiber laser processing machine.

従来のレーザ加工機では、レーザ光源として炭酸ガスレーザ発振器（発振波長１０．６μｍ）を使用し、発振器で発生させたレーザ光を伝送用ミラーで集光レンズまで伝送し、集光レンズで高エネルギ密度に集光したレーザ光を加工点に照射すると共に、同時に加工点にアシストガスを噴射して溶融物を除去しながら加工するのが一般的であった。   In a conventional laser processing machine, a carbon dioxide laser oscillator (oscillation wavelength 10.6 μm) is used as a laser light source, laser light generated by the oscillator is transmitted to a condensing lens by a transmission mirror, and a high energy density is obtained by the condensing lens. In general, the processing point is irradiated with the focused laser beam, and at the same time, an assist gas is injected to the processing point to remove the melt.

この炭酸ガスレーザ発振器を用いたレーザ加工機は、伝送するレーザ光の光軸径が大きいため、ミラーの使用に加えて、使用するレンズ径が大きくなり、その結果、加工ヘッドも大きなものとならざるを得なかった。従って、レーザ加工機の生産性を上げるために加工ヘッドの移動速度を高速化しようとすると、駆動に大きなエネルギーが必要であった。   Since the laser beam machine using the carbon dioxide laser oscillator has a large optical axis diameter of the laser beam to be transmitted, in addition to the use of a mirror, the lens diameter to be used becomes large, and as a result, the machining head does not have to be large. Did not get. Therefore, in order to increase the moving speed of the processing head in order to increase the productivity of the laser processing machine, a large amount of energy is required for driving.

一方、レーザ光源として、炭酸ガスレーザ発振器の代わりに、固体レーザ発振器の代表であるＹＡＧレーザ発振器（発振波長１μｍ帯）を用いたレーザ加工機も知られている。   On the other hand, a laser beam machine using a YAG laser oscillator (oscillation wavelength 1 μm band), which is a representative of a solid-state laser oscillator, instead of a carbon dioxide laser oscillator as a laser light source is also known.

また、最近では、ＹＡＧレーザ発振器よりも光品質に優れると共に発振効率も高いファイバレーザ発振器（発振波長１μｍ帯）をレーザ光源として用いたレーザ加工機が、産業用、特に板金加工用（切断または溶接等）に使用されてきている。この種のファイバレーザ加工機の例は、特許文献１などにおいて知られている。   Recently, a laser processing machine using a fiber laser oscillator (oscillation wavelength of 1 μm band), which has superior light quality and higher oscillation efficiency than a YAG laser oscillator, as a laser light source is used for industrial purposes, particularly for sheet metal processing (cutting or welding). Etc.). An example of this type of fiber laser processing machine is known in Patent Document 1 and the like.

この１μｍ帯のレーザ光を使用したファイバレーザ加工機は、レーザ光の光軸径が小さいため、光伝送に光ファイバを使用することができると共に、加工ヘッドの小型化が実現できる利点がある。   The fiber laser processing machine using the 1 μm band laser beam has an advantage that the optical axis diameter of the laser beam is small, so that an optical fiber can be used for optical transmission and the processing head can be downsized.

図１０は、ファイバレーザ発振器をレーザ光源としたレーザ加工機の一例を示している。   FIG. 10 shows an example of a laser processing machine using a fiber laser oscillator as a laser light source.

レーザ加工機に隣接して設置されたファイバレーザ発振器で形成されたレーザ光は、伝送用光ファイバ（プロセスファイバ）５０１を介して加工ヘッド５００のコリメータレンズ５１１に伝送される。加工ヘッド５００のヘッド本体５１０の上部には、伝送用光ファイバ５０１の端部を接続するファイバコネクタ５０２が設けられ、コリメータレンズ５１１の焦点に伝送用光ファイバ５０１の出射端が位置している。   Laser light formed by a fiber laser oscillator installed adjacent to the laser processing machine is transmitted to a collimator lens 511 of the processing head 500 via a transmission optical fiber (process fiber) 501. A fiber connector 502 for connecting the end of the transmission optical fiber 501 is provided on the upper portion of the head main body 510 of the processing head 500, and the output end of the transmission optical fiber 501 is located at the focal point of the collimator lens 511.

ヘッド本体５１０の内部には、レーザ光の入側（上側）から出側（下側）に向かって順に、伝送用光ファイバ５０１からの発散光をコリメート（平行光にする）するコリメータレンズ５１１、および、その平行光を１点に集光する集光レンズ５１２が配置されており、集光レンズ５１２の下側に、集光レンズ５１２で集光されたレーザ光を被加工材Ｗ（ワーク）に向けて出射するノズル５５０が設けられている。   Inside the head main body 510, a collimator lens 511 that collimates (makes parallel light) the divergent light from the transmission optical fiber 501 in order from the laser beam incident side (upper side) to the outgoing side (lower side). And the condensing lens 512 which condenses the parallel light to one point is arrange | positioned, The laser beam condensed with the condensing lens 512 under the condensing lens 512 is processed material W (workpiece | work). A nozzle 550 that emits light toward is provided.

また、ノズル５５０の内側には、アシストガス供給管５６１から導入されたアシストガスをノズル５５０の先端から噴射するアシストガス流路５６２が設けられている。また、集光レンズ５１２は光軸方向に移動可能に設けられており、焦点軸送り機構５２０により集光レンズ５１２の位置を制御することにより、ノズル５５０から出射するレーザ光の焦点の位置を変え、集光直径を変えることができるようになっている。例えば、図１１に示すように、集光レンズ５１２の位置を寸法Ｂだけ動かすことにより、焦点Ｐの位置も寸法Ｂだけ動かすことができる。   Further, an assist gas passage 562 for injecting the assist gas introduced from the assist gas supply pipe 561 from the tip of the nozzle 550 is provided inside the nozzle 550. The condensing lens 512 is provided so as to be movable in the optical axis direction. By controlling the position of the condensing lens 512 by the focal axis feeding mechanism 520, the focal position of the laser light emitted from the nozzle 550 is changed. The condensing diameter can be changed. For example, as shown in FIG. 11, by moving the position of the condenser lens 512 by the dimension B, the position of the focal point P can also be moved by the dimension B.

この種のレーザ加工機の加工ヘッド５００においては、伝送用光ファイバ５０１の出射端から広がるレーザ光をできるだけ短焦点のコリメートレンズ５１１で平行光に変換することにより、集光レンズ５１２に向かう平行ビーム径（光軸径）を小さくすることができ、平行ビーム径とレンズ径を小さくすることにより、全体としての熱容量を小さくできて、熱レンズ効果を小さくすることができる。また、小型のレンズを使用することにより、加工ヘッド５００の小型化が可能になり、加工ヘッド５００を高速で動かすためのエネルギー消費が小さく済むようになる等の利点が得られる。   In the processing head 500 of this type of laser processing machine, the laser beam spreading from the output end of the transmission optical fiber 501 is converted into parallel light by a collimating lens 511 having a short focal point as much as possible, whereby a parallel beam directed toward the condenser lens 512 is obtained. The diameter (optical axis diameter) can be reduced, and by reducing the parallel beam diameter and the lens diameter, the overall heat capacity can be reduced and the thermal lens effect can be reduced. Further, by using a small lens, it is possible to reduce the size of the processing head 500, and there are obtained advantages such that energy consumption for moving the processing head 500 at a high speed can be reduced.

特開２００９−２２６４７３号公報JP 2009-226473 A

ところが、レンズを小型化すると、今度はレンズの単位面積あたりのパワー密度が大幅に上がり、レンズの耐熱衝撃性や耐久性の点で問題が出てくる。また、レーザ加工機の加工ヘッドは、その加工原理が金属を溶融してアシストガスにて吹き飛ばすというものである関係上、金属粉やヒュームが飛び交う大変に耐コンタミ性の問われる光学環境である。つまり、高いパワー密度のレーザ光をコンタミ性の高い環境で制御しなればならないという課題がある。   However, when the lens is miniaturized, the power density per unit area of the lens is greatly increased, which causes problems in terms of thermal shock resistance and durability of the lens. In addition, the processing head of the laser processing machine is an optical environment in which metal powder and fumes are very frequently asked for contamination resistance because the processing principle is that the metal is melted and blown off with an assist gas. That is, there is a problem that high power density laser light must be controlled in a highly contaminated environment.

そのため、最悪の場合はレンズの焼損等の不具合を発生する可能性がある。特にファイバレーザ加工機は焦点距離が短いので、加工ヘッドと被加工材の距離が近く、加工によって生じるコンタミ（主にダスト）がノズル内に侵入しやすい。例えば、ピアッシング時（材料の切断スタート孔を開ける時）などに、吹き返し等によってノズルから侵入したダストが集光レンズに付着すると、高いパワー密度であるがゆえに、レンズの焼損等の問題を引き起こすおそれが大きい。   For this reason, in the worst case, there is a possibility that problems such as lens burning will occur. In particular, since the fiber laser processing machine has a short focal distance, the distance between the processing head and the workpiece is close, and contamination (mainly dust) generated by processing tends to enter the nozzle. For example, if dust that has entered from the nozzle by blowing back or the like adheres to the condenser lens during piercing (when opening a material cutting start hole), it may cause problems such as lens burning due to high power density. Is big.

本発明は、上記事情を考慮し、光制御部の光学要素をコンタミから保護することのできるファイバレーザ加工機の加工ヘッドを提供することを目的とする。   In consideration of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a processing head of a fiber laser processing machine that can protect optical elements of a light control unit from contamination.

上記課題を解決するために、請求項１の発明は、伝送用光ファイバから出射されたレーザ光を被加工材に対して集光照射するファイバレーザ加工機の加工ヘッドであって、ヘッド本体と、このヘッド本体内に収容され、前記伝送用光ファイバから出射されたレーザ光を集光制御する光制御部と、この光制御部で集光されたレーザ光を被加工材に向けて出射するノズルと、前記ヘッド本体内に設けられ、前記レーザ光と共に前記ノズルから噴射されるアシストガスが流通するアシストガス流路と、を備え、前記ヘッド本体内の前記アシストガス流路の途中の前記光制御部と前記ノズルとの間に、前記ノズルより前記ヘッド本体内に侵入したダストの前記光制御部への進行を前記アシストガスの流速を可変させることで阻止するトラップ機構が設けられていることを特徴としている。 In order to solve the above-mentioned problems, the invention of claim 1 is a processing head of a fiber laser processing machine for condensing and irradiating a workpiece with laser light emitted from a transmission optical fiber, and comprising: a head main body; A light control unit that is housed in the head main body and that condenses and controls the laser light emitted from the transmission optical fiber, and emits the laser light collected by the light control unit toward the workpiece. A nozzle, and an assist gas channel provided in the head main body and through which the assist gas ejected from the nozzle together with the laser beam flows, the light in the middle of the assist gas channel in the head main body between the control unit nozzle, proceed trap mechanism set to block by varying the flow rate of the assist gas to the optical control unit of the dust which has entered from the nozzle to the head body It is characterized by being.

請求項２の発明は、請求項１に記載のファイバレーザ加工機の加工ヘッドであって、前記トラップ機構は、前記アシストガス流路の途中に形成されてアシストガスの流速を局部的に速める絞り部を有することを特徴としている。   The invention according to claim 2 is the processing head of the fiber laser processing machine according to claim 1, wherein the trap mechanism is formed in the middle of the assist gas flow path to locally increase the flow velocity of the assist gas. It has the part.

請求項３の発明は、請求項１または２に記載のファイバレーザ加工機の加工ヘッドであって、前記トラップ機構は、前記アシストガスが滞留することで前記ダストを捕捉可能な滞留捕捉部を有することを特徴としている。   Invention of Claim 3 is a processing head of the fiber laser processing machine of Claim 1 or 2, Comprising: The said trap mechanism has a retention capture | acquisition part which can capture | acquire the said dust because the said assist gas retains. It is characterized by that.

請求項１の発明によれば、ヘッド本体内のアシストガス流路の途中にアシストガスの流速を可変させるトラップ機構を設けたので、ノズルよりヘッド本体内に侵入したダストの光制御部への進行を阻止することができる。従って、光制御部へのダストの付着を回避することができて、光制御部の部品の焼損を防止することができる。因みに、ファイバレーザ加工機の加工ヘッドは、小型で焦点距離が短く、被加工材との距離が近くなるため、ピアッシング（孔開け）時のアシストガスの吹き返し等により発生するダストが、ノズルからヘッド本体内に侵入して、ヘッド本体内で浮遊しやすいという問題があるが、そのダストの浮遊による悪影響を低減することができる。 According to the first aspect of the present invention, since the trap mechanism for changing the flow velocity of the assist gas is provided in the middle of the assist gas flow path in the head body, the dust that has entered the head body from the nozzle proceeds to the light control unit. Can be prevented. Accordingly, it is possible to avoid the dust from adhering to the light control unit and to prevent the light control unit from being burned out. By the way, the processing head of the fiber laser processing machine is small and has a short focal distance and close to the workpiece, so dust generated by blowing back assist gas during piercing (drilling) is generated from the nozzle to the head. There is a problem that it easily enters the body and floats in the head body, but the adverse effect of the dust floating can be reduced.

請求項２の発明によれば、絞り部によってアシストガスの流速が速められた部分が「高速流の壁（マッハ数の高い部分）」を作るので、その高速流の壁によってダストの光制御部（上部）への進行を阻止することができ、ヘッド本体内でのダストの浮遊を防ぐことができる。   According to the second aspect of the present invention, the portion where the flow velocity of the assist gas is increased by the throttle portion forms a “high-speed flow wall (a portion with a high Mach number)”. Progression to (upper) can be prevented, and dust floating in the head body can be prevented.

請求項３の発明によれば、アシストガス流路の途中にアシストガスの滞留する部分（流れの淀み点）を作ることにより、たとえダストが侵入して来ても、その部分でダストを捕捉することができ、それ以上の上部（光制御部）へのダストの侵入を有効に阻止することができる。   According to the invention of claim 3, by making a portion where the assist gas stays (stagnation point of the flow) in the middle of the assist gas flow path, even if dust enters, the dust is captured at that portion. It is possible to effectively prevent dust from entering the upper part (light control unit).

本発明の第１実施形態の加工ヘッドの全体構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the whole structure of the processing head of 1st Embodiment of this invention. 同加工ヘッドの主要部の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the principal part of the processing head. 同加工ヘッド内におけるアシストガスの流れを矢印で示す斜視断面図である。It is a perspective sectional view which shows the flow of the assist gas in the same processing head with an arrow. 同加工ヘッドに装備されている密封構造式レンズ鏡筒ユニットの斜視断面図である。It is a perspective sectional view of a sealed structure type lens barrel unit equipped in the processing head. 同レンズ鏡筒ユニットの外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the lens barrel unit. 前記加工ヘッド内におけるアシストガスの流れを示す拡大断面図である。It is an expanded sectional view showing the flow of assist gas in the processing head. 前記レンズ鏡筒ユニットのコリメートレンズの焦点位置を伝送用ファイバの出射端に位置させているときの集光レンズによる集光点の位置（ａ）と、前記レンズ鏡筒ユニットのコリメートレンズの焦点位置を伝送用ファイバの出射端に近づけるように動かしたときの集光レンズによる集光点の位置（ｂ）の変化を示す図である。The position (a) of the condensing point by the condensing lens when the focal position of the collimating lens of the lens barrel unit is located at the output end of the transmission fiber, and the focal position of the collimating lens of the lens barrel unit It is a figure which shows the change of the position (b) of the condensing point by a condensing lens when moving so that it may approach the output end of a transmission fiber. 本発明の第２実施形態の加工ヘッドの主要部の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the principal part of the processing head of 2nd Embodiment of this invention. 同加工ヘッド内におけるアシストガスの流れを矢印で示す拡大断面図である。It is an expanded sectional view which shows the flow of the assist gas in the same processing head with an arrow. 従来のファイバレーザ加工機の加工ヘッドの概略構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematic structure of the processing head of the conventional fiber laser processing machine. 同加工ヘッドにおいて、集光レンズを光軸方向に動かしたときの集光点の位置の変化を示す図である。It is a figure which shows the change of the position of a condensing point when a condensing lens is moved to an optical axis direction in the same processing head.

以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は第１実施形態の加工ヘッドの全体構成を示す断面図、図２は同加工ヘッドの主要部の構成を示す断面図、図３は同加工ヘッド内におけるアシストガスの流れを矢印で示す斜視断面図、図４は同加工ヘッドに装備されている密封構造式レンズ鏡筒ユニットの斜視断面図、図５は同レンズ鏡筒ユニットの外観斜視図、図６は前記加工ヘッド内におけるアシストガスの流れを示す拡大断面図である。   1 is a cross-sectional view showing the overall configuration of the machining head of the first embodiment, FIG. 2 is a cross-sectional view showing the configuration of the main part of the machining head, and FIG. 3 shows the flow of assist gas in the machining head with arrows. 4 is a perspective sectional view of a sealed structure type lens barrel unit equipped in the processing head, FIG. 5 is an external perspective view of the lens barrel unit, and FIG. 6 is an assist gas in the processing head. It is an expanded sectional view which shows the flow.

この実施形態の加工ヘッド１０は、小型化を図りながらレーザ加工機全体の省エネ化を図ることのできる波長１μｍ帯のファイバレーザ加工機の加工ヘッドであって、特にレンズの耐コンタミ性を高めたものである。   The processing head 10 of this embodiment is a processing head of a fiber laser processing machine with a wavelength of 1 μm that can achieve energy saving of the entire laser processing machine while reducing the size, and in particular, has improved the contamination resistance of the lens. Is.

図１〜図３に示すように、この加工ヘッド１０は、伝送用光ファイバ１から出射されたレーザ光を被加工材に対して集光照射して加工を進めるもので、ヘッド本体１１と、ヘッド本体１１の中央貫通孔１２内に収容され、伝送用光ファイバ１から出射されたレーザ光を集光制御する光制御部としての密封構造式レンズ鏡筒ユニット（以下、簡略化して「レンズ鏡筒ユニット」と言う）２０と、このレンズ鏡筒ユニット２０で集光されたレーザ光を被加工材に向けて出射するノズル５０と、ヘッド本体１１内に設けられ、レーザ光と共にノズル５０から噴射されるアシストガスが流通するアシストガス流路３０と、を備えている。なお、伝送用光ファイバ１は、ファイバコネクタ２を介してヘッド本体１１の中央貫通孔１２の上部に接続されている。   As shown in FIG. 1 to FIG. 3, the processing head 10 condenses and irradiates the workpiece with laser light emitted from the transmission optical fiber 1, and proceeds with processing. A sealed structure type lens barrel unit (hereinafter simply referred to as “lens mirror”) that is housed in the central through-hole 12 of the head main body 11 and serves as a light control unit that condenses and controls the laser light emitted from the transmission optical fiber 1. A cylinder unit) 20, a nozzle 50 that emits the laser light collected by the lens barrel unit 20 toward the workpiece, and a nozzle 50 that is provided in the head body 11 and is ejected from the nozzle 50 together with the laser light. An assist gas flow path 30 through which the assist gas to be circulated is provided. The transmission optical fiber 1 is connected to the upper portion of the central through hole 12 of the head body 11 via the fiber connector 2.

レンズ鏡筒ユニット２０は、図２、図４および図５に示すように、略円筒形状の鏡筒ハウジング２１と、この鏡筒ハウジング２１の貫通孔２２の光軸方向の両端に嵌め込まれた透明ガラス製の上部保護ウインドウ２５および下部保護ウインドウ２６と、上部保護ウインドウ２５および下部保護ウインドウ２６によって密閉された鏡筒ハウジング２１内の空間の上下両端に配置された光学要素としてのコリメートレンズ２３および集光レンズ２４と、を有するものである。   As shown in FIGS. 2, 4 and 5, the lens barrel unit 20 includes a substantially cylindrical barrel housing 21 and a transparent fitted into both ends of the through hole 22 of the barrel housing 21 in the optical axis direction. An upper protective window 25 and a lower protective window 26 made of glass, a collimating lens 23 as an optical element disposed at the upper and lower ends of the space in the lens barrel housing 21 sealed by the upper protective window 25 and the lower protective window 26, and a collection And an optical lens 24.

上部保護ウインドウ２５および下部保護ウインドウ２６は、コリメートレンズ２３および集光レンズ２４を鏡筒ハウジング２１の貫通孔２２の上部と下部に嵌め込んだ上で、スペーサ２７、２８を介して同貫通孔２２内に嵌め込まれており、コリメートレンズ２３および集光レンズ２４が収容された空間は、スペーサ２７、２８に装着したＯリング２９によって完全密封され、外部からのコンタミ（主にダスト）の進入が阻止されている。また、保護ウインドウ２５、２６は、鏡筒ハウジング２１の両端に嵌合された固定リング３８によって、スペーサ２７、２８に押し付けられている。   The upper protective window 25 and the lower protective window 26 are formed by fitting the collimating lens 23 and the condenser lens 24 into the upper and lower portions of the through hole 22 of the lens barrel housing 21, and then inserting the through hole 22 through the spacers 27 and 28. The space in which the collimating lens 23 and the condensing lens 24 are accommodated is completely sealed by an O-ring 29 attached to the spacers 27 and 28 to prevent entry of contamination (mainly dust) from the outside. Has been. The protective windows 25 and 26 are pressed against the spacers 27 and 28 by fixing rings 38 fitted to both ends of the lens barrel housing 21.

また、このレンズ鏡筒ユニット２０のハウジング２１の外周またはハウジング２１の周壁内部にはアシストガス流路３０の一部が形成されている。即ち、ハウジング２１には、アシストガス流路３０の一部を構成する空間３１、３５や孔３２、３４、あるいは、外周の縦溝３３ａや凹部３３ｂ（外周流路）などが設けられており、これらの要素は、図１および図２に示すように、ヘッド本体１１の上部のガス流通空間１４を介してアシストガス供給管１５に連通している。そして、アシストガス供給管１５から導入されたアシストガスが、レンズ鏡筒ユニット２０のハウジング２１の主に外周部を通り、ノズル５０のノズル孔５１から加工点に向けて噴射されるようになっている。このため、アシストガスは、ハウジング２１を冷却する作用を果たす。   Further, a part of the assist gas flow path 30 is formed in the outer periphery of the housing 21 of the lens barrel unit 20 or in the peripheral wall of the housing 21. That is, the housing 21 is provided with spaces 31 and 35 and holes 32 and 34 constituting a part of the assist gas flow path 30, or an outer peripheral vertical groove 33a and a recess 33b (outer peripheral flow path). As shown in FIGS. 1 and 2, these elements communicate with an assist gas supply pipe 15 through a gas circulation space 14 in the upper part of the head body 11. The assist gas introduced from the assist gas supply pipe 15 passes through the outer periphery of the housing 21 of the lens barrel unit 20 and is injected from the nozzle hole 51 of the nozzle 50 toward the processing point. Yes. For this reason, the assist gas serves to cool the housing 21.

レンズ鏡筒ユニット２０は、上下方向に光軸を向けて取り付けられており、そのレンズ鏡筒ユニット２０の下部保護ウインドウ２６とノズル５０との間のアシストガス流路３０の途中には、ノズル孔５１よりヘッド本体１１内に侵入したダストのレンズ鏡筒ユニット２０への進行、特に下部保護ウインドウ２６への進行をアシストガスの流速を局部的に速めたり、滞留させて可変させることで阻止するトラップ機構４５が設けられている。 The lens barrel unit 20 is attached with the optical axis directed in the vertical direction, and a nozzle hole is provided in the middle of the assist gas flow path 30 between the lower protective window 26 of the lens barrel unit 20 and the nozzle 50. 51. A trap that prevents the dust that has entered the head body 11 from 51 from traveling to the lens barrel unit 20, and particularly to the lower protective window 26, by increasing the flow velocity of the assist gas locally or by making it stay and vary. A mechanism 45 is provided.

このトラップ機構４５は、光軸について回転対称形状に形成されたトラップ部材４７を、ヘッド本体１１の貫通孔１２の下端に嵌合させた口金４０に装着することにより構成されており、図６に拡大して示すように、アシストガスの流速を局部的に速める絞り部４５ｂ、４５ｅと、アシストガスが滞留することでダストを捕捉可能な滞留捕捉部４５ｆとを有している。なお、口金４０は、第１〜第３の口金４１〜４３を外周側から順番に嵌合させることで構成されており、最内周側の口金４３の下端にノズル５０が装着され、中間の口金４２にトラップ部材４７が装着されている。   The trap mechanism 45 is configured by mounting a trap member 47 formed in a rotationally symmetric shape with respect to the optical axis on a base 40 fitted to the lower end of the through hole 12 of the head body 11, as shown in FIG. As shown in an enlarged manner, there are throttle portions 45b and 45e that locally increase the flow velocity of the assist gas, and a retention capturing portion 45f that can capture dust when the assist gas is retained. The base 40 is configured by fitting the first to third bases 41 to 43 in order from the outer peripheral side, and the nozzle 50 is attached to the lower end of the innermost peripheral base 43, A trap member 47 is attached to the base 42.

トラップ機構４５を構成するトラップ部材４７は、中央円筒部４５ａと、その上端の外鍔状に形成されたフランジ部４５ｃとを有し、中央円筒部４５ａには、ノズル５０に向かって径小となるテーパ貫通孔が形成され、そのテーパ貫通孔の最下端が１つの絞り部４５ａとなっている。また、テーパ貫通孔の内周には複数段の環状凹部が形成され、これら環状凹部により滞留捕捉部４５ｆが構成されている。また、フランジ部４５ｃには、光軸方向に貫通する多数の小孔４５ｄが円周方向に沿って配列されており、これら小孔４５ｄを流通するアシストガスが、中央円筒部４５ａの外周と口金４０（４３）の内周との間に確保された絞り部４５ｅを通ることにより、その通過部分で流速が大幅にアップするように構成されている。   The trap member 47 constituting the trap mechanism 45 has a central cylindrical portion 45a and a flange portion 45c formed in the shape of an outer casing at the upper end thereof. The central cylindrical portion 45a has a small diameter toward the nozzle 50. A tapered through-hole is formed, and the lowermost end of the tapered through-hole forms one throttle portion 45a. In addition, a plurality of stages of annular recesses are formed on the inner periphery of the tapered through hole, and the stay capturing part 45f is configured by these annular recesses. The flange portion 45c has a large number of small holes 45d penetrating in the optical axis direction along the circumferential direction. The assist gas flowing through the small holes 45d is connected to the outer periphery and the base of the central cylindrical portion 45a. By passing the throttle part 45e secured between the inner circumference of 40 (43), the flow velocity is greatly increased at the passage part.

また、この加工ヘッド１０においては、レンズ鏡筒ユニット２０のハウジング２１が光軸方向（図２中矢印Ｙ方向）に移動可能に設けられており、ハウジング２１の位置をアクチュエータ８０によって制御することにより、ノズル５０から出射されるレーザ光の焦点位置を調整することができるようになっている。この場合、レンズ鏡筒ユニット２０全体を動かすので、コリメートレンズ２３と集光レンズ２４の両方を一緒に移動させることになる。   Further, in the machining head 10, the housing 21 of the lens barrel unit 20 is provided so as to be movable in the optical axis direction (the arrow Y direction in FIG. 2), and the position of the housing 21 is controlled by the actuator 80. The focal position of the laser beam emitted from the nozzle 50 can be adjusted. In this case, since the entire lens barrel unit 20 is moved, both the collimating lens 23 and the condenser lens 24 are moved together.

その移動のために、アクチュエータ８０とレンズ鏡筒ユニット２０のハウジング２１との間には、アクチュエータ８０により回転させられるネジ軸８１と、ネジ軸８１の回転により上下方向（光軸方向）に移動するナット部材８２と、ナット部材８２の動きをハウジング２１に突設したブラケット８６に伝達する連結竿８５と、が設けられている。   For this movement, between the actuator 80 and the housing 21 of the lens barrel unit 20, the screw shaft 81 rotated by the actuator 80, and the screw shaft 81 moves in the vertical direction (optical axis direction). A nut member 82 and a connecting rod 85 that transmits the movement of the nut member 82 to a bracket 86 protruding from the housing 21 are provided.

また、ヘッド本体１１には、連結竿８５のスライドするＯリング８９付きのスライド孔１８と、ブラケット８６が移動する空間１６とが確保されている。   The head body 11 has a slide hole 18 with an O-ring 89 through which the connecting rod 85 slides, and a space 16 in which the bracket 86 moves.

初期の状態においては、図１に示すように、伝送用光ファイバ１の出射端がコリメートレンズ２３の焦点距離ｆ１の位置にあり、ノズル５０の先端の加工点が集光レンズ２４の焦点距離ｆ２の位置にある。また、コリメートレンズ２３から集光レンズ２４までの間が平行光が伝送される区間Ｈとなる。   In the initial state, as shown in FIG. 1, the output end of the transmission optical fiber 1 is at the focal length f1 of the collimating lens 23, and the processing point at the tip of the nozzle 50 is the focal length f2 of the condenser lens 24. In the position. Further, the section H from the collimating lens 23 to the condenser lens 24 is a section H in which parallel light is transmitted.

図７に示すように、コリメートレンズ２３が集光レンズ２４と共に移動するため、（ａ）の初期位置から（ｂ）のようにレンズ鏡筒ユニット２０を伝送用光ファイバ１の出射端に近づけると、平行光であったものが広がることになり、集光レンズ２４の集光位置が焦点ｆ２の位置より遠くになる。反対にレンズ鏡筒ユニット２０を伝送用光ファイバ１の出射端から遠ざけると、集光位置が焦点ｆ２の位置より近くになる。   As shown in FIG. 7, since the collimating lens 23 moves together with the condenser lens 24, when the lens barrel unit 20 is brought closer to the emission end of the transmission optical fiber 1 as shown in (b) from the initial position of (a). Then, the light that has been parallel light spreads, and the condensing position of the condensing lens 24 becomes farther than the position of the focal point f2. Conversely, when the lens barrel unit 20 is moved away from the exit end of the transmission optical fiber 1, the condensing position becomes closer to the position of the focal point f2.

次に作用を説明する。   Next, the operation will be described.

この加工ヘッド１０の場合、光学要素であるレンズ２３、２４を、保護ウインドウ２５、２６によって密閉されたハウジング２１内の空間に配置していることにより、コンタミ（主にダスト）からレンズ２３、２４を保護することができる。従って、高いパワー密度に伴うコンタミ付着によるレンズ２３、２４の焼損のおそれを解消することができる。   In the case of this processing head 10, the lenses 23 and 24, which are optical elements, are arranged in a space in the housing 21 sealed by the protective windows 25 and 26, so that the lenses 23 and 24 from contamination (mainly dust). Can be protected. Accordingly, it is possible to eliminate the risk of burning of the lenses 23 and 24 due to the contamination adhering to the high power density.

また、ハウジング２１ごとレンズ鏡筒ユニット２０を動かすことにより、コンタミからレンズ２３、２４を保護するための高い密閉性能を維持しながら、ノズル５０から出射されるレーザ光の焦点位置を調整することができる。   Further, by moving the lens barrel unit 20 together with the housing 21, the focal position of the laser beam emitted from the nozzle 50 can be adjusted while maintaining high sealing performance for protecting the lenses 23 and 24 from contamination. it can.

また、レンズ鏡筒ユニット２０のハウジング２１をアシストガスで冷却することができるので、レンズ２３、２４からハウジング２１に伝達された熱を冷却して、熱レンズ効果を抑えることができる。   Further, since the housing 21 of the lens barrel unit 20 can be cooled with the assist gas, the heat transmitted from the lenses 23 and 24 to the housing 21 can be cooled to suppress the thermal lens effect.

また、ヘッド本体１１内のアシストガス流路３０の途中にアシストガスの流速を局部的に速めたり、滞留させて可変させるトラップ機構４５を設けているので、ノズル５０よりヘッド本体１１内に侵入したダストのレンズ鏡筒ユニット２０への進行を阻止することができる。従って、レンズ鏡筒ユニット２０の特に集光レンズ２４へのダストの付着を回避することができて、レンズ２３、２４の焼損を防止することができる。因みに、ファイバレーザ加工機の加工ヘッドは、小型で焦点距離が短く、被加工材との距離が近くなるため、ピアッシング（孔開け）時のアシストガスの吹き返し等により発生するダストが、ノズル５０からヘッド本体１１内に侵入して、ヘッド本体１１内で浮遊しやすいという問題があるが、そのダストの浮遊による悪影響を防ぐことができる。 Further, since a trap mechanism 45 is provided in the middle of the assist gas flow path 30 in the head main body 11 so as to locally increase the speed of the assist gas or allow it to stay and change the trap gas . It is possible to prevent the dust from progressing to the lens barrel unit 20. Accordingly, it is possible to avoid dust from adhering to the lens barrel unit 20, particularly to the condenser lens 24, and to prevent the lenses 23 and 24 from being burned out. Incidentally, the processing head of the fiber laser processing machine is small, has a short focal distance, and is close to the workpiece, so that dust generated by blowing back assist gas during piercing (drilling) is generated from the nozzle 50. Although there is a problem that it easily enters the head main body 11 and floats in the head main body 11, adverse effects due to the dust floating can be prevented.

また、絞り部４５ｂ、４５ｅによって、アシストガスの流れ（図６中矢印Ｆ）の速度が速められた部分が「高速流の壁（マッハ数の高い部分）」を作るので、その高速流の壁によってダストのレンズ鏡筒ユニット２０への進行を阻止することができ、ヘッド本体１１内でのダストの浮遊を防ぐことができる。なお、中心にはレンズ２４により集光されたレーザが通過するが、ガスの流れに影響は与えない。   Further, the portion where the speed of the assist gas flow (arrow F in FIG. 6) is increased by the throttle portions 45b and 45e creates a “high-speed flow wall (a portion with a high Mach number)”. Therefore, it is possible to prevent the dust from traveling to the lens barrel unit 20 and to prevent the dust from floating in the head body 11. Although the laser beam focused by the lens 24 passes through the center, it does not affect the gas flow.

また、アシストガス流路３０の途中にアシストガスの滞留する部分（流れの淀み点である滞留捕捉部４５ｆ）を作ることにより、たとえダストが侵入して来ても、その部分でダストを確実に捕捉することができ、それ以上の上部（レンズ鏡筒ユニット２０）へのダストの侵入を有効に阻止することができる。なお、ポケット形状の滞留捕捉部４５ｆにより捕捉したダストは、加工の合間のガス空吹きなどにより外部へ放出させることができる。   In addition, by making a portion where the assist gas stays in the middle of the assist gas flow path 30 (a stay trapping portion 45f that is a stagnation point of the flow), even if dust enters, the dust can be surely kept in that portion. It can be captured and dust can be effectively prevented from entering the upper part (lens barrel unit 20). The dust trapped by the pocket-shaped stay trapping portion 45f can be discharged to the outside by gas blown during processing.

図８は本発明の第２実施形態の加工ヘッドの主要部の構成を示す断面図、図９は同加工ヘッド内におけるアシストガスの流れを矢印で示す拡大断面図である。   FIG. 8 is a sectional view showing the configuration of the main part of the machining head according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 9 is an enlarged sectional view showing the flow of assist gas in the machining head with arrows.

上記第１実施形態の加工ヘッド１０では、レンズ鏡筒ユニット２０内のコリメートレンズ２３と集光レンズ２４が別の光学部品として設けられている場合を示したが、この第２実施形態の加工ヘッド１１０では、レンズ鏡筒ユニット１２０内のコリメートレンズと集光レンズが一体の単一レンズ１２３として設けられている。   In the processing head 10 of the first embodiment, the case where the collimating lens 23 and the condenser lens 24 in the lens barrel unit 20 are provided as separate optical components has been described. However, the processing head of the second embodiment In 110, the collimating lens and the condenser lens in the lens barrel unit 120 are provided as a single lens 123.

レンズ鏡筒ユニット１２０のハウジング１２１の貫通孔１２２には単一レンズ１２３が嵌め込まれ、その単一レンズ１２３の上下両側に透明ガラス製の保護ウインドウ１２５、１２６が配置されている。そして、両保護ウインドウ１２５、１２６によって画成された密閉空間内に単一レンズ１２３が収容されている。単一レンズ１２３や保護ウインドウ１２５、１２６は、固定リング１３１、１３２やスペーサ１２４によって固定されており、保護ウインドウ１２５、１２６と貫通孔１２２の受面との間には、単一レンズ１２３の収容空間を密封するＯリング１２９が介装されている。その他の構成は、第１実施形態の加工ヘッドと同様である。   A single lens 123 is fitted into the through hole 122 of the housing 121 of the lens barrel unit 120, and protective windows 125 and 126 made of transparent glass are arranged on both upper and lower sides of the single lens 123. A single lens 123 is accommodated in a sealed space defined by both protective windows 125 and 126. The single lens 123 and the protective windows 125 and 126 are fixed by fixing rings 131 and 132 and a spacer 124, and the single lens 123 is accommodated between the protective windows 125 and 126 and the receiving surface of the through hole 122. An O-ring 129 that seals the space is interposed. Other configurations are the same as those of the machining head of the first embodiment.

この第２実施形態の加工ヘッド１１０においても、第１実施形態の加工ヘッド１０と同様の効果を奏することができる。また、第２実施形態のように単一レンズ１２３に置き換えた場合は、レンズ鏡筒ユニット１２０の軸方向長さをより小さくできるようになり、加工ヘッド１１０の長さを抑制できる利点が得られる。   The machining head 110 according to the second embodiment can achieve the same effects as the machining head 10 according to the first embodiment. Further, when the single lens 123 is replaced as in the second embodiment, the axial length of the lens barrel unit 120 can be further reduced, and the advantage that the length of the processing head 110 can be suppressed is obtained. .

なお、上記実施形態では、回転対称のトラップ部材４７を用いた場合の例を示したが、孔開き円板状のもので代替することもできる。   In the above-described embodiment, an example in which the rotationally symmetric trap member 47 is used has been described. However, a perforated disk shape may be used instead.

１ 伝送用ファイバ
１０ 加工ヘッド
１１ ヘッド本体
１２ 貫通孔
２０ 密封構造式レンズ鏡筒ユニット
２１ 鏡筒ハウジング
２２ 貫通孔
２３ コリメートレンズ
２４ 集光レンズ
２５ 保護ウインドウ
２６ 保護ウインドウ
２９ Ｏリング
３０ アシストガス流路
３３ 外周流路
４５ トラップ機構
４５ｂ 絞り部
４５ｃ フランジ部
４５ｅ 絞り部
４５ｆ 滞留捕捉部
５０ ノズル
８０ アクチュエータ
１２０ レンズ鏡筒ユニット
１２１ 鏡筒ハウジング
１２２ 貫通孔
１２３ 単一レンズ
１２４ スペーサ
１２５ 保護ウインドウ
１２６ 保護ウインドウ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transmission fiber 10 Processing head 11 Head main body 12 Through-hole 20 Sealed structure type lens barrel unit 21 Lens barrel housing 22 Through-hole 23 Collimating lens 24 Condensing lens 25 Protection window 26 Protection window 29 O-ring 30 Assist gas flow path 33 Peripheral flow path 45 Trap mechanism 45b Restriction part 45c Flange part 45e Restriction part
45f Stay trapping part 50 Nozzle 80 Actuator 120 Lens barrel unit 121 Lens barrel housing 122 Through hole 123 Single lens 124 Spacer 125 Protective window 126 Protective window

Claims (3)

伝送用光ファイバから出射されたレーザ光を被加工材に対して集光照射するファイバレーザ加工機の加工ヘッドであって、
ヘッド本体と、このヘッド本体内に収容され、前記伝送用光ファイバから出射されたレーザ光を集光制御する光制御部と、この光制御部で集光されたレーザ光を被加工材に向けて出射するノズルと、前記ヘッド本体内に設けられ、前記レーザ光と共に前記ノズルから噴射されるアシストガスが流通するアシストガス流路と、を備え、
前記ヘッド本体内の前記アシストガス流路の途中の前記光制御部と前記ノズルとの間に、前記ノズルより前記ヘッド本体内に侵入したダストの前記光制御部への進行を前記アシストガスの流速を可変させることで阻止するトラップ機構が設けられていることを特徴とするファイバレーザ加工機の加工ヘッド。 A processing head of a fiber laser processing machine for condensing and irradiating a workpiece with laser light emitted from a transmission optical fiber,
A head main body, a light control unit for condensing and controlling the laser light contained in the head main body and emitted from the transmission optical fiber, and directing the laser light condensed by the light control unit to a workpiece And an assist gas passage provided in the head main body and through which the assist gas ejected from the nozzle together with the laser beam flows,
Between the light control unit and the nozzle in the middle of the assist gas flow path in the head body, the flow of the assist gas causes the dust that has entered the head body to progress from the nozzle to the light control unit. A processing head of a fiber laser processing machine, characterized in that a trapping mechanism is provided to prevent the change by varying the angle. 請求項１に記載のファイバレーザ加工機の加工ヘッドであって、
前記トラップ機構は、前記アシストガス流路の途中に形成されてアシストガスの流速を局部的に速める絞り部を有することを特徴とするファイバレーザ加工機の加工ヘッド。 A processing head of the fiber laser processing machine according to claim 1,
The processing mechanism of a fiber laser processing machine, wherein the trap mechanism has a throttle portion that is formed in the middle of the assist gas flow path and locally increases the flow velocity of the assist gas. 請求項１または２に記載のファイバレーザ加工機の加工ヘッドであって、
前記トラップ機構は、前記アシストガスが滞留することで前記ダストを捕捉可能な滞留捕捉部を有することを特徴とするファイバレーザ加工機の加工ヘッド。
 A processing head of the fiber laser processing machine according to claim 1 or 2,
The processing mechanism of a fiber laser processing machine, wherein the trap mechanism has a retention capturing portion capable of capturing the dust when the assist gas is retained.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN103212801A (en) * 2012-01-19 2013-07-24 昆山思拓机器有限公司 Cutting nozzle for stabilizing position of focus by utilizing gas flow
JP6150612B2 (en) * 2013-05-16 2017-06-21 株式会社アマダミヤチ Optical fiber transmission type laser processing apparatus, laser emitting unit, and optical fiber attaching / detaching method
DK2875896T3 (en) * 2013-11-22 2017-01-23 Salvagnini Italia Spa Laser cutting head for machine tool with a cooling unit attached to the head
EP3045258B1 (en) 2014-03-13 2018-09-12 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Laser machining head
US10906129B2 (en) * 2015-05-26 2021-02-02 Ipg Photonics Corporation Multibeam laser system and methods for welding
CN113020787B (en) * 2021-05-18 2021-08-17 岗春激光科技（江苏）有限公司 Lens cone and laser cutting head

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004098079A (en) * 2002-09-05 2004-04-02 Amada Eng Center Co Ltd Machining head of laser beam machine
JP2009248155A (en) * 2008-04-08 2009-10-29 Miyachi Technos Corp Laser beam machining method and apparatus
FR2935916B1 (en) * 2008-09-12 2011-08-26 Air Liquide METHOD AND INSTALLATION FOR LASER CUTTING WITH MODIFICATION OF THE QUALITY FACTOR OF THE LASER BEAM
JP2010147108A (en) * 2008-12-16 2010-07-01 Toshiba Corp Fiber laser device, laser processing device, and laser processing method

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